ATE481730T1 - Probenhalter für ein elektronenmikroskop und verfahren zur reduzierung der thermischen drift in einem elektronenmikroskop - Google Patents

Probenhalter für ein elektronenmikroskop und verfahren zur reduzierung der thermischen drift in einem elektronenmikroskop

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ATE481730T1
ATE481730T1 AT03741650T AT03741650T ATE481730T1 AT E481730 T1 ATE481730 T1 AT E481730T1 AT 03741650 T AT03741650 T AT 03741650T AT 03741650 T AT03741650 T AT 03741650T AT E481730 T1 ATE481730 T1 AT E481730T1
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electron microscope
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rod
reducing thermal
thermal drift
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AT03741650T
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Hendrik Zandbergen
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Univ Delft Tech
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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support

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AT03741650T 2002-06-25 2003-06-24 Probenhalter für ein elektronenmikroskop und verfahren zur reduzierung der thermischen drift in einem elektronenmikroskop ATE481730T1 (de)

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