ATE448561T1 - Verfahren zur messung der beugungsmuster mit hilfe eines transmissionselektronenmikrosops zur ermittlung der kristallstruktur und vorrichtung hierfür - Google Patents

Verfahren zur messung der beugungsmuster mit hilfe eines transmissionselektronenmikrosops zur ermittlung der kristallstruktur und vorrichtung hierfür

Info

Publication number
ATE448561T1
ATE448561T1 AT03750478T AT03750478T ATE448561T1 AT E448561 T1 ATE448561 T1 AT E448561T1 AT 03750478 T AT03750478 T AT 03750478T AT 03750478 T AT03750478 T AT 03750478T AT E448561 T1 ATE448561 T1 AT E448561T1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
transmission electron
crystal structure
diffraction patterns
device therefor
sample
Prior art date
Application number
AT03750478T
Other languages
English (en)
Inventor
Avilov Anatoly Sergeevich
Kuligin Kirill Vladimirovich
Stavros Nicolopoulos
Original Assignee
Nanomegas Sprl
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nanomegas Sprl filed Critical Nanomegas Sprl
Application granted granted Critical
Publication of ATE448561T1 publication Critical patent/ATE448561T1/de

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/295Electron or ion diffraction tubes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/20Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
    • G01N23/20058Measuring diffraction of electrons, e.g. low energy electron diffraction [LEED] method or reflection high energy electron diffraction [RHEED] method

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
AT03750478T 2003-09-02 2003-09-02 Verfahren zur messung der beugungsmuster mit hilfe eines transmissionselektronenmikrosops zur ermittlung der kristallstruktur und vorrichtung hierfür ATE448561T1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/EP2003/009727 WO2005022582A1 (en) 2003-09-02 2003-09-02 A method for measuring diffraction patterns from a transmission electron microscopy to determine crystal structures and a device therefor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ATE448561T1 true ATE448561T1 (de) 2009-11-15

Family

ID=34259108

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT03750478T ATE448561T1 (de) 2003-09-02 2003-09-02 Verfahren zur messung der beugungsmuster mit hilfe eines transmissionselektronenmikrosops zur ermittlung der kristallstruktur und vorrichtung hierfür

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7601956B2 (de)
EP (1) EP1665321B1 (de)
AT (1) ATE448561T1 (de)
AU (1) AU2003270138A1 (de)
DE (1) DE60330067D1 (de)
WO (1) WO2005022582A1 (de)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7531812B2 (en) * 2003-10-27 2009-05-12 Politechnika Wroclawska Method and system for the directional detection of electrons in a scanning electron microscope
JP2006079911A (ja) * 2004-09-09 2006-03-23 Hitachi High-Technologies Corp 電子ビーム電流計測方法、電子ビーム描画装置および電子ビーム検出器
DE102006011615A1 (de) 2006-03-14 2007-09-20 Carl Zeiss Nts Gmbh Phasenkontrast-Elektronenmikroskop
WO2008060237A1 (en) * 2006-11-15 2008-05-22 Hovmoeller Sven Electron rotation camera
US7700915B2 (en) * 2006-11-28 2010-04-20 Canatu Oy Method, computer program and apparatus for the characterization of molecules
US7952073B2 (en) * 2008-08-01 2011-05-31 Direct Electron, Lp Apparatus and method including a direct bombardment detector and a secondary detector for use in electron microscopy
JP5536085B2 (ja) * 2008-11-06 2014-07-02 ナノメガス エスピーアールエル 電子線回折による高スループット結晶構造解析のための方法及びデバイス
US8748817B2 (en) * 2010-07-27 2014-06-10 Vineet Kumar Orientation imaging using wide angle convergent beam diffraction in transmission electron microscopy
EP2413345B1 (de) 2010-07-29 2013-02-20 Carl Zeiss NTS GmbH Strahlensystem mit geladenen Teilchen
KR101999988B1 (ko) * 2012-03-08 2019-07-15 앱파이브 엘엘씨 고 공간 분해능에서 물질의 스트레인을 측정하기 위한 시스템 및 공정
EP2642279B1 (de) 2012-03-19 2015-07-01 Universidad de Barcelona Verfahren und System zur Verbesserung von kennzeichnenden Spitzensignalen bei der analytischen Elektronenmikroskopie
US9244025B2 (en) * 2013-07-05 2016-01-26 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Transmission electron diffraction measurement apparatus and method for measuring transmission electron diffraction pattern
JP2015185511A (ja) * 2014-03-26 2015-10-22 日本電子株式会社 荷電粒子線装置
US9978557B2 (en) 2016-04-21 2018-05-22 Fei Company System for orienting a sample using a diffraction pattern
EP3379236B1 (de) * 2017-03-20 2019-09-11 TESCAN Brno, s.r.o. Rastertransmission-elektronenmikroskop
EP3379557A1 (de) * 2017-03-20 2018-09-26 TESCAN Brno, s.r.o. Raster-transmissionselektronenmikroskop und verfahren zur erfassung mit hohem durchsatz von elektronenstreuungswinkelverteilungsbildern
JP7074479B2 (ja) * 2018-01-11 2022-05-24 株式会社ニューフレアテクノロジー マルチビーム検査装置
US12072304B2 (en) 2019-02-07 2024-08-27 R. J. Dwayne Miller Systems and methods for performing serial electron diffraction nanocrystallography
KR102724079B1 (ko) 2019-05-20 2024-10-29 엘디코 사이언티픽 아게 하전 입자 결정학을 위한 회절계

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5138578B2 (de) 1972-10-23 1976-10-22
US4697080A (en) * 1986-01-06 1987-09-29 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Analysis with electron microscope of multielement samples using pure element standards
US6420701B1 (en) 1997-07-23 2002-07-16 Canon Kabushiki Kaisha Method of determining average crystallite size of material and apparatus and method for preparing thin film of the material
JP2000243338A (ja) * 1999-02-22 2000-09-08 Hitachi Ltd 透過電子顕微鏡装置および透過電子検査装置並びに検査方法
EP1365229B1 (de) * 2001-02-28 2012-12-12 Hitachi, Ltd. Elektronen-Nano-Diffraktionsmethode zur Messung von Dehnung und Spannung durch Detektion eines Diffraktionspunktes oder mehrerer Diffraktionspunkte
JP3867524B2 (ja) * 2001-07-05 2007-01-10 株式会社日立製作所 電子線を用いた観察装置及び観察方法
JP3789104B2 (ja) * 2002-05-13 2006-06-21 株式会社日立ハイテクノロジーズ 元素分布観察方法及び装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20070023659A1 (en) 2007-02-01
EP1665321A1 (de) 2006-06-07
DE60330067D1 (de) 2009-12-24
US7601956B2 (en) 2009-10-13
WO2005022582A1 (en) 2005-03-10
EP1665321B1 (de) 2009-11-11
AU2003270138A1 (en) 2005-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE448561T1 (de) Verfahren zur messung der beugungsmuster mit hilfe eines transmissionselektronenmikrosops zur ermittlung der kristallstruktur und vorrichtung hierfür
DE10294378D2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen einer Probe mit Hilfe eines Rastersondenmikroskops
ATE310582T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur bestimmung des volumens einer flüssigkeitsprobe
ATE390627T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur oberflächenplasmonenmikroskopie
ATE401823T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur bestimmung eines lichttransportparameters und eines analyten in einer biologischen matrix
CA2465800A1 (en) Instrument
DK0679251T3 (da) Fremgangsmåde og apparat til vurdering af biopolymerers fitness
DE59710311D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum messen des verlaufs reflektierender oberflächen
DE60308482D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung einer Probe eines Prüfkörpers mittels Elektronenstrahls
CA2337294A1 (en) Method and apparatus for evaluation of eddy current testing signal
ATE539324T1 (de) Verfahren zur herstellung von unabhängigen mehrdimensionalen kalibrationsmustern
Adler Updating recent studies on the Shroud of Turin
DE60134844D1 (de) Verfahren zur identifizierung von objekten mittels eines optisches spektrometers und eines transportsystems
DE50201311D1 (de) Vorrichtung und verfahren zum analysieren eines audiosignals hinsichtlich von rhythmusinformationen
ATE384940T1 (de) Verfahren und apparat zur messung der geometrischen struktur eines optischen bauteils durch lichtübertragung
TW373068B (en) Method and apparatus for evaluating internal film stress at high lateral resolution
ATE545856T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur polarisationsabhängigen und ortsaufgelösten untersuchung einer oberfläche oder einer schicht
AT525495A3 (de) Ausgleichsdetektion mit ICAPS innerhalb einer optischen Kavität
ATE391911T1 (de) Vorrichtung und verfahren zur bereitstellung von bodenproben
DE50306180D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der chromatischen Dispersion von optischen Komponenten
DE69034142D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum aufspüren eines objektes
DE10313593B8 (de) Verfahren zum Betrachten einer Probe mittels eines Transmissionselektronenmikroskops und entsprechendes Transmissionselektronenmikroskop
DE602005019996D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur dimensionalen charakterisierung eines zylinderförmigen gegenstandes
DE602006005733D1 (de) Verfahren zur Erfassung von Probendeformationen
ATE344450T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur charakterisierung eines stoffes mit amorpher phase mittels röntgenbeugung

Legal Events

Date Code Title Description
RER Ceased as to paragraph 5 lit. 3 law introducing patent treaties