WO2024252626A1

WO2024252626A1 - オゾン供給システムおよびオゾン供給方法

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Publication number: WO2024252626A1
Application number: PCT/JP2023/021388
Authority: WO
Inventors: 美来村田; 学生沼; 洋航松浦; 望安永; 佳明尾台; 大道古賀
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2023-06-08
Filing date: 2023-06-08
Publication date: 2024-12-12
Anticipated expiration: 2025-12-08
Also published as: CN121263380A; JPWO2024252626A1

Abstract

酸素源（２）から供給される酸素からオゾン発生器（３）で生成したオゾンを吸着する吸着材が格納され、吸着材にオゾンを吸着させる吸着工程と吸着材からオゾンを脱着する脱着工程とを交互に繰り返す吸着塔（Ａ、Ｂ）と、吸着工程で、吸着材に吸着しなかった酸素ガスを吸着塔（Ａ、Ｂ）から導出しオゾン発生器（３）に循環供給する循環経路（１２０）と、第１キャリアガスの第１供給部（４）と、脱着工程で、第１供給部（４）から第１キャリアガスを吸着塔（Ａ、Ｂ）内に導入するキャリアガス導入経路（１０３）と、脱着工程で、第１キャリアガスに同伴されたオゾンを吸着塔（Ａ、Ｂ）外へ導出するキャリアガス導出経路（１０４）と、脱着工程で、吸着塔（Ａ、Ｂ）内が大気圧よりも低くなるまで減圧する減圧部（５）とを備える。

Description

オゾン供給システムおよびオゾン供給方法

　本願は、オゾン供給システムおよびオゾン供給方法に関するものである。

　従来のオゾン供給システムは、オゾン原料となる高純度酸素ガスを供給する高純度酸素ガス供給源と、該高純度酸素ガス供給源から供給される高純度酸素ガスを原料としてオゾンを発生するオゾン発生器と、オゾンを優先的に吸着する吸着剤が充填され、オゾン発生器で発生したオゾンを相対的に低温の吸着工程で吸着し、相対的に高温の脱着工程で脱着する操作が交互に行われる吸着筒と、前記吸着工程で吸着剤に吸着せずに吸着筒から導出した酸素ガスを前記高純度酸素ガスに循環混合する酸素循環経路と、前記脱着工程で吸着剤から脱着したオゾンを同伴して吸着筒から導出するための掃気ガスを吸着筒内に導入する掃気ガス導入経路と、該脱着工程で吸着筒からオゾン同伴掃気ガスを導出するオゾン導出経路と、該オゾン導出経路に導出したオゾン同伴掃気ガスを製品オゾンとしてオゾン消費先に供給するオゾン供給経路と、前記吸着筒内のガスを吸引して昇圧後に前記製品オゾンに導入混合するポンプとを備えていたものである（例えば、特許文献１参照）。

特開２００１－１７２００４号公報

　従来のオゾン供給システムおよびオゾン供給方法は、酸素の利用量を低減させるために、低濃度の酸素ガスにてパージを行うため、脱着時に導入された窒素ガスが吸着塔内に残留することでオゾンガス脱着から吸着への移行時に吸着塔内の窒素濃度が高くなり、オゾンの発生効率の低下、経路などの腐食の発生の原因となる窒素酸化物が生成されるという問題点があった。

　本願は、上記のような課題を解決するための技術を開示するものであり、吸着塔内の窒素濃度の上昇を抑えることができるオゾン供給システムおよびオゾン供給方法を提供することを目的とする。

　本願に開示されるオゾン供給システムは、
　酸素源から供給される酸素からオゾンを生成するオゾン発生器と、
　前記オゾン発生器で生成したオゾンを吸着する吸着材が格納され、前記吸着材にオゾンを吸着させる吸着工程と前記吸着材からオゾンを脱着する脱着工程とを交互に繰り返す吸着塔と、
　前記吸着工程で、前記吸着材に吸着しなかった酸素を前記吸着塔から導出して前記オゾン発生器に循環供給する循環経路と、
　第１キャリアガスの第１供給部と、
　前記脱着工程で、前記第１供給部から前記第１キャリアガスを前記吸着塔内に導入するキャリアガス導入経路と、
　前記脱着工程で、前記第１キャリアガスに同伴されたオゾンを前記吸着塔外へ導出するキャリアガス導出経路と、
　前記脱着工程で、前記吸着塔内が大気圧よりも低くなるまで減圧する減圧部とを備えたものである。
　また、本願に開示されるオゾン供給方法は、
吸着塔に格納された吸着材に生成したオゾンを吸着させるとともに、前記吸着材に吸着されなかった酸素を前記吸着塔から導出し、オゾン発生器に原料ガスとして再度導入して、オゾンを再生成し、前記吸着塔に供給する吸着工程と
前記吸着工程が終了したのち、前記吸着塔に第１キャリアガスを導入して前記吸着材に吸着させたオゾンを前記第１キャリアガスに同伴して脱着し前記吸着塔外へ導出する第１脱着工程と、
前記第１キャリアガスの導入を停止した後、前記吸着塔内が大気圧よりも低くなるまで減圧する真空脱着工程とを備えたものである。
　また、本願に開示されるオゾン供給方法は、
吸着塔に格納された吸着材に生成したオゾンを吸着させるとともに、前記吸着材に吸着されなかった酸素を前記吸着塔から導出し、オゾン発生器に原料ガスとして再度導入して、オゾンを再生成し、前記吸着塔に供給する吸着工程と
前記吸着工程が終了したのち、前記吸着塔に第１キャリアガスを導入し前記吸着材に吸着させたオゾンを前記第１キャリアガスに同伴して脱着し前記吸着塔外へ導出する第１脱着工程と、
前記第１キャリアガスの導入を停止した後、前記第１キャリアガスの窒素濃度よりも低い窒素濃度の第２キャリアガスを導入し前記吸着材に吸着させたオゾンを脱着し前記吸着塔外へ導出するとともに、前記吸着塔内に残存した前記第１キャリアガスを前記第２キャリアガスに置換する第２脱着工程とを備えたものである。

　本願に開示されるオゾン供給システムおよびオゾン供給方法によれば、吸着塔内の窒素濃度の上昇を抑えることができる。

実施の形態１によるオゾン供給システムの構成を示すブロック図である。図１に示したオゾン供給システムを用いたオゾン供給方法の工程を示すフロー図である。実施の形態２によるオゾン供給システムの構成を示すブロック図である。図３に示したオゾン供給システムを用いたオゾン供給方法の工程を示すフロー図である。図３に示したオゾン供給システムを用いた他のオゾン供給方法の工程を示すフロー図である。

実施の形態１．
　図１は、実施の形態１によるオゾン供給システムの構成を示すブロック図である。図２は、図１に示したオゾン供給システムを用いたオゾン供給方法の工程を示すフロー図である。図１において、オゾン供給システム１は、吸着塔Ａおよび吸着塔Ｂと、吸着塔Ａおよび吸着塔Ｂの双方に接続された、オゾン発生器３と、オゾン導入経路１０１と、循環経路１２０と、第１キャリアガス導入経路１０３と、キャリアガス導出経路１０４と、第１供給部４と、減圧部５とを備える。

　吸着塔Ａおよび吸着塔Ｂは、オゾンを吸着する吸着材が格納されている。オゾン供給システム１は、吸着塔Ａおよび吸着塔Ｂにおいて、吸着材にオゾンを吸着させる吸着工程と、吸着後の吸着材からオゾンを脱着する脱着工程とを交互に切り替えて行う。オゾン発生器３は、酸素源２から後述するバッファータンク１２２を介して酸素を導入し、オゾンを発生して、吸着工程にある吸着塔Ａまたは吸着塔Ｂに、オゾン導入経路１０１を介して供給する。循環経路１２０は、吸着工程にある吸着塔Ａまたは吸着塔Ｂから、吸着材に吸着されない酸素ガスを導出し、再度、オゾン発生器３に導入して原料ガスとして再利用するために循環させる、酸素ガスを循環させる循環ブロア１２１および循環させる酸素ガスを一時保存可能なバッファータンク１２２を備える。

　第１供給部４は、脱着工程にある吸着塔Ａまたは吸着塔Ｂに、吸着材に吸着されたオゾンを脱着するための第１キャリアガスを第１キャリアガス導入経路１０３を介して供給する。第１キャリアガスとして、例えば、乾燥空気が用いられる。キャリアガス導出経路１０４は、脱着工程にある吸着塔Ａまたは吸着塔Ｂから第１キャリアガスに同伴されたオゾンを減圧部５に導出する。

　減圧部５は、脱着工程にある吸着塔Ａまたは吸着塔Ｂ内が、大気圧よりも低くなるまでキャリアガス導出経路１０４を介して減圧する。減圧部５は、例えば、真空ポンプなどにて構成される。そして、これらの各経路１０１、１２０、１０３、１０４には、吸着塔Ａおよび吸着塔Ｂの各工程を切り替える際に所定の手順で開閉する切替弁１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８が、それぞれ設置されている。

　次に、上記のように構成された実施の形態１のオゾン供給システムのオゾン供給方法について説明する。なお、ここでは、吸着塔Ａを中心に説明する。当然のことながら、吸着塔Ａにて吸着工程が行われている場合には、吸着塔Ｂでは脱着工程が行われている。また、吸着塔Ａにて脱着工程が行われている場合には、吸着塔Ｂでは吸着工程が行われている。よって、これらのことは以下の実施の形態においても同様であるためその説明は適宜省略する。

　まず、オゾン発生器３は、酸素源２から酸素を導入し、オゾンを発生させ、吸着工程にある吸着塔Ａにオゾン導入経路１０１を介してオゾンを導入する。次に、導入されたオゾンは吸着塔Ａ内の吸着材に吸着される。そして、同時に、吸着塔Ａ内の吸着材に吸着されない酸素ガスを循環経路１２０から吸着塔Ａ外に導出し、循環ブロア１２１およびバッファータンク１２２を介して、再度、酸素ガスを原料ガスとしてオゾン発生器３に供給する吸着工程を行う（図２のステップＳＴ０１）。この際、吸着塔Ａ内の圧力は、大気圧よりも大きな圧力状態となっている。そして、吸着塔Ａの吸着工程が終了すると、オゾン発生器３から吸着塔Ａへのオゾンの導入は停止される。

　次に、脱着工程にある吸着塔Ａ内に、第１供給部４は、第１キャリアガスとしての乾燥空気を第１キャリアガス導入経路１０３を介して導入する。導入された第１キャリアガスは、吸着塔Ａの吸着材に吸着しているオゾンを、キャリアガス導出経路１０４を介して、第１キャリアガスと同伴して吸着塔Ａ外へ掃気して第１脱着工程（図２のステップＳＴ０２）が行なわれる。この際、吸着塔Ａ内には乾燥空気が導入されるため、吸着塔Ａ内の圧力は、大気圧程度まで減圧される。なお、ここでは、第１脱着工程において、第１キャリアガスに同伴されたオゾンが通過するキャリアガス導出経路１０４が、減圧部５を経由して装置外に導出される例を示しているが、これに限られるものではなく、第１脱着工程では、減圧部５を経由せずに直接装置外に導出しても良い。

　次に、第１キャリアガスの導入を停止した後、吸着塔Ａ内をキャリアガス導出経路１０４を介して減圧部５により減圧し、吸着塔Ａ内が大気圧よりも低くなるまで減圧する真空脱着工程（図２のステップＳＴ０３）を行う。この際、吸着塔Ａ内およびキャリアガス導出経路１０４内に残存する、第１キャリアガスの成分が排気される。よって、吸着塔Ａ内の窒素ガスの蓄積を低減できるため、次の吸着工程（ステップＳＴ０１）における循環経路１２０内の窒素ガス増加に伴うＮＯｘガスの発生量を低減できる。これにより、オゾンの発生効率の低下を抑制するとともに、経路などの腐食の発生の原因となる窒素酸化物を低減できる。そして、減圧部５による減圧を終了し、再び、吸着工程（図２のステップＳＴ０１）に戻る。

　上記に示したように、真空脱着工程における、吸着塔Ａ内の圧力は、大気圧よりも低くなれば、上記に示した効果を得ることができる。しかしながら、さらに、これら効果を確実に得るために以下のことが考えられる。

　例えば、吸着工程にある吸着塔Ａ内の窒素濃度をＣ１、吸着塔Ａ内の圧力値をＰ１とし、第１脱着工程での第１キャリアガスの窒素濃度をＣ２とし、真空脱着工程における吸着塔Ａ内の圧力値をＰ２とした場合、
Ｃ１×Ｐ１≧Ｃ２×Ｐ２　・・・（式１）
の関係となるまで吸着塔Ａの減圧を行う。

　上記に示した（式１）の関係となるまで、吸着塔Ａの減圧を行い、真空脱着工程（ステップＳＴ０３）における窒素ガスの分圧（濃度×圧力）を吸着工程（ステップＳＴ０１）における窒素ガスの分圧以下に減少すれば、脱着工程終了時の吸着塔Ａ内の吸着材に吸着された窒素ガス量を、吸着工程時よりも少なく確実に低減できる。よって、吸着塔Ａ内の窒素ガスの蓄積を確実に低減でき、次の吸着工程（ステップＳＴ０１）における循環経路１２０内の窒素ガス増加に伴うＮＯｘガスの発生量を確実に低減できる。

　上記のように構成された実施の形態１のオゾン供給システムによれば、
　酸素源から供給される酸素からオゾンを生成するオゾン発生器と、
　前記オゾン発生器で生成したオゾンを吸着する吸着材が格納され、前記吸着材にオゾンを吸着させる吸着工程と前記吸着材からオゾンを脱着する脱着工程とを交互に繰り返す吸着塔と、
　前記吸着工程で、前記吸着材に吸着しなかった酸素を前記吸着塔から導出して前記オゾン発生器に循環供給する循環経路と、
　第１キャリアガスの第１供給部と、
　前記脱着工程で、前記第１供給部から前記第１キャリアガスを前記吸着塔内に導入するキャリアガス導入経路と、
　前記脱着工程で、前記第１キャリアガスに同伴されたオゾンを前記吸着塔外へ導出するキャリアガス導出経路と、
　前記脱着工程で、前記吸着塔内が大気圧よりも低くなるまで減圧する減圧部とを備えたので、
吸着塔内の窒素濃度の上昇を抑えることができる。

　また、上記のように行われた実施の形態１のオゾン供給方法によれば、
吸着塔に格納された吸着材に生成したオゾンを吸着させるとともに、前記吸着材に吸着されなかった酸素を前記吸着塔から導出し、オゾン発生器に原料ガスとして再度導入して、オゾンを再生成し、前記吸着塔に供給する吸着工程と
前記吸着工程が終了したのち、前記吸着塔に第１キャリアガスを導入して前記吸着材に吸着させたオゾンを前記第１キャリアガスに同伴して脱着し前記吸着塔外へ導出する第１脱着工程と、
前記第１キャリアガスの導入を停止した後、前記吸着塔内が大気圧よりも低くなるまで減圧する真空脱着工程とを備えたので、
吸着塔内の窒素濃度の上昇を抑えることができる。

　さらに、上記のように行われた実施の形態１のオゾン供給方法によれば、
前記真空脱着工程では、
前記吸着工程にある前記吸着塔内の圧力値をＰ１、
前記真空脱着工程における前記吸着塔内の圧力値をＰ２、
前記吸着工程にある前記吸着塔の窒素濃度をＣ１、
前記第１脱着工程での前記第１キャリアガスの窒素濃度をＣ２とした場合、
Ｃ１×Ｐ１≧Ｃ２×Ｐ２
となるまで前記吸着塔の減圧を行うので、
真空脱着工程における窒素分圧が、吸着工程における窒素分圧以下となるまで減圧することで、吸着材に対する窒素の吸着量が同等以下となり、吸着塔内に窒素が多く残留することを抑制できる。

実施の形態２．
　図３は、実施の形態２によるオゾン供給システムの構成を示すブロック図である。図４は、図３に示したオゾン供給システムを用いたオゾン供給方法の工程を示すフロー図である。図５は、図３に示したオゾン供給システムを用いた他のオゾン供給方法の工程を示すフロー図である。

　図において、上記実施の形態１と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。図３において、オゾン供給システム１は、酸素源２が、第１キャリアガスの窒素濃度よりも低い窒素濃度を有する、第２キャリアガスとしての酸素ガスを供給する第２供給部となる。酸素源２は、脱着工程にある吸着塔Ａまたは吸着塔Ｂに、第２キャリアガスを第２キャリアガス導入経路１０５を介して導入する。そして、脱着工程にある吸着塔Ａまたは吸着塔Ｂへの第１キャリアガスと第２キャリアガスとの供給の切り替えを行う、キャリアガス切替弁６を備える。

　次に、上記のように構成された実施の形態２のオゾン供給システムのオゾン供給方法について説明する。まず、上記実施の形態１と同様に、吸着塔Ａの吸着工程を行う（図４のステップＳＴ０１）。次に、脱着工程にある吸着塔Ａ内、第１供給部４は、第１キャリアガスとしての乾燥空気を第１キャリアガス導入経路１０３を介して導入する。導入された、第１キャリアガスは、吸着塔Ａの吸着材に吸着しているオゾンを、キャリアガス導出経路１０４を介して、第１キャリアガスと同伴して吸着塔Ａ外へ掃気して第１脱着工程（図４のステップＳＴ０２）が行なわれる。

　次に、第１キャリアガスの導入を停止した後、吸着塔Ａ内を第２キャリアガス導入経路１０５を介して酸素源２から第２キャリアガスとしての酸素ガスを導入する。導入された、第２キャリアガスは、吸着塔Ａの吸着材に吸着しているオゾンおよび吸着塔Ａ内に残存する第１キャリアガスを、キャリアガス導出経路１０４を介して、第２キャリアガスと同伴して吸着塔Ａ外へ掃気して第２脱着工程（図４のステップＳＴ０４）が行なわれる。

　このように、吸着塔Ａ内およびキャリアガス導出経路１０４内に残存する、第１キャリアガスが第２キャリアガスに置換され、吸着塔Ａ外に掃気される。よって、吸着塔Ａ内の窒素ガスの蓄積を低減できるため、次の吸着工程（ステップＳＴ０１）における循環経路１２０内の窒素ガス増加に伴うＮＯｘガスの発生量を低減できる。これにより、オゾンの発生効率の低下、経路などの腐食の発生の原因となる窒素酸化物を低減できる。そして、第２キャリアガスの導入を停止して、再び、吸着工程（図２のステップＳＴ０１）に戻る。

　さらに、実施の形態２のオゾン供給方法の他の例について説明する。上記第２脱着工程の後であって、吸着工程の前に、第２キャリアガスの導入を停止した後、吸着塔Ａ内をキャリアガス導出経路１０４を介して減圧部５により減圧し、吸着塔Ａ内が大気圧よりも低くなるまで減圧する真空脱着工程（図５のステップＳＴ０５）を行う。この際、吸着塔Ａ内に残存する、第２キャリアガスに置換されずに残存している第１キャリアガスの成分および第２キャリアガスの成分が排気される。

　よって、吸着塔Ａ内の窒素ガスの蓄積をさらに低減できるため、次の吸着工程（ステップＳＴ０１）における循環経路１２０内の窒素ガス増加に伴うＮＯｘガスの発生量をさらに低減できる。これにより、オゾンの発生効率の低下をさらに抑制するとともに、経路などの腐食の発生の原因となる窒素酸化物をさらに低減できる。そして、減圧部５による減圧を停止した後、再び、吸着工程（図５のステップＳＴ０１）に戻る。

　上記のように構成された実施の形態２のオゾン供給システムによれば、上記実施の形態１と同様の効果を奏するとともに、
前記第１キャリアガスの窒素濃度よりも低い窒素濃度の第２キャリアガスの第２供給部を備え、
当該第２供給部は、前記第１キャリアガスと前記第２キャリアガスとの前記吸着塔への供給の切り替えを行うキャリアガス切替弁を介して前記キャリアガス導入経路に接続され、
前記キャリアガス導出経路は、脱着工程で、前記第２キャリアガスに同伴されたオゾンを前記吸着塔外へ導出するので、
吸着塔内の窒素濃度の上昇をさらに抑えることができる。

　また、上記のように行われた実施の形態２のオゾン供給方法によれば、
吸着塔に格納された吸着材に生成したオゾンを吸着させるとともに、前記吸着材に吸着されなかった酸素を前記吸着塔から導出し、オゾン発生器に原料ガスとして再度導入して、オゾンを再生成し、前記吸着塔に供給する吸着工程と
前記吸着工程が終了したのち、前記吸着塔に第１キャリアガスを導入し前記吸着材に吸着させたオゾンを前記第１キャリアガスに同伴して脱着し前記吸着塔外へ導出する第１脱着工程と、
前記第１キャリアガスの導入を停止した後、前記第１キャリアガスの窒素濃度よりも低い窒素濃度の第２キャリアガスを導入し前記吸着材に吸着させたオゾンを脱着し前記吸着塔外へ導出するとともに、前記吸着塔内に残存した前記第１キャリアガスを前記第２キャリアガスに置換する第２脱着工程とを備えたので、
吸着塔内の窒素濃度の上昇を抑えることができる。

　さらに、上記のように行われた実施の形態２のオゾン供給方法によれば、
前記第２キャリアガスの導入を停止した後、前記吸着塔内が大気圧よりも低くなるまで減圧する真空脱着工程とを備えたので、
吸着塔内の窒素濃度の上昇をさらに抑えることができる。

　さらに、上記のように行われた実施の形態２のオゾン供給方法によれば、
前記真空脱着工程では、
前記吸着工程にある前記吸着塔内の圧力値をＰ１、
前記真空脱着工程における前記吸着塔内の圧力値をＰ２、
前記吸着工程にある前記吸着塔の窒素濃度をＣ１、
前記第１脱着工程での前記第１キャリアガスの窒素濃度をＣ２とした場合、
Ｃ１×Ｐ１≧Ｃ２×Ｐ２
となるまで前記吸着塔の減圧を行うので、
真空脱着工程における窒素分圧が、吸着工程における窒素分圧以下となるまで減圧することで、吸着材に対する窒素の吸着量が同等以下となり、吸着塔内に窒素が多く残留することを抑制できる。

　本願は、様々な例示的な実施の形態および実施例が記載されているが、１つ、または複数の実施の形態に記載された様々な特徴、態様、および機能は特定の実施の形態の適用に限られるのではなく、単独で、または様々な組み合わせで実施の形態に適用可能である。
従って、例示されていない無数の変形例が、本願に開示される技術の範囲内において想定される。例えば、少なくとも１つの構成要素を変形する場合、追加する場合または省略する場合、さらには、少なくとも１つの構成要素を抽出し、他の実施の形態の構成要素と組み合わせる場合が含まれるものとする。

　１　オゾン供給システム、１０１　オゾン導入経路、１０３　第１キャリアガス導入経路、１０４　キャリアガス導出経路、１０５　第２キャリアガス導入経路、１１　切替弁、１２　切替弁、１２０　循環経路、１２１　循環ブロア、１２２　バッファータンク、１３　切替弁、１４　切替弁、１５　切替弁、１６　切替弁、１７　切替弁、１８　切替弁、２　酸素源、３　オゾン発生器、４　第１供給部、５　減圧部、６　キャリアガス切替弁。

Claims

　酸素源から供給される酸素からオゾンを生成するオゾン発生器と、
　前記オゾン発生器で生成したオゾンを吸着する吸着材が格納され、前記吸着材にオゾンを吸着させる吸着工程と前記吸着材からオゾンを脱着する脱着工程とを交互に繰り返す吸着塔と、
　前記吸着工程で、前記吸着材に吸着しなかった酸素を前記吸着塔から導出して前記オゾン発生器に循環供給する循環経路と、
　第１キャリアガスの第１供給部と、
　前記脱着工程で、前記第１供給部から前記第１キャリアガスを前記吸着塔内に導入するキャリアガス導入経路と、
　前記脱着工程で、前記第１キャリアガスに同伴されたオゾンを前記吸着塔外へ導出するキャリアガス導出経路と、
　前記脱着工程で、前記吸着塔内が大気圧よりも低くなるまで減圧する減圧部とを備えたオゾン供給システム。
前記第１キャリアガスの窒素濃度よりも低い窒素濃度の第２キャリアガスの第２供給部を備え、
当該第２供給部は、前記第１キャリアガスと前記第２キャリアガスとの前記吸着塔への供給の切り替えを行うキャリアガス切替弁を介して前記キャリアガス導入経路に接続され、
前記キャリアガス導出経路は、脱着工程で、前記第２キャリアガスに同伴されたオゾンを前記吸着塔外へ導出する請求項１に記載のオゾン供給システム。
吸着塔に格納された吸着材に生成したオゾンを吸着させるとともに、前記吸着材に吸着されなかった酸素を前記吸着塔から導出し、オゾン発生器に原料ガスとして再度導入して、オゾンを再生成し、前記吸着塔に供給する吸着工程と
前記吸着工程が終了したのち、前記吸着塔に第１キャリアガスを導入して前記吸着材に吸着させたオゾンを前記第１キャリアガスに同伴して脱着し前記吸着塔外へ導出する第１脱着工程と、
前記第１キャリアガスの導入を停止した後、前記吸着塔内が大気圧よりも低くなるまで減圧する真空脱着工程とを備えたオゾン供給方法。
吸着塔に格納された吸着材に生成したオゾンを吸着させるとともに、前記吸着材に吸着されなかった酸素を前記吸着塔から導出し、オゾン発生器に原料ガスとして再度導入して、オゾンを再生成し、前記吸着塔に供給する吸着工程と
前記吸着工程が終了したのち、前記吸着塔に第１キャリアガスを導入し前記吸着材に吸着させたオゾンを前記第１キャリアガスに同伴して脱着し前記吸着塔外へ導出する第１脱着工程と、
前記第１キャリアガスの導入を停止した後、前記第１キャリアガスの窒素濃度よりも低い窒素濃度の第２キャリアガスを導入し前記吸着材に吸着させたオゾンを脱着し前記吸着塔外へ導出するとともに、前記吸着塔内に残存した前記第１キャリアガスを前記第２キャリアガスに置換する第２脱着工程とを備えたオゾン供給方法。
前記第２キャリアガスの導入を停止した後、前記吸着塔内が大気圧よりも低くなるまで減圧する真空脱着工程とを備えた請求項４に記載のオゾン供給方法。
前記真空脱着工程では、
前記吸着工程にある前記吸着塔内の圧力値をＰ１、
前記真空脱着工程における前記吸着塔内の圧力値をＰ２、
前記吸着工程にある前記吸着塔の窒素濃度をＣ１、
前記第１脱着工程での前記第１キャリアガスの窒素濃度をＣ２とした場合、
Ｃ１×Ｐ１≧Ｃ２×Ｐ２
となるまで前記吸着塔の減圧を行う請求項３または請求項５に記載のオゾン供給方法。