WO2016056342A1 - ピアス加工方法及びレーザ加工機 - Google Patents

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Definitions

  • the present invention relates to a piercing method and a laser processing machine for performing piercing when performing laser cutting processing of a sheet metal material with laser light having a wavelength of 1 ⁇ m, such as a solid laser or fiber laser, and more specifically, The present invention relates to a piercing method and a laser beam machine capable of piercing a thick plate of mild steel plate in a short time.
  • the piercing method described in Patent Document 1 uses nitrogen gas as an assist gas at the initial stage of piercing and performs piercing with a high output, and then uses oxygen gas as an assist gas. Piercing is performed with output. Therefore, at the initial stage of piercing, a nitride layer is formed in the pierced hole and the oxidation reaction is suppressed. Therefore, even when the laser output is increased, excessive combustion can be prevented, and piercing can be performed in a shorter time.
  • an axicon lens may be used as a condensing lens of a laser processing head in order to appropriately perform laser cutting processing of a mild steel plate as a workpiece. Since this axicon lens forms an incident laser beam into a ring-shaped beam, there is a possibility that the energy of the laser beam cannot effectively act on the workpiece during workpiece piercing.
  • a condensing diameter d and a Rayleigh length of a laser beam by the condensing lens are used to perform piercing when performing laser cutting of a thick plate. It has been found that when the ratio Zr / d to Zr is set within a predetermined range, the thick plate can be pierced efficiently.
  • a processing method for piercing a metal material with a laser beam having a wavelength of 1 ⁇ m wherein the laser beam having a wavelength of 1 ⁇ m is oscillated, and the laser beam applied to the metal material Converting the oscillated laser light into a desired multimode beam mode so that the relationship between the condensing diameter d and the Rayleigh length Zr is maintained in the range of 8 ⁇ Zr / d ⁇ 12;
  • a piercing method is provided that includes piercing a metal material using a laser beam converted from.
  • the laser oscillated so that the relationship between the focused diameter d of the laser beam irradiated to the metal material and the Rayleigh length Zr is maintained in the range of 9 ⁇ Zr / d ⁇ 11. Convert light.
  • the oscillated laser beam is converted so that the relationship between the condensing diameter d of the laser beam irradiated to the metal material and the Rayleigh length Zr is maintained at Zr / d ⁇ 10. .
  • the focal position of the laser beam whose beam mode has been converted is set on the surface of the workpiece or outside the workpiece.
  • the beam profile of the laser beam whose beam mode has been converted has a mountain hat shape (top hat type) in the vicinity of the position penetrating the workpiece of the metal material.
  • the beam profile of the laser light whose beam mode is converted has a substantially constant diameter from the upper surface of the workpiece to the lower surface of the workpiece, and has a bowl-shaped hat shape on the lower surface of the workpiece.
  • the piercing is performed from a laser processing head having an axicon lens as a condenser lens.
  • a laser processing machine for performing piercing processing on a metal material with a laser beam having a wavelength of 1 ⁇ m, wherein the laser oscillator oscillates a laser beam having a wavelength of 1 ⁇ m, and the laser oscillator Beam quality changing device for converting laser light oscillated from the laser beam into a desired multimode beam mode, and laser processing for piercing a metal material using the laser light whose beam mode has been converted by the beam quality changing device Control of the head, the output of the laser oscillator and the operation of the laser processing head, and the relationship between the condensing diameter d of the laser beam irradiated to the metal material from the laser processing head and the Rayleigh length Zr is 8 ⁇ Zr /
  • a laser processing machine comprising a control device for controlling the beam quality variable device so as to be maintained in a range of d ⁇ 12.
  • control device may maintain the relationship between the condensing diameter d of the laser light applied to the metal material and the Rayleigh length Zr in a range of 9 ⁇ Zr / d ⁇ 11. Control the beam quality varying device.
  • control device may change the beam quality so that the relationship between the focused diameter d of the laser beam irradiated to the metal material and the Rayleigh length Zr is maintained at Zr / d ⁇ 10. Control the device.
  • control device sets the focal position of the laser beam whose beam mode is converted to the surface of the workpiece or the outside of the workpiece.
  • the beam profile of the laser beam whose beam mode has been converted has a mountain hat shape (top hat type) in the vicinity of the position penetrating the workpiece of the metal material.
  • the beam profile of the laser light whose beam mode has been converted has a substantially constant diameter from the upper surface of the workpiece to the lower surface of the workpiece, and has a bowl-shaped hat shape on the lower surface of the workpiece.
  • the laser processing head has an axicon lens as a condensing lens.
  • the piercing process is performed by setting the ratio of the condensing diameter d of the laser beam and the Rayleigh length Zr to an appropriate range, the piercing process of the thick plate can also be performed efficiently. Is.
  • FIG. 1 is a configuration explanatory diagram conceptually and schematically showing an overall configuration of a laser processing machine (laser processing system) according to an embodiment of the present invention. It is explanatory drawing which shows the beam profile in the case of performing piercing of a thick plate. It is a graph of the test result which showed the relationship between the piercing time of a thick plate, and the value of Zr / d.
  • a laser processing machine (laser processing system) 1 includes a laser oscillator 3 and a processing machine body 5.
  • the laser oscillator 3 is a laser oscillator such as a fiber laser oscillator that oscillates laser light having a wavelength of 1 ⁇ m.
  • the laser oscillator 3 can also use semiconductor laser light having seed light having a wavelength of less than 1 ⁇ m as a direct diode laser.
  • the processing machine body 5 is a laser processing head that can be moved and positioned relatively in the X, Y, and Z axis directions with respect to a thick plate-like workpiece W such as a mild steel plate placed on a work table 7, for example. 9 is provided.
  • the laser processing head 9 is provided with a condenser lens (not shown). Since the laser oscillator 3 and the processing machine main body 5 may have a known configuration, detailed description of the configuration of the laser oscillator 3 and the processing machine main body 5 will be omitted.
  • the laser oscillator 3 and the laser processing head 9 are optically connected via a process fiber 11.
  • the process fiber 11 is provided with a beam quality variable device 13. Since this beam quality variable device 13 is already known as described in, for example, WO2013 / 086227A1, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2012-24782, etc., detailed description of the configuration of the beam quality variable device 13 is omitted. To do.
  • This type of beam quality changing device 13 can convert the laser light oscillated from the laser oscillator 3 from a Gaussian single mode into, for example, a mountain hat-like (top hat type) multimode.
  • the laser processing machine 1 includes a control device 15 such as an NC device.
  • the control device 15 is constituted by a computer and has a function of controlling the output of the laser oscillator 3 and the operation of the laser processing head 9 provided in the processing machine body 5. Further, the control device 15 has a function of controlling the beam quality varying device 13 so as to convert the laser light oscillated from the laser oscillator 3 into a desired multimode beam mode.
  • the laser processing can be performed on the workpiece W on the work table 7 by controlling the output of the laser oscillator 3 and controlling the operation of the laser machining head 9 under the control of the control device 15. Is.
  • the beam quality variable device 13 under the control of the control device 15
  • the beam profile (beam mode) of the laser light oscillated from the laser oscillator 3 is changed from a single mode (Gaussian type) to a multimode. It can be converted to (top hat type or ring type) and transmitted to the process fiber 11. Therefore, the condensing lens provided in the laser processing head 9 condenses the multi-mode laser light and irradiates the work W.
  • the laser processing head 9 is provided with an axicon lens as a condenser lens
  • the laser beam that has passed through the focal position is converted into a ring mode.
  • this ring mode is suitable for laser cutting of a plate-shaped workpiece (soft steel plate), it takes time at the time of piercing to start laser cutting of a thick plate, and in laser cutting that repeats piercing, It has been desired to perform piercing in a shorter time.
  • a focal position where laser light is focused is set on the upper surface (surface) of the workpiece or in the vicinity thereof, and heating, melting, and removal are performed all at once.
  • the laser processing head 9 provided with an axicon lens as a condensing lens, the laser light expands into a ring mode at a position below the focal position, so that the laser light is used for piercing. It did not work effectively and the piercing time was long.
  • piercing of the thick plate was performed by changing the beam mode of the laser beam by the beam quality variable device 13 and changing the focal position with respect to the workpiece surface (upper surface) in various ways.
  • hole machining is performed while removing molten metal with an assist gas.
  • the condensing diameter d is small, it is difficult for the molten metal generated in the piercing hole to be discharged from the small upper hole.
  • the light collection diameter d is large, the energy density applied to the workpiece W is lowered, the melting ability is lowered, and the amount of molten metal removed by the assist gas is increased.
  • the Rayleigh length Zr of the focused laser beam is short, when the piercing process proceeds and the hole becomes deep, the laser beam spreads, the energy density is lowered, and the melting ability is lowered.
  • the focal position of the laser beam was set on the surface of the workpiece or the outside of the workpiece, and the beam quality of the laser beam was changed to pierce the thick plate.
  • the condensing diameter d and Rayleigh length Zr accompanying the change of the said beam quality were investigated, and Rayleigh length Zr / condensing diameter d was investigated.
  • the condensed diameter d 0.148 mm
  • the Rayleigh length Zr 1.98 mm
  • Zr / d ⁇ 13 0.185 mm
  • Zr 2.34 mm
  • Zr / d ⁇ 12.6 in the case of FIG.
  • the relationship between the piercing time for piercing a thick plate with the beam profiles shown in FIGS. 2 (A) to 2 (E) and Zr / d was as shown in FIG.
  • the range of Zr / d is preferably (PR) in the range of 8 ⁇ Zr / d ⁇ 12.
  • Zr / d ⁇ 10 is the beam profile shown in FIG. This beam profile is most preferred with minimum piercing time. In the vicinity of the position penetrating the workpiece W, this beam profile was a so-called bowler hat shape (top hat type).
  • the diameter of the light intensity is almost constant from the upper surface to the lower surface of the workpiece, and the lower surface of the workpiece has a mountain hat shape (top hat type) that is neither a Gaussian type nor a ring type.
  • the beam profile makes it easy to discharge the molten metal with the assist gas pressure.
  • the next preferable range is a range of 9 ⁇ Zr / d ⁇ 11. That is, in this range, the piercing time is slightly longer than that in the case of Zr / d ⁇ 10, but is within the allowable range.
  • Zr / d is preferably in the range of 8 ⁇ Zr / d ⁇ 12.

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Abstract

　厚板のピアス加工を短時間で行うことのできるピアス加工方法及びレーザ加工機（１）を提供する。波長が１μｍ帯のレーザ光によって金属材料（Ｗ）にピアス加工を行う加工方法であって、レーザ光の集光径をｄ、レーリー長をＺｒとするとき、８≦Ｚｒ／ｄ≦１２の範囲に保持してピアス加工を行う。この際、レーザ光の焦点位置を、ワーク（Ｗ）の表面又はワーク（Ｗ）の外部に設定してある。そして、レーザ光のビームプロファイルは、シングルモードのレーザ光を、ビーム品質可変装置（１３）によって山高帽子状に変換してある。

Description

ピアス加工方法及びレーザ加工機
　本発明は、例えば固体レーザやファイバーレーザなどの波長が１μｍ帯のレーザ光によって板金材料のレーザ切断加工を行う際に、ピアス加工を行うピアス加工方法及びレーザ加工機に係り、さらに詳細には、軟鋼板の厚板のピアス加工を短時間で行うことのできるピアス加工方法及びレーザ加工機に関する。
　軟鋼板などの板状のワークのレーザ切断加工を行う場合、上記ワークにピアス加工を行い、このピアス加工位置からワークのレーザ切断加工が開始されている。上記ピアス加工は、ワークが薄板の場合にはほぼ瞬間的（数１００ｍsec）に行われるので、ピアス加工が複数回繰り返されるレーザ切断加工であっても、さほど問題になるようなことはない。しかし、ワークが厚板になると、ピアス加工に時間を要することになる。例えば、板厚１９ｍｍの軟鋼板を、４ｋW炭酸ガスレーザ発振器を用いてピアス加工を行うと、ピアス加工時間に約２０秒程要するものである。したがって、ワークのレーザ切断加工を行う場合、前記ピアス加工時間を短縮することが望まれている。なお、本発明に関係すると思われる文献として、特許文献１がある。
　前記特許文献１に記載のピアス加工方法は、ピアス加工の初期に、アシストガスとして窒素ガスを使用し、かつ高出力でもってピアス加工を行い、その後、アシストガスとして酸素ガスを使用し、かつ低出力でもってピアス加工を行うものである。したがって、ピアス加工初期には、ピアス加工穴に窒化層が形成されて酸化反応が抑制されることとなる。よって、レーザ出力を大きくした場合であっても過剰な燃焼を防止でき、ピアス加工をより短時間で行うことができることになる。
　しかし、ファイバーレーザ発振器を搭載したレーザ加工機においては、前記特許文献１に記載のピアス加工方法を実施しても、ピアス加工時間を大幅に短縮することはできなかった。すなわち、ファイバーレーザ発振器を備えたレーザ加工機においては、ワークとしての軟鋼板のレーザ切断加工を適正に行うために、レーザ加工ヘッドの集光レンズにアキシコン（Ａｘｉｃｏｎ）レンズを使用する場合がある。このアキシコンレンズは、入射されたレーザ光を、リング状のビームに形成するので、ワークのピアス加工時には、レーザビームのエネルギがワークに効果的に作用できていない可能性がある。
特許第４９２５６１６号公報
　本発明は、レーザ加工ヘッドに、集光レンズを備えた構成において、厚板のレーザ切断加工を行うに当り、ピアス加工を行うには、集光レンズによるレーザ光の集光径ｄとレーリー長Ｚｒとの比Ｚｒ／ｄを所定範囲に設定すると、厚板のピアス加工を効率よく行い得ることを見出した。
　本発明の一側面によると、波長が１μｍ帯のレーザ光によって金属材料にピアス加工を行う加工方法であって、波長が１μｍ帯のレーザ光を発振することと、金属材料へ照射されるレーザ光の集光径ｄとレーリー長Ｚｒとの関係が８≦Ｚｒ／ｄ≦１２の範囲に保持されるように、発振されたレーザ光を所望のマルチモードのビームモードに変換することと、ビームモードが変換されたレーザ光を使って、金属材料にピアス加工を行うことと、からなるピアス加工方法が提供される。
　また、前記ピアス加工方法において、前記金属材料へ照射されるレーザ光の集光径ｄとレーリー長Ｚｒとの関係が９≦Ｚｒ／ｄ≦１１の範囲に保持されるように、発振されたレーザ光を変換する。
　また、前記ピアス加工方法において、前記金属材料へ照射されるレーザ光の集光径ｄとレーリー長Ｚｒとの関係がＺｒ／ｄ≒１０に保持されるように、発振されたレーザ光を変換する。
　また、前記ピアス加工方法において、前記ビームモードが変換されたレーザ光の焦点位置を、ワークの表面又はワークの外部に設定する。
　また、前記ピアス加工方法において、前記ビームモードが変換されたレーザ光のビームプロファイルは、金属材料のワークを貫通した位置付近では、山高帽子状（トップハット型）である。
　また、前記ピアス加工方法において、前記ビームモードが変換されたレーザ光のビームプロファイルは、光強度の高い径がワーク上面からワーク下面にかけてほぼ一定であり、かつワーク下面においては山高帽子状である。
　また、前記ピアス加工方法において、前記ピアス加工は、集光レンズとしてアキシコンレンズを有するレーザ加工ヘッドから行う。
　また、本発明の別の側面によると、波長が１μｍ帯のレーザ光によって金属材料にピアス加工を行うレーザ加工機であって、波長が１μｍ帯のレーザ光を発振するレーザ発振器と、前記レーザ発振器から発振されたレーザ光を所望のマルチモードのビームモードに変換するビーム品質可変装置と、前記ビーム品質可変装置によってビームモードが変換されたレーザ光を使って、金属材料にピアス加工を行うレーザ加工ヘッドと、前記レーザ発振器の出力と前記レーザ加工ヘッドの動作を制御すると共に、前記レーザ加工ヘッドから金属材料へ照射されるレーザ光の集光径ｄとレーリー長Ｚｒとの関係が８≦Ｚｒ／ｄ≦１２の範囲に保持されるように前記ビーム品質可変装置を制御する制御装置と、からなるレーザ加工機が提供される。
　また、前記レーザ加工機において、前記制御装置は、前記金属材料へ照射されるレーザ光の集光径ｄとレーリー長Ｚｒとの関係が９≦Ｚｒ／ｄ≦１１の範囲に保持されるように前記ビーム品質可変装置を制御する。
　また、前記レーザ加工機において、前記制御装置は、前記金属材料へ照射されるレーザ光の集光径ｄとレーリー長Ｚｒとの関係がＺｒ／ｄ≒１０に保持されるように前記ビーム品質可変装置を制御する。
　また、前記レーザ加工機において、前記制御装置は、前記ビームモードが変換されたレーザ光の焦点位置を、ワークの表面又はワークの外部に設定する。
　また、前記レーザ加工機において、前記ビームモードが変換されたレーザ光のビームプロファイルは、金属材料のワークを貫通した位置付近では、山高帽子状（トップハット型）である。
　また、前記レーザ加工機において、前記ビームモードが変換されたレーザ光のビームプロファイルは、光強度の高い径がワーク上面からワーク下面にかけてほぼ一定であり、かつワーク下面においては山高帽子状である。
　また、前記レーザ加工機において、前記レーザ加工ヘッドは、集光レンズとしてアキシコンレンズを有する。
　本発明によれば、レーザ光の集光径ｄとレーリー長Ｚｒとの比を適正な範囲に設定してピアス加工を行うものであるから、厚板のピアス加工をも効率よく行うことができるものである。
本発明の実施形態に係るレーザ加工機（レーザ加工システム）の全体的構成を概念的、概略的に示した構成説明図である。 厚板のピアス加工を行う場合のビームプロファイルを示す説明図である。 厚板のピアス加工時間とＺｒ／ｄの値との関係を示した試験結果のグラフである。
　図１に概念的、概略的に示すように、本発明の実施形態に係るレーザ加工機（レーザ加工システム）１は、レーザ発振器３と加工機本体５とを備えている。上記レーザ発振器３は、波長が１μｍ帯のレーザ光を発振するファイバーレーザ発振器等のようなレーザ発振器である。なお、前記レーザ発振器３は、波長が１μｍ未満の種光をもつ半導体レーザ光をダイレクトダイオードレーザとすることも可能である。前記加工機本体５は、例えばワークテーブル７上に載置された軟鋼板などのような厚板状のワークＷに対してＸ，Ｙ，Ｚ軸方向へ相対的に移動位置決め自在なレーザ加工ヘッド９を備えている。このレーザ加工ヘッド９には、集光レンズ（図示省略）が備えられている。なお、前記レーザ発振器３及び加工機本体５は、既に知られている構成であってよいものであるから、レーザ発振器３及び加工機本体５の構成の詳細についての説明は省略する。
　前記レーザ発振器３と前記レーザ加工ヘッド９は、プロセスファイバー１１を介して光学的に接続してある。そして、このプロセスファイバー１１にはビーム品質可変装置１３が介設してある。このビーム品質可変装置１３は、例えば、ＷＯ２０１３／０８６２２７Ａ１、特開２０１２－２４７８２号公報等に記載されているように、既に公知であるから、ビーム品質可変装置１３の構成についての詳細な説明は省略する。この種のビーム品質可変装置１３は、レーザ発振器３から発振されたレーザ光を、ガウシアン型のシングルモードから例えば山高帽子状（トップハット型）のマルチモードに変換可能なものである。
　前記レーザ加工機１は、例えばＮＣ装置などのような制御装置１５を備えている。この制御装置１５はコンピュータから構成してあって、前記レーザ発振器３の出力及び前記加工機本体５に備えられた前記レーザ加工ヘッド９の動作を制御する機能を有する。さらに、前記制御装置１５は、前記レーザ発振器３から発振されたレーザ光を、所望のマルチモードのビームモードに変換すべく、前記ビーム品質可変装置１３を制御する機能を有するものである。
　上記構成により、制御装置１５の制御の下にレーザ発振器３の出力を制御すると共にレーザ加工ヘッド９の動作を制御することにより、ワークテーブル７上のワークＷに対してレーザ加工を行うことができるものである。この際、制御装置１５の制御の下にビーム品質可変装置１３を制御することにより、前記レーザ発振器３から発振されたレーザ光のビームプロファイル（ビームモード）を、シングルモード（ガウシアン型）からマルチモード（トップハット型又はリング型）に変換してプロセスファイバー１１に伝送することができるものである。したがって、レーザ加工ヘッド９に備えた集光レンズは、マルチモードのレーザ光を集光してワークＷに照射することになる。
　ところで、レーザ加工ヘッド９に集光レンズとしてアキシコンレンズを備えた別の構成においては、焦点位置を経たレーザビームはリングモードに変換されるものである。このリングモードは、板状のワーク（軟鋼板）のレーザ切断加工に適するものの、厚板のレーザ切断加工を開始するためのピアス加工時には時間を要し、ピアス加工を繰り返すレーザ切断加工においては、ピアス加工をより短時間で行うことが望まれていた。
　レーザ加工においてのピアス加工は、従来は、レーザ光が集光された焦点位置をワークの上面（表面）又はその近傍に設定し、一気に加熱、溶融、除去することが行われている。集光レンズとしてアキシコンレンズを備えた前記レーザ加工ヘッド９を用いて厚板のピアス加工を行う場合、焦点位置の下方位置においてはレーザ光がリングモードに拡大するので、レーザ光がピアス加工に効果的に作用せず、ピアス加工時間が長くなるものであった。
　そこで、前記ビーム品質可変装置１３によってレーザ光のビームモードを種々変換すると共に、ワーク表面（上面）に対する焦点位置を種々変更して厚板のピアス加工を行った。ところで、ワークにピアス加工を行う場合、溶融金属をアシストガスによって除去しつつ穴加工を行うものである。ここで、集光径ｄが小さい場合、ピアス加工の穴内で発生した溶融金属が小さな上部穴から排出することが難しくなる。また、集光径ｄが大きい場合には、ワークＷに照射されるエネルギ密度が低下し、溶融能力が低下すると共に、アシストガスによって除去する溶融金属の量が多くなる。さらに、集光したレーザビームのレーリー長Ｚｒが短い場合には、ピアス加工が進行し穴が深くなると、レーザ光が拡がり、エネルギ密度が低下して、溶融能力が低下することになる。
　そこで、前記ビーム品質可変装置１３を使用してレーザ光のモード（プロファイル）を変換すると、集光径ｄとレーリー長Ｚｒとを連続的に調節することが可能である。したがって、前記集光径ｄとレーリー長Ｚｒとの関係と厚板（軟鋼板、ｔ＝１９ｍｍ，２２ｍｍ，２５ｍｍ）のピアス加工時間との良好な関係を見出すために種々の試験を行ったところ、前記集光径ｄとレーリー長Ｚｒとの比Ｚｒ／ｄが所定の範囲にあるときに、厚板のピアス加工時間が短くなることを見出した。
　すなわち、図２に示すように、レーザ光の焦点位置をワークの表面又はワークの外部に設定し、レーザビームのビーム品質を変更して厚板のピアス加工を行った。そして、上記ビーム品質の変更に伴う集光径ｄとレーリー長Ｚｒとを調べ、レーリー長Ｚｒ／集光径ｄを調べた。図２（Ａ）のビームプロファイルにおいては集光径ｄ＝０．１４８ｍｍ、レーリー長Ｚｒ＝１．９８ｍｍでＺｒ／ｄ≒１３である。図２（Ｂ）の場合、ｄ＝０．１８５ｍｍ、Ｚｒ＝２．３４ｍｍで、Ｚｒ／ｄ≒１２．６、図２（Ｃ）の場合、ｄ＝０．２５３ｍｍ、Ｚｒ＝２．５４ｍｍで、Ｚｒ／ｄ≒１０、図２（Ｄ）の場合、ｄ＝０．３０７ｍｍ、Ｚｒ＝２．４９ｍｍで、Ｚｒ／ｄ≒８．１である。そして、図２（Ｅ）の場合、ｄ＝０．３２８ｍｍ、Ｚｒ＝２．４２ｍｍで、Ｚｒ／ｄ≒７．４である。
　そして、図２（Ａ）～図２（Ｅ）に示したビームプロファイルでもって厚板のピアス加工を行ったピアス時間とＺｒ／ｄとの関係は、図３に示すとおりであった。図３から明らかなように、Ｚｒ／ｄの範囲は、８≦Ｚｒ／ｄ≦１２の範囲が望ましいもの（ＰＲ）である。ここで、Ｚｒ／ｄ≒１０は図２（Ｃ）に示されるビームプロファイルである。このビームプロファイルは、ピアス加工時間が最小となり、最も好ましいものである。そして、このビームプロファイルは、ワークＷを貫通した位置付近においては、いわゆる山高帽子状（トップハット型）であった。つまり、ワーク上面から下面にかけて光強度の高い径がほぼ一定であり、かつワーク下面においてはガウシアン型でもリング型でもない山高帽子状（トップハット型）を呈するものであるから、ピアス穴の内側で溶解した金属をアシストガス圧でもって排出しやすいビームプロファイルとなっている。
　そして、図３から明らかなように、次に好ましい範囲としては、９≦Ｚｒ／ｄ≦１１の範囲である。すなわち、この範囲においては、ピアス加工時間は、Ｚｒ／ｄ≒１０の場合に比較して多少長くなるものの、許容範囲内の時間である。
　図２，図３から明らかなように、Ｚｒ／ｄ＜８になる領域は、図２（Ｅ）であって、ビーム径が次第に大きくなるものであるから、レーザ光の広がり角度が大きく、厚板を貫通する深い位置付近においてのエネルギ密度が小さくなる傾向にある。また、Ｚｒ／ｄ＞１２は、図２（Ｂ），（Ａ）であって、ビーム径が小さなものである。この場合、レーザビームの広がり角が小さく、厚板のピアス加工を行う深い位置でのビーム径が小さく、深い位置で溶融した金属の排除が難しくなるものである。よって、Ｚｒ／ｄは、８≦Ｚｒ／ｄ≦１２の範囲が望ましいものである。

Claims (14)

  1. 　波長が１μｍ帯のレーザ光によって金属材料にピアス加工を行う加工方法であって、
    波長が１μｍ帯のレーザ光を発振することと、
    金属材料へ照射されるレーザ光の集光径ｄとレーリー長Ｚｒとの関係が８≦Ｚｒ／ｄ≦１２の範囲に保持されるように、発振されたレーザ光を所望のマルチモードのビームモードに変換することと、
    ビームモードが変換されたレーザ光を使って、金属材料にピアス加工を行うことと、
    からなるピアス加工方法。
  2. 　請求項１に記載のピアス加工方法において、前記金属材料へ照射されるレーザ光の集光径ｄとレーリー長Ｚｒとの関係が９≦Ｚｒ／ｄ≦１１の範囲に保持されるように、発振されたレーザ光を変換する、ピアス加工方法。
  3. 　請求項２に記載のピアス加工方法において、前記金属材料へ照射されるレーザ光の集光径ｄとレーリー長Ｚｒとの関係がＺｒ／ｄ≒１０に保持されるように、発振されたレーザ光を変換する、ピアス加工方法。
  4. 　請求項１～３のいずれかに記載のピアス加工方法において、前記ビームモードが変換されたレーザ光の焦点位置を、ワークの表面又はワークの外部に設定する、ピアス加工方法。
  5. 　請求項１～４のいずれかに記載のピアス加工方法において、前記ビームモードが変換されたレーザ光のビームプロファイルは、金属材料のワークを貫通した位置付近では、山高帽子状（トップハット型）である、ピアス加工方法。
  6. 　請求項１～５のいずれかに記載のピアス加工方法において、前記ビームモードが変換されたレーザ光のビームプロファイルは、光強度の高い径がワーク上面からワーク下面にかけてほぼ一定であり、かつワーク下面付近においては山高帽子状である、ピアス加工方法。
  7. 　請求項１～６のいずれかに記載のピアス加工方法において、前記ピアス加工は、集光レンズとしてアキシコンレンズを有するレーザ加工ヘッドから行う、ピアス加工方法。
  8. 　波長が１μｍ帯のレーザ光によって金属材料にピアス加工を行うレーザ加工機であって、
    波長が１μｍ帯のレーザ光を発振するレーザ発振器と、
    前記レーザ発振器から発振されたレーザ光を所望のマルチモードのビームモードに変換するビーム品質可変装置と、
    前記ビーム品質可変装置によってビームモードが変換されたレーザ光を使って、金属材料にピアス加工を行うレーザ加工ヘッドと、
    前記レーザ発振器の出力と前記レーザ加工ヘッドの動作を制御すると共に、前記レーザ加工ヘッドから金属材料へ照射されるレーザ光の集光径ｄとレーリー長Ｚｒとの関係が８≦Ｚｒ／ｄ≦１２の範囲に保持されるように前記ビーム品質可変装置を制御する制御装置と、
    からなるレーザ加工機。
  9. 　請求項８に記載のレーザ加工機において、前記制御装置は、前記金属材料へ照射されるレーザ光の集光径ｄとレーリー長Ｚｒとの関係が９≦Ｚｒ／ｄ≦１１の範囲に保持されるように前記ビーム品質可変装置を制御する、レーザ加工機。
  10. 　請求項９に記載のレーザ加工機において、前記制御装置は、前記金属材料へ照射されるレーザ光の集光径ｄとレーリー長Ｚｒとの関係がＺｒ／ｄ≒１０に保持されるように前記ビーム品質可変装置を制御する、レーザ加工機。
  11. 　請求項８～１０のいずれかに記載のレーザ加工機において、前記制御装置は、前記ビームモードが変換されたレーザ光の焦点位置を、ワークの表面又はワークの外部に設定する、レーザ加工機。
  12. 　請求項８～１１のいずれかに記載のレーザ加工機において、前記ビームモードが変換されたレーザ光のビームプロファイルは、金属材料のワークを貫通した位置付近では、山高帽子状（トップハット型）である、レーザ加工機。
  13. 　請求項８～１２のいずれかに記載のレーザ加工機において、前記ビームモードが変換されたレーザ光のビームプロファイルは、光強度の高い径がワーク上面からワーク下面にかけてほぼ一定であり、かつワーク下面においては山高帽子状である、レーザ加工機。
  14. 　請求項８～１３のいずれかに記載のレーザ加工機において、前記レーザ加工ヘッドは、集光レンズとしてアキシコンレンズを有する、レーザ加工機。
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