ATE471768T1 - Oberflächen-mikromechanisches verfahren zur herstellung von mikrozerspanten kapazitiven ultraakustischen messwertgebern - Google Patents

Oberflächen-mikromechanisches verfahren zur herstellung von mikrozerspanten kapazitiven ultraakustischen messwertgebern

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ATE471768T1
ATE471768T1 AT06728466T AT06728466T ATE471768T1 AT E471768 T1 ATE471768 T1 AT E471768T1 AT 06728466 T AT06728466 T AT 06728466T AT 06728466 T AT06728466 T AT 06728466T AT E471768 T1 ATE471768 T1 AT E471768T1
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silicon nitride
mached
acoustic transducers
producing micro
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AT06728466T
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Giosue Caliano
Alessandro Caronti
Massimo Pappalardo
Elena Cianci
Vittorio Foglietti
Antonio Minotti
Alessandro Nencioni
Original Assignee
Consiglio Nazionale Ricerche
Esaote Spa
Giosue Caliano
Savoia Alessandro Stuart
Gatta Philipp
Massimo Pappalardo
Longo Cristina
Alessandro Caronti
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    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/0292—Electrostatic transducers, e.g. electret-type
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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