ATE423382T1 - Vorrichtung und verfahren zum positionieren einer röntgenlinse und röntgengerät mit einer solchen vorrichtung - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zum positionieren einer röntgenlinse und röntgengerät mit einer solchen vorrichtung

Info

Publication number
ATE423382T1
ATE423382T1 AT05018216T AT05018216T ATE423382T1 AT E423382 T1 ATE423382 T1 AT E423382T1 AT 05018216 T AT05018216 T AT 05018216T AT 05018216 T AT05018216 T AT 05018216T AT E423382 T1 ATE423382 T1 AT E423382T1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
ray
positioning
lens
adjustment
goniometer
Prior art date
Application number
AT05018216T
Other languages
English (en)
Inventor
Thomas Baumann
Original Assignee
Unisantis Fze
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Unisantis Fze filed Critical Unisantis Fze
Application granted granted Critical
Publication of ATE423382T1 publication Critical patent/ATE423382T1/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21K—HANDLING OF PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
    • G21K1/06—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diffraction, refraction or reflection, e.g. monochromators
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00—X-ray tubes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)
AT05018216T 2005-08-22 2005-08-22 Vorrichtung und verfahren zum positionieren einer röntgenlinse und röntgengerät mit einer solchen vorrichtung ATE423382T1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP05018216A EP1758132B1 (de) 2005-08-22 2005-08-22 Vorrichtung und Verfahren zum Positionieren einer Röntgenlinse und Röntgengerät mit einer solchen Vorrichtung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ATE423382T1 true ATE423382T1 (de) 2009-03-15

Family

ID=35645322

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT05018216T ATE423382T1 (de) 2005-08-22 2005-08-22 Vorrichtung und verfahren zum positionieren einer röntgenlinse und röntgengerät mit einer solchen vorrichtung

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7769136B2 (de)
EP (1) EP1758132B1 (de)
JP (1) JP2009505111A (de)
CN (1) CN101243522B (de)
AT (1) ATE423382T1 (de)
DE (1) DE602005012824D1 (de)
WO (1) WO2007022917A1 (de)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5783785B2 (ja) 2010-06-02 2015-09-24 キヤノン株式会社 Ｘ線導波路
EP2458328B1 (de) * 2010-11-24 2016-01-27 Leica Geosystems AG Konstruktionsvermessungsgerät mit einer automatischen Lotpunktfindungs-Funktionalität
EP2474810A1 (de) * 2011-01-11 2012-07-11 Leica Geosystems AG Vermessungsgerät mit einer dynamischen Anzielfunktionalität
EP2541194A1 (de) * 2011-07-01 2013-01-02 Hexagon Technology Center GmbH Konstruktionsvermessungsgerät zum Verfolgen, Vermessen und Markieren von Kanten und Eckpunkten aneinandergrenzender Oberflächen
DE102013202487A1 (de) * 2013-02-15 2014-08-21 Bruker Nano Gmbh Vorrichtung zur räumlichen Ausrichtung einer Röntgenoptik und Apparatur mit einer solchen
KR101519475B1 (ko) * 2014-07-17 2015-05-13 주식회사 벡트론 X-선 집속을 위한 복합굴절렌즈의 홀더 조작장치
DE102014219601B4 (de) * 2014-08-13 2023-06-29 Bruker Nano Gmbh Verfahren zum Scannen einer Probe mittels einer Röntgenoptik und eine Apparatur zum Scannen einer Probe
CN109524284A (zh) * 2018-11-28 2019-03-26 深圳先进技术研究院 一种放射治疗x射线源及x射线源装置
DE102022105838B3 (de) * 2022-03-14 2023-08-17 Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik Justiereinheit für eine Röntgenoptik in einem Röntgenfluoreszenzgerät sowie Röntgenfluoreszenzgerät
DE102023118385B3 (de) 2023-07-12 2024-11-28 Helmut Fischer GmbH Institut für Elektronik und Messtechnik Sicherheitsvorrichtung für eine Röntgenoptik eines Röntgenfluoreszenzanalysegeräts

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62106352A (ja) * 1985-11-01 1987-05-16 Natl Inst For Res In Inorg Mater 走査型ｘ線顕微鏡
JPH0631887B2 (ja) * 1988-04-28 1994-04-27 株式会社東芝 Ｘ線ミラー及びその製造方法
US5192869A (en) * 1990-10-31 1993-03-09 X-Ray Optical Systems, Inc. Device for controlling beams of particles, X-ray and gamma quanta
JP3016439B2 (ja) * 1991-02-18 2000-03-06 理学電機株式会社 コリメータを備えたｘ線発生装置
JP3190989B2 (ja) * 1991-04-02 2001-07-23 理学電機株式会社 Ｘ線装置のコリメータ
JP3197104B2 (ja) * 1993-04-19 2001-08-13 セイコーインスツルメンツ株式会社 Ｘ線解析装置
JPH07260714A (ja) * 1994-03-25 1995-10-13 Hitachi Ltd Ｘ線分析装置
JP4065563B2 (ja) * 1995-10-05 2008-03-26 株式会社 東芝 Ｘ線像撮像装置
GB9815968D0 (en) * 1998-07-23 1998-09-23 Bede Scient Instr Ltd X-ray focusing apparatus
JP3330563B2 (ja) * 1999-04-12 2002-09-30 セイコーインスツルメンツ株式会社 微量試料分析装置
JP2001074892A (ja) * 1999-09-03 2001-03-23 Rigaku Corp コリメータ及びｘ線装置
ES2291162T3 (es) * 2000-09-27 2008-03-01 Euratom Colimador de microhaz para investigaciones de drx de alata resolucion con difractometros convencionales.
JP2002131488A (ja) * 2000-10-18 2002-05-09 Vision Arts Kk Ｘ線レンズおよびそのｘ線レンズの製造方法
ATE476088T1 (de) 2001-12-04 2010-08-15 X Ray Optical Sys Inc Röntgenquelle mit verbesserter strahlstabilität und ihre anwendung in der analyse von strömenden flüssigkeiten
US6888920B2 (en) * 2002-09-03 2005-05-03 Basil Eric Blank Low-cost, high precision goniometric stage for x-ray diffractography
DE602005017036D1 (de) * 2005-08-22 2009-11-19 Unisantis Fze Röntgenlinsenanordnung und Röntgenvorrichtung die diese einschliesst
ATE445221T1 (de) * 2005-08-22 2009-10-15 Unisantis Fze Vorrichtung zur abschirmung von röntgenstrahlen und röntgengerät mit dieser

Also Published As

Publication number Publication date
CN101243522B (zh) 2011-01-12
JP2009505111A (ja) 2009-02-05
CN101243522A (zh) 2008-08-13
EP1758132A1 (de) 2007-02-28
DE602005012824D1 (de) 2009-04-02
US20090220054A1 (en) 2009-09-03
EP1758132B1 (de) 2009-02-18
WO2007022917A1 (en) 2007-03-01
US7769136B2 (en) 2010-08-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2006083928A3 (en) Apparatus and method for modifying an object
ATE423382T1 (de) Vorrichtung und verfahren zum positionieren einer röntgenlinse und röntgengerät mit einer solchen vorrichtung
ATE275983T1 (de) Verfahren zur quervernetzung von uhmwpe in einem orthopädischen implantat
DE60305584D1 (de) Richtungsabhängige Abschirmung zur Benutzung mit Dipolbelichtung
ATE509367T1 (de) Belichtungsgerät, substrattrageverfahren, belichtungsverfahren und verfahren zur herstellung einer vorrichtung
EP1308789A3 (de) Ausrichtvorrichtung, diese verwendender Belichtungsapparat, und Verfahren zur Herstellung von Vorrichtungen
DE602004013122D1 (de) Verfahren zur optimierung einer reihenfolge der komponentenanbringung, vorrichtung damit und anbringvorrichtung
EP1408301A3 (de) Verfahren und Apparat zum Ausrichten von Bauteilen zur Inspection
TW200731338A (en) Liquid recycle component, exposure apparatus, exposure method and device fabrication method
EP1589792A3 (de) Lichtquelle und Belichungsvorrichtung mit dieser
ATE440483T1 (de) Vorrichtung zur wärmeübertragung, insbesondere in einem projektor
ATE477747T1 (de) Vorrichtung zum fotografieren von strahlungsbildern
ATE517315T1 (de) System und verfahren zur inspektion
TW200625445A (en) Substrate processing method
DK1499249T3 (da) Apparat til linjeføring og positionering af implantater i et legeme
DE50201494D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Anpassung der Strahlungsdosis einer Röntgenstrahlungsquelle
DE60204849D1 (de) Verfahren und einrichtung zur lageerfassung der anschlusskontakte elektronischer bauelemente
EP1569033A3 (de) Belichtungsapparat und -methode
DE602004011214D1 (de) Verfahren zum zusammenbau einer schaltung
TW200611079A (en) Lithographic apparatus, control system and device manufacturing method
DE69934181D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Bonden einer Komponente
DE60308380D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum positionieren einer optischen komponente zwischen zwei optischen fasern
TW200725699A (en) Projection photo mask, laser processing method, laser processing apparatus, and thin film transistor device
EP1950493A3 (de) Belichtungsvorrichtung und Belichtungsverfahren einer lichtempfindlichen Zusammensetzung mit dieser Vorrichtung
TW200739286A (en) Sensor unit, exposure apparatus, and device manufacturing method

Legal Events

Date Code Title Description
RER Ceased as to paragraph 5 lit. 3 law introducing patent treaties