ATE448561T1 - Verfahren zur messung der beugungsmuster mit hilfe eines transmissionselektronenmikrosops zur ermittlung der kristallstruktur und vorrichtung hierfür - Google Patents

Verfahren zur messung der beugungsmuster mit hilfe eines transmissionselektronenmikrosops zur ermittlung der kristallstruktur und vorrichtung hierfür

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ATE448561T1
ATE448561T1 AT03750478T AT03750478T ATE448561T1 AT E448561 T1 ATE448561 T1 AT E448561T1 AT 03750478 T AT03750478 T AT 03750478T AT 03750478 T AT03750478 T AT 03750478T AT E448561 T1 ATE448561 T1 AT E448561T1
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transmission electron
crystal structure
diffraction patterns
device therefor
sample
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AT03750478T
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Avilov Anatoly Sergeevich
Kuligin Kirill Vladimirovich
Stavros Nicolopoulos
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Nanomegas Sprl
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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    • H01J37/26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/295Electron or ion diffraction tubes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G01N23/20058Measuring diffraction of electrons, e.g. low energy electron diffraction [LEED] method or reflection high energy electron diffraction [RHEED] method

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Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7531812B2 (en) * 2003-10-27 2009-05-12 Politechnika Wroclawska Method and system for the directional detection of electrons in a scanning electron microscope
JP2006079911A (ja) * 2004-09-09 2006-03-23 Hitachi High-Technologies Corp 電子ビーム電流計測方法、電子ビーム描画装置および電子ビーム検出器
DE102006011615A1 (de) 2006-03-14 2007-09-20 Carl Zeiss Nts Gmbh Phasenkontrast-Elektronenmikroskop
WO2008060237A1 (en) * 2006-11-15 2008-05-22 Hovmoeller Sven Electron rotation camera
US7700915B2 (en) * 2006-11-28 2010-04-20 Canatu Oy Method, computer program and apparatus for the characterization of molecules
US7952073B2 (en) 2008-08-01 2011-05-31 Direct Electron, Lp Apparatus and method including a direct bombardment detector and a secondary detector for use in electron microscopy
EP2818852B1 (de) * 2008-11-06 2019-01-02 Nanomegas SPRL Verfahren und Vorrichtungen für eine Kristallstrukturanalyse mit hohem Durchlass durch Elektronenbrechung
US8748817B2 (en) * 2010-07-27 2014-06-10 Vineet Kumar Orientation imaging using wide angle convergent beam diffraction in transmission electron microscopy
EP2413345B1 (de) 2010-07-29 2013-02-20 Carl Zeiss NTS GmbH Strahlensystem mit geladenen Teilchen
CN104272096B (zh) * 2012-03-08 2016-12-14 阿普菲弗有限责任公司 基于高空间分辨率测量材料应变的系统及方法
EP2642279B1 (de) * 2012-03-19 2015-07-01 Universidad de Barcelona Verfahren und System zur Verbesserung von kennzeichnenden Spitzensignalen bei der analytischen Elektronenmikroskopie
US9244025B2 (en) * 2013-07-05 2016-01-26 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Transmission electron diffraction measurement apparatus and method for measuring transmission electron diffraction pattern
US12620548B2 (en) * 2014-01-27 2026-05-05 Mochii, Inc. Transmission electron microscopy
JP2015185511A (ja) * 2014-03-26 2015-10-22 日本電子株式会社 荷電粒子線装置
US9978557B2 (en) 2016-04-21 2018-05-22 Fei Company System for orienting a sample using a diffraction pattern
EP3379236B1 (de) * 2017-03-20 2019-09-11 TESCAN Brno, s.r.o. Rastertransmission-elektronenmikroskop
EP3379557A1 (de) * 2017-03-20 2018-09-26 TESCAN Brno, s.r.o. Raster-transmissionselektronenmikroskop und verfahren zur erfassung mit hohem durchsatz von elektronenstreuungswinkelverteilungsbildern
JP7074479B2 (ja) * 2018-01-11 2022-05-24 株式会社ニューフレアテクノロジー マルチビーム検査装置
WO2020160671A1 (en) 2019-02-07 2020-08-13 Miller R J Dwayne Systems and methods for performing serial electron diffraction nanocrystallography
WO2020234291A1 (en) 2019-05-20 2020-11-26 Eldico Scientific Ag Diffractometer for charged-particle crystallography

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5138578B2 (de) * 1972-10-23 1976-10-22
US4697080A (en) * 1986-01-06 1987-09-29 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Analysis with electron microscope of multielement samples using pure element standards
US6420701B1 (en) * 1997-07-23 2002-07-16 Canon Kabushiki Kaisha Method of determining average crystallite size of material and apparatus and method for preparing thin film of the material
JP2000243338A (ja) * 1999-02-22 2000-09-08 Hitachi Ltd 透過電子顕微鏡装置および透過電子検査装置並びに検査方法
EP1365229B1 (de) * 2001-02-28 2012-12-12 Hitachi, Ltd. Elektronen-Nano-Diffraktionsmethode zur Messung von Dehnung und Spannung durch Detektion eines Diffraktionspunktes oder mehrerer Diffraktionspunkte
JP3867524B2 (ja) * 2001-07-05 2007-01-10 株式会社日立製作所 電子線を用いた観察装置及び観察方法
JP3789104B2 (ja) * 2002-05-13 2006-06-21 株式会社日立ハイテクノロジーズ 元素分布観察方法及び装置

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