WO2021255893A1 - 電熱装置 - Google Patents

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ceramic
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剛 花房
智貴 鈴木
秀治 大前
啓志 今村
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Beijing Kanken Environmental Protection Equipment Co Ltd
Kanken Techno Co Ltd
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Beijing Kanken Environmental Protection Equipment Co Ltd
Kanken Techno Co Ltd
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    • Y02P10/00—Technologies related to metal processing
    • Y02P10/20—Recycling

Definitions

  • the present invention relates to an electric heating device used in an industrial electric furnace, and particularly to a radiant tube heater in which a heat source is housed in a radiant tube.
  • Patent Document 1 Japanese Patent No. 5270688
  • the prior art is configured as follows. A radiant tube and a heating element arranged in the radiant tube are provided, and the heating element is composed of a heating wire and is connected to a current outlet at one end of the radiant tube. Further, the heating element is supported in the radiation tube with the support of the support. Then, a protective insert body made of a conductive material is arranged between the radiation tube and the heating element.
  • a protective insert is placed between the radiation tube and the heating element so that the heating element residue and molten metal that can occur in the event of a device failure are with the help of gravity. Fall onto the protective insert. Therefore, it is said that it is possible to prevent unnecessary damage to the radiant tube and minimize the damage to the electric heating device due to the element failure.
  • the above-mentioned prior art has the following problems. That is, in order to drop the heating element residue and molten metal that may occur in the event of an element failure onto the protective insert based on gravity, the above electric heating device must be horizontally mounted in the electric furnace. However, there is a problem that the arrangement structure of the electric heating device and its use are limited. Further, the above-mentioned conventional technique has a big problem that it does not prevent the element failure itself such as electric leakage from a heating element.
  • the main object of the present invention is to provide an electric heating device capable of stable operation for a long period of time by reducing element failures that cause various troubles.
  • the electric heating device is configured as follows. That is, the metal radiation tube 12, the plurality of heater wires 14 arranged so as to be parallel to each other in the radiation tube 12, and the surface thereof covered with an insulator on the central axis of the radiation tube 12 described above.
  • a heater fixing shaft 16 arranged in the above and a disk-shaped ceramic insulator 18 attached to the heater fixing shaft 16 at predetermined intervals to support the heater wire 14 are provided.
  • the ceramic porcelain 18 is formed with a central hole 20 through which the heater fixing shaft 16 is inserted and a heater wire holding hole 22 uniformly distributed on the circumference having the same center as the central hole 20.
  • the outer diameter of the ceramic porcelain 18 itself or the diameter of its circumscribed circle as seen from the axial direction of the above-mentioned radiation tube 12 is larger than the inner diameter of the above-mentioned radiation tube 12 or the diameter of its inscribed circle. It is characterized in that it is formed so as to be small.
  • the present inventors have described this type of electric heating device, that is, an electric heating device in which an insulator such as a heater fixing shaft or a ceramic porcelain and a heater wire are housed in a metal radiant tube to protect them from an external atmosphere. Due to the difference in the thermal expansion rate of each member during heat generation operation or stop cooling, the inner surface of the radiation tube and the peripheral edge of the (mainly) ceramic porcelain contact and slide, and the metal oxidation generated on the inner surface of the radiation tube. Objects will be scraped off and deposited around the heater wire on the ceramic porcelain. Then, as the amount of deposited metal oxide increases, a short circuit occurs between adjacent heater wires. We found that this was a major cause of element failure.
  • the outer diameter of the ceramic porcelain 18 itself or the diameter of its circumscribed circle as seen from the axial direction of the radiant tube 12 is larger than the inner diameter of the radiant tube 12 or the diameter of its inscribed circle. Since it is formed so as to be small, the contact between the inner surface of the radiant tube 12 and the peripheral edge of the ceramic porcelain 18 at the time of heat generation operation or stop cooling of the electric heating device can be minimized, and the contact between the two can be minimized. The amount of scraped off metal oxide can be significantly reduced.
  • the peripheral portion of the ceramic insulator 18 in contact with the radiation tube 12 is formed in an R shape. In this case, even if the inner surface of the radiation tube 12 and the peripheral edge of the ceramic insulator 18 come into contact with each other, the amount of metal oxide scraped off due to the contact between the two can be further reduced.
  • the ceramic insulator 18 into a polygonal shape that is rotationally symmetric in a plan view.
  • a gap can always be provided between the two, and the inner surface of the radiation tube 12 is scraped off through the gap. It is possible to reduce the amount of the metal oxide deposited on the ceramic insulator 18 by discharging the metal oxide downward.
  • a concave groove 30 is formed at a position between the heater wire holding holes 22 adjacent to each other in the outer peripheral direction of the central hole 20 on the upper surface of the ceramic insulator 18. It is preferable to install it. In this case, the metal oxide that is scraped off from the inner surface of the radiation tube 12 or is released / dropped and deposited on the ceramic insulator 18 is accommodated in the groove 30. Therefore, it becomes possible to significantly delay the short circuit between the adjacent heater wires 14 due to the metal oxide.
  • a substantially vertically steep step portion 32 by forming a wall thickness around the central hole 20 of the ceramic insulator 18.
  • the metal oxide scraped off from the inner surface of the radiation tube 12 or released / dropped off is deposited above and below the stepped portion 32, and the adjacent heater wires 14 are connected to each other in the same manner as the above-mentioned concave groove 30. It will be possible to significantly delay the short circuit due to the metal oxide.
  • the ceramic insulator 18 is lightened between the heater wire holding holes 22 adjacent to each other in the outer peripheral direction of the central hole 20 and adjacent to each other. It is preferable to dispose one of the heater wires 14 to be lightened. In this case, the adjacent heater wires 14 are supported by different ceramic insulators 18, and the short-circuiting of the adjacent heater wires 14 due to the metal oxide deposited on the ceramic insulator 18 is almost completely eliminated. You will be able to do it.
  • FIG. 5A is a plan view showing a ceramic insulator of another embodiment (fourth embodiment) of the present invention.
  • FIG. 5B is a cut end view of the BB'line in FIG. 5A.
  • FIG. 6A is a plan view showing a ceramic insulator of another embodiment (fifth embodiment) of the present invention.
  • FIG. 6B is a cross-sectional view taken along the line DD'in FIG. 6A.
  • FIG. 7A is a plan view showing an arrangement state of ceramic insulators of another embodiment (sixth embodiment) of the present invention.
  • FIG. 7B is a cross-sectional view taken along the line EE'in FIG. 7A (partially omitted).
  • FIG. 8A is a plan view showing an arrangement state of ceramic insulators of another embodiment (seventh embodiment) of the present invention.
  • FIG. 8B is a cross-sectional view taken along the line FF'in FIG. 8A (partially omitted).
  • FIG. 1 is a vertical cross-sectional view omitting a part of the internal structure (specifically, the heater wire 14 arranged on the front side) in the electric heating device 10 of the present embodiment.
  • the electric heating device 10 of the present embodiment is a device used as a heat source for an industrial electric furnace used in various industrial processes, and as shown in this figure, a radiant tube 12, a heater wire 14, and a heater fixed shaft 16 It is roughly composed of a ceramic porcelain 18 and a ceramic porcelain 18.
  • the radiation tube 12 is a metal tube in which a heating unit such as a heater wire 14 is housed by closing one end in the longitudinal direction and opening the other end in the longitudinal direction.
  • the metal material constituting the radiant tube 12 is appropriately selected according to the usage environment of the electric heating device 10.
  • a highly corrosion-resistant metal material such as Hastelloy (registered trademark of Haynes Co., Ltd .; the same applies hereinafter) C22. ..
  • a pipe flange 24 is provided on the open end side of the other end in the longitudinal direction of the radiant pipe 12, and the electric heating device 10 can be used as a furnace wall (not shown) of an electric furnace via the pipe flange 24. Be attached to.
  • the radiation tube 12 is formed of a cylindrical body is shown, but the form of the radiation tube 12 is not limited to this, and if necessary, for example, a polygonal cylinder or the like. May be.
  • the heater wire 14 is a long heating resistor made of a metal wire such as a nichrome wire or a Kanthal (registered trademark of Sandvik) wire, or a rod-shaped heating element such as SiC. By passing an electric current, the temperature rises to about 800 ° C to 1400 ° C depending on the type of material and the like. As shown in FIG. 2, in the present embodiment, twelve heater wires 14 are installed around the axis of the heater fixing shaft 16 described later at equal intervals, and the conductors are conductive such as Ni (nickel). They are electrically connected in series via a heater crossover plate (not shown) made of a material with excellent corrosion resistance. A plug 26 is attached to one end of the heater wire 14 in the longitudinal direction (lower end in the embodiment of FIG.
  • the heater wire 14 is formed of a metal wire, the shape may be a straight single wire (rod shape) as shown in the illustrated embodiment, or the heater wire 14 may be a spirally wound metal wire. May be good.
  • the heater fixing shaft 16 is a long member that supports the heater wire 14 via a ceramic insulator 18 described later, and functions as a core material 16a made of a stainless round bar and an insulator that covers the surface of the core material 16a. It is composed of a ceramic insulating cladding tube 16b.
  • the heater fixing shaft 16 is arranged on the central axis of the radiation tube 12, and a plurality of ceramic insulators 18, which will be described later, are attached at predetermined intervals.
  • the ceramic insulator 18 is a disk-shaped instrument that insulates and fixes the heater wire 14 at a predetermined position in the radiation tube 12 in cooperation with the heater fixing shaft 16.
  • the ceramic insulator 18 is formed into a perfect circular shape in a plan view, and as shown in FIG. 1, the shape of the peripheral edge thereof is the center “C” in the thickness direction. Is the maximum outer diameter, and the outer diameter is gradually reduced toward both front and back sides. That is, the entire peripheral surface is formed in an R shape.
  • a central hole 20 through which the heater fixing shaft 16 is inserted is inserted in the center thereof, and 12 heater wires are held evenly distributed on the circumference having the same center as the central hole 20.
  • a hole 22 is formed.
  • the outer diameter of the ceramic insulator 18 seen from the axial direction of the radiation tube 12 is set to be smaller than the inner diameter of the radiation tube 12, and the heater wire 14 is not operated at room temperature (normal temperature state). That is, in the normal state), the size is such that the two do not come into contact with each other.
  • the entire peripheral surface of the porcelain 18 is formed in an R shape, the stress applied to the inner surface of the radiating tube 12 by the peripheral surface of the ceramic porcelain 18 when the inner surface of the radiation tube 12 and the peripheral edge of the ceramic porcelain 18 come into contact with each other. Can be alleviated and the amount of scraped off metal oxide can be significantly reduced. Therefore, the occurrence of element failure that causes various troubles can be delayed as much as possible, and stable operation for a long period of time becomes possible.
  • the heater wire 14 and the heater fixing shaft 16 are in the shape of a round bar, but the shape of the heater wire 14 and the heater fixing shaft 16 is not limited to this.
  • a square rod-shaped one may be used.
  • the shape of the central hole 20 and the heater wire holding hole 22 of the ceramic insulator 18 is not a perfect circular shape, but a shape that follows the outer shape of the square rod-shaped heater wire 14 and the heater fixing shaft 16.
  • the case where the radiation tube 12 is formed of a cylindrical body and the ceramic porcelain 18 is formed into a perfect circular shape in a plan view is shown.
  • 18 may be formed into a polygonal shape in a plan view as described later.
  • the ceramic insulator 18 may be formed into an elliptical shape in a plan view.
  • the diameter of the circumscribed circle of the ceramic porcelain 18 seen from the axial direction of the radiation tube 12 is formed to be smaller than the diameter of the inscribed circle of the radiation tube 12. Will be done.
  • FIG. 1 a case is shown in which the pipe flange 24 and the plug 26 are arranged under the radiation pipe 12 and the electric heating device 10 is erected in an electric furnace (not shown).
  • the installation mode of the electric heating device 10 of the present invention in the electric furnace is not limited to this.
  • the electric heating device 10 may be vertically installed in an electric furnace (not shown) by arranging it on the upper side.
  • the plugs 26 may be provided at both ends in the longitudinal direction of the radiant tube 12 and the power may be supplied from both sides in the longitudinal direction of the radiant tube 12. Further, in the embodiment of FIG.
  • the structure in which the tip (upper end) of the heater wire 14 reaches the ceiling surface of the radiation tube 12 is shown, but the tip end (upper end) of the heater wire 14 and the radiation tube 12 are shown. It may have a structure in which a space is provided between the ceiling surface and the ceiling surface. The same applies to this point when the top and bottom of the electric heating device 10 are reversed as described above.
  • the ceramic porcelain 18 is formed in a perfect circular shape in a plan view, but the ceramic porcelain 18 is, for example, rotationally symmetric in a plan view as shown in FIG. It is more preferable to have a polygonal shape that is rotationally symmetric in a plane view, such as an object formed in a star-shaped polygonal shape or an object having a regular hexagonal shape in a plan view as shown in FIG. Further, as described above, the ceramic insulator 18 may be formed into an elliptical shape in a plan view. However, even in these cases, it is preferable that the shape of the peripheral edge of the ceramic insulator 18 is an R shape in the entire peripheral surface or a part in contact with the inner surface of the radiation tube 12.
  • the surface (upper surface) of the ceramic insulator 18 is formed on a plane, but for example, as shown in FIG. 5, they are adjacent to each other in the outer peripheral direction of the central hole 20 on the upper surface of the ceramic insulator 18. It is preferable to dig a concave groove 30 at a position between the heater wire holding holes 22.
  • the generation of metal oxides due to rubbing between the ceramic porcelain 18 and the inner surface of the radiation tube 12 can be dealt with by the above-mentioned technique, but in addition to rubbing, powder caused by oxidation of the metal surface due to high temperature is generated, and this metal is generated. Oxide powder may be released / dropped from the surface of the radiation tube 12 and deposited on the surface of the ceramic porcelain 18.
  • the adjacent heater wires 14 are short-circuited by the metal oxide deposited on the ceramic insulator 18, which causes an electric leakage.
  • the adjacent heaters are formed. It is possible to significantly delay the short circuit between the wires 14 due to the metal oxide powder.
  • each of the ceramic insulators 18 holds all of the plurality (12) heater wires 14 arranged so as to be parallel to each other by the heater wire holding holes 22.
  • the space between the heater wire holding holes 22 adjacent to each other in the outer peripheral direction of the central hole 20 of the ceramic insulator 18 is cut out, and the adjacent heater wires are used.
  • one of 14 is arranged in the lightening portion. With this configuration, the adjacent heater wires 14 are supported by different ceramic insulators 18, and the metal oxides deposited on the ceramic insulators 18 cause the adjacent heater wires 14 to be almost completely short-circuited. You will be able to eliminate it.
  • a rotationally symmetric ceramic insulator 18 provided with six heater wire holding holes 22 is used, and the ceramic insulator 18 is rotated by 30 ° up and down and arranged. , 12 heater wires 14 are held, but in this embodiment, the gaps between the heater wire holding holes 22 adjacent to each other in the outer peripheral direction of the central hole 20 of the ceramic insulator 18 are lightened and adjacent to each other. Any aspect may be used as long as one of the heater wires 14 is arranged in the lightening portion thereof, and the present invention is not limited to the one shown in the above illustration.

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Abstract

本発明は、金属製の放射管(１２)と、その放射管(１２)内にて互いに平行するように配置される複数本のヒータ線(１４)と、表面が絶縁体で被覆され、上記の放射管(１２)の中心軸線上に配設されるヒータ固定軸(１６)と、そのヒータ固定軸(１６)に所定の間隔で取り付けられて上記ヒータ線(１４)を支持するディスク状のセラミック碍子(１８)とを備える電熱装置であって、上記セラミック碍子(１８)は、その中心に上記ヒータ固定軸(１６)が挿通される中央孔(２０)及びその中央孔(２０)と同じ中心を持つ円周上に均等に分布されたヒータ線保持孔(２２)が穿設されると共に、常態において、上記の放熱管(１２)の軸方向から見た当該セラミック碍子(１８)それ自身の外径もしくはその外接円の直径が、上記の放熱管（１２）の内径もしくはその内接円の直径よりも小さくなるように形成されることを特徴とする。

Description

電熱装置
　本発明は、産業用電気炉で使用される電熱装置に関し、とりわけ熱源が放射管内に収容されたラジアントチューブヒータに関する。
　この種の電熱装置には、従来では、下記の特許文献１(日本国・特許第５２７０６８８号公報)に記載されたものがある。その従来技術は、次のように構成されている。
　放射管と、その放射管内に配置される発熱体とを備え、前記発熱体は、電熱線で構成されると共に、前記放射管の一端で電流取出口に接続される。また、前記発熱体は、支持体の支援を受けて前記放射管内に支持される。そして、前記放射管と前記発熱体との間には導電材料の保護挿入体が配置される。
　上記の従来技術によれば、放射管と発熱体との間に保護挿入体が配置されているので、素子故障の際に起こり得る発熱体残留物と溶融した金属とが重力の助けを借りて保護挿入体上に落下する。このため、放射管の無用な損傷を防止して、素子故障によって電熱装置が受ける被害を最小限に抑えることができる、とされている。
特許第５２７０６８８号公報
　しかしながら、上記の従来技術には次の課題がある。
　すなわち、素子故障の際に起こり得る発熱体残留物や溶融した金属を重力に基づいて保護挿入体の上に落下させるためには、電気炉内において、上記の電熱装置を水平実装しなければならず、電熱装置の配設構造やその用途が限られるという問題があった。
　また、上記の従来技術は、発熱体からの漏電などと言った素子故障それ自体を予防するものではないという大きな問題がある。
　それゆえに、本発明の主たる目的は、様々なトラブルの原因となる素子故障を低減させることによって、長期間の安定した稼働が可能な電熱装置を提供することである。
　上記目的を達成するため、本発明は、図１～図２に示すように、電熱装置を次のように構成した。
　すなわち、金属製の放射管１２と、その放射管１２内にて互いに平行するように配置される複数本のヒータ線１４と、表面が絶縁体で被覆され、上記の放射管１２の中心軸線上に配設されるヒータ固定軸１６と、そのヒータ固定軸１６に所定の間隔で取り付けられて上記ヒータ線１４を支持するディスク状のセラミック碍子１８とを備える。そして、上記セラミック碍子１８は、その中心に上記ヒータ固定軸１６が挿通される中央孔２０及びその中央孔２０と同じ中心を持つ円周上に均等に分布されたヒータ線保持孔２２が穿設されると共に、常態において、上記の放射管１２の軸方向から見た当該セラミック碍子１８それ自身の外径もしくはその外接円の直径が、上記の放射管１２の内径もしくはその内接円の直径よりも小さくなるように形成されることを特徴とする。
　本発明者らは、この種の電熱装置、すなわち、ヒータ固定軸やセラミック碍子などの絶縁体とヒータ線とを金属製の放射管に収容して外部雰囲気から保護する電熱装置において、当該電熱装置の発熱作動時または停止冷却時に、各部材の熱膨張率の違いから、放射管の内面と、(主として)セラミック碍子の周縁とが接触・摺動し、放射管の内面に生成される金属酸化物が削り落とされてセラミック碍子上のヒータ線周りに堆積するようになる。そして、堆積した金属酸化物の量が増えると、隣接するヒータ線の間を短絡するようになる。これが素子故障の大きな原因であることを突きとめた。
　そこで、本発明の電熱装置では、常態において、放射管１２の軸方向から見たセラミック碍子１８それ自身の外径もしくはその外接円の直径が、放射管１２の内径もしくはその内接円の直径よりも小さくなるように形成されるので、当該電熱装置の発熱作動時または停止冷却時における放射管１２の内面とセラミック碍子１８の周縁部との接触を極小化することができ、両者の接触に伴う金属酸化物の削り落とし量を著しく低減させることができる。
　本発明において、前記セラミック碍子１８は、その周縁部のうち少なくとも前記の放射管１２と接触する部分がＲ形状にて形成されるのが好ましい。
　この場合、仮に放射管１２の内面とセラミック碍子１８の周縁部とが接触した場合であっても、両者の接触に伴う金属酸化物の削り落とし量をより一層低減させることができる。
　また、本発明においては、図３及び図４に示すように、前記セラミック碍子１８を、平面視で回転対称な多角形状に形成するのが好ましい。
　この場合、放射管１２の内面とセラミック碍子１８の周縁部とが接触した場合であっても、両者の間に常に隙間を設けることができ、当該隙間を介して放射管１２の内面から削り落とされた金属酸化物を下方へと排出させてセラミック碍子１８上に堆積するのを低減させることができる。
　また、本発明では、図５に示すように、前記セラミック碍子１８の上面における前記の中央孔２０の外周方向にて互いに隣接する前記ヒータ線保持孔２２の間の位置に、凹溝３０を堀設するのが好ましい。
　この場合、放射管１２の内面から削り落とされたり遊離・脱落してセラミック碍子１８上に堆積する金属酸化物が当該凹溝３０内に収容されるようになる。このため、隣接するヒータ線１４同士がその金属酸化物によって短絡するのを著しく遅延させることができるようになる。
　さらに、本発明においては、図６に示すように、前記セラミック碍子１８の中央孔２０周りを肉厚に形成することによって、略垂直に切り立った段部３２を形成するのが好ましい。
　この場合、放射管１２の内面から削り落とされたり遊離・脱落した金属酸化物が段部３２の上下に堆積するようになり、上述した凹溝３０と同様に、隣接するヒータ線１４同士がその金属酸化物によって短絡するのを著しく遅延させることができるようになる。
　そして、本発明では、図７および図８に示すように、前記セラミック碍子１８は、前記の中央孔２０の外周方向にて互いに隣接する前記ヒータ線保持孔２２の間を肉抜きすると共に、隣接する前記ヒータ線１４のうち一方をその肉抜き部分に配設するのが好ましい。
　この場合、隣接するヒータ線１４は、それぞれ別のセラミック碍子１８で支持されるようになり、セラミック碍子１８上に堆積する金属酸化物によって隣接するヒータ線１４同士が短絡するのをほぼ完全に無くすことができるようになる。
本発明における一実施形態の電熱装置の概要を示す説明図(内部構造の一部を省略した垂直断面図)である。 図１におけるＡ－Ａ’線切断端面図である。 本発明における他の実施形態(第２実施形態)の電熱装置の概要を示す水平方向切断端面図である。 本発明における他の実施形態(第３実施形態)の電熱装置の概要を示す水平方向切断端面図である。 図５Ａは、本発明における他の実施形態(第４実施形態)のセラミック碍子を示す平面図である。図５Ｂは、図５ＡにおけるＢ－Ｂ’線切断端面図である。 図６Ａは、本発明における他の実施形態(第５実施形態)のセラミック碍子を示す平面図である。図６Ｂは、図６ＡにおけるＤ－Ｄ’線断面図である。 図７Ａは、本発明における他の実施形態(第６実施形態)のセラミック碍子の配置状態を示す平面図である。図７Ｂは、図７ＡにおけるＥ－Ｅ’線断面図(一部省略)である。 図８Ａは、本発明における他の実施形態(第７実施形態)のセラミック碍子の配置状態を示す平面図である。図８Ｂは、図８ＡにおけるＦ－Ｆ’線断面図(一部省略)である。
　以下、本発明の一実施形態について、図１および図２を参照しながら説明する。
　図１は、本実施形態の電熱装置１０における内部構造の一部(具体的には正面側に配置されるヒータ線１４など)を省略した垂直断面図である。本実施形態の電熱装置１０は、様々な工業プロセスで使用される産業用電気炉の熱源として使用される装置であり、この図が示すように、放射管１２，ヒータ線１４，ヒータ固定軸１６およびセラミック碍子１８で大略構成される。
　放射管１２は、長手方向一端が閉塞され、長手方向他端が開放されることによって、その内部にヒータ線１４などの発熱ユニットが収納される金属製の管体である。この放射管１２は、上記の発熱ユニットを外部雰囲気(＝炉内環境)から保護すると共に、ヒータ線１４が発した熱を外部(炉内)へと放射させるためのものである。
　放射管１２を構成する金属材料は、電熱装置１０の使用環境に応じて適宜選択される。例えば、この放射管１２の外部環境が腐食性の強いガスが存在する場合には、ハステロイ(ヘインズ社登録商標；以下同じ)Ｃ２２などのように、高耐食性の金属材料を用いるのが好適である。
　また、この放射管１２の長手方向他端の開放端側には、管フランジ２４が設けられており、この管フランジ２４を介して、電熱装置１０が電気炉の炉壁(図示せず)などに取着される。
　なお、図示実施形態では、この放射管１２を円筒体で構成する場合を示しているが、放射管１２の形態はこれに限定されるものではなく、必要に応じて、例えば、多角筒体などであってもよい。
　ヒータ線１４は、ニクロム線やカンタル(サンドビック社登録商標)線などの金属線のほかに、例えばＳｉＣなどの発熱体を棒状に成形したもの等からなる長尺の発熱抵抗体であって、電流を流すことにより材料の種類等に応じて概ね８００℃～１４００℃程度まで昇温する。図２に示すように、本実施形態では、このヒータ線１４が、後述するヒータ固定軸１６の軸周りに互いに等しい間隔をあけて１２本設置されると共に、Ｎｉ(ニッケル)などの導電性と耐食性とに優れた材料で形成されたヒータ渡りプレート(図示せず)を介して電気的に直列にて接続される。そして、このヒータ線１４の長手方向一端(図１の実施形態では下端)にプラグ２６が取り付けられ、このプラグ２６の端子２６ａに図示しない電源からの配線が接続される。
　なお、このヒータ線１４を金属線で形成する場合、その形状は、図示実施形態のようにストレートな単線(棒状)であってもよいし、金属線を螺旋状に巻回した物であってもよい。
　ヒータ固定軸１６は、後述するセラミック碍子１８を介してヒータ線１４を支持する長尺部材で、ステンレス丸棒材からなる芯材１６ａと、その芯材１６ａの表面を被覆する絶縁体として機能するセラミック製の絶縁被覆管１６ｂとで構成される。
　このヒータ固定軸１６は、放射管１２の中心軸線上に配設されると共に、所定の間隔をあけて後述する複数のセラミック碍子１８が取り付けられる。
　セラミック碍子１８は、ヒータ固定軸１６と協働して放射管１２内の所定位置でヒータ線１４を絶縁固定するディスク状の器具である。本実施形態では、図２に示すように、このセラミック碍子１８が、平面視で真円形状に形成されると共に、図１に示すように、その周縁の形状が、厚さ方向中央 “Ｃ”が最大外径となり、表裏両面側へ向かうに従ってその外径が漸次縮径するように形成される。つまり、周面全体がＲ形状にて形成されている。
　また、このセラミック碍子１８には、その中心に上記ヒータ固定軸１６が挿通される中央孔２０と、その中央孔２０と同じ中心を持つ円周上に均等に分布された１２個のヒータ線保持孔２２とが穿設されている。
　そして特筆すべきは、このセラミック碍子１８は、放射管１２の軸方向から見たその外径が、放射管１２の内径よりも小さく設定されており、ヒータ線１４を作動させていない常温状態(すなわち、常態)において、両者が接触しない大きさとなっている。
　以上のように構成された本実施形態の電熱装置１０によれば、ヒータ線１４に通電して発熱させる際やヒータ線１４への通電を停止して冷却させる際に、各部材の熱膨張率に違いが有ったとしても、放射管１２の内面とセラミック碍子１８の周縁とが接触・摺動するのを防止して放射管１２の内面に生成される金属酸化物が削り落とされるのを抑制することができる。また、仮に放射管１２の内面と(主として)セラミック碍子１８の周縁とが接触・摺動して放射管１２の内面に生成される金属酸化物が削り落とされるような場合であっても、セラミック碍子１８の周面全体がＲ形状にて形成されるので、放射管１２の内面とセラミック碍子１８の周縁部とが接触した際に、セラミック碍子１８の周縁部が放射管１２の内面に与える応力を緩和して金属酸化物の削り落とし量を著しく低減させることができる。このため、様々なトラブルの原因となる素子故障の発生を最大限遅延させることができ、長期間の安定した稼働が可能となる。
　なお、上述の実施形態では、ヒータ線１４やヒータ固定軸１６として、丸棒状のものを用いる場合を示しているが、ヒータ線１４やヒータ固定軸１６の形状はこれに限定されるものではなく、例えば角棒状のものを用いるようにしてもよい。但し、その場合、セラミック碍子１８の中央孔２０やヒータ線保持孔２２の形状も真円形状ではなく、角棒状のヒータ線１４やヒータ固定軸１６の外形に沿った形状のものとなる。
　上述の実施形態では、放射管１２内において、ヒータ固定軸１６に対して６個のセラミック碍子１８が装着される場合を示しているが、このヒータ固定軸１６に装着させるセラミック碍子１８の数はこれに限定されるものではなく、例えば、５個以下であってもよいし、７個以上であってもよい。但し、ヒータ線１４の発熱による熱量を吸収し当該電熱装置１０の熱効率を阻害することの無いよう個数については配慮する必要がある。
　上述の実施形態では、放射管１２内に１２本のヒータ線１４を配設する場合を示しているが(図２参照)、放射管１２内に配設するヒータ線１４の本数はこれに限定されるものではなく、必要に応じて適宜増減することができる。
　上述の実施形態では、放射管１２を円筒体で構成すると共に、セラミック碍子１８を平面視で真円形状に形成する場合を示したが、放射管１２を多角筒体で構成すると共に、セラミック碍子１８を後述するように平面視で多角形状に形成するようにしてもよい。又、セラミック碍子１８を平面視で楕円形状に形成するようにしてもよい。尤も、これらのような場合であっても、常態において、放射管１２の軸方向から見たセラミック碍子１８の外接円の直径が、放射管１２の内接円の直径よりも小さくなるように形成される。
　上述の実施形態では、図１に示すように、管フランジ２４やプラグ２６を放射管１２の下側に配置して、図示しない電気炉内で電熱装置１０が立設される場合を示しているが、電気炉内における本発明の電熱装置１０の設置態様はこれに限定されるものではなく、例えば、管フランジ２４やプラグ２６を、図１のものとは天地を逆にした放射管１２の上側に配置して、図示しない電気炉内で電熱装置１０を垂設するようにしてもよい。また、電熱装置１０への給電はプラグ２６を介して行われるが、このプラグ２６を放射管１２の長手方向両端に設け、放射管１２の長手方向両側から給電するようにしてもよい。更に、図１の実施形態では、ヒータ線１４の先端(上端)が放射管１２の天井面に達している構造のものを示しているが、このヒータ線１４の先端(上端)と放射管１２の天井面との間にスペースが設けられる構造のものであってもよい。この点については、上述のように電熱装置１０の天地が逆となる場合も同様である。
　また、上述の実施形態では、セラミック碍子１８として、平面視で真円形状に形成されたものを用いているが、このセラミック碍子１８は、例えば、図３に示すような平面視で回転対称な星形多角形状に形成した物や、図４に示すような平面視で正六角形状の物などのように、平面視で回転対称な多角形状とするのがより好ましい。又、上述したようにセラミック碍子１８を平面視で楕円形状に形成するようにしてもよい。尤も、これらのような場合であっても、セラミック碍子１８の周縁の形状は、周面全体又は放射管１２の内面と接触する一部がＲ形状にて形成されていることが好ましい。
　係る構成により、ヒータ線１４の発熱によって放射管１２の内面とセラミック碍子１８の周縁部とが接触した場合であっても、両者の間に隙間を設けることができ、当該隙間を介して放射管１２の内面から削り落とされた金属酸化物を下方へと排出させてセラミック碍子１８上に堆積するのをより一層低減させることができるようになる。
　また、上述の実施形態では、セラミック碍子１８の表面(上面)をプレーンに形成しているが、例えば、図５に示すように、セラミック碍子１８の上面における中央孔２０の外周方向にて互いに隣接するヒータ線保持孔２２の間の位置に、凹溝３０を堀設するのが好ましい。
　セラミック碍子１８と放射管１２の内面との擦れによる金属酸化物の発生は上述してきた技術により対応できるが、擦れ以外にも高温による金属表面の酸化を要因とする粉体が発生し、この金属酸化物の粉体が放射管１２表面から遊離・脱落してセラミック碍子１８表面上に堆積する場合がある。このような場合にも、セラミック碍子１８に堆積した金属酸化物によって隣接するヒータ線１４同士が短絡し、漏電の原因となる。
　しかしながら、この実施形態のように、セラミック碍子１８の上面における中央孔２０の外周方向にて互いに隣接するヒータ線保持孔２２の間の位置に、凹溝３０を堀設することによって、隣接するヒータ線１４同士がその金属酸化物粉体によって短絡するのを著しく遅延させることができる。
　さらに、上記の凹溝３０に替えて、或いは、上記の凹溝３０と共に、図６に示すように、セラミック碍子１８の中央孔２０周りを肉厚に形成することによって、略垂直に切り立った段部３２を形成するのが好ましい。この場合、略垂直に切り立った立ち上がり面には金属粉体が堆積しないことから、放射管１２の内面から削り落とされたり遊離・脱落した金属酸化物が段部３２の上下に堆積したとしても、上述した凹溝３０と同様に、隣接するヒータ線１４同士がその金属酸化物によって短絡するのを著しく遅延させることができる。
　そして、図１に示された上述の実施形態では、各セラミック碍子１８のそれぞれが、互いに平行するように配置される複数本(１２本)のヒータ線１４の全てをヒータ線保持孔２２で保持する場合を示したが、例えば、図７や図８に示すように、セラミック碍子１８の中央孔２０外周方向にて互いに隣接するヒータ線保持孔２２の間を肉抜きすると共に、隣接するヒータ線１４のうち一方をその肉抜き部分に配設するようにするのが好ましい。係る構成により、隣接するヒータ線１４は、それぞれ別のセラミック碍子１８で支持されるようになり、セラミック碍子１８上に堆積する金属酸化物によって隣接するヒータ線１４同士が短絡するのをほぼ完全に無くすことができるようになる。
　なお、図７及び図８に示す例では、６つのヒータ線保持孔２２が設けられた回転対称形のセラミック碍子１８を用い、このセラミック碍子１８を上下で３０°ずつ回転させて配置することによって、１２本のヒータ線１４を保持する場合を示しているが、この実施形態は、セラミック碍子１８の中央孔２０外周方向にて互いに隣接するヒータ線保持孔２２の間を肉抜きすると共に、隣接するヒータ線１４のうち一方をその肉抜き部分に配設する態様であれば如何なるものであってもよく、上記図示のものに限定されるものではない。
　その他に、本発明は、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。
　１０：電熱装置，１２：放射管，１４：ヒータ線，１６：ヒータ固定軸，１８：セラミック碍子，２０：中央孔，２２：ヒータ線保持孔，３０：凹溝，３２：段部．

Claims (6)

  1. 　金属製の放射管(１２)と、その放射管(１２)内にて互いに平行するように配置される複数本のヒータ線(１４)と、表面が絶縁体で被覆され、上記の放射管(１２)の中心軸線上に配設されるヒータ固定軸(１６)と、そのヒータ固定軸(１６)に所定の間隔で取り付けられて上記ヒータ線(１４)を支持するディスク状のセラミック碍子(１８)とを備える、電熱装置であって、
    　上記セラミック碍子(１８)は、その中心に上記ヒータ固定軸(１６)が挿通される中央孔(２０)及びその中央孔(２０)と同じ中心を持つ円周上に均等に分布されたヒータ線保持孔(２２)が穿設されると共に、常態において、上記の放射管(１２)の軸方向から見た当該セラミック碍子(１８)それ自身の外径もしくはその外接円の直径が、上記の放射管（１２）の内径もしくはその内接円の直径よりも小さくなるように形成される、
    ことを特徴とする電熱装置。
  2. 　請求項１の電熱装置において、
    　前記セラミック碍子(１８)は、その周縁部のうち少なくとも前記の放射管(１２)と接触する部分がＲ形状にて形成される、ことを特徴とする電熱装置。
  3. 　請求項１又は２の電熱装置において、
    　前記セラミック碍子(１８)が、平面視で回転対称な多角形状に形成される、ことを特徴とする電熱装置。
  4. 　請求項１乃至３の何れかの電熱装置において、
    　前記セラミック碍子(１８)の上面には、前記の中央孔(２０)の外周方向にて互いに隣接する前記ヒータ線保持孔(２２)の間の位置に凹溝(３０)が堀設される、ことを特徴とする電熱装置。
  5. 　請求項１乃至３の何れかの電熱装置において、
    　前記セラミック碍子(１８)は、前記の中央孔(２０)周りが肉厚に形成されて、略垂直に切り立った段部(３２)が形成される、ことを特徴とする電熱装置。
  6. 　請求項１乃至３の何れかの電熱装置において、
    　前記セラミック碍子(１８)は、前記の中央孔(２０)の外周方向にて互いに隣接する前記ヒータ線保持孔(２２)の間が肉抜きされると共に、隣接する前記ヒータ線(１４)のうち一方がその肉抜き部分に配設される、ことを特徴とする電熱装置。
     
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7140440B1 (ja) * 2022-01-28 2022-09-21 カンケンテクノ株式会社 筒状加熱部と該筒状加熱部を備えた排ガス処理装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7325151B1 (ja) 2023-04-10 2023-08-14 カンケンテクノ株式会社 筒状加熱部と該筒状加熱部を備えた排ガス処理装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5926895U (ja) * 1982-08-13 1984-02-20 ミクニ機工株式会社 チユ−ブヒ−タ用支持碍子
JPS61142685A (ja) * 1984-12-14 1986-06-30 ニムラ鋼機株式会社 ラジアントチユ−ブ式ヒ−タ−
JPH02143795U (ja) * 1989-05-02 1990-12-06
JPH07312278A (ja) * 1993-04-02 1995-11-28 Kanthal Gmbh 産業用電気炉の加熱エレメントにおける発熱抵抗体支持用セラミックディスク
JP2011029028A (ja) * 2009-07-27 2011-02-10 Mikuni Kiko Kk 炉内加熱ヒータ用碍子およびそれを用いた炉内加熱ヒータ
JP5270688B2 (ja) * 2007-12-10 2013-08-21 サンドビック インテレクチュアル プロパティー アクティエボラーグ 電熱装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2888546A (en) * 1957-09-16 1959-05-26 Theodore S Kinney Immersion electric heater
US4322606A (en) * 1980-04-28 1982-03-30 Agf Inc. Electrical heating element assembly
DE3445489C2 (de) * 1984-12-13 1986-11-20 Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8012 Ottobrunn Einrichtung zur Befestigung mehrerer elektrischer Leitungen in einem Flugzeug
SE526522C2 (sv) * 2003-06-27 2005-10-04 Sandvik Intellectual Property Keramisk stödskiva för värmeledare
DE202008016439U1 (de) * 2008-12-11 2009-03-12 Türk & Hillinger GmbH Heizpatrone

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5926895U (ja) * 1982-08-13 1984-02-20 ミクニ機工株式会社 チユ−ブヒ−タ用支持碍子
JPS61142685A (ja) * 1984-12-14 1986-06-30 ニムラ鋼機株式会社 ラジアントチユ−ブ式ヒ−タ−
JPH02143795U (ja) * 1989-05-02 1990-12-06
JPH07312278A (ja) * 1993-04-02 1995-11-28 Kanthal Gmbh 産業用電気炉の加熱エレメントにおける発熱抵抗体支持用セラミックディスク
JP5270688B2 (ja) * 2007-12-10 2013-08-21 サンドビック インテレクチュアル プロパティー アクティエボラーグ 電熱装置
JP2011029028A (ja) * 2009-07-27 2011-02-10 Mikuni Kiko Kk 炉内加熱ヒータ用碍子およびそれを用いた炉内加熱ヒータ

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7140440B1 (ja) * 2022-01-28 2022-09-21 カンケンテクノ株式会社 筒状加熱部と該筒状加熱部を備えた排ガス処理装置
WO2023145022A1 (ja) * 2022-01-28 2023-08-03 カンケンテクノ株式会社 筒状加熱部と該筒状加熱部を備えた排ガス処理装置
KR20230117326A (ko) * 2022-01-28 2023-08-08 칸켄 테크노 가부시키가이샤 통형상 가열부와 상기 통형상 가열부를 구비한 배기 가스 처리 장치
KR102569040B1 (ko) 2022-01-28 2023-08-22 칸켄 테크노 가부시키가이샤 통형상 가열부와 상기 통형상 가열부를 구비한 배기 가스 처리 장치
US12161964B2 (en) 2022-01-28 2024-12-10 Kanken Techno Co., Ltd. Cylindrical heating unit and exhaust gas processing device including the cylindrical heating unit

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