WO2014191033A1 - Vorrichtung und verfahren zum bonden von substraten - Google Patents

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Markus Wimplinger
Paul Lindner
Thomas PLACH
Florian Kurz
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    • Y10T156/17—Surface bonding means and/or assemblymeans with work feeding or handling means

Definitions

  • the present invention relates to a method for bonding a first
  • Microelectronics and microsystems technology ensures a constant
  • microcontrollers for example, microcontrollers
  • Memory devices MEMS, all types of sensors or microfluidic devices.
  • fusion bonding also referred to as direct bonding or molecular bonding.
  • Fusion bonding is the process of permanently connecting two substrates through the formation of covalent compounds.
  • Fuels bonds are mainly produced on the surfaces of non-metallic non-organic materials.
  • Prebond is understood to mean a connection of these surfaces spontaneously formed when two surfaces come into contact with one another whose bonding strength is smaller than the bond strength of the heat treatment carried out later,
  • the bond strength caused by the prebond is sufficient to transport the two substrates without causing any displacement of the substrates relative to one another.
  • the bond strength between the two substrates is sufficient enough to transport the substrate stack without problems, the bond strength is so low that a special, nondestructive separation of the two substrates can be achieved with special devices.
  • This has the decisive advantage that, according to a Prebond, the structures of the two structures are measured and their relative positions, distortions and orientations can be determined. If one finds during the measurement process that there is a misorientation and / or a local and / or global distortion of the structures or if there are particles in the interface, the
  • Heat treatment process results in a chemical and / or physical reinforcement of the connection of the surfaces of the two substrates by the supply of thermal energy.
  • Di erer Permanenlbond is irreversible in the sense that a nondestructive separation of the two substrates is no longer possible.
  • Prebond and Permanentbond but rather than a common bond.
  • fusion bonds the mechanism by which the two surfaces are contacted by a progressive bond wave, can be described by the same physics. It would also be conceivable to connect two hybrid surfaces by means of a so-called hybrid bond.
  • a hybrid surface is meant a surface consisting of at least two different materials. One of the two materials is usually limited to a small space, while the second materi al surrounds the first Materi al. For example, metal contacts are surrounded by dielectrics.
  • the bonding wave is driven mainly by the fusion bond between the dielectrics, while the metal contacts are through automatically match the bond wave. Examples of dielectrics and low-k materials are
  • ⁇ glasses borosilicate glasses, aluminosilicate glasses,
  • Alignments can be aligned very closely to each other, it may come during the bonding process itself to distortions of the substrates. Due to the resulting distortions, the functional units are not necessarily correctly aligned with each other at all positions be aligned.
  • the alignment inaccuracy at a particular point on the substrate may be a result of distortion, scaling error, lens error (enlargement and reduction error), etc.
  • all topics are dealt with
  • a global overlay error is homogeneous, therefore independent of location. It produces the same deviation between two opposing functional units regardless of the position.
  • a local overlay error arises depending on the location, mainly due to elasticity and / or plasticity problems, in the present case primarily caused by the continuously propagating B ondwelle.
  • overlay errors are mainly the Fehl er III. and IV. as a "run-out error.” This error is primarily caused by a distortion
  • the run-out errors can not only be determined by corresponding measuring devices (EP2463892), but also described by mathematical functions, since the run-out errors translate ions and / or rotations and / or Scales between well-defined points, they are preferred by
  • this vector function is a function f: R 2 - »R 2 , hence one
  • Vcklorfunktion likely to be different from zero. B ei the vector field is therefore very likely a source field.
  • the object of the present invention is to provide a device and a
  • Bonding accuracy, especially at the edge of the substrates is increased.
  • the invention is based on the idea that at least one of the two substrates, preferably the second and / or lower substrate for aligning the contact surfaces, in particular exclusively, outside the
  • B ndi istsstelle before and / or during B onden in particular during the course of a Bondwel le, preferably during fusion bonding, is deformed.
  • deformation is in particular one of a
  • the bonding is initiated after contacting the contact surfaces, in particular by dropping / releasing the first / upper substrate.
  • Corresponding B ondffen devices are provided in particular.
  • the substrates are usually more or less flat, in particular at a contact surface, apart from any d ie
  • a curvature can be considered as a measure of the local deviation of a curve from its plane
  • substrates are considered whose thicknesses are small compared to the diameter. Therefore, one can speak in good approximation of the curvature of a plane.
  • the initially mentioned flat state is the tangent plane of the curve at the point where the curvature is considered.
  • a body, in particular the substrate has no homogeneous
  • Curvature so that the curvature an explicit function of the place i st.
  • a non-planar substrate has a concave curvature in the center, while at other locations it has a convex curvature.
  • curvatures in the simplest case are always described only as concave or convex, but not nearer
  • Forms according to the invention consist primarily in that the radii of curvature of the two substrates to be joined together
  • the difference between the two curvature wheels at the bond front / bonding layer of the substrates is less than 10 m. with preference less than 1 m, more preferably less than 1 cm, most preferably less than 1 mm, most preferably less than 0.01 mm, most preferably less than ⁇ ⁇ .
  • all embodiments according to the invention are advantageous, which the radius of curvature R l
  • the invention relates to a method and a system by means of which one is able to use two substrates in this way
  • Factors influencing the forming bond wave are chosen so that the two substrates do not shift locally during bonding, al so correctly aligned. Furthermore, the invention describes an article consisting of two bonded together
  • fusion bonding is the most centric, point-like contacting of the two substrates.
  • the contacting of the two substrates can not centric suc conditions.
  • the browband propagating from a non-centric contact point would reach different locations of the substrate edge at different times.
  • the complete mathematical-physical description of the B wave-wave behavior and its consequences would be correspondingly complicated
  • the contact point will not be far from the center of the substrate, so the resulting effects will be negligible, at least marginally.
  • centric contact point and the center around the substrate is smaller than 100mm, preferably smaller than 1 Omni, more preferably smaller than 1mm, most preferably smaller than 0. 1mm, with the largest advantage being less than 0.01mm.
  • center is to be understood as the geometric center of an underlying, if necessary, asymmetry-compensated, ideal body. In industrial fields with a notch, the center is the circle center of the circle surrounding the ideal wafer without notch. Wafern with industry standard wafers (flattened side) is the center of the
  • Grav itation has an impressed curvature in Rich tion of the other substrate, and therefore in the aforementioned translational approach, at a sufficiently small distance from the corresponding second substrate,
  • the pin in the centric bore of the upper substrate holder serves to controllably deflect the fixed, upper substrate.
  • the fixation of the upper substrate holder is released.
  • the upper substrate falls down on the one hand by gravity and, on the other hand, due to a bonding force acting along the B ondwel le and between the substrates.
  • the upper substrate is connected to the lower substrate radially from the center to the side edge. This results in an inventive development of a radially symmetrical bonding wave, which extends in particular from the center to the side edge.
  • the first / upper substrate is not subject to any additional fixation after the initiation of the bond on a B ond initiation
  • each of its radial thickness becomes infinitesimally small circle segment of a distortion
  • the invention thus also relates to a method and a device for reducing or even completely avoiding the run-out error between two bonded substrates, in particular by thermodynamic and / or mechanical compensation mechanisms, during bonding a corresponding article with the
  • the first, in particular lower, receiving device is convex or concave on the receiving surface for receiving the first substrate, and / or polished and / or lapped.
  • the receiving device is ground convexly so that a substrate fixed thereon in the direction of the contact point
  • a radius of curvature of the first and / or second receiving surfaces is in particular greater than 0.01m, more preferably greater than 0.1m, more preferably greater than 1m, even more preferably greater than 10m, most preferably greater than 100m, most preferably greater than 1000m.
  • first / lower Au receiving device of the same size in particular at least within the same order of a power of ten, as the second / upper receiving device by adjusting means, in particular a pin, generated radius of curvature of the second / upper substrate. This results in a symmetrical starting position for the bonding with respect to the geometry.
  • the first / lower receiving surface is ground so that the physical asymmetry through the normal to the
  • the first and / or second substrate is preferably radially symmetrical. Although the substrate can have any diameter, the
  • Wafer diameter in particular 1 inch, 2 inches, 3 inches, 4 inches, 5 inches, 6 inches, 8 inches, 12 inches. 18 inches or greater than 18 inches.
  • the thickness of the first and / or second substrate is between ⁇ ⁇ and 2000 ⁇ , with preference between ⁇ and 1500 ⁇ , with greater preference between ⁇ and ⁇ .
  • a substrate may also have a rectangular shape, or at least deviating from the circular shape.
  • a substrate is understood in particular to be a wafer.
  • the device comprises a platen which is thick enough not to be deformed by unwanted external influences, but has been made thin enough to be brought into a convex or concave shape by a directed downward force.
  • the support plate has a flexural rigidity of greater than 10 7 Nm 2 , preferably greater than 10 Nm 2 , more preferably greater than 1 Nm 2 , even greater preference greater IQ 3 Nm 2 , most preferably greater than 10 7 Nm 2 on.
  • Tei l the lower / first receiving device of a pneumatically and / or hydraulically and / or piezoelectrically extensible and / or contractable with a preference high-strength, elastic membrane.
  • the pneumatic and / or hydraulic and / or piezoelectric elements are preferably uniformly distributed and individually controllable.
  • the lower / first receiving device is formed so that the lower / first S substrate by heating and / or coolant before contacting specifically deformed, in particular laterally compressed or stretched, and indeed by the amount which is necessary in the subsequent contacting in order to ideally compensate for the resulting "run-out" error, ideally since the fixation of the lower / first substrate in this embodiment takes place only after the corresponding deformation place no special emphasis on the thermal expansion coefficients of the lower / first substrate or the lower / first receiving device.
  • the contacting of the lower / first substrate takes place before a heating and / or
  • the thermal expansion coefficients are lower than I.
  • the lower / first substrate will follow the average of the thermal expansion of the lower / first receiving device.
  • the temperature differences to be set between the first and second receiving means are less than 20 ° C, preferably less than 10 ° C, more preferably less than 5 ° C, most preferably less than 2 ° C, most preferably less than 1 ° C.
  • Each receiving device is inventively heated as homogeneously as possible.
  • a temperature field is provided whose temperature difference at any two points is less than 5 ° C, with preference less than 3 ° C. more preferably less than 1 ° C, most preferably less than 0. 1 ° C, most preferably less than 0.05 ° C.
  • the first embodiment becomes the first one
  • the surface of the first receiving means fixed first substrate is due to its in relation to the receiving device small thickness by the deformation of the receiving device with ver formed.
  • the deformation of the receiving device takes place with pneumatic and / or
  • actuators which, with preference radially symmetrically, have been arranged distributed around the substrate receptacle.
  • purely radial distortion requires at least three actuators, which are arranged to each other at an angular distance of 1 20 °.
  • both substrates in particular simultaneously symmetrical to the bonding initiation site, are each curved by an adjusting means, in particular a pin, towards the bonding initiation site, so that the convex surfaces can be contacted in the bonding initiation site.
  • The, in particular automatic. Bonding with B ondwelle is started by detaching at least one of the substrates from the receiving surface.
  • the embodiments according to the invention are preferably operated in a defined, in particular controllable, atmosphere, in particular under normal pressure.
  • All of the mentioned embodiments of the invention can be carried out in a special embodiment variant in low vacuum, more preferably in high vacuum, even greater vacuum in ultra-high vacuum, in particular at a pressure of less than 100 mbar, with preference less than 10 " 'mb r greater preference less than 10 "3 mbar. even more preferably less than 10 " 5 mbar, most preferably less than 10 " 8 mbar.
  • At least one influencing factor is applied to the propagation, in particular
  • the Bond wave is controlled in particular with respect to its speed.
  • the control of the speed is effected indirectly via the composition and / or the density and / or the temperature of a gas in the atmosphere in which bonding takes place.
  • the process according to the invention is preferably to be carried out in a low-pressure atmosphere, preferably in vacuum, it may be advantageous for the bonding process to be carried out in another atmosphere, in particular in the region of atmospheric pressure.
  • the bonding wire Due to the punctiform contact, the bonding wire always runs radially symmetrically in the bonding according to the invention from the center to the side edge and in this process presses an annular gas cushion in front of it.
  • the bond line (B ondfront) of the B ondwelle which is in particular approximately annular, there is such a large B ondkraft that inclusions of G as bubbles can not even arise.
  • the upper / second substrate therefore lies during the bonding process on a type of gas cushion.
  • the composition of the gas mixture is selected.
  • gases with the lightest possible atomic and / or molecular types are used, which have a correspondingly low inertia at a given temperature.
  • Dahe is the molar mass of at least one of the gas components kl ner ner than 1000 g / mol, with preference kl than 100 g / mol. more preferably less than 10 g / mol, most preferably less than 1 g / mol.
  • the density of the gas mixture used in particular as low as possible and / or the temperature, in particular as high as necessary adjusted.
  • the gas density according to the invention kl one than 1 0 kg / m 3 , with preference less than 1 kg / m, with greater preference or less than 0 1 kg / m " , with greatest preference greater than 0.01 kg / m 3 set.
  • the temperature of the gas according to the invention is greater than 0 ° C, with V orzug greater than 100 ° C, more preferably greater than 200 ° C, with largest V orzug greater than
  • the abovementioned parameters are selected such that the selected gas mixture or individual components of the gas mixture do not condense.
  • liquid inclusions are avoided at the O ber Design of the substrates during the B ondvorgangs.
  • Multi-component pacemaker diagrams analogous considerations apply.
  • the kinematics of the first and / or second substrate are influenced and thus also the run-out error is reduced.
  • variable parameters are chosen so that the B ondwelle propagates with the best possible speed with respect to the existing initial and boundary conditions. Especially in the presence of atmosphere, especially atmospheric pressure, the slowest possible speed of the B ondwelle is advantageous.
  • the speed of the B ondwelle is less than 200 cm / s, more preferably low he than 1 00 cm / s, more preferably less than 50 cm / s, most preferably less than 10 cm / s, with all lergrohnem preference less than 1 cm / s.
  • the velocity of the bead is greater than 0.1 cm / s.
  • the velocity of the B ondwelle along the bond front is constant. In a vacuum environment, the velocity of the bumps becomes automatically faster, as the s on the b ond line
  • connecting substrates must not overcome resistance by a gas sen.
  • a V initialization plate is inserted between the receiving surface and the upper / second substrate at the upper / second receiving device.
  • the Stiffening plate is, in particular temporarily, bonded to the substrate and changes the behavior of the upper / second substrate during bonding.
  • Substrate is made by a constructional fixation in the
  • the fixation is preferably a vacuum fixation. Also conceivable would be electrostatic fixations, wafer-thin, the substrates at the edge spanning, mechanical fixations, Adphaseslungsfixtechniken by acidpol teil stiffening plate surface.
  • the "run-out" erroneous he is by a very small distance between the be iden substrates before contacting and / or Außerhal b the
  • the distance is less than 100 ⁇ m, preferably less than 5 ⁇ ⁇ , more preferably less than ⁇ s
  • the radius of curvature of both substrates, in particular on the bond front is less than 5% different from each other, preferably equal.
  • Embodiments bes the lower / first receiving device and / or the upper / two te receiving device as adjusting means, in particular centric holes and a pin, with the aid of a convex
  • Curvature of the respective substrates can be effected in the direction of the bond initiation site.
  • Gas composition control preferably via a central control unit, in particular a computer with a control software.
  • the recording and fixing of the substrates on recording devices can be done in any way possible with any known technology.
  • Electrostatic sample holders sample holders with mechanical clamping.
  • the substrates are finally fixed to a circle segment as far as possible on the outside in the region of the edge of the side in order to secure the
  • Another, in particular, independent aspect of the invention is to coordinate as effectively as possible and simultaneously quasi-automatically, by at least one of the substrates with a, in particular concentric to M itte a contact surface of the substrate radially outwardly extending bias before contacting is acted upon and then only the beginning of the contacting is influenced, while after Maisieru ng a portion, in particular the center M of the substrate, the substrate is released and automatically due to its bias bert with the opposing substrate bondei.
  • the bias voltage is achieved by a deformation of the first substrate by means of deformation means, wherein the deformation means, in particular on the basis of their shape, act on the side remote from the side wall and the deformation
  • control can be controlled accordingly by the use of different (in particular exchangeable) deformation means.
  • the control is also achieved by the pressure or force with which the deformation means act on the substrate.
  • a fixation is applied, in particular exclusively, in the region of the circumference of the semiconductor substrate (first substrate), so that an effective fixation is achieved with at the same time the lowest possible effective absorption between the Recording contour of the receiving device and the semiconductor substrate.
  • the detachment is above all kontrol lierbar, in particular by reducing the negative pressure at the receiving surface.
  • Controllable means that after contact of the wafer with a second wafer. the wafer is still fixed on the sample holder and only by releasing (controlled) reduction of the negative pressure at the receiving surface a release of the
  • the substrates are aligned with each other before the bonding process, to coincidence (exact alignment, in particular with egg ner
  • the wafers are not placed one on top of the other, but are first brought into contact with each other in the center M by slightly pressing one of the two wafers against the second wafer or correspondingly in the direction of the wafer
  • a further, in particular independent, aspect of the invention is the deformation of the first substrate and / or of the second substrate depending on predefined factors influencing the course of the electrode Taxes. Influencing factors include, among others, the ambient pressure of the atmosphere surrounding the substrates, the type of gas / gas mixture present in the atmosphere, the temperature, the distance between the substrates outside the batch initiation parts, and the thickness of the substrate
  • Substrate is arranged, is a uniform, in particular
  • the deformation of the first substrate and / or of the second substrate takes place in the lateral direction and / or convectionally and / or concavely, more preferably mirror-symmetrically.
  • Words follows the deformation according to the invention in particular by stretching or compression or curvature of the first substrate and / or the second substrate.
  • the substrates have approximately identical diameters D l. D 2, in particular by less than 5 mm, preferably less than 3 mm, more preferably less than 1 mm, differ from one another.
  • the deformation takes place by means of mechanical actuating means and / or by
  • the deformation according to the invention can be realized more easily.
  • Figure 1 is a schematic cross-sectional view of a first
  • Figure 2 is a schematic cross-section views ei ner second
  • Figure 3 is a schematic cross-sectional view of a third
  • Figure 4 is a schematic cross-sectional view of a fourth
  • Figure 5 is a schematic cross-sectional view of a fifth
  • FIG. 6 is a schematic representation of the invention
  • FIG. 7a shows a schematic illustration of a bonded substrate pair with an alignment error dx in the region of a side edge of the substrates
  • Figure 7b is a schemati cal magnification of two Su bstrate in
  • FIG. 7c shows a schematic enlargement of two substrates without alignment errors / run-out errors
  • Figure 7d is a schematic magnification view of two substrates with alignment error / run-out Benedict er and
  • FIG. 8 shows a symbolic representation of the possible overlay or "run-out” errors.
  • Substrate sample holder shown, consisting of a base body 9 and a
  • the Everykör by 2 has an upward i n direction of an opposite second receiving device. 4
  • the receiving body 2 is designed as a replaceable module and separable from the base body 9.
  • the Grundk rper 9 thus serves as a s adapter between the receiving body 2 and a lower receiving unit of the B onders (not shown). This makes it possible, according to the invention, for a fast change between different module-like receiving bodies 2 with different radii of curvature R
  • first substrate 3 n of the receiving surface 2o fi xierbar is.
  • the radius of curvature R according to the invention is preferably very high and thus the curvature with the eye is practically invisible (ie
  • the second, trained as a substrate sample holder Cinei nrich t ung 4 consists of a body V with a second receiving surface 2o ⁇ d i e, in particular in concentric sections equidistant to corresponding concentric sections of the first en receiving surface 2o is aligned.
  • the main body V has an opening 5 in the form of a bore and
  • Fixing 6 'I resemble the fixative n of the first receiving device 1 on.
  • the fixing means 6 serve to fix an upper, second substrate 8 at a side remote from the contact surface 8k of the second substrate 8.
  • Adjusting means in the form of a pin 7 serve the deformation (here:
  • the receiving body 2 as an expandable, pneumatically and / or hydraulically expandable and contractible B auteil, in particular pillow,
  • Figure 2 shows a second embodiment with an on me body 2 ", in which the first receiving surface 2o by an al s train and / or
  • Push rod trained actuator 10 is controlled deformable.
  • the Au exception 2 "has one, in particular concentric uml aufenden.
  • the actuator 10 is at the first
  • the actuating element 10 moves more than 0.01 ⁇ m, preferably more than +/- 1 ⁇ , more preferably more than +/- 1 m, most preferably more than +/- ⁇ , with the greatest advantage more than + / - 1mm, most preferably more than +/- 10mm.
  • the embodiment according to FIG. 2 corresponds to the embodiment according to FIG. 1.
  • FIG. 3 shows a third embodiment with a first embodiment
  • Receiving body 2 * “has the first receiving surface 2o for receiving the first substrate 3. Furthermore, the first receiving device 1 in this embodiment comprises temperature control means 11 for
  • Temperature control means 11 expands the receiving body 2 "'and thus the first receiving surface 2o with the first substrate 3 fixed thereto, in particular in a lateral direction
  • Figure 4 shows a fourth embodiment with a base body 9 'with a receiving portion 18 for receiving a receiving body 2 IV .
  • shoulder portion 19 serves as a stop for adjusting elements 12, which serve to deform the Au accepts body 2 IV in the lateral direction.
  • Adjusting elements 12 are arranged distributed in particular in the form of a plurality of tensile and / or pressure elements 12 on the side circumference of the receiving body 2 IV .
  • the adjusting elements 12 serve to deform the
  • Receiving body 2 IV in the lateral direction in particular by mechanical stretching and / or compression, preferably in the micrometer range.
  • the receiving body 2 IV expands / compresses by more than 0.01 per cent, preferably more than +/- 1 ⁇ , more preferably more than +/- ⁇ , most preferably more than +/- 100 ⁇ m, most preferably more as +/- 1mm, most preferably more than +/- 10mm.
  • the adjusting elements 12 may be designed as purely mechanical and / or pneumatic and / or hydraulic and / or piezoelectric components.
  • the fourth embodiment corresponds to the above-described first, second and third embodiments.
  • Embodiment it is particularly important that the adhesion between the substrate 1 and the receiving body 2 IV is so large that the substrate 1 during the stretching or compression of the receiving body 2 1V du ch the adjusting elements 12, also appropriately stretched or compressed.
  • Figure 5 shows a fifth embodiment in which the first
  • the first receiving device 1 has a main body
  • the receiving body 2 V includes the orm in this embodiment vertically arranged first receiving surface 2o on which the first substrate 3 is fixed via fixing elements 6.
  • the second receiving device 4 comprises a varied attitude
  • Receiving body 2 VI The receiving body 2 VI d ient for Aufn hme and fixation of the second substrate 8 at its vertically disposed
  • Receiving surface 2o ⁇ For deformation of the second substrate 8 is a
  • Opening 5 analogous to the opening 5 of Figure 1 with a Stel lstoff in Fo m of a pin 7 is provided, which is formed by the opening 5 through the second substrate 8 deforming, to one of the
  • the pin 7 defines by deformation of the second substrate 8 a
  • Embodiment according to Figure 5 formed symmetrically.
  • the first receiving device also has a corresponding opening and a corresponding pin, so that a symmetrical deformation of the
  • Substrates 3, 8 is made possible.
  • Bondiniti ists agency 20 behave the substrates 3, 8 identical, so that even in the absence of an influence of a gravitational
  • Tightness is the resistance that a body gives to it
  • the bending stiffness is a pure material and geometry size, which is independent of the bending moment (assuming that the
  • the cross-section of a wafer through its center is, to a very good approximation, a rectangle with a thickness t3 and the wafer diameter D.
  • the bending stiffness is the product of Young's modulus and area moment of inertia.
  • the area moment of inertia of a rectangle about an axis normal to the thickness would be directly proportional to the cube of the thickness.
  • the thickness thus influences the moment of inertia and thus the bending moment.
  • the bending moment is created by the effect of gravitational force along the substrate. With constant bending moment, therefore constant gravitational force, so substrates with larger thicknesses are less curved due to their larger bending moments than substrates with lower thicknesses.
  • the radius of curvature is according to the invention several meters at diameters of the substrates 3, 8 in the range of 1 inch to 18 inches and thicknesses of the substrates 3, 8 in the range of 1 ⁇ to 2,000 ⁇ .
  • a bond wave with a bond front 10 extends concentrically from the bond initiation site 20 to side edges 8s, 3s of the substrates 3, 8.
  • the bonding wave displaces the gas 15 (or gas mixture 15) shown by arrows 3k.8k between the contact surfaces.
  • the substrate 3 is deformed by the receiving device 1 in such a way that alignment errors of corresponding structures 14 of the substrates 3, 8 are minimized.
  • the substrate 8 forms during the course of the bonding wave (after the bonding and release from the receiving device 4) due to the acting forces: gas pressure, gas density, speed of the winding drum, gravity, natural frequency (spring behavior) of the substrate 8 ,
  • FIGS. 7a to 7d illustrate, in an enlarged form, possible ones
  • Alignment error dx according to Fi gures 7a and 7d, which according to the invention according to Figures 7b and 7c by the V erformung the substrates 3, 8 are at least predominantly resolved.
  • Parameters are determined by a, in particular software-based,
  • Control device (not shown) controlled.

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bonden eines ersten Substrats (3) mit einem zweiten Substrat (8) an Kontaktflächen (3k, 8k) der Substrate (3, 8) mit folgenden Schritten, insbesondere folgendem Ablauf: Aufnahme des ersten Substrats (3) an einer ersten Aufnahmefläche (20) einer ersten Aufnahmeeinrichtung (1) und Aufnahme des zweiten Substrats (8) an einer zweiten Aufnahmefläche (20 ') einer zweiten Aufnahmeeinrichtung (4), Kontaktierung der Kontaktflächen (3k, 8k) an einer Bondinitiierungsstelle (20), Bonden des ersten Substrats (3) mit dem zweiten Substrat (8) entlang einer von der Bondinitiierungsstelle (20) zu Seitenrändern (3s, 8s) der Substrate (3, 8) verlaufenden Bondwelle, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Substrat (3) und/oder das zweite Substrat (8) zur Ausrichtung der Kontaktflächen (3k, 8k) außerhalb der Bondinitiierungsstelle (20) vor und/oder während des Bondens verformt sind/werden. Weiterhin betrifft die Erfindung eine korrespondierende Vorrichtung.

Description

Vorrichtung und Verfahren zum Bonden von Substraten
B e s ch r e i b u n g
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bonden eines ersten
Substrats mit einem zweiten Substrat gemäß Anspruch 1 sowie eine
korrespondierende Vorrichtung gemäß Anspruch 9.
Die voransehreileride Miniaturisierung in beinahe allen Teilen der
Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik sorgt für eine ständige
Weiterentwicklung aller Technologien, mit deren Hilfe man die Dichte aller Arten von funktionalen Einheiten auf Substraten steigern kann. Zu diesen funktionalen Einheiten gehören beispielsweise Mikrocontroller,
Speicherbausteine, MEMS, alle Arten von Sensoren oder Mikrofluidbauieile.
In den letzten Jahren wurden die Techniken zur Erhöhung der lateralen Dichte dieser funktionalen Einheiten stark verbessert. In einigen
Teilbereichen der Mikroelektronik oder Mikrosystemtechnik sogar so weit, dass eine weitere Steigerung der lateralen Dichte der funktionalen Einheiten nicht mehr möglich ist. In der Mikrochipherstellung wurde die maximal erreichbare Auf lösung grenze für die lithographisch herzustellenden
Strukturen bereits so gut wie erreicht. Physikalische oder technologische Beschränkungen erlauben also in wenigen Jahren gar keine Steigerung der lateralen Dichte funktionaler Einheiten mehr. Die Industrie begegnet diesem Problem bereits seit einigen J ahren durch die Entwicklung von 2.5 D und 3 D Technologien. Mit Hilfe dieser Technologien ist es mögl ich, gleiche, oder sogar unterschiedl ich geartete, funktionale Einheiten zueinander
auszurichten, übereinander zu stapeln, sie permanent miteinander zu
verbinden und durch entsprechende Leiterbahnen miteinander zu vernetzen.
Eine der Schlüsseltechnologien für die Realis ierung solcher Strukturen ist das Permanentbonden. Unter dem Permanentbonden versteht man alle
Verfahren, mit deren Hil fe S ubstrate so miteinander verbunden werden können, dass deren Trennung nur durch hohen Energieaufwand und ei ner damit einhergehenden Zerstörung der Substrate möglich ist. Es existieren unterschiedliche Arten des Permanentbondens .
Eines der wichtigsten Permanentbonding verfahren ist das Fusionsbonden, auch bezeichnet als Direktbonden oder molekulares Bonden. Unter
Fusionsbonden versteht man den Vorgang des permanenten Verbindens zweier Substrate über die Ausbildung koval enter Verbindungen.
Fu ionsbonds entstehen vor allem an den Oberflächen von nichlmetallisch- nichtorganischen Material ien.
Grundsätzlich sollte zwischen einem Prebond und dem eigentlichen
Permanentbond unterschieden werden. Unter einem Prebond versteht man eine sich bei Kontakt zweier Oberflächen spontan ausbildende Verbindung dieser Oberflächen deren B indungsstärke kleiner ist als d ie Bindungsstärke des durch eine später durchgeführte Wärmebehandlung hergestellten,
Permanentbonds. Die durch den Prebond hervorgerufene B indungsstärke genügt allerdings, um die beiden Substrate zu transportieren, ohne eine Verschiebung der Substrate zueinander herbeizuführen. Obwohl al so die B indungsstärke zwischen den beiden Substraten sehr wohl ausreicht um den Substratstapel problemlos zu transportieren, ist die B indungsstärke so gering, dass mit speziel l en Vorrichtungen eine erneute, zerstörungsfreie Trennung der beiden Substrate erfolgen kann. Dies hat den entscheidenden Vortei l , dass nach einem Prebond, die S trukturen der beiden Strukturen vermessen und deren relative Positionen, Verzerrungen und Orientierungen best immt werden können. Stellt man während des Vermessungsvorgangs fest, dass eine Fehlorientierung und/oder eine lokale und/oder globale Verzerrung der Strukturen vorliegt oder sich Partikel im Interface befinden, kann der
Substratstapel wieder entsprechend getrennt und neu prozessiert werden.
Nach einem erfol greichen und vor allem verifizierten Prebond wird durch Wärmebehandlungsprozesse ein Permanentbond erzeugt. Während des
Wärmebehandlungsprozesses kommt es zu einer chemischen und/oder physikalischen Verstärkung der Verbindung der Oberflächen d er beiden Substrate durch die Zufuhr der thermischen Energie. Di eser Permanenlbond ist irreversibel in dem S inne, dass eine zerstörungsfreie Trennung der beiden Substrate nicht mehr möglich ist. Im weiteren Verlauf wird nicht mehr explizit zwischen Prebond und Permanentbond unterschieden, sondern nu mehr al l gemein von einem Bond gesprochen .
Die gängigsten Fusionsbonds werden an S ilizium und S iliziumoxidsubstraten durchgeführt. S il izium dient durch seine Halbleitereigen chaften oft als B asismaterial für die Herstellung v on mikroelektronischen B auteilen wie Mikrochips und Speicher. Ein sogenannter Direktbond kann auch zwischen hochpolierten Metalloberflächen entstehen. Die zu Grunde liegenden
B indungseigenschaften unterschieden s ich zwar von denen eines
Fusionsbonds , der Mechanismus mit dem die beiden Oberflächen durch eine fortschreitende Bondwelle miteinander kontaktiert werden, kann aber durch dieselbe Physik beschrieben werden. Denkbar wäre auch die Verbindung zweier Hybridflächen durch einen sogenannten Hybridbond . Unte einer Hybridfläche versteht man eine aus mindestens zwei unterschied l ichen Materialien bestehende Oberfl äche. Eines der beiden Materialien ist dabei meistens auf einen kleinen Raum begrenzt, während das zweite Materi al das erste Materi al umgibt. B eispielsweise werden Metallkontakte von Dielektrika umgeben. B ei der Erzeugung eines Hybridbonds durch das B onden zweier Hybridoberflächen wird die B ondwelle vor allem durch den Fusionsbond zwischen den D ielektrika getrieben , während die Metallkontakte s ich durch die Bondwelle automatisch zusammenfinden. Beispiele für Dielektrika und low-k Materialien sind
• Nicht Silizium basierend
o Polymere
■ Polyimide
■ Aromatische Polymere
■ Parylene
■ PTFE
o Amorpher Kohlenstoff
• Silizium basierend
o Silikat basierend
■ TEOS (Tetraethylorthosilikat)
» SiOF
" SiOCH
■ Gläser (Borosilikatgläser, Alumosilikatgläser,
Bleisilikatgläser, Aikalisiiikatgläser, etc. )
o Allgemein
■ Si3N4
■ SiC
- SiC-2
■ SiCN
o Silsesquioxane
■ HSSQ
■ MSSQ
Eines der größten technischen Probleme beim permanenten Verbinden zweier Substrate stellt die Ausrichtungsgenauigkeit der funktionalen Einheiten zwischen den einzelnen Substraten dar. Obwohl die Substrate durch
Ausrichtungsanlagen sehr genau zueinander ausgerichtet werden können, kann es während des Bondvorgangs selbst zu Verzerrungen der Substrate kommen. Durch die so entstehenden Verzerrungen werden die funkti nalen Einheiten nicht notwendigerwei e an allen Positionen korrekt zueinander ausgerichtet sein. Die Ausrichtungsungenauigkeit an einem bestimmten Punkt am Substrat kann ein Resultat einer Verzerrung, eines Skalierungsfehlers, eines Linsenfehlers (Vergrößerungs- bzw. Verkleinerungsfehlers) etc. sein. In der Halbleiterindustrie werden alle Themenbereiche, die sich mit
derartigen Problemen befassen unter dem Begriff „Overlay" subsumiert. Eine entsprechende Einführung zu diesem Thema findet man beispielsweise in: Mach, Chris. Fundamental Principles of Optical Lithograph}' - The Science of Microfabrication. WILEY, 2007, Reprint 2012.
Jede funktionale Einheit wird vor dem eigentlichen Herstellprozess im
Computer entworfen. Beispielsweise werden Leiterbahnen, Mikrochips, MEMS, oder jede andere mit Hilfe der Mikrosystemtechnik herstellbare Struktur, in einem CAD (engl.: Computer aided design) Programm entworfen. Während der Herstellung der funktionalen Einheiten zeigt sich allerdings, dass es immer eine Abweichung zwischen den idealen, am Computer konstruierten, und den realen, im Reinraum produzierten, funktionalen
Einheiten gibt. Die Unterschiede sind vorwiegend auf Limitierungen der Hardware, also Ingenieurs technische Probleme, sehr oft aber auf
physikalische Grenzen, zurückzuführen. So ist die Auflösungsgenauigkeit einer Struktur, die durch einen photolithographischen Prozess hergestellt wird, durch die Größe der Aperturen der Photomaske und die Wellenlänge des verwendeten Lichts begrenzt. Masken Verzerrungen werden direkt in den Photoresist übertragen. Linearmotoren von Maschinen können nur innerhalb einer vorgegebenen Toleranz reproduzierbare Positionen anfahren, etc. Daher verwundert es nicht, dass die funktionalen Einheiten eines Substrats nicht exakt den am Computer konstruierten Strukturen gleichen können. Alle Substrate besitzen daher bereits vor dem Bondprozess eine nicht
vernachlässigbare Abweichung vom Idealzustand.
Vergleicht man nun die Positionen und/oder Formen zweier
gegenüberliegender funktionaler Einheiten zweier Substrate unter der
Annahme, das keines der beiden Substrate durch einen Verbindungsvorgang verzerrt wird, so stellt man fest, dass im Allgemeinen bereits eine nicht perfekte Deckung der funktionalen Einheiten vorliegt, da diese durch die oben beschriebenen Fehler vom idealen Computermodell abweichen . Die häufigsten Fehler, werden in Figur 8 (Nachgebildet von:
http ://c ommons. wiki media, o rg/w iki/File: Over! a v - typical model terms DE. svg, 24.05.20 ] 3 und Mach, Chris. Fundamental Principles of Optical Lithography - The Science of Microfabrication.
Chichester: W1LEY, p. 312, 2007, Reprint 2012) dargestellt. Gemäß den Abbildungen kann man grob zwischen globalen und lokalen bzw.
symmetrischen und asymmetrischen Overlayfehl ern unterschieden. Ein globaler Overlayfehler ist homogen, daher unabhängig vom Ort. Er erzeugt die gleiche Abweichung zwischen zwei gegenüberl iegenden funkti on al en Einheiten unabhängig von der Posit ion. Die klassischen global en
Overlayfehler sind die Fehler I. und II. , welche durch eine Translation bzw . Rotation der beiden S ubstrate zueinander entstehen. Die Translation bzw. Rotation der beiden Substrate erzeugt einen deinen tsprechenden
translatorischen bzw. rotatorischen Fehler für alle, jeweils
gegenüberliegenden, funktionalen Einheiten auf den Substraten. Ein l okal er Overlayfehler entsteht ortsabhängig, vorwiegend durch Elastizitäts- und/oder Plast izitätsprobleme, im vorliegenden Fall vor allem hervorgerufen durch die sich kontinuierlich ausbreitende B ondwelle. Von den dargestellten Overlay Fehl ern werden vor allem die Fehl er III. und IV . als„run-out" Feh l er bezeichnet. Dieser Fehler entsteht vor al lem durch eine Verzerrung
mindestens eines Substrats während eines Bondvorgangs. Durch d ie
Verzerrung mindestens eines Substrats werden auch die funktionalen
Einheiten des ersten Substrats in Bezug auf die funktionalen Einheiten des zwei ten Substrats verzerrt. Die Fehler I. und II. können al l erdings ebenfalls durch einen B ondprozess entstehen, werden al l erdings von den Fehl ern I I I- und IV . meistens so stark überlagert, dass sie nur schwer erkennbar bzw . messbar sind.
Im Stand der Technik existiert bereits eine Anlage, mit deren H i 1 l'e man lokale Verzerrungen zumindest teilweise reduzieren kann. Es handelt sich dabei um eine lokal e Entzerrung durch di e Verwendung akt iver
Steuerelemente (WO2012/083978A 1 ). Im Stand der Technik existieren erste Lösungsansätze zur Korrektur von „run-out"-Fehlern. Die US201 20077329A 1 beschreibt eine Methode, um eine gewünschte Ausrichtungsgenauigkeit zwischen den funktionalen Einheiten zweier Substrate während und nach dem Bonden zu erhal ten, indem das untere Substrat nicht fixiert wird. Dadurch ist das untere Substrat keinen Randbedingungen unterworfen und kann während des Bondvorganges frei an das obere S ubstrat bonden. Ein wichtiges Merkmal im Stand der Technik stellt vor allem die flache Fixierung eines Substrats, meistens mittels einer Vakuumvorrichtung, dar.
Die entstehenden„run-out" Fehler werden in den meisten Fällen
radialsymmetrisch um die Kontaktstelle stärker, nehmen daher von der Kontaktstelle zum Umfang zu. In den meisten Fällen handelt es s ich um e i ne linear zunehmende Verstärkung der„run-out" Fehler. Unter speziel len
B edingungen können die„run-out" Fehler auch nichtlinear zunehmen.
Unter besonders optimalen B edingungen können die„run-out" Fehler nicht nur durch entsprechende Messgeräte (EP2463892) ermittelt, sondern auch durch mathematische Funktionen beschrieben , werden. Da die„run-out" Fehler Transl at ionen und/oder Rotationen und/oder Skal ierungen zwischen wohldefinierten Punkten darstellen, werden sie mit Vorzug durch
Vektorfunktionen beschrieben. Im Allgemeinen handelt es sich bei dieser Vektorfunktion um eine Funktion f: R2-»R2, daher um eine
Abbil dungs Vorschrift, die den zweidimensionalen Definitionsbereich der Ortskoordinaten auf den zweidimensionalen Wertebereich von„run-out" Vektoren abbildet. Obwohl noch keine exakte mathematische Anal yse der entsprechenden Vektorfelder vorgenommen werden konnte, werden
Annahmen bezügl ich der Funktionseigenschaften getätigt. D ie
Vektorfunktionen sind mit großer Wahrscheinlichkeit mindestens C" n>= l , Funktionen, daher mindestens einmal stetig di ferenzierbar. Da die„run-out" Fehler vom Kontaktierungspunkt zum Rand hin zunehmen, wird die
Divergenz der Vcklorfunktion wahrscheinlich von Null verschieden sein. B ei dem Vektorfeld handelt es sich daher mit großer Wahrscheinl ichkeit um ein Quellenfeld.
Aufgabe der vorl iegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung und ein
Verfahren zum B onden zweier Substrate vorzusehen, mit dem die
Bondgenauigkeit, insbesondere am Rand der Substrate, erhöht wird.
Die vorl iegende Aufgabe wird mit den Merkmalen der Ansprüche 1 und 9 gelöst. Vorteilhafte Weiterb ildungen der Erfindung sind in den
Unteransprüchen angegeben. In den Rahmen der Erfindung fal l en auch sämtliche Kombinationen aus zumindest zwei in der Beschreibun g, in den Ansprüchen und/oder den Zeichnungen angegebenen Merkmalen. B ei angegebenen Wertebereichen sollen auch innerhalb der genannten Grenzen liegende Werte als Grenzwerte offenbart gelten und in beliebiger
Kombination beanspruchbar sein.
Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, dass mindestens eines der beiden Substrate, vorzugsweise das zweite und/oder untere Substrat zur Ausrichtung der Kontaktflächen, insbesondere ausschließlich, außerhalb der
B ondi nitiierungs stelle vor und/oder während des B ondens , insbesondere während des Laufs einer Bondwel le, vorzugsweise beim Fusionsbonden, verformt wird. Mit Verformung ist insbesondere ein von einem
Ausgangszustand, insbesondere Ausgangsgeometrie, der Substrate
abweichender Zustand gemeint. Erfindungsgemäß wird das B onden nach einer Kontaktierung der Kontaktflächen insbesondere durch Fallenlassen/Los losen des ersten/oberen S ubstrats , initiiert. Entsprechende B ondmittel sind vorrichtungsgemäß insbesondere vorgesehen.
Im Ausgangszustand sind die Substrate im Regelfall, insbesondere an einer Kontaktfläche, mehr oder weniger eben, abgesehen von etwaigen d ie
Kontaktfl che überragenden Strukturen (Mikrochips , funkt ional e B auteile) und S ubstrattoleranzen wie B iegung und/oder Dickensch wankungen . Die Substrate besitzen im Ausgangszustand aber in den meisten Fäl l en eine von Null verschiedene Krümmung. Für einen 300 mm Wafer sind Krüm mungen von weniger als 50μπι übl ich. Mathematisch gesehen kann eine Krümmung als ein Maß für die lokale Abweichung einer Kurve von ihrem ebenen
Zustand angesehen werden. Im konkreten Fall werden Substrate betrachtet , deren Dicken gering im Vergleich zum Durchmesser sind. Daher kann man i n guter Näherung von der Krümmung einer Ebene sprechen. Im Fall einer Ebene ist der anfangs erwähnte, ebene Zustand die Tangentialebene der Kurve im Punkt, an welchem man die Krümmung betrachtet. Im Al l geme inen besitzt ein Körper, im speziellen Fall das Substrat, keine homogene
Krümmung, so dass die Krümmung eine explizite Funktion des Ortes i st. So kann es beispielsweise sein, dass ein nicht ebenes Substrat im Zentrum eine konkave Krümmung, an anderen Stell en al lerdings eine konvexe K rümmung aufweist. Im weiteren Verlauf werden Krümmungen im einfachsten Fall i mmer nur als konkav oder konvex beschrieben, ohne auf nähere
math ematische Einzelheiten einzugehen, die Mathematikern. Physikern und Ingenieure bekannt s ind.
Ein , insbesondere eigenständi ger, Kerngedanke für die meisten
erfindungsgemäßen Ausführungs formen besteht vor al lem darin, dass d ie Krümmungsradien der zwei miteinander zu verbündenden Substrate
zumindest im Kontaktierungsbereich der Substrate, also an einer B on d front der B ondwel le bzw. an der Bondlinie gleich sind, oder zumindest nur marginal voneinander abweichen . Die Differenz der beiden Krümmungsrad i en an der Bondfront/Bondl inie der S ubstrate ist dabei kleiner als 10m. mit Vorzug kleiner als I m, mit größerem Vorzug kleiner als 1 cm, mit größtem Vorzug kleiner als 1 mm, mit allergrößtem Vorzug kl einer als 0.01 mm, am bevorzugtesten kleiner als Ι μ ηι. Im Allgemeinen sind alle erfindungsgemäßen Ausführungsformen von Vorteil , welche den Krümmungsradius R l
m inimieren. Mit anderen Worten: Die Erfindung betrifft eine Methode und eine Anl age, mit deren Hilfe man in der Lage ist, zwei Substrate so
m iteinander zu verbünden, dass deren lokale Ausrichtungs ehler, di e man als „run-out" Fehler bezeichnet, minimal werden. Der Erfindung liegt dabei weiterhin der Gedanke zu Grunde, die beiden mitei nander zu verbündenden. Substrate, insbesondere durch geometrische, thermodynamische und/oder mechanische Kompensationsmechanismen, so zu steuern, dass die
Einflussfaktoren auf die sich ausbildende Bondwelle so gewählt werden, dass die beiden Substrate sich während des B ondens lokal nicht zueinander verschieben, al so richtig ausgerichtet s ind. Des Weiteren beschreibt die Erfindung einen Artikel , bestehend aus zwei miteinander verbondeten
Substraten mit erfindungsgemäß reduziertem„run-out" Fehler.
Ein erfindungsgemäß charakteristischer Vorgang beim B onden, insbesondere Permanent bonden. vorzugsweise Fusionsbonden, ist die mögl ichst zentrische, punktförmige Kontaktierung der beiden Substrate. Im Allgemeinen kann die Kontaktierung der beiden Substrate auch nicht zentrisch erfol gen . Die sich von einem nicht-zentrischen Kontaktpunkt ausbreitende B ondwel le würde unterschiedliche Stellen des Substratrandes zu unterschiedlichen Zeiten erreichen. Entsprechend kompl i iert wäre d ie vollständige mathematischphysikal ische Beschreibung des B ondwellenverhaltens und der daraus
resultierenden„run-out" Fehler Kompensat ion. Im Allgemeinen wird allerdings der Kont aktie ungspunk nicht weit vom Zentrum des Substrats entfernt liegen, sodass di e sich daraus möglicherweise ergebenden Effekte, zumindest am Rand vernachlässigbar ind. Die Distanz zwischen einem mögl ichen nicht-zentrischen Kontaktierungspunkt und dem Zent u m des Substrats ist dabei kl einer als 100mm, mit Vorzug kleiner al s 1 Omni , mit größerem Vorzug kleiner als 1mm, mit größtem Vorzug kle iner als 0. 1 mm, mit al lergrößtem Vorzug kleiner als 0.01 mm. Im weiteren Verlauf der
B eschreibung soll unter Kontaktierung im Regel fal l eine zentrisch e
Kontaktierung gemeint sein. Unter Zentrum versteht man im weiteren S inne m it Vorzug den geometrischen Mittelpunkt eines zugrundel iegenden, wenn nötig um Asymmetrien kompensierten, idealen Körpers. B ei industrieübl ichen W afern mit einem Notch ist das Zentrum also der Kreismittelpunkt des Kreises, der den idealen Wafer ohne notch , umgibt. B ei industrieüblichen Wafern mit einem Fiat (abgeflachte Seite) ist das Zentrum der
Kreism ittelpunkt des Kreises , der den idealen Wafer ohne flat, umgibt.
Analoge Überlegungen gelten für bel iebig geformte S ubstrate . In speziel l en Ausführungsformen kann es allerdings von Nutzen sei n, unter dem Zentrum den Schwerpunkt des Substrats zu verstehen . Um eine exakte, zentrische, punktförmige Kontaktierung zu gewährleisten wird eine mit einer zentrischen Bohrung und einem darin translatorisch bewegbaren Stift versehene obere Aufnahmeeinrichtung (Substrathalter) mit einer radial symmetrischer
Fixierung versehen. Denkbar wäre auch die Verwendung einer Düse, welche ein Fl uid, mit Vorzug ein Gas an Stelle des Stifts zur Druckbeaufschlagung verwendet . Des Weiteren kann sogar vol l ständi g auf di e Verwendung derartiger Elemente verzichtet werden, wenn man Vorrichtungen vorsieht, welche die beiden Substrate durch eine Translationsbewegung aneinander annähern können unter der weiteren Voraussetzung, dass mindestens eines der beiden Substrate, mit Vorzug das obere Substrat, auf Grund der
Grav itation eine aufgeprägte Krümmung in Rich tung des anderen Substrats besitzt, und daher bei der erwähnten translatorischen Annäherung, bei genügend geringem Abstand zum entsprechenden zweiten Substrat,
automatisch kontaktiert.
B ei der radial symmetrischen Fixierung handelt es sich entweder um
angebrachte Vakuumlöcher, eine kreisrunde Vakuumlippe oder vergleichbare Vakuumelemente, mit deren Hilfe der obere Wafer fixiert werden kann.
Denkbar ist auch die Verwendung einer elektrostatischen
Aufnahmeeinrichtung. Der Stift in der zentrischen B ohrung des oberen Substrathal ters dient der steuerbaren Durchb iegung des fixierten, oberen Substrats.
Nach der erfolgten Kontaktierung der Zentren bei der Substrate wird die Fixierung des oberen Substrathalters gelöst. Das obere Substrat fällt einerseits durch die Schwerkraft und andererseits bedingt durch eine entlang der B ondwel le und zwischen den Substraten wirkende Bondkraft nach unten. Das obere Substrat wird radial vom Zentrum zum Seitenrand hin mit dem unteren Substrat verbunden. Es kommt so zu einer erfindungsgemäßen Ausb ildung einer radialsymmetrischen Bondwelle, die insbesondere vom Zentrum zum Seitenrand verläuft. Während des B ondvorganges drücken d ie beiden Substrate das zwischen den Substraten vorl iegende Gas , insbesondere Luft, vor der Bondwel l e her und sorgen damit für eine B ondgrenzfläche ohne G aseinschlüsse. Das obere Substrat liegt während des Fallens praktisch au f einer Art Gaspolster.
Das erste/obere Substrat unterliegt nach der Initiierung des Bonds an einer B ondinitiierung tell e keiner zusätzlichen Fixierung, kann sich also
abgesehen von der Fixierung an der Bondinitiierungs st eile frei bewegen und auch verzerren. Durch die erfindungsgemäß voranschreitende B ond wel l e, di e an der B ondwellenfront auftretenden S pannungszustände und die
vorliegenden geometrischen Randbedingungen wird j edes bezügl ich seiner radialen Dicke infinitesimal kleine Kreissegment einer Verzerrung
unterl i egen . Da di e Substrate allerdings starre Körper darstel len, summieren sich die Verzerrungen als Funkt ion des Abstandes vom Zentrum her auf. Dies führt zu„run-out" Fehlern, die durch das erfindungsgemäße Verfahren und die erfindungsgemäße Vorrichtung beseitigt werden sollen.
Die Erfindung betrifft somit auch ein Verfahren und eine Vorrichtung, um den„run-out"-Fehler zwischen zwei gebondeten Substraten, insbesondere durch thermodynamische und/oder mechani che Kompensationsmechanismen, beim Bonden zu verringern oder sogar ganz zu vermeiden. Des Weiteren behandelt die Erfindung einen entsprechenden Artikel, der mit der
erfindungsgemäßen Vorrichtung und dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellt wird.
In einer ersten Ausführungsform der Erfindung ist die erste, insbesondere untere, Aufnahm eeinrichtung an der Aufnahmefläche zur Aufnahme des ersten Substrats konvex oder konkav geschl iffen und/oder pol iert und/od er geläppt. Mit Vorzug ist die Auf nahm eeinrichtung konvex geschliffen, sodass ein darauf fixiertes Substrat in R ichtung des Kontaktierungspunkt
beziehungsweise der Bondinitiierungsstellc gekrümmt w ird. Ein Krümmungsradius der ersten und/oder zweiten Aufnahmeflächen ist insbesondere größer als 0,01m, mit Vorzug größer als 0,1m, mit größerem Vorzug größer als 1 m, mit noch größerem Vorzug größer als 10m, mit allergrößtem Vorzug größer als 100m, am bevorzugtesten größer als 1000m. In einer besonderen Ausführungsform ist der Krümmungsradius der
ersten/unteren Au nahmeeinrichtung gleich groß, insbesondere zumindest innerhalb derselben Größenordnung einer Zehnerpotenz, wie der durch die zweite/oberen Aufnahmeeinrichtung durch Stellmittel, insbesondere einen Stift, erzeugte Krümmungsradius des zweiten/oberen Substrats. Dadurch kommt es zu einer bezüglich der Geometrie symmetrischen Ausgangsstellung für das Bonden.
Es ist von Vorteil, wenn die erste/untere Aufnahmefläche so geschliffen ist/sind, dass die physikalische Asymmetrie durch das normal auf die
Aufnahmefläche wirkende, Gravitationsfeld dahingehend korrigiert wird, dass sich die Bond wellenfront immer innerhalb derselben, horizontalen Ebene bewegt.
Das erste und/oder zweite Substrat ist mit Vorzug radial symmetrisch. Obwohl das Substrat jeden beliebigen Durchmesser besitzen kann, ist der
Waferdurchmesser insbesondere 1 Zoll, 2 Zoll, 3 Zoll, 4 Zoll, 5 Zoll, 6 Zoll, 8 Zoll, 12, Zoll. 18 Zoll oder größer als 18 Zoll. Die Dicke des ersten und/oder zweiten Substrats liegt zwischen Ι ηι und 2000μηι, mit Vorzug zwischen ΙΟμηι und 1500μιη, mit größerem Vorzug zwischen ΙΟΟμηα und ΙΟΟΟμηι.
In besonderen Ausführungsformen kann ein Substrat auch eine rechteckige, oder zumindest von der kreisförmigen Gestalt abweichende, Form besitzen. Unter einem Substrat wird im weiteren Verlauf insbesondere ein Wafer verstanden.
In einer zweiten Ausführungsform der unteren/ersten Aufnahmceinrichtiiiig ist der Krümmungsradius der unteren/ersten Aufnahmefl che einstellbar. In einer besonders ein fach Ausführungs form besitzt die untere
Au nahmeeinrichtung eine Auflageplatte, die dick genug ist, um nicht durch ungewollte äußere Einfl üsse verformt zu werden, allerdings dünn genug gefertigt wurde um durch eine gezielte, von unten wirkende Kraft in e ine konvexe oder konkave Form gebracht zu werden. Insbesondere weist d ie Auflageplatte eine B iegesteifigkeit von größer 10 7 Nm2, mit Vorzug größer als 10 ' Nm2, mit größerem Vorzug größer 1 Nm2, mit noch größerem Vorzug größer I Q3 Nm2, mit allergrößtem Vorzug größer 107 Nm2 auf.
Gemäß einer Ausführung der Erfindung besteht ein, insbesondere
innenliegender, Tei l der unteren/ersten Aufnahmeeinrichtung aus einer pneumatisch und/oder hydraulisch und/oder piezoelektrisch dehnbaren und/oder kontrahierbaren mit Vorzug hochfesten, elastischen Membran. Die pneumatischen und/oder hydraulischen und/oder piezoelektrischen Elemente sind dabei mit Vorzug gleichverteilt und einzeln ansteuerbar.
In einer weiteren, erfindungsgemäßen Ausführungsform wird die untere/erste Aufnahmeeinrichtung so ausgebildet, dass das untere/erste S ubstrat durch Heiz- und/oder Kühlmittel noch vor der Kontaktierung gezielt verformt, insbesondere lateral gestaucht oder gedehnt, wird, und zwar um den B etrag, der bei der späteren Kontaktierung notwendig ist, um den entstehenden„run- out" Fehler bestmögl ich, im Ideal fal l vollständig, zu kompensieren. Da die Fixierung des unteren/ersten Substrats in dieser Ausführungsform erst nach der entsprechenden Verformung erfolgt , muss man keinen besonderen Wert auf d ie thermischen Ausdehnungskoeffizienten des unteren/ersten Substrats bzw. der unteren/ersten Aufnahmeeinrichtung legen.
In einer weiteren besonderen, erfindungsgemäßen Vorgehensweise erfolgt die Kontaktierung des unteren/ersten Substrats vor einem Heiz- und/oder
Kühlvorgang. Durch die Fixierung vor dem Heiz- und/oder Kühlvorgang folgt das untere/erste Substrat der thermischen Dehnung der unteren/ersten
Au f n ah m ee i n r i chtu ng , sodass deren thermischer Ausdehnungskoeffizient genutzt erden kann , um die (thermische) Dehnung des Substrats
vorzugeben. Mit Besonderem Vorzug sind die thermischen Ausdehnungskoeffizienten des unteren/ersten Substrats und der
unteren/ersten Aufnahmeeinrichlung gleich, sodass beim Heiz- und/oder Kühl Vorgang keine oder zumindest geringe thermische Spannungen im unteren/ersten Substrat entstehen. Erfindungsgemäß denkbar wäre es auch, dass die thermischen Ausdehnungskoeffizienten unterschi edl ich sind. Im Fal le unterschiedlicher thermischer Ausdehnungskoeffizienten wird das untere/erste Substrat im Mittel der thermischen Dehnung der unteren/ersten Aufnahmeeinrichtung fol gen .
Die einzustellenden Temperaturdifferenzen zwischen der ersten und zweiten Aufnahmeeinrichtung betragen dabei weniger als 20°C, mit Vorzug wenig als 10°C, mit größerem Vorzug weniger als 5°C, mit größtem Vorzug weniger als 2°C , m it allergrößtem Vorzug weniger als 1 °C . Jede Aufnahmeeinrichtung wird erfindungsgemäß möglichst homogen durchwärmt. Insbesondere ist ein Temperaturfeld vorgesehen, dessen Temperaturdifferenz an zwei beliebigen Punkten kleiner als 5 °C ist, mit Vorzug kleiner als 3 °C . mit größerem Vorzug kleiner als 1 °C, mit größtem Vorzug kleiner al s 0. 1 °C, mit allergrößtem Vorzug kleiner als 0.05 °C ist.
In einer weiteren, erfindungsgemäßen Aus führungsform wird d ie erste
Aufnahmeeinrichtung so konstruiert, dass die Aufnahmeeinrichtu ng an der Aufnahmefläche gezielt durch mechanisch e Stellmittel verformt,
insbesondere gestaucht und/oder gedehnt, werden kann . Das auf der
Oberfläche der ersten Au nahmeeinrichtung fixierte erste Substrat wird au f Grund seiner in B ezug auf die Aufnahmeeinrichtung geringen Dicke durch die Verformung der Aufnahmeeinrichtung mit ver ormt. Die Verformung der Aufnahmeeinrichtung erfolgt dabei mit pneumatischen und/oder
h ydraul ischen und/oder piezoelektrischen Aktuatoren, die, mit V orzug radial symmetrisch , um die S ubstrataufnahme verteilt angeordnet worden sind. Für eine vollständig symmetrische, rein radiale Verzerrung benötigt man mindestens drei Aktuatoren, die zueinander in einem Winkelabstand von 1 20° angeordnet sind. Mit Vorzug werden mehr als 5 Aktuatoren, mit größerem Vorzug mehr als 10 Aktuatoren, mit größerem Vorzug mehr als 20 Aktuatoren, mit größtem Vorzug mehr als 30 Aktuatoren, mit allergrößtem Vorzug meh als 50 Aktuatoren, verwendet.
In einer weiteren erfindungsgemäßen Ausführungsform werden die
Kontaktflächen der beiden Substrate in einer vertikalen Lage miteinander gebondet. Die Aufgabe dieser speziellen Ausführungs form besteht vor al l em darin, die Verformung der Wafer durch die Gravitation zu reduzieren, mit Vorzug zumindest symmetrisch anzuordnen, mit besonderem V orzug eine Verformung durch Gravitation ganz zu verhindern und/oder zu kompensieren. Mit Vorzug werden in der vertikal en Position beide S ubstrate, insbesondere gleichzeitig, symmetrisch zur B ondiniti ierungsstelle durch je ein Stellmittel, insbesondere j e einen Stift, zur B ondinitiierungsstelle hin gekrümmt, sodass die konvexen Oberflächen in der Bondinitiierungsstelle kontaktiert werden können. Der, insbesondere selbsttätige. Bondvorgang mit B ondwelle wird durch Loslösen mindestens eines der Substrate von der Aufnahmefläche gestartet.
Die erfind ungs gern äßen Ausführungsformen werden mit Vorzug in einer definierten, insbesondere steuerbaren, Atmosphäre, insbesondere unter Normaldruck, betrieben.
Alle erwähnten erfindungsgemäßen Ausführungsformen können in einer speziellen Ausführungs Variante im Niedervakuum , mit größerem Vorzug im Hochvakuum , m it noch größerem V orzug im Ultrahochvakuum durchgeführt, insbesondere bei einem Druck von weniger als 100 mbar, mit Vorzug weniger als 10" ' mb r. mit größerem Vorzug weniger als 10"3 mbar. mit noch größerem Vorzug weniger al s 1 0" 5 mbar, mit all ergrößtem Vorzug weniger als 10" 8 mbar.
In einer weiteren erfindungsgemäßen Ausführungsform wird mindestens ei n. Einflussfaktor auf di e Ausbreitung, insbesondere
Ausbreitungsgeschwindigkeit, der B ond wel l e und/oder indesten s ei n
Einfl ussfaktor auf die Ausrichtung der Kontaktflächen, gesteuert. D i e Bondwelle wird insbesondere bezüglich Ihrer Geschwindigkeit kontrol l iert . Die Steuerung der G eschwindigkeit erfolgt insbesondere indirekt über die Zusammensetzung und/oder die Dichte und/oder die Temperatur ei nes G ases in der Atmosphäre, in der gebondet wird. Obwohl das erfindungsgemäße Verfahren bevorzugt in einer Niederdruckatmo Sphäre, mit Vorzug im V akuum durchgeführt werden soll, kann es vorteilhaft sein, den Bondprozess in ei ner anderen Atmosphäre, insbesondere im B ereich des Normaldrucks,
durchzuführen. Durch den punktförmigen Kontakt läuft d ie Bondwcl lc beim erfindungsgemäßen Bonden immer radialsymmetrisch vom Zentru m zum Seitenrand und drückt bei diesem Vorgang ein ringförmiges Gaspolster vor sich her. Entlang der, insbesondere näherungsweise kreisringförm igen , Bondlinie (B ondfront ) der B ondwelle herrscht eine derart große B ondkraft vor, dass Einsch lüsse von G asblasen gar nicht erst entstehen können. Das obere/zweite Substrat l iegt daher w hrend des Bondvorgangs au f ei ner Art Gaspolster.
Durch erfinduiigsgemäße Aus ahl eines Gases/Gasgemisches und Definition der Eigenschaften des Gaspolsters wird festgelegt, wie schnell und wie stark sich das zweite Substrat absenken und/oder dehnen kann . Des Weiteren kann über die Eigenschaften des Gases auch die Geschwindigkeit der B ondwelle gesteuert werden.
Gemäß einem weiteren , insbesondere eigenständ igen, Aspekt de Erfindung wird die Zusammensetzung des Gasgemisches gewählt . Mit V orzug werden Gase mit möglichst leichten Atom- und/oder Molekülsorten verwendet, die bei gegebener Temperatur eine entsprechend geringe Trägheit bes itzen . Dahe ist die molare Masse mindestens einer der Gaskomponenten k l ei ner als 1000 g/mol, mit Vorzug kl einer als 100 g/mol. mit größerem Vorzug kleiner als 10 g/mol, mit allergrößtem Vorzug kleiner als 1 g/mol . Mit We iteren Vorzug wird die Dichte des verwendeten Gasgemisches, insbesondere so gering wie möglich und/oder die Temperatur, insbesondere so hoch wie nötig, eingestellt. Die Gasdichte wird erfindungsgemäß kl einer als 1 0 kg/m3 , mit Vorzug kleiner als 1 kg/m , mit größerem V orzug kleiner als 0. 1 kg/m" , mit allergrößtem Vorzug größer als 0.01 kg/m3 eingestellt. Die Temperatur des Gases wird erfindungsgemäß größer als 0°C, mit V orzug größer als 100°C , mit größerem Vorzug größer als 200°C, mit größtem V orzug größer als
300°C, mit allergrößtem Vorzug größer als 400°C eingestellt.
Erfindungsgemäß werden d ie vorgenannten Parameter so gewählt , dass das gewähl te Gasgemisch bzw. einzelne Komponenten des Gasgemisches nicht kondensieren . Hierdurch werden Flüssigkeitseinschlüsse an der O berfläche der Substrate während des B ondvorgangs vermieden.
Für Gasgemische, deren thermodynamische Eigenschaften in
Mehrkomponentenpashendiagrammen dargestellt werden, gelten analoge Überlegungen. Durch die Änderung von Zusammensetzung u d/oder Druck und/oder Temperatur des Gasgemisches w ird die Kinematik des erst en und/oder zweiten Substrats beeinflusst und damit auch der„run-out" Fehler vermindert.
Mit besonderem Vorzug werden alle veränderbaren Parameter so gewählt, dass die B ondwelle sich mit einer möglichst optimalen Geschwindigkeit bezüglich der vorhandenen Anfangs- und Randbedingungen ausbreitet. Vor allem bei vorhandener Atmosphäre, insbesondere Normaldruck, ist eine möglichst langsame Geschwindi gkeit der B ondwelle vorteilhaft. D ie
Geschwindi gkeit der B ondwelle ist dabei geringer als 200 cm/s, mit größerem Vorzug gering er als 1 00 cm/s, mit größerem Vorzug geringer als 50 cm/s, mit größtem Vorzug geringer als 10 cm/s, mit al lergrößtem Vorzug geringer als 1 cm/s . Insbesondere ist die Geschwindigkeit der B ondwel le größer als 0, 1 cm/s. Insbesondere ist die Geschwindigkeit der B ondwelle entlang der Bondfront konstant. In einer Vakuumumgebung wird die Geschwindigkei t der B ondwel le automatisch schneller, da die s ich entl ang der B ondlinie
verbindenden S ubstrate keinen Widerstand durch ein Gas überwinden müs sen.
Gemäß einem weiteren, insbesondere eigenständigen, Erfindungsaspekt wird an der oberen/zweiten Aufnahmeeinrichtung eine V erstei fungspl att e zwischen der Aufnahmefl äche und dem oberen/zweiten Substrat eingefügt . D ie Versteifungsplatte ist, insbesondere temporär, mit dem Substrat gebondet und ändert das Verhalten des oberen/zweiten Substrats beim Bonden. Di e
Verbindung zwischen der Versteifungsplatte und dem oberen/zweiten
Substrat erfolgt durch eine konstruktionstechnische Fixierung in der
Versteifungsplatte. B ei der Fixierung handel t es sich mit Vorzug um ei ne Vakuumfixierung. Denkbar wären auch elektrostatische Fixierungen , hauchdünne, die Substrate am Rand umspannende, mechanische Fixierungen, Adhäs ionsfixierungen durch eine hochpol ierte Versteifungsplattenoberfläche.
Gemäß einem weiteren, insbesondere eigenständigen, Erfindungsaspekt wird der„run-out" Fehl er durch einen sehr geringen Abstand zwischen den be iden Substraten vor der Kontaktierung und/oder außerhal b der
Bondi nitiierungs stelle eingestellt. Der Abstand beträgt insbesondere weniger als 1 00 μ m , mit Vorzug weniger als 5()μ m, mit größerem Vorzug weniger al s
20μ ιη, mit allergrößtem Vorzug weniger als Ι μ ιη.
Erfindungsgemäß ist es besonders bevorzugt, wenn der Krümmungsradius beider Substrate, insbesondere an der Bondfront, um weniger als 5 % voneinander abwe icht, vorzugsweise gleich ist.
In einer weiteren speziellen Weilerbildung all er erfindungsgemäßen
Ausführungsformen bes itzen die untere/erste Aufnahmeeinrichtung und/oder die obere/zwei te Aufnahmeeinrichtung als Stellmittel, insbesondere zentrische Bohrungen und einen Stift, mit deren Hilfe eine konvexe
Krümmung der j eweiligen Substrate in Richtung der Bondinitiierungsstelle bewirkt werden kann.
Die Steuerung der vorbeschriebenen Schritte und/oder B ewegungen und/oder Abl äufe, insbesondere der Stifte zur Durchbiegung der S ubstrate, die
Annäherung der Substrate zuein ander, die Temperatur- , Druck- und
Gaszusammensetzungskontrolle, erfolgt mit Vorzug über eine zentrale Steuereinheit, insbesondere einen Computer mit einer Steuerungssoftware. Die A ufnahme und Fixierung der Substrate auf Aufnahmeeinrichtungen kann auf j ede erdenkl iche Art mit j eder bekannten Technologie erfolgen .
Erfindungsgemäß denkbar sind insbesondere V akuumprobenhalter,
el ektrostatische Probenhalter, Probenhalter mit mechani scher Klemmung. Mit Vorzug werden die S ubstrate au schließlich an einem möglichst weit außen l iegenden Kreissegment im Bereich des S eitenrandes fixiert, um den
Substraten weitestgehende Flexibilität und Dehnungsfreihe it innerhalb der Fixierung zu gewähren.
Ein weiterer, ins besondere eigenständiger, Erfindungsaspekt besteht darin, möglichst koordiniert und gl eichzeitig quasi-selbsttätig zu kontakt ieren , indem zumindest eines der Substrate mit einer, insbesondere konzentrisch zur M itte M einer Kontaktfläche des Substrats radial nach außen verlaufenden, Vorspannung vor dem Kontaktieren beaufschl agt wird und dann nur der B eginn des Kontaktierens beeinflusst wird, während nach Kontaktieru ng eines Abschnitts, insbesondere der Mitte M des Substrats, das Substrat freigelassen wird und selbsttätig auf Grund seiner Vorspannung kontroll iert mit dem gegenüberliegenden S ubstrat bondei. Die Vorspannung wird durch eine Verformung des ersten Substrats mittels Verformungsmitteln erreicht, wobei die Verformungsmittel, insbesondere auf Grund ihrer Form, auf die von der B ondseite abgewandte Seite einwirken und die Verformung
entsprechend durch Einsatz unterschiedl icher ( insbesondere austauschbarer) Verformungsmittel steuerbar ist. Die Steuerung erfo lgt auch durch den Druck oder die Kraft, mit der Die Verformungsmittel auf das S ubstrat wirken.
Vortei lhaft ist es dabei, die wirksame Aufnahme fl äche der
Aufnahmeeinrichtung m it dem Halbleitersubstrat zu reduzieren, so dass das Halbleitersubstrat nur tei l weise von der Aufnahmeeinrichtung gestützt wird. Auf diese Weise ergibt sich durch die kleinere Kontaktfläche eine geringere Adhäsion zwischen dem Wafer und dem Probenhalter bezieh ungswei se der Aufnahmeeinrichtung. Eine Fixierung wird erfindungsgemäß, insbesondere ausschließlich, im B ereich des Umfangs des Halbleitersubstrats (erstes Substrat ) angelegt, so dass eine effektive Fix ierung gegeben ist bei gleichzeitig geringst möglicher wirksamer Aufnahme Π ä ch e zwischen der Aufnahmekontur der Aufnahmeeinrichtung und dem Halbleitersubstrat. Somit ist gleichzeitig ein schonendes und sicheres Ablösen des Halbleitersubstrats möglich , da die zum Ablösen des Wafers notwendigen Lösekräfte so gering wie mögl ich sind. Das Ablösen ist vor allem kontrol l ierbar, insbesondere durch Reduzierung des Unterdrucks an der Aufnahmefläche. Kontrollierbar bedeutet, dass nach dem Kontakt des Wafers mit einem zweiten Wafer. der Wafer am Probenhalter noch fixiert bl eibt und erst durch gezi elte (gesteuerte) Reduzierung des Unterdrucks an der Aufnahmefl äche ein Loslösen des
S ubstrats (Wafers) vom Probenhalter (Aufnahmeeinrichtung) , insbesondere von i nnen nach außen, bewirkt wird. Die erfindungsgemäße Ausführungsform führt vor al lem dazu, dass das Ablösen durch sehr geringe Kräfte
bewerkstelligt werden kann.
Die Substrate (Wafer) werden vor dem Bondvorgang zueinander ausgerichtet, um Deckungsgleichheit (exakte Ausrichtung, insbesondere mit ei ner
G enauigkeit von weniger als 2μ ηι, vorzugsweise weniger als 250n m . noch bevorzugter weniger als 1 50n m , am bevorzugtesten weniger als l üOnm) korrespondierender Strukturen auf deren Oberfl ächen zu gewährleisten. B ei dem erfindungsgemäßen B ond verfahren werden die Wafer ni cht plan aufeinander gelegt, sondern zunächst in der Mitte M miteinander in Kontakt gebracht, indem einer der beiden Wafer leicht gegen den zweiten Wa er gedrückt wird beziehungsweise entsprechend in Richtung des
gegenüberl iegenden Wafers verformt wird. Nach dem Loslösen des
verformten (in R ichtung des gegenüberliegenden Wafers) durchgebogenen Wafers erfolgt durch das Voranschreiten einer B ondweile ein
kontinuierliches und gleichmäßigeres, mit minimalster Kraft und damit mit minimalsten, vorwiegend horizontalen, Verzerrungen verbundenes,
insbesondere zumindest überwiegend selbsttätiges, Verschwei ßen entlang der Bondfront.
Ein weiterer, insbesondere eigenständiger, Erfindungsaspekt besteht darin, die Verformung des ersten Substrats und/oder des zweiten S ubstrats abhängig von vorgegebenen Einflussfaktoren auf den Verlauf der B ondwel l e zu steuern. Zu den Einflussfaktoren zählen unter anderem der Umgebungsdruck der di e Substrate umgebenden Atmosphäre, die Art des in der Atmosphäre vorliegenden Gas/Gasgemisches, die Temperatur, der Abstand zwischen den S ubstraten außerhalb der B ondinitiierungss teile, die B ondstärke der
S ubstrate, etwaige Vorbehandlungsschritte, die B eschaffenheit der
Oberflächen, die Oberflächenrauigkeit, die Material ien an der Oberfl äche sowie Waferdicke/B iegestei figkeit .
Soweit die Bond initiierungs telle im Zentrum der Kontaklfl ächen der
Substrate angeordnet wird, ist ein gleichmäßiger, insbesondere
konzentrischer Verl auf der Bondwelle realisierbar.
Besonders vorteilhaft ist es , wenn die Verformung des ersten Substrats und/oder des zweiten Substrats in lateraler Richtung und/oder konv ex und/oder konkav erfolgt, noch bevorzugter Spiegelsymmetrisch. Mit anderen
Worten folgt die Verformung erfindungsgemäß insbesondere durch Dehnung oder Stauchung oder Krümmung des ersten Substrats und/oder des zweiten Substrats.
B evorzugt weisen die Substrate annähernd identische Durch messer D l . D 2 auf, di e in sbesondere um weniger als 5 mm, vorzugsweise weniger als 3 mm, noch bevorzugter weniger als 1 mm, voneinander abweichen.
Gemäß einem weiteren, insbesondere eigenständigen, Erfindungsaspekt erfolgt die V erformung durch mechani sche Stellmittel und/oder durch
Temperatursteuerung der ersten und/oder zweiten Aufnahmeeinrichtungen .
Indem das erste Substrat und/oder das zweite Substrat ausschließlich im B ereich der Seitenwände an den ersten und/oder zweiten Aufnahmeflächen fixiert wird, ist die erfindungsgemäße Verformung leichter realisierbar.
Vorrichtungsgemäß offenbarte Merkmale sollen auch als verfahrensgemäß offenbart gelten und umgekehrt . Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergchen si ch aus der nachfolgenden B eschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele sowie anhand der Zeichnungen. Diese zeigen in:
Figur 1 eine schematische Querschnittsansicht einer ersten
A u s f ü h r u n g s orm der erfindungsgemäßen Vorrichtung.
Figur 2 eine schematische Querschnitts ansieht ei ner zweiten
Aus führungs form der erfindungsgemäßen Vorrichtung,
Figur 3 eine schematische Querschnittsansicht einer dritten
Aus führungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung.
Figur 4 eine schematische Querschnittsansicht einer vierten
Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung,
Figur 5 eine schematische Querschnittsansicht einer fünften
Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung,
Figur 6 eine schematische Darstellung des erfindungsgemäßen
Verfahrensschritts des B ondens,
Figur 7a eine schematische Darstell ung eines gebondeten Substratpaares mit einem Ausrichtungsfehler dx im Bereich eines S eitenrandes der Substrate,
Figur 7b eine schemati sche Vergrößerungsdarstellung zweier Su bstrate im
B ereich einer erfindungsgemäßen B ondwelle,
Figur 7c eine schemat i scher V ergrößerungsdarstellung zweier Substrate ohne Ausrichtungsfehler/run-out-Fehler, Figur 7d eine schematische Vergrößerungsdarstellung zweier Substrate mit Ausrichtungsfehler/run-out-Fehl er und
Figur 8 eine symbol ische Darstellung der möglichen Overl ay- bzw.„run- out" Fehler.
In den Figuren sind gl eiche B autei le und B auteile mit der gl eichen Funktion mit den gleichen B ezugszeichen gekennzeichnet.
In Figur 1 ist eine untere erste Aufnahmccinrichtung 1 als
Substratprobenhalter gezeigt, die aus einem Grundkörper 9 und einem
Aufnahmekör per 2 besteht . Der Aufnahmekör per 2 weist eine nach oben i n Richtung einer gegenüberliegenden zweiten Aufnahmeeinrichtung 4
angeordnete erste Aufnahmefläche 2o auf, die im gezeigten Fall konvex gekrümmt ist. Der Aufnahmekörper 2 ist als Modul austauschbar ausgebildet und vom Grundkörper 9 trennbar. Der Grundk rper 9 dient somit al s A dapter zwischen dem Aufnahmekörper 2 und einer unteren Aufnahmeeinheit des B onders (nicht dargestellt). Dadurch wird es erfindungsgemäß möglich, bei B edarf einen schnel len Wech sel zwischen verschiedenen, modulartigen Aufnahmekörpern 2 mit untersch iedl ichen Krümmungsradien R
durchzu ühren.
An dem Aufnahmekörper 2 sind Fixiermittel 6 in Form von Vakuumb ahnen angeordnet, mit wel chen ein unteres, erstes Substrat 3 n der Aufnahmefläche 2o fi xierbar ist.
Da der Krümmungsradius R erfindungsgemäß vorzugsweise sehr g o ist und somit d ie Krümmung mit dem Auge prakti sch nicht erkennbar ist (d ie
Darstellung in den Figuren ist stark übertrieben und schematisiert), ist es erfindungsgemäß denkbar, die erste Aufnahmecinrichtung ohne Fix iermittcl 6 auszuführen und das erste Substrat schließlich auf die Aufnahmefl äche 2o zu legen. Erfindungsgemäß denkbar ist auch eine Adhäs ion durch
elektrostatische, el ektrische oder magnet ische Fixiermittel.
Die zweite, als Substrat probenhalter ausgebildete Aufnahmeei nrich t ung 4 besteht aus einem Grundkörper V mit einer zweiten Aufnahmefläche 2o \ d i e insbesondere in konzentrischen Abschnitten äquidistant zu entsprechenden konzentrischen Abschnitten der erst en Aufnahmefläche 2o ausrichtbar ist.
Der Grundkörper V weist eine Öffnung 5 in Form einer Bohrung und
Fixiermittel 6 ' ähnl ich den Fixiermittel n der ersten Aufnahmeeinrichtung 1 auf.
Die Fixiermittel 6' dienen zur Fixierung eines oberen, zweiten S ubstrats 8 an einer von der Kontaktfl äche 8k des zweiten Substrats 8 abgewandten S eite.
Stellmittel in Form eines Stifts 7 dienen der Verformung (hier:
Durchbiegung) und somit, vor allem der punktförmigen, Annäherung des zweiten Substrats 8 an das gekrümmte erste Substrat 3 , insbesondere im B ereich eines Krümmungsmaximums .
In einer besonderen Ausführungsform ist es erfindungsgemäß denkbar, den Aufnahmekörper 2 als dehnbares, pneumatisch und/oder hydraulisch expandierbares und kontrahierbares B auteil , insbesondere Kissen,
insbesondere aus temperatur- und/oder korrosionsbeständigem Material . auszubilden .
Figur 2 zeigt eine zweite Ausführungsform mit einem Auf nah mekörper 2 " , bei dem die erste Aufnahmefläche 2o durch ein al s Zug- und/oder
Druckstange ausgebildetes Stellelement 10 kontrolliert verformbar ist. D ie Au nahme 2 " weist einen, insbesondere konzentrisch uml aufenden .
Fi x ierabschnitt 1 6 und einen für die erste Aufnahmefl äche 2o umfassenden Verformungsabschnitt 1 7 auf. Der V erformungsabschnitt 17 weist zumindest überwiegend eine konstante Dicke und somit eine überwiegend konstante Biegesteifigkeit auf. Das Stellelement 10 ist an der zur ersten
Aufnahmefläche 2o abgewandten Stellseite des Verformungsabschnitts 17 angeordnet, insbesondere fixiert. Mittels des Stellelements 10 ist der
Verformung sab schnitt 17 im Mikromet erb ereich verformbar, insbesondere konvex und konkav krümm bar. Das Stellelement 10 verfährt dabei mehr al 0.01 μ m , mit Vorzug mehr als +/- 1 μηι, mit größerem Vorzug mehr als +/- 1 m , mit größtem Vorzug mehr als +/- ΙΟΟμητ, mit allergrößtem V rzug mehr als +/- 1mm, am bevorzugtesten mehr als +/- 10mm. Im Übrigen entspricht die Ausführungsform gemäß Figur 2 der Ausführungsform gemäß Figur 1.
Figur 3 zeigt eine dritte Ausführungsform mit einer ersten
Au nahmeeinrichtung 1 mit einem Aufnahmekör per 2"'. Der
Aufnahmekörper 2*" weist die erste Aufnahmefläche 2o zur Aufnahme des ersten Substrats 3 auf. Weiterhin umfasst die erste Aufnahmeeinrichtung 1 bei dieser Ausführungsform Temperatursteuerungsmittel 11 zur
Temperatur Steuerung (Heizung und/oder Kühlung) des Aufnahmekörpers 2" ' zumindest im Bereich der ersten Au tnahmefiäche 2o, vorzugsweise des gesamten Aufnahmekörpers 2 * ' ' .
In der ersten Vorgehens weise wird das erste Substrat 3 auf dem geheizten Aufnahmekörper 2"' erst nach Erreichen seiner durch die
Temperaturdifferenz hervorgerufenen Dehnung fixiert. Dadurch deh nt sich das erste Substrat 3 entsprechend seines eigenen thermischen
Ausdehnungskoeffizienten.
In einer zweiten Vorgehensweise wird das erste Substrat 3 auf dem
Aufnahmekörper 2"' vor der thermischen Belastung du ch die
Temperaturs teuer ungs mittel 11 fixiert. Durch Änderung der
Temperatursteuerungsmittel 11 dehnt sich der Aufnahm ekörper 2"' und somit die erste Aufnahmefläche 2o mit dem daran fixierten ersten Substrat 3, insbesondere in lateraler Richtung aus. Vorzugsweise besitzt der
Aufnahmekörper 2"' im Wesentlichen denselben thermischen
Ausdehnungskoeffizienten wie das erste Substrat 3. Im Übrigen entspricht die dritte Ausführungsform den vor beschriebenen ersten und zweiten Ausführungsformen.
Figur 4 zeigt eine vierte Ausführungsform mit einem Grundkörper 9' mit einem Aufnahmeabschnitt 18 zur Aufnahme eines Aufnahmekörpers 2IV.
Weiterhin umfasst der Grundkörper 9' an den Aufnahmeabschnitt 18
anschließende, insbesondere umlaufend ausgebildeten, Schulterabschnitt 19 auf. Der Schulterabschnitt 19 dient als Anschlag für Stellelemente 12, die zur Verformung des Au nahmekörpers 2IV in lateraler Richtung dienen. Die
Stellelemente 12 sind insbesondere in Form einer Vielzahl von Zug- und/oder Druckelementen 12 am Seitenumfang des Aufnahmekörpers 2IV verteilt angeordnet. Die Stellelemente 12 dienen zur Verformung des
Aufnahmekörpers 2IV in lateraler Richtung, insbesondere durch mechanische Dehnung und/oder Stauchung, vorzugsweise im Mikrometerbereich. Der Aufnahmekörper 2IV dehnt/staucht sich dabei um mehr als 0.01 pro, mit Vorzug mehr al +/- 1 μτη, mit größerem Vorzug mehr als +/- Ιμιτι, mit größtem Vorzug mehr als +/- 100μ m, mit allergrößtem Vorzug mehr als +/- 1mm, am bevorzugtesten mehr als +/- 10mm. Die Stellelemente 12 können als rein mechanische und/oder pneumatische und/oder hydraulische und/oder piezoelektrische Bauteile ausgeführt sein.
Im Übrigen entspricht die vierte Ausführungsform den vorbeschriebenen ersten, zweiten und dritten Aus f ü h r u n g s f o r tn e n . In der vierten
Ausführungsform ist es besonders wichtig, dass die Adhäsion zwischen dem Substrat 1 und dem Aufnahmekörper 2IV so groß ist, dass das Substrat 1 während der Streckung oder Stauchung des Aufnahmekörpers 21V du ch die Stellelemente 12, ebenfalls entsprechend gestreckt bzw. gestaucht wird.
Figur 5 zeigt eine fünfte Ausführungsform, bei der die erste
Aufnahmeeinrichtung 1 und die zweite Aufnahmeeinrichtung 4 vertikal ausgerichtet ist. Die erste Aufnahmeeinrichtung 1 weist einen Grundkörper
9" und einen von dem Grundkörper 9" fixierten Aufnahmekörper 2V auf. Der Aufnahmekörper 2V umfasst die bei dieser Ausführungs orm vertikal angeordnete erste Aufnahmefläche 2o auf, an der das erste Substrat 3 über Fixierelemente 6 fixiert ist.
Die zweite Aufnahmeeinrichtung 4 umfasst einen gegenüberl iegend
angeordneten Grundkörper 9 ' " zur Aufnahme und Fixierung eines
Aufnahmekörpers 2V I. Der Aufnahmekörper 2V I d ient zur Aufn hme u nd Fixierung des zweiten Substrats 8 an seiner vertikal angeordneten
Aufnahmefläche 2o \ Zur Verformung des zweiten Substrats 8 ist eine
Öffnung 5 analog der Öffnung 5 gemäß Figur 1 mit einem Stel lmittel in Fo m eines Stifts 7 vorgesehen, der durch die Öffnung 5 hindurch das zweite Substrat 8 verformend ausgebildet ist, und zwar an einer von der
Kontaktfläche 8k des zweiten Substrats 8 abgewandten Seite. Der Stift 7 definiert durch Verformung des zweiten Substrats 8 eine
Bondinitiierungsstelle 20 bei Kontaktierung der Substrate 3 , 8.
Abgesehen von der Öffnung 5 und dem Stift 7 sind die erste
Aufnahmeeinrichtung 1 und die zweite Aufnahmeeinrichtung 4 bei der
Ausführungsform gemäß Figur 5 symmetrisch ausgebildet. Bevorzugt weist auch di e erste A ufnahmeeinrichtung eine entsprechende Öffnung und ei nen entsprechenden Stift auf, so dass eine symmetrische Verformung der
Substrate 3 , 8 ermögl icht wird. Durch gleichzeitiges Lösen der Fixiermittel 6, 6 ' nach Kontaktierung der verformten Substrate 3 , 8 an einer, insbesondere im Zentrum der Substrate 3 , 8 angeordneten, Bondinitiierungs stelle 20 verhalten sich die Substrate 3 , 8 identisch , so dass auch mangels eines Einflusses einer Gravitat ionskraft auf die Verformung in Richtung der Kontaktflächen 3k, 8k aufeinander zu keine Ausrichtungs fehler während des Voranschreitcns der Bondwel le auftreten. Dies gilt insbesondere bei I dent ität der überwiegenden Zahl der erfindungsgemäßen Einflussfaktoren auf die Bondwel le beziehungsweise Ausrichtungsfehler, insbesondere der D i cke der S ubstrate beziehungs weise der B iegestei fi gkeit der Substrate . Die
B iegesteifigkeit ist der Widerstand, den ein Körper einer ihm
aufgezwungenen B iegung entgegensetzt. J e höher die Biegesteifigkeit, desto größer muss das B iegemoment sein, um die gleiche Krümmung zu erzielen . Die Biegesteifigkeit ist eine reine Material- und Geometriegröße, die unabhängig vom Biegemoment ist (unter der Annahme, dass das
Biegemoment das Trägheitsmoment durch eine Querschnitts nderung nicht verändert). Der Querschnitt eines Wafers durch sein Zentrum ist in sehr guter Näherung ein Rechteck mit einer Dicke t3, und dem Waferdurchmesser D. Die Biegesteifigkeit ist für homogene Querschnitte das Produkt aus E- Modul und Flächenträgheitsmoment. Das Flächenträgheitsmoment eines Rechtecks um eine Achse normal zur Dicke wäre direkt proportional zur dritten Potenz der Dicke. Durch die Dicke wird also das Trägheitsmoment und damit das Biegemoment beeinflusst. Das Biegemoment entsteht durch die Einwirkung der Gravitationskraft entlang des Substrats. Bei konstantem Biegemoment, daher konstanter Gravitationskraft, werden also Substrate mit größeren Dicken auf Grund ihrer größeren Biegemomente weniger gekrümmt als Substrate mit geringeren Dicken.
In Figur 6 ist der Bondvorgang schematisch dargestellt, wobei ein
Krümmungsradius R der ersten Aufnahmeeinrichtung 1 zur
Veranschaulichung stark übertrieben dargestellt ist. Der Krümmungsradius beträgt erfindungsgemäß mehrere Meter bei Durchmessern der Substrate 3, 8 im Bereich von 1 Zoll bis 18 Zoll und Dicken der Substrate 3, 8 im Bereich von 1 μιη bis 2.000 μηι.
Nach Kontakt ierung der Substrate 3, 8 an Kontaktflächen 3k, 8k im Bereich der im Zentrum der Substrate 3, 8 liegenden Bondini tiierungs stelle 20 und Aufheben der Fixierung (Loslösen) des zweiten Substrats 8 von der zweiten Aufnahmeeinrichtung 4 beginnt das Bonden. Eine Bondwelle mit einer Bondfront 10 verläuft konzentrisch von der Bondinitiierung stelle 20 bis zu Seitenrändern 8s, 3s der Substrate 3, 8.
Dabei verdrängt die Bondwelle das zwischen den Kontaktflächen 3k.8k durch Pfeile dargestellte Gas 15 (oder Gasmischung 15). Erfindungsgemäß wird das Substrat 3 durch die Aufnahmeeinrichtung 1 so verformt, dass Ausrichtungsfehler von korrespondierenden S trukturen 14 der Substrate 3 , 8 minimiert werden .
Das Substrat 8 v er formt sich während des Laufs der Bondwelle (nach der Bondiniitierung und Loslassen von der Au nahmeeinrichtung 4 ) aufgrund der wirkenden Kräfte: G asdruck, Gasdichte, Geschwindigkeit der B ond wel le, Schwerkraft, Eigenfrequenz (Federverhalten) des Substrats 8.
Im gezeigten Ausführungsbeispiel, das insbesondere den ersten beiden
Ausführungsformen gemäß Figuren 1 und 2 entspricht, erfolgt die
Verformung durch Krümmung der Substrate 3 , 8, wobei ein
Krümmungsradius R des oberen Substrats 8, insbesondere zu j edem Zei tpunkt an der B ondfront 13 , dem Krümmungsradius R 1 des unteren Substrats 3 im Wesentlichen entspricht. Ist eine der beiden Aufnahmeflächen 2o, 2o ' eben, und damit auch der Radius des entsprechenden, auf der ebenen
Aufnahmefläche 2o oder 2o ' gelagerten, Substrats 3 oder 8 unendl ich groß, so wird auch der Radius des entsprechend gegenüberliegenden Substrats 8 oder 3 entsprechend groß eingestellt, im Grenzfall unend lich groß. Es wird somit auch eine erfindungsgemäße Kompensation des„run-out" Fehlers durch eine Annäherung zweier Substrate 3 und 8, deren Krümmungsradien
unendlich groß sind, daher deren Kontaktflächen 3k, 8k parallel zueinander sind, offenbart. Dieser erfindungsgemäße Spezialfall würde s ich vor allem in einer V akuumumgebung eignen, um die beiden Substrate 3 und 8 miteinander zu verbinden, da es nicht nötig wäre, die beiden Substrate 3 und 8 durch eine, sich vom Bondzentrum ausbreitende, eine Gasmenge aus dem B ondinterface vor sich herschiebende, B ond welle miteinander zu bonden. D ie Differenz der Krümmungsradien R 1 und R ist erfindungsgemäß insbesondere kleiner als 1 00 m, mi Vorzug kleiner als 10 m, mit größerem Vorzug kle iner als 1 m, mit größtem Vorzug kleiner als 1 cm, mi t al lergrößtem Vorzug kleiner als 1 mm. Dabei ist es erfindungsgemäß denkbar, die Atmosphäre durch Wahl des G ases 1 5 beziehungsweise der Gasmischung 15 sowie des Drucks und/oder der Temperatur die B ondgeschwindigkeit zu steuern.
Die Figuren 7a bis 7d veranschaul ichen in vergrößerter Form etwaige
Ausrichtungs fehler dx gemäß Fi guren 7a und 7d, die erfindungsgemäß gemäß Figuren 7b und 7c durch die V erformung der Substrate 3 , 8 zumindest überwiegend behoben werden.
D ie beschriebenen Verfahrensschritte, insbesondere Bewegungen und
Parameter werden durch eine, insbesondere softwaregestützte,
Steuerungseinrichtung (nicht dargestellt) gesteuert.
orrichtung und Verfahren zum Bonden von Substraten
B e z u g s z e i ch e nl i s t e
Erste Aufnahmeeinnchtung
Aufnahmekörper
Erste Aufnahmefläche
Zweite Aufnahmefläche
Erstes Substrat
Erste Kontaktfläche
Seitenrand
Zweite Aufnahmeeinnchtung
Öffnung
Fixiermittel
Stift
zweites Substrat
zweite Kontaktfläche
Seitenrand
Grundkörper
Stellelement
Temperatur Steuerungsmittel
Stellelement
Bondfront
Struktur
Gas/Gasmischung
Fixierabschnitt
Verformungs abschnitt
Aufnahmeabschnitt
Schulterabschnitt
Bondini tiierungsstelle dx Ausrichtungsfehler d l , d2 Durchmesser
R, R 1 Krümmungsradius

Claims

Vorrichtung und Verfahren zum Bonden von Substraten P a t en t an s p rü ch e
1. Verfahren zum Bonden eines ersten Substrats (3) mit einem zweiten Substrat (8) an Kontaktflächen (3k, 8k) der Substrate (3, 8) mit folgenden Schritten, insbesondere folgendem Ablauf:
Aufnahme des ersten Substrats (3) an einer ersten
Aufnahmefläche (2o) einer ersten Aufnahmeeinrichtung (1) und Aufnahme des zweiten Substrats (8) an einer zweiten Aufnahmefläche (2ο') einer zweiten Aufnahmeeinrichtung (4), Kontaktierung der Kontaktflächen (3k, 8k) an einer Bondinitiierungssi eile (20),
Bonden des ersten Substrats (3) mit dem zweiten Substrat (8) entlang einer von der Bondinitiierungss teile (20) u Seitenrändern (3s, 8s) der Substrate (3, 8) verlaufenden
Bondwelle,
dadurch gekennzeichnet, dass
das erste Substrat (3) und/oder das zweite Substrat (8) zur Ausrichtung der Kontaktflächen (3k, 8k) außerhalb der Bondinitiierungss teile (20) vor und/oder während des Bondens verformt sind/werden.
2. Verfahren gemäß Anspruch 1 , bei dem die Verformung des ersten Substrats (3 ) und/oder des zweiten Substrats (8) abhängig von vorgegebenen Einflussfaktoren auf den Verlauf der Bondwelle erfolgt.
3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die
Bondinitiierungsstelle (20) im Zentrum der Kontaktflächen (3k, 8k) angeordnet ist.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die
Verformung des ersten Substrats (3 ) und/oder des zweiten Substrats (8 ) in lateraler Richtung und/oder konvex oder konkav erfolgt.
5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die
Verformung durch Dehnung oder Stauchung oder Krümmung des ersten Substrats (3 ) und/oder des zweiten Substrats (8) erfolgt.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem
Durchmesser ( d l , d2) der Substrate (3. 8) um weniger als 5mm, insbesondere weniger als 3mm, vorzugsweise weniger als 1 mm , voneinander abweichen.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Verformung durch mechanische Stellmittel und/oder durch
Temperatursteuerung der ersten und/oder zweiten
Aufnahmeeinrichtungen ( 1 , 4) erfolgt.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem das erste Substrat (3) und/oder das zweite Substrat (8) ausschl ießl ich im Bereich der Seitenränder (3 s, 8s) an den ersten und/oder zweiten Aufnahmeflächen (2o, 2o ' ) fixiert werden.
9. Vorrichtung zum B onden eines ersten Substrats (3) mit einem zweiten Substrat (8) an Kontaktflächen (3k, 8k) der Substrate (3 , 8) mit:
einer ersten Aufnahmeeinrichtung ( 1 ) zur Aufnahme des ersten Substrats (3) an einer ersten Aufnahmefläche (2o) und einer zweiten Aufnahmeeinrichtung (4) zur Aufnahme des zweiten Substrats (8) an einer zweiten Aufnahmefläche (2ο ' ), Kontaktmitteln zur Kontaktierung der Kontaktflächen (3k, 8k) an einer Bondinitiierungsstelle (20),
dadurch gekennzeichnet, dass
Verformungsmitteln zur Verformung des ersten Substrats (3) und/oder des zweiten Substrats (8) zur Ausrichtung der Kontaktflächen (3k, 8k) außerhalb der Bondinitiierungsstelle (20) vor und/oder während des Bondens .
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, bei der die Verformungsmi ttel die, insbesondere an der ersten Aufnahmefläche (2o) in lateraler Richtung und/oder konvex oder konkav verformbare, erste Aufnahmeeinrichtung ( 1 ) umfassen.
1 1. Vorrichtung nach Anspruch 9, bei der die Verformungsmittel d ie, insbesondere an der zweiten Aufnahmefläche (2ο ') in lateraler
Richtung und/oder konvex oder konkav verformbare, zweite
Aufnahmeeinrichtung (4) umfassen.
12. Vorrichtung nach wenigstens einem Ansprüche 9 bis 1 1 , bei der d ie Verformungsmittel mechanische Stellmittel und/oder
Temperatur Steuerungsmittel zur Steuerung der Temperatur der ersten und/oder zweiten Aufnahmeeinrichtungen ( 1 , 4) aufweisen.
1 3. Vorrichtung nach wenigstens einem Ansprüche 9 bis 12 , bei der
Fixiermittel zur Fixierung des ersten Substrats (3) und/oder des zweiten S ubstrats (8) ausschließlich im B ereich der Seitenränder (3s, 8s) an den ersten und/oder zweiten Aufnahmeflächen (2o, 2o ' ) angeordnet sind.
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