BRPI0613793A2 - corpos revestidos de material duro e método para sua produção - Google Patents
corpos revestidos de material duro e método para sua produção Download PDFInfo
- Publication number
- BRPI0613793A2 BRPI0613793A2 BRPI0613793-8A BRPI0613793A BRPI0613793A2 BR PI0613793 A2 BRPI0613793 A2 BR PI0613793A2 BR PI0613793 A BRPI0613793 A BR PI0613793A BR PI0613793 A2 BRPI0613793 A2 BR PI0613793A2
- Authority
- BR
- Brazil
- Prior art keywords
- hard material
- layer
- tii
- hard
- bodies
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 55
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 28
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 14
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims abstract description 8
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims abstract description 7
- -1 titanium halides Chemical class 0.000 claims abstract description 7
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 229910017464 nitrogen compound Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 150000002830 nitrogen compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 5
- 230000000638 stimulation Effects 0.000 claims abstract description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims abstract description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 9
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910010421 TiNx Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 abstract description 8
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 8
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 3
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 abstract description 2
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 abstract description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 abstract description 2
- 229910010037 TiAlN Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride Chemical compound Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 4
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J titanium tetrachloride Chemical compound Cl[Ti](Cl)(Cl)Cl XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 2
- 229910018509 Al—N Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003074 TiCl4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 239000008241 heterogeneous mixture Substances 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 239000002347 wear-protection layer Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
- C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/34—Nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
- C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
Abstract
CORPOS REVESTIDOS DE MATERIAL DURO E METODOPM~A SUA PRODUçAO A invenção refere-se a corpos de revestimento duro com um sistema de camada simples ou múltiplas camadas contendo pelo menos uma camada dura de Ti~1~Al~x~N e um método para a produção dos mesmos. O objetivo da invenção é atingir uma resistência ao desgaste e resistência à oxidação significativamente melhorada para esses corpos derevestimento duro. Os mencionados corpos de revestimento duro caracterizam-se pelo fato dos corpos estarem revestidos com pelo menos uma camada dura de Ti~1~Al~x~N, gerada por CVD sem a presença do estimulo de plasma como uma camada de fase simples com estrutura cúbica de NaCl com um coeficiente estequiométricO x <syn>0,15 a x = 0,93 e uma constante de treliça afCC entre 0,412 nm e 0,405 nm, ou como uma camada de múltiplas fases, a fase principal sendo Ti~1~Al~x~N com uma estrutura cúbica de NaCl com um coeficiente estequiométricOx >0(75 a x = 0,93 e uma constante de treliça afçC entre 0,412 nm e 0,405 nm, com Ti~1~A1~x~N com uma estrutura de wurtzita e/ou como TiN~x~ com estrutura de NaCl como mais uma fase. Outra característica da mencionada camada dura é o fato do teor de cloro estar na faixa de somente 0,05 a 0,9 atom %. A invenção também se refere a um método para a produção docorpo, caracterizado pelo fato do corpo ser revestido em um reator a temperaturas de 700<198>C até 900<198>C através de CVD sem a presença do estímulo de plasma com haletos de titânio, haletos de alumínio e compostos de nitrogênio reativo como precursores, misturados a temperaturas elevadas. é possível aplicar o mencionado revestimento em ferramentas fabricadas de aço, metais duros, cermets e cerâmicas, como furadeiras, fresas e inserções cortadoras indexáveis.
Description
Campo da Técnica
A invenção refere-se a corpos revestidos dematerial duro com um sistema de camada simples ou múltiplascamadas contendo pelo menos uma camada dura de Tii_xAlxN e ummétodo para a produção dos mesmos. De acordo com a invenção épossível utilizar o revestimento, especialmente, paraferramentas feitas de aço, metais duros, cermets, ecerâmicas, como furadeiras, fresas, e inserções cortadoras.Os corpos revestidos de acordo com a invenção têm melhorresistência ao desgaste por atrito e resistência à oxidação.
Técnica Anterior
A produção de camadas de proteção contradesgaste por atrito em determinadas regiões do system demateriais de Ti-Al-N já é conhecido, conforme a WO 03/085152A2. Nesta conexão, é possível produzir camadas monofásicas deTiAlN com a estrutura de NaCl, a teores de AlN de até 67%.Tais camadas, produzidas através de PVD, têm uma constante detreliças afCC entre 0,412 nm e 0, 424 nm (R. Cremer, M.Witthaut, A. von Richthofen, D. Neuschütz, Fresenius J. Anal.Chem. 361 (1998) 642-645). Essas camadas cúbicas de TiAlNpossuem uma resistência ao desgaste por atrito e durezarelativamente elevada. No caso dos teores de AlN > 67%,contudo, forma-se uma mistura de TiAlN cúbico e hexagonal, ea uma proporção de AlN > 75%, somente se forma a estruturamais mole de wurtzita, que não é resistente ao desgaste poratrito.
Também é sabido que a resistência à oxidaçãode camadas cúbicas de TiAlN aumenta com um incremento do teorde AlN (M. Kawate, A. Kimura, T. Suzuki, Surface e CoatingsTechnology 165 (2003) 163-167). Contudo, a literaturacientifica referente à produção de TiAlN através de PVDindica a visão de que praticamente nenhuma camada monofásicacúbica TiAlN com uma alta proporção de AlN pode ser formadaacima de 750°C, isto é, que no caso de fases de Tii_xAlxN ondeχ > 0,75, a estrutura hexagonal de wurtzita sempre estarápresente (K. Kutschej, P.H. Mayrhofer, M. Kathrein, C.Michotte, P. Polcik, C. Mitterer, Proc. 16th Int. PlanseeSeminar, 30 de maio - 03 de junho de 2005, Reutte, Áustria,Vol. 2, p. 774 - 788).
Também já tinha sido descoberto que épossível produzir camadas monofásicas de material duro deΤϊι-χΑΐχΝ com χ até 0,9 através de CVD por plasma (R. Pfaixa,Diss. RTHW Aachen, 1999, Fortschritt-Berichte VDI [ProgressReports of the Association of German Engineers], 2000, Series5, No. 576, além de 0. Kyrylov et al., Surface e CoatingTechn. 151-152 (2002) 359-364). Contudo, uma desvantagemnesta conexão é a insuficiente homogeneidade da composição dacamada, e o teor de cloro relativamente alto na camada. Aindamais, a condução do processo é complicada e exige muitoesforço.
Para a produção das conhecidas camadas dematerial duro de Tii_xAlxN, utilizam-se os métodos de PVD oumétodos de CVD por plasma, de acordo com a técnica, métodosestes que são operados a temperaturas inferiores a 7000C (A.Hõrling, L. Hultman, M. Oden, J. Sjõlen, L. Karlsson, J. Vac.Sei. Technol. A 20 (2002)5, 1815 - 1823, além de D. Heim, R.3« Hochreiter, Surface e Coatings Technology 98 (1998) 1553 -1556). É uma desvantagem destes métodos o fato de querevestir geometrias complicadas de componentes apresentadificuldades. PVD é um processo muito visado, e CVD porplasma exige um alto nível de homogeneidade de plasma, pois adensidade do poder do plasma tem uma influência direta narelação de átomos Ti/Al da camada. Com os métodos PVD, quesão quase exclusivamente utilizados na indústria, não épossível produzir camadas monofásicas cúbicas de Tii-XA1XN comχ > 0,75.
Como as camadas cúbicas de TiAlN constituemuma estrutura metaestável, a produção com métodosconvencionais de CVD, a altas temperaturas > 1000°C fundamentalmente não é possível, pois se forma uma mistura deTiN e AlN hexagonal a temperaturas acima de 1000°C.
De acordo com a patente US 6,238,739 Bltambém é sabido que se pode obter camadas de Ti1-XAlxN com χentre 0,1 e 0,6 na faixa de temperatura entre 550°C e 650°C,através de um processo de CVD térmico, sem suporte de plasma,caso se utilize uma mistura de gás de cloretos de alumínio ecloretos de titânio, além de NH3 e H2. A desvantagem destemétodo de CVD térmico especial também consiste na restrição auma estequiometria de camadas χ < 0,6 e a restrição atemperaturas inferiores a 650°C. A baixa temperatura derevestimento resulta em altos teores de cloro na camada, até12 at.-%, o que é prejudicial quando utilizado. (S.Anderbouhr, V. Ghetta, E. Blanquet, C. Chabrol, F. Schuster,C. Bernard, R. Madar, Surface e Coatings Technology 115(1999) 103 - 110).
Descrição da Invenção
A invenção baseia-se na busca de uma melhorasignificativa da resistência ao desgaste por atrito eresistência à oxidação no caso de corpos revestidos dematerial duro com um sistema de camada simples ou múltiplascamadas contendo pelo menos uma camada de material dura deTii-XA1XN.
Atinge-se esse objetivo com ascaracterísticas reivindicadas neste pedido de patente.Os corpos revestidos de material duro, deacordo com a invenção, caracterizam-se pelo fato de que sãorevestidos com pelo menos uma camada de material duro de Tii-χΑ1χΝ produzida através de CVD, sem estimulo de plasma,camada esta, que está presente como uma camada monofásica naestrutura cúbica de NaCl, com um coeficiente deestequiometria χ > 0,75 até χ = 0,93, e uma constante detreliça afCC entre 0,412 nm e 0, 405 nm, ou que constitui umacamada multifásica de material duro de Tii_xAlxN cujaprincipal fase consiste de Tii-XA1XN com uma estrutura cúbicade NaCl, com um coeficiente de estequiometria χ > 0,75 até χ= 0,93, e uma constante de treliça afcc entre 0,412 nm e 0,405nm, pelo qual estão contidos o Tii_xAlxN na estrutura dewurtzita e/ou o TiNx na estrutura de NaCl como uma faseadicional. Outra característica desta camada de material durode Tii-XA1XN consiste no fato de seu teor de cloro estar nafaixa entre apenas 0,05 e 0,9 at.-%. É vantajoso o teor decloro da camada de material duro de Til-xAlxN(s) se encontrarna faixa de somente 0,1 a 0,5 at.-%, e o teor de oxigênio seencontrar na faixa de 0.1 a 5 at.-%.
O valor de dureza da(s) camada(s) de materialduro de Tii-XA1XN se encontra na faixa de 2500 HV a 3800 HV.
De acordo com a invenção, até 30% em massapodem constituir-se de componentes amorfos de camadas na(s)camada (s) de material duro de Tii_xAlxN.
A camada presente nos corpos, de acordo com ainvenção, com sua elevada dureza entre 2500 HV a 3800 HV, ecom uma resistência à oxidação claramente melhorada comparadacom a técnica anterior, que se atinge através da altaproporção de AlN na fase cúbica de Tii-XA1XN, possui umacombinação de dureza e resistência à oxidação que nunca foiatingida até agora, o que resulta em uma ótima resistência aodesgaste por atrito, particularmente a altas temperaturas.Para a produção dos corpos, a invenção incluium método que se caracteriza pelo fato de que os corpos sãorevestidos em um reator, a temperaturas na faixa de 700°C a900°C, através de CVD, sem estimulo de plasma, pelo qual seutilizam halogênios de titânio, halogênios de alumínio, ecompostos de nitrogênio reativo como precursores, misturadosa temperatura elevada.
De acordo com a invenção, pode-se utilizarNH3 e/ou N2H4 como compostos de nitrogênio reativo.
É vantajoso que os precursores sejammisturados no reator, diretamente à frente da zona dedepósito.
Realiza-se a mistura dos precursores out, deacordo com a invenção, a temperaturas na faixa de 150°C a900°C.
É vantajoso realizar o processo derevestimento a pressões na faixa de IO2 Pa a IO5 Pa.
Utilizando o método de acordo com a invenção,é possível produzir um camada de Tii-XA1XN com a estrutura deNaCl através de um processo de CVD térmico comparativamentesimples, a temperaturas entre 700°C e 900°C, e pressões entreIO2 Pa e 10 Pa. As duas composições da camada de Tii_xAlxNpreviamente conhecidas, com χ < 0,75, e os novos tipos decomposições, com χ > 0,75, que não podem ser produzidasatravés de nenhum outro método, podem obter-se utilizando ométodo. O método permite um revestimento homogêneo mesmo degeometrias complicadas de componentes.Concretizações da Invenção
A seguir, a invenção é explicada com maioresdetalhes utilizando concretizações exemplificativas.
Exemplo 1
Deposita-se uma camada de Τϊχ-ΧΑ1ΧΝ eminserções cortadoras de metal duro de WC/Co, através dométodo de CVD térmico de acordo com a invenção. Com estafinalidade, introduz-se uma mistura de gás de 20 ml/min deAlCl3, 3,5 ml/min de TiCl4, 1400 ml/min de H2, 400 ml/min deargônio em um reator CVD de parede quente com diâmetrointerno de 75 mm, a uma temperatura de 8000C e uma pressão de1kPa.
Passa-se uma mistura de 100 ml/min de NH3 e200 ml/min de N2 para dentro do reator através de um segundoalimentador de gás. A mistura das duas correntes de gásocorre a uma distância de 10 cm à frente do portador desubstrato. Após um tempo de revestimento de 30 minutos,obtém-se uma camada cinza-preta com 6 μπι de espessura.
Somente a fase cúbica de Tii-XA1XN éencontrada através da análise de camadas finas por raio-Xrealizada com incidência de varredura (vide difratograma deraio-X, Fig. 1).
A constante de treliça determinada atinge afcc= 0,4085 nm. A relação de átomos Ti:Al determinada de WDXatinge 0,107. Os teores de cloro e oxigênio, que também foramdeterminados, atingem 0,1 at.-% para Cl e 2,0 at.-% para 0.
O cálculo do coeficiente estequiométricoproduz χ = 0,90. Mede-se uma dureza da camada de 3070 HV[0,05] através de um indentador Vickers. A camada de Tii-XA1XNé resistente à oxidação no ar até 1000°C.Exemplo 2
Primeiro, aplica-se uma camada de nitreto detitânio com 1 pm de espessura em inserções cortadores feitasde cerâmica cortante de SiaN4, através de um conhecidoprocesso CVD padrão, a 950°C. A seguir, deposita-se umacamada cinza-preta com o método CVD, de acordo com ainvenção, utilizando a mistura de gás descrita no Exemplo 1,uma pressão de 1 kPa, e uma temperatura de 850°C.
A análise de camadas finas por raio-X mostraque aqui, está presente uma mistura heterogênea de Tii_xAlxN,com a estrutura de NaCl e AlN com a estrutura de wurtzita. Nodifratograma de raio-X da Fig. 2 que foi determinado, osreflexos do Tii-XA1XN cúbico estão indicados com c, e aquelesda AlN (estrutura de wurtzita) hexagonal estão indicados comh. A proporção do Tii-XA1XN cúbico na camada predomina.
A constante de treliça da fase cúbicadeterminada atinge afCC = 0, 4075 nm. A segunda, a fasehexagonal AlN tem uma constante de treliças de a = 0,3107 nm,e c = 0,4956 nm. A dureza da camada, determinada através deum indentador Vickers, atinge 3150 HV [0,01]. A camadabifásica de Tii-XA1XN é resistente à oxidação no ar até1050 0C.
Claims (10)
1. Corpos revestidos de material duro com umsistema de camada simples ou de múltiplas camadas quecontenha pelo menos uma camada de material duro de Tii-XA1XNproduzida através de CVD sem a presença do estimulo deplasma, caracterizado pelo fato de que a camada de materialduro de Tii_xAlxN está presente como uma camada monofásica naestrutura cúbica de NaCl, com um coeficiente deestequiometria χ > 0,75 até χ = 0,93, e a constante detreliça afCC entre 0,412 nm e 0, 405 nm, ou onde a camada dematerial duro de Tii_xAlxN seja uma camada multifásica cujafase principal consiste de Tii_xAlxN com uma estrutura cúbicade NaCl, com um coeficiente de estequiometria χ > 0,75 até χ= 0,93, e uma constante de treliça ãfCC entre 0,412 nm e 0,405nm, e Tii-XA1XN na estrutura de wurtzita e/ou TiNx naestrutura de NaCl são contidos como uma fase adicional, eonde o teor de cloro da camada de material duro de Tii-XA1XNse encontra na faixa entre 0,05 e 0,9 at.-%.
2. Corpos revestidos de material duro deacordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de queo teor de cloro da camada de material duro de Τϊχ-ΧΑ1ΧΝ (s) seencontra na faixa de 0,1 a 0,5 at.-%.
3. Corpos revestidos de material duro deacordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de queo teor de oxigênio da(s) camada (s) de material duro de Tii-XA1XN se encontra na faixa de 0,1 a 5 at.-%.
4. Corpos revestidos de material duro deacordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de queo valor de dureza da(s) camada(s) de material duro de Tii-XA1XN se encontra na faixa de 2500 HV a 3800 HV.
5. Corpos revestidos de material duro deacordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de quea(s) camada (s) de material duro de Tii-XA1XN contém(êm)componentes amorfos de camadas 0 a 30% em massa.
6. Método para a produção dos corposrevestidos de material duro com um sistema de camada simplesou de múltiplas camadas contendo pelo menos uma camada dematerial duro de Tii_xAlxN caracterizado pelo fato de que oscorpos são revestidos em um in a reator, a temperaturas nafaixa de 700°C até 900°C, através de CVD, sem a o estimulo deplasma, pelo qual se utilizam halogênios de titânio,halogênios de alumínio, e compostos de nitrogênio reativocomo precursores, que são misturados a temperatura elevada.
7. Método de acordo com a reivindicação 6,caracterizado pelo fato de que se utilizam NH3 e/ou N2H4 comocompostos de nitrogênio reativo.
8. Método de acordo com a reivindicação 6,caracterizado pelo fato de que se misturam os precursores noreator, diretamente à frente da zona de depósito.
9. Método de acordo com a reivindicação 6,caracterizado pelo fato de que a mistura dos precursores serealiza a temperaturas na faixa de 150°C até 900°C.
10. Método de acordo com a reivindicação 6,caracterizado pelo fato de que se realiza o processo derevestimento a pressões na faixa de IO2 Pa até IO5 Pa.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102005032860A DE102005032860B4 (de) | 2005-07-04 | 2005-07-04 | Hartstoffbeschichtete Körper und Verfahren zu deren Herstellung |
| DE102005032860.1 | 2005-07-04 | ||
| PCT/EP2006/063881 WO2007003648A1 (de) | 2005-07-04 | 2006-07-04 | Hartstoffbeschichtete körper und verfahren zu deren herstellung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| BRPI0613793A2 true BRPI0613793A2 (pt) | 2011-02-15 |
| BRPI0613793B1 BRPI0613793B1 (pt) | 2021-10-13 |
Family
ID=36822291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| BRPI0613793-8A BRPI0613793B1 (pt) | 2005-07-04 | 2006-07-04 | Corpos revestidos de material duro e método para sua produção |
Country Status (13)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7767320B2 (pt) |
| EP (1) | EP1902155B2 (pt) |
| JP (1) | JP4996602B2 (pt) |
| KR (1) | KR20080028980A (pt) |
| CN (1) | CN101218370B (pt) |
| BR (1) | BRPI0613793B1 (pt) |
| CA (1) | CA2613091C (pt) |
| DE (1) | DE102005032860B4 (pt) |
| ES (1) | ES2567589T5 (pt) |
| MX (1) | MX2008000148A (pt) |
| PL (1) | PL1902155T5 (pt) |
| RU (1) | RU2405858C2 (pt) |
| WO (1) | WO2007003648A1 (pt) |
Families Citing this family (79)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102005032860B4 (de) | 2005-07-04 | 2007-08-09 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Hartstoffbeschichtete Körper und Verfahren zu deren Herstellung |
| AT505221B1 (de) * | 2007-05-08 | 2009-09-15 | Bihler Edelstahl Gmbh | Werkzeug mit beschichtung |
| DE102007000512B3 (de) * | 2007-10-16 | 2009-01-29 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Hartstoffbeschichtete Körper und Verfahren zu deren Herstellung |
| DE102008013966A1 (de) * | 2008-03-12 | 2009-09-17 | Kennametal Inc. | Hartstoffbeschichteter Körper |
| DE102008013965A1 (de) | 2008-03-12 | 2009-09-17 | Kennametal Inc. | Hartstoffbeschichteter Körper |
| DE102008013964A1 (de) * | 2008-03-12 | 2009-09-17 | Kennametal Inc. | Hartstoffbeschichteter Körper |
| CN102002684B (zh) * | 2009-08-31 | 2014-07-30 | 日立金属株式会社 | 滑动部件 |
| DE102009046667B4 (de) | 2009-11-12 | 2016-01-28 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Beschichtete Körper aus Metall, Hartmetal, Cermet oder Keramik sowie Verfahren zur Beschichtung derartiger Körper |
| AT510963B1 (de) † | 2011-03-18 | 2012-08-15 | Boehlerit Gmbh & Co Kg | Beschichteter körper und verfahren zu dessen herstellung |
| AT510981B1 (de) | 2011-03-18 | 2012-08-15 | Boehlerit Gmbh & Co Kg | Beschichteter körper, verwendung desselben und verfahren zu dessen herstellung |
| WO2013045039A2 (en) * | 2011-09-30 | 2013-04-04 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Aluminum titanium nitride coating with adapted morphology for enhanced wear resistance in machining operations and method thereof |
| JP5838769B2 (ja) * | 2011-12-01 | 2016-01-06 | 三菱マテリアル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
| JP5796778B2 (ja) * | 2012-01-23 | 2015-10-21 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐熱性と耐摩耗性を維持する表面被覆切削工具 |
| JP6024981B2 (ja) | 2012-03-09 | 2016-11-16 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| AT511950B1 (de) | 2012-03-14 | 2013-04-15 | Boehlerit Gmbh & Co Kg | Beschichteter Körper und Verfahren zum Beschichten eines Körpers |
| JP5935479B2 (ja) * | 2012-04-20 | 2016-06-15 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速ミーリング切削加工、高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP5939509B2 (ja) * | 2012-07-25 | 2016-06-22 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| DE102012107129A1 (de) * | 2012-08-03 | 2014-02-06 | Walter Ag | TiAIN-beschichtetes Werkzeug |
| JP6090063B2 (ja) * | 2012-08-28 | 2017-03-08 | 三菱マテリアル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
| JP5939396B2 (ja) * | 2012-09-28 | 2016-06-22 | 三菱マテリアル株式会社 | 温度センサ |
| JP5939397B2 (ja) * | 2012-09-28 | 2016-06-22 | 三菱マテリアル株式会社 | 温度センサ |
| JP6037113B2 (ja) * | 2012-11-13 | 2016-11-30 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP5618429B2 (ja) | 2012-12-28 | 2014-11-05 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆部材およびその製造方法 |
| JP6143158B2 (ja) | 2012-12-28 | 2017-06-07 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆部材およびその製造方法 |
| US9103036B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-08-11 | Kennametal Inc. | Hard coatings comprising cubic phase forming compositions |
| JP6268530B2 (ja) * | 2013-04-01 | 2018-01-31 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP6150109B2 (ja) * | 2013-04-18 | 2017-06-21 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| DE102013104254A1 (de) | 2013-04-26 | 2014-10-30 | Walter Ag | Werkzeug mit CVD-Beschichtung |
| US9168664B2 (en) | 2013-08-16 | 2015-10-27 | Kennametal Inc. | Low stress hard coatings and applications thereof |
| US9896767B2 (en) | 2013-08-16 | 2018-02-20 | Kennametal Inc | Low stress hard coatings and applications thereof |
| JP6238131B2 (ja) * | 2013-12-26 | 2017-11-29 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 被膜および切削工具 |
| JP6270131B2 (ja) * | 2014-01-22 | 2018-01-31 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP6394898B2 (ja) * | 2014-01-31 | 2018-09-26 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| DE102014103220A1 (de) | 2014-03-11 | 2015-09-17 | Walter Ag | TiAIN-Schichten mit Lamellenstruktur |
| JP6296298B2 (ja) * | 2014-08-28 | 2018-03-20 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| EP3000913B1 (en) | 2014-09-26 | 2020-07-29 | Walter Ag | Coated cutting tool insert with MT-CVD TiCN on TiAI(C,N) |
| JP6120229B2 (ja) | 2015-01-14 | 2017-04-26 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 硬質被膜、切削工具および硬質被膜の製造方法 |
| AT516062B1 (de) | 2015-01-15 | 2016-02-15 | Boehlerit Gmbh & Co Kg | Verfahren zum Beschichten eines Gegenstandes und damit hergestellte Beschichtung |
| WO2016148056A1 (ja) * | 2015-03-13 | 2016-09-22 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP6590255B2 (ja) * | 2015-03-13 | 2019-10-16 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| JP7160677B2 (ja) * | 2015-07-27 | 2022-10-25 | ヴァルター アーゲー | ＴｉＡｌＮコーティングを有する工具とその工具の製造方法 |
| US10767258B2 (en) | 2015-11-25 | 2020-09-08 | Mitsubishi Hitachi Tool Engineering, Ltd. | Hard titanium aluminum nitride coating, hard-coated tool, and their production methods |
| EP3387164B1 (en) * | 2015-12-07 | 2024-01-17 | IHI Bernex AG | Coated extrusion tool |
| JP6638936B2 (ja) | 2016-01-13 | 2020-02-05 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具およびその製造方法 |
| US9994958B2 (en) | 2016-01-20 | 2018-06-12 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Coating, cutting tool, and method of manufacturing coating |
| US10737331B2 (en) * | 2016-03-31 | 2020-08-11 | Tungaloy Corporation | Coated cutting tool |
| US10737332B2 (en) * | 2016-04-07 | 2020-08-11 | Tungaloy Corporation | Coated cutting tool |
| CN109477215B (zh) * | 2016-07-07 | 2020-11-27 | 三菱日立工具株式会社 | 硬涂层、硬涂布的工具以及它们的生产方法 |
| EP3511097A4 (en) * | 2016-09-06 | 2020-05-13 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | CUTTING TOOL AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME |
| WO2018047735A1 (ja) * | 2016-09-06 | 2018-03-15 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具およびその製造方法 |
| WO2018047734A1 (ja) * | 2016-09-06 | 2018-03-15 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具およびその製造方法 |
| US11286570B2 (en) * | 2017-01-26 | 2022-03-29 | Walter Ag | Coated cutting tool |
| US11123802B2 (en) | 2017-02-28 | 2021-09-21 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Surface-coated cutting tool and method for manufacturing the same |
| WO2018158975A1 (ja) | 2017-02-28 | 2018-09-07 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具およびその製造方法 |
| CN110382146B (zh) | 2017-02-28 | 2021-09-10 | 住友电工硬质合金株式会社 | 表面被覆切削工具及其制造方法 |
| CN121380952A (zh) * | 2017-04-07 | 2026-01-23 | 山特维克知识产权股份有限公司 | 涂层切削工具 |
| CN109112500B (zh) | 2017-06-22 | 2022-01-28 | 肯纳金属公司 | Cvd复合材料耐火涂层及其应用 |
| JP6931458B2 (ja) * | 2017-07-18 | 2021-09-08 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性と耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
| EP3670042B1 (en) * | 2017-08-15 | 2024-07-24 | MOLDINO Tool Engineering, Ltd. | Coated cutting tool |
| JP6844704B2 (ja) * | 2017-08-15 | 2021-03-17 | 株式会社Ｍｏｌｄｉｎｏ | 被覆切削工具 |
| KR102064172B1 (ko) * | 2017-09-01 | 2020-01-09 | 한국야금 주식회사 | 내마모성과 인성이 우수한 경질피막 |
| KR102765845B1 (ko) * | 2017-09-05 | 2025-02-11 | 오를리콘 서피스 솔루션스 아크티엔게젤샤프트, 페피콘 | Al이 풍부한 AlTiN 기반의 필름 |
| US11274366B2 (en) | 2018-03-22 | 2022-03-15 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Surface-coated cutting tool and method for manufacturing same |
| CN111971138B (zh) * | 2018-03-22 | 2023-02-21 | 住友电工硬质合金株式会社 | 表面被覆切削工具及其制造方法 |
| JP6565091B1 (ja) * | 2018-03-22 | 2019-08-28 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具およびその製造方法 |
| US11311945B2 (en) | 2018-03-22 | 2022-04-26 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Surface-coated cutting tool and method for manufacturing same |
| EP3769871A4 (en) * | 2018-03-22 | 2021-12-22 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | SURFACE-COATED CUTTING TOOL AND MANUFACTURING METHOD FOR IT |
| CN111886093B (zh) * | 2018-03-22 | 2023-01-31 | 住友电工硬质合金株式会社 | 表面被覆切削工具及其制造方法 |
| WO2019181136A1 (ja) * | 2018-03-22 | 2019-09-26 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具及びその製造方法 |
| CN112996945B (zh) * | 2018-07-10 | 2024-04-05 | 耐科思特生物识别集团股份公司 | 用于电子设备的热传导及保护涂覆件 |
| US12484138B2 (en) | 2019-10-04 | 2025-11-25 | Kennametal Inc. | Coated nozzles for arc torches |
| DE112021000631T5 (de) * | 2020-01-20 | 2022-11-03 | Kyocera Corporation | Beschichtetes werkzeug |
| WO2021245783A1 (ja) * | 2020-06-02 | 2021-12-09 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具 |
| JP7043715B1 (ja) * | 2020-06-02 | 2022-03-30 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具 |
| JP7043713B1 (ja) * | 2020-06-02 | 2022-03-30 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具 |
| DE102021106674A1 (de) | 2021-03-18 | 2022-09-22 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein | AlN-basierte Hartstoffschicht auf Körpern aus Metall, Hartmetall, Cermet oder Keramik und Verfahren zu deren Herstellung |
| WO2022239139A1 (ja) * | 2021-05-12 | 2022-11-17 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具 |
| US12109628B2 (en) | 2022-08-10 | 2024-10-08 | Iscar, Ltd. | Cutting tool with a TiAlN coating having rake and relief surfaces with different residual stresses |
| CN115537772B (zh) | 2022-09-20 | 2024-04-26 | 株洲钻石切削刀具股份有限公司 | 一种涂层切削刀具 |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5330853A (en) | 1991-03-16 | 1994-07-19 | Leybold Ag | Multilayer Ti-Al-N coating for tools |
| DE4115616C2 (de) * | 1991-03-16 | 1994-11-24 | Leybold Ag | Hartstoff-Mehrlagenschichtsystem für Werkzeuge |
| JPH0533795A (ja) | 1991-07-24 | 1993-02-09 | Sanyo Electric Co Ltd | 扇風機 |
| JP2999346B2 (ja) * | 1993-07-12 | 2000-01-17 | オリエンタルエンヂニアリング株式会社 | 基体表面被覆方法及び被覆部材 |
| SE502223C2 (sv) * | 1994-01-14 | 1995-09-18 | Sandvik Ab | Sätt och alster vid beläggning av ett skärande verktyg med ett aluminiumoxidskikt |
| FR2745299B1 (fr) * | 1996-02-27 | 1998-06-19 | Centre Nat Rech Scient | Procede de formation de revetements de ti1-xalxn |
| FR2767841B1 (fr) | 1997-08-29 | 1999-10-01 | Commissariat Energie Atomique | PROCEDE DE PREPARATION PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR (CVD) D'UN REVETEMENT MULTICOUCHE A BASE DE Ti-Al-N |
| SE519005C2 (sv) * | 1999-03-26 | 2002-12-17 | Sandvik Ab | Belagt hårdmetallskär |
| SE9903089D0 (sv) * | 1999-09-01 | 1999-09-01 | Sandvik Ab | Coated grooving or parting insert |
| SE9903122D0 (sv) * | 1999-09-06 | 1999-09-06 | Sandvik Ab | Coated cemented carbide insert |
| JP2001341008A (ja) | 2000-06-02 | 2001-12-11 | Hitachi Tool Engineering Ltd | 窒化チタンアルミニウム膜被覆工具及びその製造方法 |
| CN1190516C (zh) * | 2000-12-29 | 2005-02-23 | 中国科学院金属研究所 | 用于海军航空发动机压气机叶片的离子镀TiAlN涂层 |
| KR100707755B1 (ko) * | 2002-01-21 | 2007-04-17 | 미츠비시 마테리알 고베 툴스 가부시키가이샤 | 고속 절삭가공에서 경질 피복층이 우수한 내마모성을발휘하는 표면 피복 절삭공구 부재 및 그 경질 피복층을절삭공구 표면에 형성하는 방법 |
| WO2003085152A2 (de) * | 2002-04-11 | 2003-10-16 | Cemecon Ag | Beschichteter körper und ein verfahren zur beschichtung eines körpers |
| SE526336C2 (sv) * | 2002-07-01 | 2005-08-23 | Seco Tools Ab | Skär med slitstark refraktär beläggning av MAX-fas |
| DE102005032860B4 (de) | 2005-07-04 | 2007-08-09 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Hartstoffbeschichtete Körper und Verfahren zu deren Herstellung |
| DE102009046667B4 (de) | 2009-11-12 | 2016-01-28 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Beschichtete Körper aus Metall, Hartmetal, Cermet oder Keramik sowie Verfahren zur Beschichtung derartiger Körper |
-
2005
- 2005-07-04 DE DE102005032860A patent/DE102005032860B4/de not_active Expired - Lifetime
-
2006
- 2006-07-04 KR KR1020087002457A patent/KR20080028980A/ko not_active Ceased
- 2006-07-04 CN CN2006800244940A patent/CN101218370B/zh active Active
- 2006-07-04 ES ES06777574T patent/ES2567589T5/es active Active
- 2006-07-04 RU RU2007145953/02A patent/RU2405858C2/ru active
- 2006-07-04 BR BRPI0613793-8A patent/BRPI0613793B1/pt active IP Right Grant
- 2006-07-04 JP JP2008519933A patent/JP4996602B2/ja active Active
- 2006-07-04 WO PCT/EP2006/063881 patent/WO2007003648A1/de not_active Ceased
- 2006-07-04 EP EP06777574.2A patent/EP1902155B2/de active Active
- 2006-07-04 MX MX2008000148A patent/MX2008000148A/es active IP Right Grant
- 2006-07-04 CA CA2613091A patent/CA2613091C/en active Active
- 2006-07-04 US US11/922,865 patent/US7767320B2/en active Active
- 2006-07-04 PL PL06777574.2T patent/PL1902155T5/pl unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE102005032860A1 (de) | 2007-01-11 |
| CA2613091A1 (en) | 2007-01-11 |
| EP1902155B1 (de) | 2016-02-03 |
| JP2008545063A (ja) | 2008-12-11 |
| JP4996602B2 (ja) | 2012-08-08 |
| CA2613091C (en) | 2017-07-04 |
| KR20080028980A (ko) | 2008-04-02 |
| RU2405858C2 (ru) | 2010-12-10 |
| PL1902155T3 (pl) | 2016-07-29 |
| PL1902155T5 (pl) | 2025-09-22 |
| CN101218370A (zh) | 2008-07-09 |
| US20090123779A1 (en) | 2009-05-14 |
| EP1902155A1 (de) | 2008-03-26 |
| BRPI0613793B1 (pt) | 2021-10-13 |
| CN101218370B (zh) | 2010-06-23 |
| WO2007003648A1 (de) | 2007-01-11 |
| MX2008000148A (es) | 2008-03-26 |
| EP1902155B2 (de) | 2025-04-02 |
| DE102005032860B4 (de) | 2007-08-09 |
| US7767320B2 (en) | 2010-08-03 |
| ES2567589T5 (en) | 2025-07-23 |
| RU2007145953A (ru) | 2009-08-10 |
| ES2567589T3 (es) | 2016-04-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| BRPI0613793A2 (pt) | corpos revestidos de material duro e método para sua produção | |
| Endler et al. | Ternary and quarternary TiSiN and TiSiCN nanocomposite coatings obtained by Chemical Vapor Deposition | |
| Endler et al. | Novel aluminum-rich Ti1− xAlxN coatings by LPCVD | |
| RU2491368C2 (ru) | Элемент, покрытый твердым материалом | |
| CA2717188C (en) | Body coated with hard material | |
| US9309593B2 (en) | Hard-material-coated bodies composed of metal, cemented hard material, cermet or ceramic and processes for producing such bodies | |
| US8257841B2 (en) | Bodies coated with a hard material and method for the production thereof | |
| JP2002526654A (ja) | 複合材料コーテイング及びその製法 | |
| Kathrein et al. | Doped CVD Al2O3 coatings for high performance cutting tools | |
| JP4761335B2 (ja) | ＴｉＺｒ炭窒化物皮膜被覆工具の製造方法 | |
| US7820308B2 (en) | Surface-coated hard material for cutting tools or wear-resistant tools | |
| JP2004001154A (ja) | 酸化膜被覆工具 | |
| US20070148498A1 (en) | Coating materials for a cutting tool / an abrasion resistance tool | |
| JP2004167620A (ja) | チタンクロム化合物皮膜被覆工具 | |
| Perez-Mariano et al. | Multilayer coatings by chemical vapor deposition in a fluidized bed reactor at atmospheric pressure (AP/FBR-CVD): TiN/TaN and TiN/W | |
| JP3503658B2 (ja) | 表面被覆ｗｃ基超硬合金製切削工具 | |
| JP2001096404A (ja) | 断続重切削で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具 | |
| JP2001170804A (ja) | ジルコニウム含有膜被覆工具 | |
| Höhn et al. | TiSiCN nanocomposite hard coatings by CVD | |
| JP3304767B2 (ja) | 耐チッピング性のすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具の製造法 | |
| JPH1058207A (ja) | 硬質被覆層がすぐれた層間密着性を有する表面被覆超硬合金製切削工具 | |
| JPH0929509A (ja) | 硬質被覆層がすぐれた層間密着性を有する表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| B07A | Application suspended after technical examination (opinion) [chapter 7.1 patent gazette] | ||
| B09B | Patent application refused [chapter 9.2 patent gazette] | ||
| B12B | Appeal against refusal [chapter 12.2 patent gazette] | ||
| B16A | Patent or certificate of addition of invention granted [chapter 16.1 patent gazette] |
Free format text: PRAZO DE VALIDADE: 20 (VINTE) ANOS CONTADOS A PARTIR DE 04/07/2006, OBSERVADAS AS CONDICOES LEGAIS. PATENTE CONCEDIDA CONFORME ADI 5.529/DF, QUE DETERMINA A ALTERACAO DO PRAZO DE CONCESSAO. |