ATE334479T1 - VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG INTEGRIERTER SCHALTUNGEN MIT VERBESSERTEN LEITERBAHNEN IN SOGENANNTER ßSÄGEBÜGELß-FORM - Google Patents

VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG INTEGRIERTER SCHALTUNGEN MIT VERBESSERTEN LEITERBAHNEN IN SOGENANNTER ßSÄGEBÜGELß-FORM

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ATE334479T1
ATE334479T1 AT01954011T AT01954011T ATE334479T1 AT E334479 T1 ATE334479 T1 AT E334479T1 AT 01954011 T AT01954011 T AT 01954011T AT 01954011 T AT01954011 T AT 01954011T AT E334479 T1 ATE334479 T1 AT E334479T1
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AT
Austria
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integrated circuit
ßsaw
called
integrated circuits
conductor tracks
Prior art date
Application number
AT01954011T
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Inventor
Ewald Bergler
Josef Preishuber-Pfluegl
Reinhard Fetzer
Klepzig Haiko
Original Assignee
Koninkl Philips Electronics Nv
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P74/00—Testing or measuring during manufacture or treatment of wafers, substrates or devices
    • H10P74/27—Structural arrangements therefor
    • H10P74/273—Interconnections for measuring or testing, e.g. probe pads

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