AT517792A3 - Aufspannvorrichtung zum Ansaugen und Halten eines Wafers - Google Patents

Aufspannvorrichtung zum Ansaugen und Halten eines Wafers

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AT517792A3
AT517792A3 ATA9476/2013A AT94762013A AT517792A3 AT 517792 A3 AT517792 A3 AT 517792A3 AT 94762013 A AT94762013 A AT 94762013A AT 517792 A3 AT517792 A3 AT 517792A3
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Hansen Sven
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Suss Microtec Lithography Gmbh
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Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Aufspannvorrichtung und ein Verfahren zum Ansaugen und Halten eines Wafers durch diese Aufspannvorrichtung, wobei die Aufspannvorrichtung Folgendes umfasst: eine plane obere Fläche, die in mehrere Ansaugsegmente untergliedert ist, wobei die Ansaugsegmente jeweils zum Absaugen eines Fluids ausgelegt sind; und eine untere Fläche. Das Verfahren umfasst die folgenden Schritte: Annähern von Wafer und oberer Fläche der Aufspannvorrichtung innerhalb eines Fluids, so dass zwei oder mehr der Ansaugsegmente vom Wafer bedeckt, zumindest locker bedeckt, sind; Auswählen eines Ansaugsegments, das einen minimalen Abstand zum Wafer aufweist, aus den noch nicht aktivierten Ansaugsegmenten; Aktivieren des im vorherigen Schritt ausgewählten Ansaugsegments; nachdem der Wafer im Bereich des letztaktivierten Ansaugsegments dicht auf der oberen Fläche der Aufspannvorrichtung anliegt und so lange wie wenigstens ein Ansaugsegment noch nicht aktiviert ist: Wiederholen der vorhergehenden Schritte.
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