WO2024252672A1 - 基板収納容器 - Google Patents

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WO2024252672A1
WO2024252672A1 PCT/JP2023/021559 JP2023021559W WO2024252672A1 WO 2024252672 A1 WO2024252672 A1 WO 2024252672A1 JP 2023021559 W JP2023021559 W JP 2023021559W WO 2024252672 A1 WO2024252672 A1 WO 2024252672A1
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WO
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lid
substrate support
guide surface
container body
substrates
Prior art date
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Pending
Application number
PCT/JP2023/021559
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English (en)
French (fr)
Inventor
幸二 久保田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Miraial Co Ltd
Original Assignee
Miraial Co Ltd
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Publication date
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Priority to TW113121297A priority patent/TW202448781A/zh
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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
    • H10P72/19—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers
    • H10P72/1921—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers characterised by substrate supports
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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    • H10P72/1922—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers characterised by the construction of the closed carrier

Definitions

  • the present invention relates to a substrate storage container used for storing, transporting, shipping, etc., substrates such as semiconductor wafers.
  • Patent Document 1 As a substrate storage container for storing and transporting substrates made of semiconductor wafers, a container having a container body and a lid has been known (see, for example, Patent Document 1).
  • One end of the container body has an opening periphery where the container body opening is formed.
  • the other end of the container body has a closed cylindrical wall.
  • a substrate storage space is formed within the container body.
  • the substrate storage space is surrounded by the wall and is capable of storing multiple substrates.
  • the lid is detachable from the opening periphery and is capable of closing the container body opening.
  • the side substrate support portions are provided on the wall portions in a pair in the left-right direction within the substrate storage space. When the container body opening is not closed by the lid, the side substrate support portions are capable of supporting the edges of multiple substrates in a state where adjacent substrates are spaced apart from each other in the vertical direction and arranged in parallel at a predetermined distance from each other.
  • a front retainer is provided on the portion of the lid that faces the substrate storage space when the container body opening is closed.
  • the front retainer has a lid-side substrate support portion that directly contacts the substrate to support it, and a lid-side leg portion that supports the lid-side substrate support portion, and is capable of supporting the edges of multiple substrates when the container body opening is closed by the lid.
  • a rear-side substrate support portion is provided on the wall portion so as to form a pair with the front retainer. The rear-side substrate support portion is capable of supporting the edges of multiple substrates.
  • the rear-side substrate support portion cooperates with the front retainer to support the multiple substrates, thereby holding the multiple substrates in a state in which adjacent substrates are spaced apart from each other at a predetermined interval in the vertical direction and aligned in parallel.
  • the cover-side substrate support portion has upper and lower inclined surfaces that form a V-shaped groove that is recessed (toward the front) away from the center of the substrate storage space.
  • the frontmost portions of the upper and lower inclined surfaces function as clamping portions that clamp the edges of multiple substrates.
  • the substrate When the lid is used to close the opening of the container body, the substrate is easily guided poorly into the clamping portion of the V-shaped groove in the lid-side substrate support portion.
  • the edge of the substrate is supported by the lateral substrate support portion.
  • the substrate hits the lower inclined surface of the lid-side substrate support portion, then rises up the lower inclined surface and is guided (introduced) into the clamping portion of the V-shaped groove.
  • the substrate may not smoothly rise up the lower inclined surface of the lid-side substrate support part and may not be smoothly guided into the clamping portion of the V-shaped groove.
  • the present invention aims to provide a substrate storage container that can prevent the occurrence of poor substrate insertion in the substrate support portion on the lid side.
  • the first invention relates to a container body having a cylindrical wall portion with a container body opening formed at one end on the front side and the other end on the rear side closed, the inner surface of the wall portion forming a substrate storage space capable of storing a plurality of substrates and communicating with the container body opening, a lid body that is detachable from the container body opening and capable of closing the container body opening, a lid body side substrate support portion that is a part of the lid body and is arranged in a portion facing the substrate storage space when the container body opening is closed by the lid body and is capable of supporting the edges of the plurality of substrates when the container body opening is closed by the lid body, and a substrate support portion that is arranged in a pair with the lid body side substrate support portion within the substrate storage space and is capable of supporting the edges of the plurality of substrates, the lid body being attached to the substrate storage space and being attached to the substrate storage space and being connected to the substrate storage space.
  • the container when the container body opening is closed, the container is provided with a rear-side substrate support portion that cooperates with the lid-side substrate support portion to support the multiple substrates with the edges of the multiple substrates aligned in the vertical direction
  • the lid-side substrate support portion has an upper inclined surface and a lower inclined surface that form a V-shaped groove that is a recessed groove that is recessed away from the center of the substrate storage space, the front-most portions of the upper inclined surface and the lower inclined surface function as a clamping portion that clamps the edges of the multiple substrates
  • the lower inclined surface has a clamping surface that forms the clamping portion, and a guide surface that is located behind the clamping surface and guides the substrates while sliding them toward the clamping portion, and the guide inclination angle of the guide surface that is inclined toward the front direction decreases in multiple stages.
  • the second invention is a substrate storage container according to (1), in which the guide surface has a first guide surface on the rear side and a second guide surface located in front of the first guide surface, and the length of the second guide surface is longer than the length of the first guide surface in the front-to-rear direction.
  • the third aspect of the present invention is a substrate storage capacity according to (2), in which the area of the second guide surface is larger than the area of the first guide surface.
  • the fourth invention is a substrate storage container according to any one of (1) to (3), in which, in the vertically adjacent lid-side substrate support parts, an imaginary plane perpendicular to the vertical direction passes through one or both of the lid-side substrate support part located on the upper side and the lid-side substrate support part located on the lower side.
  • the fifth invention is a substrate storage container according to any one of (1) to (4), in which, in the vertically adjacent lid-side substrate support parts, when viewed from the front, the lower edge of the lower inclined surface of the lid-side substrate support part located on the upper side and the upper edge of the upper inclined surface of the lid-side substrate support part located on the lower side are parallel to each other with a gap between them, and are inclined downward as they move laterally inward.
  • the present invention provides a substrate storage container that can prevent the occurrence of substrate guide failures in the substrate support portion on the lid side.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view showing substrates W stored in a substrate storage container 1 according to an embodiment of the present invention.
  • 2 is a perspective view showing a container body 2 in which no substrates W are stored.
  • FIG. 2 is a perspective view showing the cover 3 with the front retainer 7 attached thereto.
  • FIG. 11 is a partial front view (as viewed in the forward direction D11) showing a cover side substrate support portion 73 of the front retainer 7.
  • FIG. FIG. 4B is a partially enlarged view of FIG. 4A. This is a cross-sectional view taken along line AA shown in FIG. 4A.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view showing a state in which substrates W are stored in a substrate storage container 1 according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view showing a container body 2 in which substrates W are not stored.
  • FIG. 3 is a perspective view showing a lid body 3 with a front retainer 7 attached.
  • FIG. 4A is a partial front view (viewed in the forward direction D11) showing the lid body side substrate support portion 73 of the front retainer 7.
  • FIG. 4B is a partial enlarged view of FIG. 4A.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line A-A shown in FIG. 4A.
  • the direction from the container body 2 to the lid 3 is defined as the front direction D11
  • the opposite direction is defined as the rear direction D12
  • the direction from the lower wall 24 to the upper wall 23 is defined as the upward direction D21
  • the opposite direction is defined as the downward direction D22
  • the direction from the second side wall 26 to the first side wall 25 is defined as the leftward direction D31
  • the opposite direction is defined as the rightward direction D32, and these are defined as the left-right direction D3 or lateral direction D3.
  • “Direction" may also be called "side.”
  • the substrates W stored in the substrate storage container 1 are disk-shaped silicon wafers, glass wafers, sapphire wafers, etc., and are thin wafers used in industry.
  • the substrates W are silicon wafers with a diameter of 200 mm to 450 mm.
  • the substrate storage container 1 is for storing substrates W made of silicon wafers as described above, and has a container body 2, a lid 3, a side substrate support portion 5, a rear substrate support portion 6, and a front retainer 7 having a lid side substrate support portion 73.
  • the container body 2 has a container body opening 21 formed at one end on the front side D11 and a cylindrical wall portion 20 with the other end on the rear side D12 closed.
  • a substrate storage space 27 is formed within the container body 2.
  • the substrate storage space 27 is surrounded by the wall portion 20.
  • a lateral substrate support portion 5 is disposed in the portion of the wall portion 20 that forms the substrate storage space 27.
  • a plurality of substrates W can be stored in the substrate storage space 27.
  • the side substrate support parts 5 are provided on the wall part 20 in the substrate storage space 27 so as to form a pair in the left-right direction D3.
  • the side substrate support parts 5 abut against the sides of the edges of the substrates W, thereby supporting the sides of the edges of the substrates W while arranging adjacent substrates W in the up-down direction D2 in parallel with a predetermined distance between them.
  • a rear substrate support part 6 is provided at the rear side (rear side D12) of the container body 2.
  • the rear substrate support portion 6 is provided on the wall portion 20 so as to pair with the front retainer 7 inside the substrate storage space 27. When the container body opening 21 is closed by the lid body 3, the rear substrate support portion 6 is able to support the rear portions of the edges of the substrates W by abutting against the rear portions of the edges of the substrates W.
  • the lid body 3 is detachable from the opening periphery 28 that forms the container body opening 21, and is capable of closing the container body opening 21.
  • the front retainer 7 is provided on a portion of the lid body 3 that faces the substrate storage space 27 when the container body opening 21 is closed by the lid body 3.
  • the front retainer 7 is disposed inside the substrate storage space 27 so as to form a pair with the rear substrate support part 6 in the front-to-rear direction D1.
  • the front retainer 7 can support the front of the edges of the substrates W by abutting against the edges of the substrates W.
  • the front retainer 7 cooperates with the rear substrate support portion 6 to support the substrates W, thereby holding the substrates W in a state in which adjacent substrates W in the vertical direction D2 are spaced apart at a predetermined distance and arranged side by side.
  • the substrate storage container 1 is basically symmetrical, and any description of one side applies or is applicable to the other side.
  • the wall portion 20 of the container body 2 has a back wall 22, an upper wall 23, a lower wall 24, a first side wall 25 and a second side wall 26.
  • the back wall 22, the upper wall 23, the lower wall 24, the first side wall 25 and the second side wall 26 are made of a plastic material or the like, and in this embodiment, are integrally molded from polycarbonate.
  • the first side wall 25 and the second side wall 26 face each other in the left-right direction D3, and the upper wall 23 and the lower wall 24 face each other in the up-down direction D2.
  • the rear end of the upper wall 23, the rear end of the lower wall 24, the rear end of the first side wall 25, and the rear end of the second side wall 26 are all connected to the rear wall 22.
  • the front end of the upper wall 23, the front end of the lower wall 24, the front end of the first side wall 25, and the front end of the second side wall 26 are positioned opposite the rear wall 22, and constitute an opening periphery 28 that forms the container body opening 21, which is approximately rectangular in shape.
  • the opening periphery 28 is provided at one end of the container body 2, and the rear wall 22 is located at the other end of the container body 2.
  • the outer shape of the container body 2 formed by the outer surfaces of the walls 20 is box-shaped.
  • the inner surfaces of the walls 20, i.e., the inner surface of the rear wall 22, the inner surface of the upper wall 23, the inner surface of the lower wall 24, the inner surface of the first side wall 25, and the inner surface of the second side wall 26, form a substrate storage space 27 surrounded by these.
  • the container body opening 21 formed at the opening periphery 28 is surrounded by the walls 20 and communicates with the substrate storage space 27 formed inside the container body 2. A maximum of 25 substrates W can be stored in the substrate storage space 27.
  • latch engagement recesses 231A, 231B, 241A, and 241B recessed toward the outside of the board storage space 27 are formed in the upper wall 23 and the lower wall 24 near the opening periphery 28.
  • a total of four latch engagement recesses 231A, 231B, 241A, and 241B are formed, one each near the left and right ends of the upper wall 23 and the lower wall 24.
  • a flange fixing portion (not shown) and ribs 235A, 235B are integrally formed with the upper wall 23 on the outer surface of the upper wall 23.
  • the flange fixing portion (not shown) is disposed in the center of the upper wall 23.
  • a top flange 236 is fixed to the flange fixing portion (not shown).
  • the top flange 236 is disposed in the center of the upper wall 23.
  • the top flange 236 is a member that is hung and suspended on the substrate storage container 1 when suspending the substrate storage container 1 in an AMHS (automated wafer transport system), PGV (wafer substrate transport vehicle), etc.
  • Multiple ribs 235A extend from the top flange 236 generally in the left direction D31 and the right direction D32.
  • Multiple ribs 235B extend from the top flange 236 in the forward direction D11, and multiple ribs 235B extend from the top flange 236 in the rearward direction D12.
  • the lid body 3 is provided with a latch mechanism.
  • the latch mechanism is provided near both the left and right ends of the lid body 3, and as shown in Figures 1 to 3, has two upper latch portions 32A that can protrude in an upward direction D21 from the top edge of the lid body 3, and two lower latch portions 32B that can protrude in a downward direction D22 from the bottom edge of the lid body 3.
  • the two upper latch portions 32A are located near both the left and right ends of the top edge of the lid body 3, and the two lower latch portions 32B are located near both the left and right ends of the bottom edge of the lid body 3.
  • An operating portion 33 is provided on the outer surface of the lid body 3.
  • the upper latch portion 32A and the lower latch portion 32B can be made to protrude from the upper and lower edges of the lid body 3, or can be made not to protrude from the upper and lower edges.
  • the upper latch portion 32A protrudes in the upward direction D21 from the upper edge of the lid body 3 and engages with the latch engagement recesses 231A, 231B of the container body 2
  • the lower latch portion 32B protrudes in the downward direction D22 from the lower edge of the lid body 3 and engages with the latch engagement recesses 241A, 241B of the container body 2, thereby fixing the lid body 3 to the opening periphery 28 of the container body 2.
  • a recess 34 is formed on the inside (rear side D12) of the lid body 30, recessed toward the outside (front side D11) of the board storage space 27.
  • the front retainer 7 is fixed in the recess 34.
  • the lid body 3 has a generally rectangular shape that generally matches the shape of the opening periphery 28 of the container body 2.
  • the lid body 3 is detachable from the opening periphery 28 of the container body 2, and when the lid body 3 is attached to the opening periphery 28, the lid body 3 can close the container body opening 21.
  • An annular sealing member 4 is attached to the inner surface of the lid body 3 (the back surface of the lid body 3 shown in FIG. 1) that faces the surface (sealing surface 281) of the step formed in a position immediately behind the opening edge of the opening periphery 28 in the direction D12 when the lid body 3 is closing the container body opening 21.
  • the seal member 4 When the lid 3 is attached to the opening periphery 28, the seal member 4 is sandwiched between the sealing surface 281 and the opposing peripheral portion that constitutes the inner surface of the lid 3 and elastically deforms, and the lid 3 closes the container body opening 21 in a sealed state.
  • the substrate W By removing the lid 3 from the opening periphery 28, the substrate W can be inserted and removed from the substrate storage space 27 inside the container body 2.
  • the front retainer 7 has a cover-side board support part 73, legs 72, and a vertical frame 71.
  • the cover-side board support parts 73 corresponding to the same board W are connected in the left-right direction D3 via the legs 72.
  • Two lid body side board support parts 73 are arranged in pairs at a predetermined distance apart in the left-right direction D3.
  • the two lid body side board support parts 73 arranged in pairs in this way are arranged in parallel in the up-down direction D2 in 25 pairs, and each is supported by an elastically deformable leg part 72.
  • the leg part 72 connects the two lid body side board support parts 73, 73 arranged in the horizontal direction D3.
  • the leg part 72 also extends outward in the horizontal direction D3 from the two lid body side board support parts 73, 73 arranged in pairs so as to be spaced apart from each other.
  • a vertical frame 71 extending parallel to the up-down direction D2 is integrally molded with the leg part 72 at the outer end of the leg part 72 in the horizontal direction D3.
  • the cover-side board support portion 73 has an upper inclined surface 76 and a lower inclined surface 77 that form a V-shaped groove 74 that is a recessed groove that is spaced apart from the center of the board storage space 27.
  • Figures 4B and 5 show the cover-side board support portion 73 on the right side D32.
  • the upper inclined surface 76 abuts against the edge of the front surface (top surface) of the substrate W when the container body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the lower inclined surface 77 abuts against the edge of the back surface (bottom surface) of the substrate W.
  • the upper inclined surface 76 is configured as an inclined surface that extends at an angle so as to approach the center of the substrate storage space 27 in the front-to-rear direction D1 as it progresses in the upward direction D21.
  • the upper inclined surface 76 is configured as an inclined surface that extends at an angle so as to approach the downward direction D22 as it progresses in the forward direction D11.
  • the lower inclined surface 77 is configured as an inclined surface that extends at an angle so as to move away from the center of the substrate storage space 27 in the front-to-rear direction D1 as it progresses in the upward direction D21. From another perspective, the lower inclined surface 77 is configured as an inclined surface that extends at an angle so as to move toward the upward direction D21 as it progresses in the forward direction D11.
  • the upper inclined surface 76 and the lower inclined surface 77 form a V-shaped groove 74 that is a recessed groove that is recessed away from the center of the substrate storage space 27.
  • the upper inclined surface 76 and the lower inclined surface 77 are abutted by the edge of the front surface of the substrate W and the edge of the back surface of the substrate W, respectively, when the container body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the frontmost portions of the upper inclined surface 76 and the lower inclined surface 77 function as a clamping portion 78 that clamps the edges of multiple substrates W.
  • the angle between the upper inclined surface 76 and the lower inclined surface 77 in the clamping portion 78, and the angle ⁇ (induced inclination angle) of the lower inclined surface 77 with respect to a virtual plane P7 (also called the "horizontal plane P7") perpendicular to the vertical direction D2 are small.
  • the lower inclined surface 77 has a clamping surface 775 that forms the clamping portion 78, and a guide surface 8 that is located rearward D12 from the clamping surface 775 and guides the substrate W while sliding it toward the clamping portion 78. If the priority is placed on the function of transferring the substrate W to the V-shaped groove 74, it is preferable that the guide inclination angle ⁇ of the guide surface 8 is large, whereas if the priority is placed on the ability of the substrate W to rise up on the guide surface 8, it is preferable that the guide inclination angle ⁇ of the guide surface 8 is small (details will be described later).
  • the guide inclination angle ⁇ ( ⁇ 81, ⁇ 82) of the guide surface 8 that is inclined relative to the forward direction D11 (horizontal plane P7) decreases in multiple stages.
  • the guide surface 8 has a first guide surface 81 on the rear side D12, a second guide surface 82 located on the front side D11 of the first guide surface 81, and a transition portion 83 located between the first guide surface 81 and the second guide surface 82.
  • the first guide surface 81, the second guide surface 82, and the clamping surface 775 are straight planes.
  • the transition portion 83 has a shape that smoothly connects the first guide surface 81 and the second guide surface 82.
  • the angle ⁇ 82 that the second guide surface 82 makes with respect to the horizontal plane P7 is smaller than the angle ⁇ 81 that the first guide surface 81 makes with respect to the horizontal plane P7.
  • the guide inclination angle ⁇ that is inclined with respect to the forward direction D11 (horizontal plane P7) on the guide surface 8 is reduced in two stages ( ⁇ 82 ⁇ 81).
  • the angle ⁇ 775 that the clamping surface 775 makes with respect to the horizontal plane P7 is smaller than the angle ⁇ 82 that the second guide surface 82 makes with respect to the horizontal plane P7 ( ⁇ 775 ⁇ 82).
  • the angle ⁇ 81 of the first guide surface 81 is, for example, 50 to 80 degrees.
  • the angle ⁇ 82 of the second guide surface 82 is, for example, 30 to 45 degrees.
  • the angle difference ( ⁇ 81- ⁇ 82) between the angle ⁇ 81 of the first guide surface 81 and the angle ⁇ 82 of the second guide surface 82 is 5 to 50 degrees.
  • the length t82 of the second guide surface 82 is longer than the length t81 of the first guide surface 81.
  • the length t82 of the second guide surface 82 is, for example, 2 to 3.3 mm.
  • the length t81 of the first guide surface 81 is, for example, 0.3 to 1 mm.
  • the difference between the length t82 of the second guide surface 82 and the length t81 of the first guide surface 81 (t82-t81) is, for example, 1 to 3 mm.
  • the length t83 of the transition portion 83 is, for example, 0.3 to 0.8 mm.
  • the area S82 of the second guide surface 82 is larger than the area S81 of the first guide surface 81.
  • the difference (S82-S81) between the area S82 of the second guide surface 82 and the area S81 of the first guide surface 81 is, for example, 10 to 40 mm2 .
  • a virtual plane P7 (horizontal plane P7) perpendicular to the vertical direction D2 passes through one or both of the lid body side substrate support parts 73 located on the upper side D21 and the lid body side substrate support parts 73 located on the lower side D22.
  • the virtual plane P7 can also be said to be the reference direction of the direction in which the substrate W spreads (extends).
  • the virtual plane P7 passing only through the lid body side substrate support parts 73 located on the upper side D21 is shown as a virtual plane P71.
  • the virtual plane P7 passing only through the lid body side substrate support parts 73 located on the lower side D22 is shown as a virtual plane P72.
  • the virtual plane P7 passing through both the lid body side substrate support parts 73 located on the upper side D21 and the lid body side substrate support parts 73 located on the lower side D22 is shown as a virtual plane P70.
  • the lower edge 772 of the lower inclined surface 77 of the lid side substrate support portion 73 located on the upper side D21 and the upper edge 761 of the upper inclined surface 76 of the lid side substrate support portion 73 located on the lower side D22 are parallel to each other with a gap between them.
  • the lower edge 772 of the lower inclined surface 77 of the lid side substrate support portion 73 located on the upper side D21 and the upper edge 761 of the upper inclined surface 76 of the lid side substrate support portion 73 located on the lower side D22 are inclined toward the downward direction D22 as they move inward in the horizontal direction D3.
  • the lower edge 772 of the lower inclined surface 77 of the lid side substrate support portion 73 located on the upper side D21 and the upper edge 761 of the upper inclined surface 76 of the lid side substrate support portion 73 located on the lower side D22 are approximately parallel to the horizontal direction D3 on both sides of the horizontal direction D3, and are inclined toward the downward direction D22 as they move inward in the horizontal direction D3 at the center of the horizontal direction D3.
  • the substrate storage container 1 according to the embodiment of the above configuration can provide the following effects.
  • the substrate storage container 1 of the embodiment comprises a cylindrical wall portion 20 having a container body opening 21 formed at one end on the front side D11 and the other end on the rear side D12 closed, the container body 2 having a substrate storage space 27 formed by the inner surface of the wall portion 20 that is capable of storing a plurality of substrates W and communicates with the container body opening 21, a lid body 3 that is detachable from the container body opening 21 and capable of closing the container body opening 21, and a portion of the lid body 3 that is connected to the substrate storage space 27 when the container body opening 21 is closed by the lid body 3.
  • the container body opening 21 is provided with: a lid-side substrate support part 73 disposed at an opposing portion and capable of supporting edges of the plurality of substrates W when the container body opening 21 is closed by the lid 3; and a rear-side substrate support part 6 disposed in the substrate storage space 27 to form a pair with the lid-side substrate support part 73 and capable of supporting edges of the plurality of substrates W, and supporting the plurality of substrates W in a state in which their edges are aligned in the vertical direction D2 in cooperation with the lid-side substrate support part 73 when the container body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the lid-side substrate support part 73 has an upper inclined surface 76 and a lower inclined surface 77 which form a V-shaped groove 74 which is a recessed groove recessed away from the center of the substrate storage space 27, and the frontmost portions of the upper inclined surface 76 and the lower inclined surface 77 function as a clamping part 78 which clamps the edges of the plurality of substrates W.
  • the lower inclined surface 77 has a clamping surface 775 that forms the clamping portion 78, and a guide surface 8 that is located rearward D12 from the clamping surface 775 and guides the substrate W while sliding it toward the clamping portion 78, and the guide inclination angle ⁇ of the guide surface 8 with respect to the forward direction D11 decreases in multiple stages.
  • the position of the lower end of the rear side D12 of the lower inclined surface 77 is located as close to the lower side D22 as possible. However, if an attempt is made to position the lower end of the rear side D12 of the lower inclined surface 77 on the lower side D22, the dimension of the lower inclined surface 77 in the up-down direction D2 becomes larger, and the guided inclination angle ⁇ at which the guided surface 8 is inclined relative to the forward direction D11 becomes larger. If the guided inclination angle ⁇ of the guided surface 8 is large, the tendency of the substrate W to rise up on the guided surface 8 decreases.
  • the guided inclination angle ⁇ at which the guided surface 8 is inclined relative to the forward direction D11 is reduced in multiple stages. Therefore, by increasing the guide inclination angle ⁇ ( ⁇ 81) of the rear side D12 of the guide surface 8 and positioning the lower end of the rear side D12 of the lower inclined surface 77 as close to the lower side D22 as possible, the function of transferring the substrate W to the V-shaped groove 74 can be improved, while the guide inclination angle ⁇ of the front side D11 of the guide surface 8 can be reduced ( ⁇ 82 ⁇ 81), improving the ability of the substrate W to rise on the guide surface 8. In other words, it is possible to achieve both the ability to transfer the substrate W to the V-shaped groove 74 and the ability of the substrate W to rise on the guide surface 8.
  • the guide surface 8 has a first guide surface 81 on the rear side D12 and a second guide surface 82 located on the front side D11 of the first guide surface 81, and in the front-rear direction D1, the length t82 of the second guide surface 82 is longer than the length t81 of the first guide surface 81. Therefore, according to the embodiment, the longer length t82 of the second guide surface 82 can improve the sliding property of the substrate W on the guide surface 8.
  • the area S82 of the second guide surface 82 is larger than the area S81 of the first guide surface 81. Therefore, according to the embodiment, the large area S82 of the second guide surface 82 can improve the sliding property of the substrate W on the guide surface 8.
  • the imaginary plane P7 perpendicular to the vertical direction D2 passes through one or both of the lid side substrate support parts 73 located on the upper side D21 and the lid side substrate support parts 73 located on the lower side D22. Therefore, according to the embodiment, it is possible to prevent the substrate W from being inserted between the lower edge 772 of the lower inclined surface 77 of the lid side substrate support part 73 located on the upper side D21 and the upper edge 761 of the upper inclined surface 76 of the lid side substrate support part 73 located on the lower side D22, which would cause the substrate W to be unable to be supported by the lid side substrate support part 73.
  • the guiding inclination angle ⁇ of the guiding surface 8 with respect to the forward direction D11 is reduced in two stages ( ⁇ 81> ⁇ 82).
  • the guiding inclination angle ⁇ may be reduced in three stages or more, for example, three to five stages.
  • the shapes of the container body 2 and the lid body 3, and the number and dimensions of the substrates W that can be stored in the container body 2 are not limited to those in this embodiment.

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Abstract

基板収納容器１は、容器本体２と、蓋体３と、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な蓋体側基板支持部７３と、蓋体側基板支持部７３と対をなすように配置され、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに蓋体側基板支持部７３と協働して、複数の基板Ｗの縁部を支持する奥側基板支持部６と、を備え、蓋体側基板支持部７３は、基板収納空間２７の中心から離間するように窪んだ凹溝であるＶ字状溝７４を形成する上側傾斜面７６及び下側傾斜面７７を有し、上側傾斜面７６及び下側傾斜面７７の最前部は、複数の基板Ｗの縁部を挟持する挟持部７８として機能し、下側傾斜面７７は、挟持部７８を形成する挟持面７７５と、挟持面７７５よりも後ろ側Ｄ１２に位置し且つ挟持部７８へ基板Ｗをスライドさせながら誘導する誘導面８と、を有し、誘導面８における前方向Ｄ１１に対して傾斜する誘導傾斜角度θは、複数段階に減少している。

Description

基板収納容器
　本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。
　半導体ウェーハからなる基板を収納して搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている（例えば、特許文献１参照）。
　容器本体の一端部は、容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する。容器本体の他端部は、閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、開口周縁部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。側方基板支持部は、基板収納空間内において左右方向に対をなすように壁部に設けられている。側方基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されていないときに、上下方向に隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板の縁部を支持可能である。
　蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、基板に直接当接して基板を支持する蓋体側基板支持部と、蓋体側基板支持部を支持する蓋体側脚部とを有しており、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、上下方向に隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。
　蓋体側基板支持部は、基板収納空間の中心から離間するように（前側に）窪んだ凹溝であるＶ字状溝を形成する上側傾斜面及び下側傾斜面を有する。上側傾斜面及び下側傾斜面の最前部は、複数の基板の縁部を挟持する挟持部として機能する。
特表２０１３－５４０３７２号公報
　蓋体によって容器本体開口部を閉塞する際に、蓋体側基板支持部におけるＶ字状溝の挟持部への基板の誘い込み不良が発生しやすい。詳述すると、容器本体を水平に配置した状態（蓋体側基板支持部の下側傾斜面を下側に配置した状態）で、側方基板支持部により基板の縁部を支持させる。その後、蓋体を容器本体の容器本体開口部に接近させていくと、基板は、蓋体側基板支持部の下側傾斜面に突き当たり、その後、下側傾斜面をせり上がり、Ｖ字状溝の挟持部に誘い込まれる（導入される）。
　しかし、側方基板支持部により支持された基板の（蓋体側基板支持部に対する）位置や角度、基板の厚さや重さによる基板の撓みなどの各種バラツキに起因して、基板が蓋体側基板支持部の下側傾斜面をスムーズにせり上がらずに、Ｖ字状溝の挟持部にスムーズに誘い込まれないことがある。
　本発明は、蓋体側基板支持部における基板の誘い込み不良の発生を抑制することが可能な基板収納容器を提供することを目的とする。
（１）第１の本発明は、前側の一端部に容器本体開口部が形成され後ろ側の他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板の縁部を上下方向に並列させた状態で、前記複数の基板を支持する奥側基板支持部と、を備え、前記蓋体側基板支持部は、前記基板収納空間の中心から離間するように窪んだ凹溝であるＶ字状溝を形成する上側傾斜面及び下側傾斜面を有し、前記上側傾斜面及び前記下側傾斜面の最前部は、前記複数の基板の縁部を挟持する挟持部として機能し、前記下側傾斜面は、前記挟持部を形成する挟持面と、前記挟持面よりも後ろ側に位置し且つ前記挟持部へ前記基板をスライドさせながら誘導する誘導面と、を有し、前記誘導面における前方向に対して傾斜する誘導傾斜角度は、複数段階に減少している、基板収納容器である。
（２）第２の本発明は、前記誘導面は、後ろ側の第１誘導面と、前記第１誘導面の前側に位置する第２誘導面とを有し、前後方向において、前記第２誘導面の長さは前記第１誘導面の長さよりも長い、（１）の基板収納容器である。
（３）第３の本発明は、前記第２誘導面の面積は前記第１誘導面の面積よりも大きい、（２）の基板収納容である。
（４）第４の本発明は、上下方向に隣接する前記蓋体側基板支持部において、上下方向に直交する仮想平面は、上側に位置する前記蓋体側基板支持部又は下側に位置する前記蓋体側基板支持部の一方又は両方を通る、（１）～（３）のいずれかの基板収納容器である。
（５）第５の本発明は、上下方向に隣接する前記蓋体側基板支持部において、前方向に視たときに、上側に位置する前記蓋体側基板支持部の前記下側傾斜面の下端縁と、下側に位置する前記蓋体側基板支持部の前記上側傾斜面の上端縁とは、間隔を空けて並列しており、且つ、横方向の内側に進むにつれて、下方向に向かうように傾斜している、（１）～（４）のいずれかの基板収納容器である。
　本発明によれば、蓋体側基板支持部における基板の誘い込み不良の発生を抑制することが可能な基板収納容器を提供することができる。
本発明の実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。 基板Ｗが収納されていない容器本体２を示す斜視図である。 フロントリテーナ７が取り付けられた状態の蓋体３を示す斜視図である。 フロントリテーナ７の蓋体側基板支持部７３を示す部分正面図（前方向Ｄ１１に視た図）である。 図４Ａの部分拡大図である。 図４Ａに示すＡ－Ａ断面図である。
　以下、本発明の実施形態の基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、基板Ｗが収納されていない容器本体２を示す斜視図である。図３は、フロントリテーナ７が取り付けられた状態の蓋体３を示す斜視図である。図４Ａは、フロントリテーナ７の蓋体側基板支持部７３を示す部分正面図（前方向Ｄ１１に視た図）である。図４Ｂは、図４Ａの部分拡大図である。図５は、図４Ａに示すＡ－Ａ断面図である。
　ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３又は横方向Ｄ３と定義する。「方向」を「側」と呼ぶことがある。
　また、基板収納容器１に収納される基板Ｗは、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径２００ｍｍ～４５０ｍｍのシリコンウェーハである。
　図１～図３に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納するためのものであり、容器本体２と、蓋体３と、側方基板支持部５と、奥側基板支持部６と、蓋体側基板支持部７３を有するフロントリテーナ７と、を有している。
　図１及び図２に示すように、容器本体２は、前側Ｄ１１の一端部に容器本体開口部２１が形成され、後ろ側Ｄ１２の他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、側方基板支持部５が配置されている。基板収納空間２７には、複数の基板Ｗを収納可能である。
　側方基板支持部５は、基板収納空間２７内において、左右方向Ｄ３に対をなすように壁部２０に設けられている。側方基板支持部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部の側部に当接することにより、上下方向Ｄ２に隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部の側部を支持可能である。容器本体２内の奥側（後ろ側Ｄ１２）には、奥側基板支持部６が設けられている。
　奥側基板支持部６は、基板収納空間２７の内部においてフロントリテーナ７と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の後部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
　蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ７は、基板収納空間２７の内部において、前後方向Ｄ１に奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。
　フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、上下方向Ｄ２に隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。以下、各部について、詳細に説明する。基板収納容器１は、基本的には、左右対称であり、左右の一方側に関する説明は、左右の他方側に適用又は援用される。
　図１等に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、プラスチック材等により構成されており、本実施形態では、ポリカーボネートにより一体成形されて構成されている。
　第１側壁２５と第２側壁２６とは左右方向Ｄ３に対向しており、上壁２３と下壁２４とは上下方向Ｄ２に対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
　開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。
　図１及び図２に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
　図１及び図２に示すように、上壁２３の外面においては、フランジ固定部（図示せず）及びリブ２３５Ａ、２３５Ｂが、上壁２３と一体成形されて設けられている。フランジ固定部（図示せず）は、上壁２３の中央部に配置されている。フランジ固定部（図示せず）には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、上壁２３の中央部に配置されている。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。
　リブ２３５Ａは、トップフランジ２３６から概ね左方向Ｄ３１、右方向Ｄ３２にそれぞれ複数本延びている。また、リブ２３５Ｂは、トップフランジ２３６から前方向Ｄ１１に複数本延びており、また、トップフランジ２３６から後方向Ｄ１２に複数本延びている。
　蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１～図３に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部３２Ｂと、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部３２Ｂは、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。
　蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部３２Ｂを蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部３２Ｂが蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。
　蓋体本体３０の内側（後ろ側Ｄ１２）には、基板収納空間２７の外側（前側Ｄ１１）へ窪んだ凹部３４が形成されている。凹部３４には、フロントリテーナ７が固定されて設けられる。
　図３に示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８の開口縁のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。
　蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、シール面２８１と蓋体３の内面を構成する周縁部対向部とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
　フロントリテーナ７は、図３～図５に示すように、蓋体側基板支持部７３と脚部７２と縦フレーム７１とを有している。同じ基板Ｗに対応する蓋体側基板支持部７３は、脚部７２を介して左右方向Ｄ３に連結されている。
　蓋体側基板支持部７３は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つ配置されている。このように対をなすようにして２つ配置された蓋体側基板支持部７３は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられており、それぞれ弾性変形可能な脚部７２により支持されている。脚部７２は、横方向Ｄ３に２つ配置された蓋体側基板支持部７３，７３を連結する。また、脚部７２は、２つずつ配置された蓋体側基板支持部７３，７３からそれぞれ互いに離間するように横方向Ｄ３の外側へ延びている。そして、脚部７２の横方向Ｄ３の外側の端部には、上下方向Ｄ２に沿って平行に延びている縦フレーム７１が、脚部７２に一体成形されて設けられている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、蓋体側基板支持部７３は、脚部７２の弾性力により、基板Ｗの縁部の前部を、基板収納空間２７の中心へ付勢した状態で挟持して支持する。
　図４Ａ～図５に示すように、蓋体側基板支持部７３は、基板収納空間２７の中心から離間するように窪んだ凹溝であるＶ字状溝７４を形成する上側傾斜面７６及び下側傾斜面７７を有する。図４Ｂ及び図５は、右側Ｄ３２の蓋体側基板支持部７３を示す。
　上側傾斜面７６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗの表面（上面）の端縁に当接する。下側傾斜面７７は、基板Ｗの裏面（下面）の端縁に当接する。具体的には、上側傾斜面７６は、上方向Ｄ２１に進むにつれて、前後方向Ｄ１において基板収納空間２７の中心に接近するように傾斜して延びる傾斜面により構成されている。別の見方をすると、上側傾斜面７６は、前方向Ｄ１１に進むにつれて、下方向Ｄ２２に向かうように傾斜して延びる傾斜面により構成されている。
　下側傾斜面７７は、上方向Ｄ２１に進むにつれて、前後方向Ｄ１において基板収納空間２７の中心から離間するように傾斜して延びる傾斜面により構成されている。別の見方をすると、下側傾斜面７７は、前方向Ｄ１１に進むにつれて、上方向Ｄ２１に向かうように傾斜して延びる傾斜面により構成されている。上側傾斜面７６、下側傾斜面７７は、基板収納空間２７の中心から離間するように窪んだ凹溝であるＶ字状溝７４を形成する。上側傾斜面７６、下側傾斜面７７には、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、それぞれ基板Ｗの表面の端縁、基板Ｗの裏面の端縁が当接する。
　詳述すると、図５に示すように、上側傾斜面７６及び下側傾斜面７７の最前部は、複数の基板Ｗの縁部を挟持する挟持部７８として機能する。基板Ｗを挟持する機能を確保する観点からは、挟持部７８における、上側傾斜面７６と下側傾斜面７７とがなす角度や、上下方向Ｄ２に直交する仮想平面Ｐ７（「水平面Ｐ７」ともいう）に対する下側傾斜面７７の角度θ（誘導傾斜角度）は、小さい方が好ましい。
　下側傾斜面７７は、挟持部７８を形成する挟持面７７５と、挟持面７７５よりも後ろ側Ｄ１２に位置し且つ挟持部７８へ基板Ｗをスライドさせながら誘導する誘導面８と、を有する。Ｖ字状溝７４への基板Ｗの受け渡し機能を重視すれば、誘導面８における誘導傾斜角度θは大きいことが好ましく、一方、誘導面８における基板Ｗのせり上がり性を重視すれば、誘導面８における誘導傾斜角度θは小さいことが好ましい（詳細については後述する）。誘導面８における前方向Ｄ１１（水平面Ｐ７）に対して傾斜する誘導傾斜角度θ（θ８１、θ８２）は、複数段階に減少している。
　誘導面８は、後ろ側Ｄ１２の第１誘導面８１と、第１誘導面８１の前側Ｄ１１に位置する第２誘導面８２と、第１誘導面８１と第２誘導面８２との間に位置する移行部８３と、を有する。本実施形態においては、第１誘導面８１、第２誘導面８２及び挟持面７７５は、直平面である。移行部８３は、第１誘導面８１と第２誘導面８２とを滑らかに繋ぐ形状を有することが好ましい。水平面Ｐ７に対して第２誘導面８２がなす角度θ８２は、水平面Ｐ７に対して第１誘導面８１がなす角度θ８１よりも、小さい。つまり、本実施形態においては、誘導面８における前方向Ｄ１１（水平面Ｐ７）に対して傾斜する誘導傾斜角度θは、２段階）に減少している（θ８２＜θ８１）。水平面Ｐ７に対して挟持面７７５がなす角度θ７７５は、水平面Ｐ７に対して第２誘導面８２がなす角度θ８２よりも、小さい（θ７７５＜θ８２）。
　第１誘導面８１がなす角度θ８１は、例えば、５０～８０度である。第２誘導面８２がなす角度θ８２は、例えば、３０～４５度である。第１誘導面８１がなす角度θ８１と第２誘導面８２がなす角度θ８２との角度差（θ８１－θ８２）は、５～５０度である。
　前後方向Ｄ１において、第２誘導面８２の長さｔ８２は第１誘導面８１の長さｔ８１よりも長い。第２誘導面８２の長さｔ８２は、例えば、２～３．３ｍｍである。第１誘導面８１の長さｔ８１は、例えば、０．３～１ｍｍである。第２誘導面８２の長さｔ８２と第１誘導面８１の長さｔ８１との差（ｔ８２－ｔ８１）は、例えば、１～３ｍｍである。移行部８３の長さｔ８３は、例えば、０．３～０．８ｍｍである。
　図４Ｂに示すように、後ろ側Ｄ１２から前方向Ｄ１１に視た背面視において、第２誘導面８２の面積Ｓ８２は第１誘導面８１の面積Ｓ８１よりも大きい。第２誘導面８２の面積Ｓ８２と第１誘導面８１の面積Ｓ８１との差（Ｓ８２－Ｓ８１）は、例えば、１０～４０ｍｍ２である。
　図４Ｂに示すように、上下方向Ｄ２に隣接する蓋体側基板支持部７３において、上下方向Ｄ２に直交する仮想平面Ｐ７（水平面Ｐ７）は、上側Ｄ２１に位置する蓋体側基板支持部７３又は下側Ｄ２２に位置する蓋体側基板支持部７３の一方又は両方を通る。仮想平面Ｐ７は、基板Ｗが拡がる（延びる）方向（の基準方向）ということもできる。図４Ｂでは、上側Ｄ２１に位置する蓋体側基板支持部７３のみを通る仮想平面Ｐ７を仮想平面Ｐ７１として示している。下側Ｄ２２に位置する蓋体側基板支持部７３のみを通る仮想平面Ｐ７を仮想平面Ｐ７２として示している。上側Ｄ２１に位置する蓋体側基板支持部７３及び下側Ｄ２２に位置する蓋体側基板支持部７３の両方を通る仮想平面Ｐ７を仮想平面Ｐ７０として示している。
　図４Ａ及び図４Ｂに示すように、上下方向Ｄ２に隣接する蓋体側基板支持部７３において、前方向Ｄ１１に視たときに、上側Ｄ２１に位置する蓋体側基板支持部７３の下側傾斜面７７の下端縁７７２と、下側Ｄ２２に位置する蓋体側基板支持部７３の上側傾斜面７６の上端縁７６１とは、間隔を空けて並列している。上側Ｄ２１に位置する蓋体側基板支持部７３の下側傾斜面７７の下端縁７７２と、下側Ｄ２２に位置する蓋体側基板支持部７３の上側傾斜面７６の上端縁７６１とは、横方向Ｄ３の内側に進むにつれて、下方向Ｄ２２に向かうように傾斜しており、詳細には、上側Ｄ２１に位置する蓋体側基板支持部７３の下側傾斜面７７の下端縁７７２と、下側Ｄ２２に位置する蓋体側基板支持部７３の上側傾斜面７６の上端縁７６１とは、横方向Ｄ３の両側において、横方向Ｄ３に略平行であり、且つ、横方向Ｄ３の中央部において、横方向Ｄ３の内側に進むにつれて、下方向Ｄ２２に向かうように傾斜している。
　上記構成の実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
　実施形態の基板収納容器１は、前側Ｄ１１の一端部に容器本体開口部２１が形成され後ろ側Ｄ１２の他端部が閉塞された筒状の壁部２０を備え、壁部２０の内面によって、複数の基板Ｗを収納可能であり容器本体開口部２１に連通する基板収納空間２７が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に配置され、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な蓋体側基板支持部７３と、基板収納空間２７内において蓋体側基板支持部７３と対をなすように配置され、複数の基板Ｗの縁部を支持可能であり、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに蓋体側基板支持部７３と協働して、複数の基板Ｗの縁部を上下方向Ｄ２に並列させた状態で、複数の基板Ｗを支持する奥側基板支持部６と、を備える。蓋体側基板支持部７３は、基板収納空間２７の中心から離間するように窪んだ凹溝であるＶ字状溝７４を形成する上側傾斜面７６及び下側傾斜面７７を有し、上側傾斜面７６及び下側傾斜面７７の最前部は、複数の基板Ｗの縁部を挟持する挟持部７８として機能する。下側傾斜面７７は、挟持部７８を形成する挟持面７７５と、挟持面７７５よりも後ろ側Ｄ１２に位置し且つ挟持部７８へ基板Ｗをスライドさせながら誘導する誘導面８と、を有し、誘導面８における前方向Ｄ１１に対して傾斜する誘導傾斜角度θは、複数段階に減少している。
　Ｖ字状溝７４への基板Ｗの受け渡し機能を重視すれば、下側傾斜面７７の後ろ側Ｄ１２の下端の位置は、なるべく下側Ｄ２２に位置することが好ましい。しかし、下側傾斜面７７の後ろ側Ｄ１２の下端の位置を下側Ｄ２２に位置させようとすると、下側傾斜面７７の上下方向Ｄ２の寸法が大きくなり、誘導面８における前方向Ｄ１１に対して傾斜する誘導傾斜角度θは大きくなる。誘導面８の誘導傾斜角度θが大きいと、誘導面８における基板Ｗのせり上がり性が低下する。これに対して、実施形態によれば、誘導面８における前方向Ｄ１１に対して傾斜する誘導傾斜角度θは、複数段階に減少している。そのため、誘導面８における後ろ側Ｄ１２の誘導傾斜角度θ（θ８１）を大きくして、下側傾斜面７７の後ろ側Ｄ１２の下端の位置を、なるべく下側Ｄ２２に位置させて、Ｖ字状溝７４への基板Ｗの受け渡し機能を高くしつつ、誘導面８における前側Ｄ１１の誘導傾斜角度θを小さくして（θ８２＜θ８１）、誘導面８における基板Ｗのせり上がり性を向上させることができる。つまり、Ｖ字状溝７４への基板Ｗの受け渡し機能と誘導面８における基板Ｗのせり上がり性との両立を図ることができる。
　実施形態の基板収納容器１においては、誘導面８は、後ろ側Ｄ１２の第１誘導面８１と、第１誘導面８１の前側Ｄ１１に位置する第２誘導面８２とを有し、前後方向Ｄ１において、第２誘導面８２の長さｔ８２は第１誘導面８１の長さｔ８１よりも長い。そのため、実施形態によれば、第２誘導面８２の長さｔ８２が長いことで、誘導面８における基板Ｗのすり上がり性を向上できる。
　実施形態の基板収納容器１においては、第２誘導面８２の面積Ｓ８２は第１誘導面８１の面積Ｓ８１よりも大きい。そのため、実施形態によれば、第２誘導面８２の面積Ｓ８２が大きいことで、誘導面８における基板Ｗのすり上がり性を向上できる。
　実施形態の基板収納容器１においては、上下方向Ｄ２に隣接する蓋体側基板支持部７３において、上下方向Ｄ２に直交する仮想平面Ｐ７は、上側Ｄ２１に位置する蓋体側基板支持部７３又は下側Ｄ２２に位置する蓋体側基板支持部７３の一方又は両方を通る。そのため、実施形態によれば、上側Ｄ２１に位置する蓋体側基板支持部７３の下側傾斜面７７の下端縁７７２と、下側Ｄ２２に位置する蓋体側基板支持部７３の上側傾斜面７６の上端縁７６１との間に、基板Ｗが挿入されてしまい、基板Ｗを蓋体側基板支持部７３によって支持できないことを、防止することができる。
　本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
　例えば、実施形態においては、誘導面８における前方向Ｄ１１に対して傾斜する誘導傾斜角度θは、２段階に減少している（θ８１＞θ８２）。しかし、誘導傾斜角度θは、３段階以上、例えば、３段階～５段階に減少していてもよい。
　容器本体２及び蓋体３の形状や、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数、寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状や、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数、寸法に限定されない。
１　基板収納容器
２　容器本体
３　蓋体
５　側方基板支持部
６　奥側基板支持部
７　フロントリテーナ
８　誘導面
２０　壁部
２１　容器本体開口部
２７　基板収納空間
２８　開口周縁部
７３　蓋体側基板支持部
７４　Ｖ字状溝
７６　上側傾斜面
７７　下側傾斜面
７８　挟持部
８１　第１誘導面
８２　第２誘導面
７６１　上端縁
７７２　下端縁
７７５　挟持面

Claims (5)

  1. 　前側の一端部に容器本体開口部が形成され後ろ側の他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
    　前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
    　前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、
    　前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板の縁部を上下方向に並列させた状態で、前記複数の基板を支持する奥側基板支持部と、を備え、
    　前記蓋体側基板支持部は、前記基板収納空間の中心から離間するように窪んだ凹溝であるＶ字状溝を形成する上側傾斜面及び下側傾斜面を有し、
    　前記上側傾斜面及び前記下側傾斜面の最前部は、前記複数の基板の縁部を挟持する挟持部として機能し、
    　前記下側傾斜面は、前記挟持部を形成する挟持面と、前記挟持面よりも後ろ側に位置し且つ前記挟持部へ前記基板をスライドさせながら誘導する誘導面と、を有し、
    　前記誘導面における前方向に対して傾斜する誘導傾斜角度は、複数段階に減少している、基板収納容器。
  2. 　前記誘導面は、後ろ側の第１誘導面と、前記第１誘導面の前側に位置する第２誘導面とを有し、
    　前後方向において、前記第２誘導面の長さは前記第１誘導面の長さよりも長い、請求項１に記載の基板収納容器。
  3. 　前記第２誘導面の面積は前記第１誘導面の面積よりも大きい、請求項２に記載の基板収納容器。
  4. 　上下方向に隣接する前記蓋体側基板支持部において、上下方向に直交する仮想平面は、上側に位置する前記蓋体側基板支持部又は下側に位置する前記蓋体側基板支持部の一方又は両方を通る、請求項１～請求項３のいずれかに記載の基板収納容器。
  5. 　上下方向に隣接する前記蓋体側基板支持部において、前方向に視たときに、上側に位置する前記蓋体側基板支持部の前記下側傾斜面の下端縁と、下側に位置する前記蓋体側基板支持部の前記上側傾斜面の上端縁とは、間隔を空けて並列しており、且つ、横方向の内側に進むにつれて、下方向に向かうように傾斜している、請求項１～請求項４のいずれかに記載の基板収納容器。
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