ATE450880T1 - Einrichtung und verfahren zur verringerung der auswirkung von verzerrungen in einem mikroskop - Google Patents

Einrichtung und verfahren zur verringerung der auswirkung von verzerrungen in einem mikroskop

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ATE450880T1
ATE450880T1 AT02746290T AT02746290T ATE450880T1 AT E450880 T1 ATE450880 T1 AT E450880T1 AT 02746290 T AT02746290 T AT 02746290T AT 02746290 T AT02746290 T AT 02746290T AT E450880 T1 ATE450880 T1 AT E450880T1
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reducing
distortions
microscope
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micro
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Hakan Olin
Krister Svensson
Fredrik Althoff
Andrey Danilov
Paul Bengtsson
Martin Hospers
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Nanofactory Instruments Ab
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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5157900B2 (ja) 2006-06-07 2013-03-06 日産化学工業株式会社 含窒素ヘテロ環化合物及びトロンボポエチンレセプター活性化剤
US9403641B1 (en) 2013-11-27 2016-08-02 Amrep, Inc. Side loader arm for refuse collection vehicle
EP2966668B1 (de) 2014-07-10 2016-10-12 Fei Company Verfahren zur Kalibrierung eines Transmissions-Rasterelektronenmikroskops
CN105372453A (zh) * 2015-12-05 2016-03-02 郑州铁路职业技术学院 一种医学检验显微镜
EP4199030A1 (de) * 2021-12-15 2023-06-21 FEI Company Thermische driftkorrektur basierend auf thermischer modellierung

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63202834A (ja) * 1987-02-17 1988-08-22 Jeol Ltd 電子顕微鏡のドリフト補正装置
JPH01316602A (ja) * 1988-06-16 1989-12-21 Jeol Ltd 電子顕微鏡組込型走査トンネル顕微鏡
JPH0224951A (ja) * 1988-07-14 1990-01-26 Jeol Ltd 試料位置のドリフト補正方式
DE69131528T2 (de) * 1990-05-30 2000-05-04 Hitachi, Ltd. Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung eines sehr kleinen Bereichs einer Probe
US5107113A (en) * 1990-12-26 1992-04-21 Bell Communications Research, Inc. Method and apparatus for correcting distortions in scanning tunneling microscope images
JPH07272665A (ja) * 1994-03-31 1995-10-20 Hitachi Ltd 透過形電子顕微鏡
JPH08273570A (ja) * 1995-03-29 1996-10-18 Jeol Ltd 試料に対する精密作業を行う装置
JPH08321274A (ja) * 1995-05-25 1996-12-03 Hitachi Ltd 電子顕微鏡のアクティブ除振装置
JPH10302697A (ja) * 1997-04-23 1998-11-13 Hitachi Ltd 荷電粒子線顕微鏡
JP2000035391A (ja) * 1998-07-16 2000-02-02 Seiko Instruments Inc 薄片化加工時の試料歪除去方法

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