BRPI0816567B1 - Gerador de vapor para o deposição de um revestimento metálico sobre um substrato - Google Patents
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- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 18
- 230000008021 deposition Effects 0.000 title abstract description 23
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title abstract description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 49
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 49
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 25
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 22
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 13
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 13
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 claims description 11
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 10
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 8
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 7
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 6
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 6
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 6
- 238000003760 magnetic stirring Methods 0.000 claims description 5
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 5
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 7
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 239000010959 steel Substances 0.000 abstract description 5
- 238000004891 communication Methods 0.000 abstract description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 23
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 21
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 11
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 11
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 10
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 9
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 8
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 7
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 6
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000001912 gas jet deposition Methods 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 3
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 238000010908 decantation Methods 0.000 description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 2
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- RZJQYRCNDBMIAG-UHFFFAOYSA-N [Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Zn].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn] Chemical class [Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Cu].[Zn].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Ag].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn].[Sn] RZJQYRCNDBMIAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010549 co-Evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000005188 flotation Methods 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 150000002680 magnesium Chemical class 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- 238000003303 reheating Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000010561 standard procedure Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
- 238000010407 vacuum cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000006200 vaporizer Substances 0.000 description 1
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
- C23C14/16—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
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Abstract
gerador de vapor para deposição de um revestimento metálico sobre um substrato. a presente invenção refere-se a um gerador de vapor para deposição de um revestimento metálico sobre um substrato (7), preferivelmente de uma chapa de aço, compreendendo uma câmara de vácuo (6) sob a forma de um recinto fechado englobando um cabeçote de deposição de vapor, chamado de ejetor (3) em comunicação de maneira hermética por meio de um conduto de alimentação (4) com pelo menos um cadinho (1) contendo um metal de revestimento em um estado fundido e situado no exterior da câmara de vácuo (6), sendo que o ejetor (3) compreende uma fenda longitudinal de saída do vapor, fazendo o papel de garganta sônica, estendendo-se sobre toda a largura do substrato, um meio filtrante ou um mecanismo de perda de carga (5a) de material sinterizado sendo disposto no ejetor imediatamente antes da mencionada fenda na passagem do vapor para uniformizar a velocidade de escoamento do vapor saindo do ejetor (3) pela a garganta sônica.
Description
Campo da invenção [001] A presente invenção refere-se a um gerador de vapor industrial para revestimento contínuo em vácuo de um substrato em movimento, mais particularmente uma chapa metálica, por meio de um vapor metálico visando formar uma camada de metal e, preferivelmente, uma camada de liga metálica sobre sua superfície, de maneira a assegurar-lhe uma excelente resistência contra corrosão, conservando as boas características de conformação e de solda.
Antecedentes da invenção [002] É conhecido desde o final dos anos 80 que o depósito de certas ligas, tais como ZnMg, na superfície de uma chapa de aço, agem como proteção do aço. O excelente comportamento contra corrosão da liga ZnMg é atribuída à natureza dos produtos de corrosão formados na superfície da chapa em uma camada extremamente densa, que age como filmebarreira.
[003] Uma deposição de liga não é geralmente possível por meio das técnicas habituais tais como deposição de eletrolítico, o revestimento por encharcamento, etc. Com a pressão atmosférica, no encharcamento, por exemplo, pode-se ter contaminação do banho de metal fundido pelo oxigênio do ar, que forma óxidos na superfície do banho.
[004] Frequentemente, a única saída possível é, portanto, a evaporação a vácuo do metal fundido, puro ou na forma de uma liga (técnica PVD, Pressure Vapor Deposition: Deposição de Vapor por Pressão).
[005] No escopo dessa técnica, é conhecido que o
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2/19 substrato é colocado em uma câmara de vácuo mantida em baixa temperatura e compreendendo um cadinho de metal fundido. O depósito efetua-se então sobre todas as paredes em uma temperatura que é inferior à temperatura do vapor metálico. Para aumentar o rendimento de depósito sobre o substrato e evitar os desperdícios, tem-se então interesse em aquecer as paredes do recinto fechado.
[006] O documento US-A-5,002,837 descreve o depósito por evaporação de um revestimento bicamada Zn/ZnMg com uma fase Zn2Mg ou Zn2Mg/Zn11Mg2 totalmente ligada.
[007] No documento Ep-A-0 730 045, descreve-se um revestimento de chapa de aço com uma deposição de 3 ou 5 camadas de liga ZnMg depositadas a vácuo e assegurando uma resistência muito boa à corrosão com um mínimo de pulverização (powdering) durante a conformação.
[008] No documento WO-A-02/06558 (ou Ep-A-1 174 526), um revestimento de ZnMg é obtido a vácuo por co-evaporação a partir de dois cadinhos, um com zinco e o outro com magnésio. Antes de eles serem pulverizados sobre a chapa, os vapores são misturados em um ejetor e cada conduto de vapor apresenta um dispositivo de estrangulamento ou uma restrição na forma de placas providas com furos ou fendas de vários formatos, o que permite obter um jato de vapor com velocidade sônica e uma taxa de fluxo de vapor máxima no ejetor. O vapor é introduzido a partir dos cadinhos dentro da câmara de vácuo através do ejetor por meio da abertura “completa ou não das válvulas também chamadas de obturadores mecânicos com duas posições “on/off que são, respectivamente, abertas quando o sistema é iniciado e fechado quando ele é desligado. . A utilização dessas válvulas provê uma solução potencial para o
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3/19 problema de aquecimento ou resfriamento no momento da partida ou parada. Se é necessário aquecer o vapor de maneira controlada para eliminar o risco de recondensação é proposto utilizar um trocador de calor tal como um filtro poroso condutor aquecido por indução no conduto atravessado pelo vapor.
[009] No documento WO-A-02/14573, descreve-se a elaboração de um revestimento a partir de um revestimento base de zinco obtido por um processo convencional de galvanização por encharcamento ou método de eletrogalvanização, o qual é então revestido a vácuo com magnésio. Um aquecimento rápido por indução permite a refusão do depósito em alguns segundos e a obter, após resfriamento, uma distribuição micro-estrutural favorável da liga da fase ZnMg em toda a espessura da camada.
[010] A depositante também propõem um produto industrial bicamada eletro-revestido de zinco/liga ZnMg obtido por PVD (EP-A-0 756 022), assim como um melhoramento do processo com um sistema de aquecimento infravermelho para promover a liga do magnésio com o zinco a fim de minimizar a formação de fase intermetálica frágil FeZn.
[011] No documento WO-A-97/47782, descreve-se um processo para revestimento contínuo de um substrato em movimento, no qual o vapor metálico é gerado por indução de aquecimento em um cadinho contendo um banho constituído pelo metal de revestimento em uma câmara a vácuo. O vapor escapa do cadinho por um conduto que o conduz para um orifício de saída, que é de preferência calibrado, de maneira a formar um jato dirigido para a superfície do substrato a ser revestido. A utilização de um orifício sob a forma de uma fenda
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4/19 longitudinal com uma secção estreita permite a regulagem da taxa de fluxo de vapor pelo peso em uma constante de velocidade sônica ao longo da fenda (garganta sônica), o que tem a vantagem de se ter um depósito uniforme. c Esta técnica será referida aqui após o acrônimo JVD (para Jet Vapor Deposition: deposição por jato de vapor).
[012] Esta tecnologia apresenta, entretanto, várias falhas, particularmente:
- a alimentação permanente de metal fundido implica prever o retorno ao tanque do mesmo em um ou em vários pontos;
- o metal fundido compreendendo impurezas, há concentração dessas impurezas na superfície do banho seguida na evaporação, o qual reduz o fluxo. Uma solução seria um revestimento final da superfície ou uma reciclagem da carga, porém toda operação mecânica torna-se difícil a vácuo;
- a dificuldade de adaptar a fenda de evaporação a uma largura variável de chapa, o qual implica meios para bloquear uma parte da fenda sobre ambos os lados, e assim a criação de uma vedação hermética a vapor à vácuo e a 700oC, o qual não é fácil de realizar;
- a dificuldade para bloquear a fenda quando o movimento da chapa é interrompido, o qual implicaria na presença de uma válvula linear impenetrável sobre um comprimento típico de 2 metros ou mais;
- a grande inércia térmica do sistema (pelo menos de vários minutos);
- o aquecimento, realizado por indução a vácuo, requer a passagem de toda a potência elétrica de aquecimento através da parede hermética a vácuo, o que não facilita a acessibilidade e a manutenção da instalação.
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5/19 [013] Além disso, o estado da técnica não apresenta solução satisfatória para a necessidade de realizar o codepósito de dois metais distintos, implicando em mistura de dois jatos de saída do vaporizador.
A utilização de recipientes de mistura intermediários com defletores não
| provê | uma solução convincente. |
| [014] | É possível produzir revestimentos de ligas de metal |
(por exemplo, 85% Zn, 15% Mg) controlando rigorosamente a concentração dos dois metais no cadinho. Contudo esse controle implica em grandes dificuldades de gestão do sistema, e em particular, a homogeneidade no cadinho, sobretudo se a última não tem secção circular.
[015] Adicionalmente, também é conhecido que a sociedade Sydrabe Inc. (de Letônia) também propôs um processo PVD onde a fonte de metal fundido é disposta fora da câmara de deposição a vácuo, inicialmente para evitar que partículas finas de magnésio sólido sejam depositadas sobre o substrato, em alta velocidade. A separação da zona de fusão a partir do recipiente de evaporação por um conduto de comunicação permite regular mais facilmente a evaporação. Em particular, a pressão do vapor é medida neste conduto (por exemplo, em SVC 505/856-7188 42nd Annual Tecnical Conference Proceedings (1999) , pp. 39-42) .
[016] O documento WO-A-2005/116290 propõe uma instalação desse tipo onde os respectivos níveis de metal fundido no cadinho de fusão e no cadinho de evaporação são regulados por meio de uma bomba magneto-hidrodinâmica.
Sumário da invenção [017] A presente invenção visa fornecer uma solução que permite remediar os inconvenientes do estado da técnica.
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6/19 [018] Particularmente, a invenção visa alcançar, especialmente, os seguintes objetivos:
- simplicidade de realização;
- acessibilidade e manutenção fáceis dos cadinhos;
- excelente uniformidade da deposição metálica e um mecanismo simples de ajuste para o cabeçote de deposição às larguras variáveis de chapa e, o que pode exceder a 2 metros;
- fluxo de vapor maximizado;
| - mistura magnética elevada para | evitar a | segregação | das |
| impurezas na superfície; | |||
| - regulagem fácil da taxa de fluxo de vapor, através | do | ||
| controle da potência elétrica superfície de evaporação; | e/ou da | temperatura | de |
- instalação facilitada pelas válvulas nos condutos cilíndricos de diâmetro reduzido.
Principais elementos característicos da invenção:
[019] A presente invenção refere-se, conforme a reivindicação principal 1, a um gerador de vapor para deposição de um revestimento metálico sobre um substrato, preferivelmente de uma chapa de aço, compreendendo uma câmara de vácuo sob a forma de um recinto fechado, provida de meios para assegurar um estado de baixa pressão em relação ao meio exterior e equipada com meios que permitem a entrada e a saída do substrato, enquanto é mais ou menos vedada em relação ao meio exterior, o mencionado recinto fechado
| englobando | um cabeçote | de deposição | de | vapor, chamado | de |
| ejetor, conformado para | criar um jato | de | vapor metálico | com | |
| velocidade | sônica na | direção de, | e | perpendicular | à |
superfície do substrato, o mencionado ejetor estando conectado de maneira hermética por meio de um conduto de
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7/19 alimentação com pelo menos um cadinho com um metal de revestimento em um estado fundido e situado fora da câmara de vácuo, sendo que o ejetor compreende uma fenda longitudinal de saída do vapor, que age como garganta sônica, estendendo-se através de toda a largura do substrato, um meio filtrante ou um mecanismo de perda de carga feito de material cerâmico sendo disposto no ejetor imediatamente antes da mencionada fenda na passagem do vapor para uniformizar a velocidade de escoamento do vapor saindo do ejetor através da garganta sônica.
Entende-se por uniformizar a velocidade de escoamento uniformizar e redirecionar os vetores de velocidade do mencionado vapor.
[020] Conforme as formas de concretização preferidas da invenção, mencionadas nas reivindicações dependentes, o gerador de vapor, segundo a invenção, compreende ademais uma ou várias das características seguintes, as quais devem ser consideradas como tomadas em combinação com as características da reivindicação principal:
- o mencionado meio filtrante ou mecanismo de perda de carga é feito de titânio;
- o mencionado meio filtrante ou mecanismo de perda de carga é uma peneira metálica de fibras inoxidáveis sinterizadas;
- o gerador compreende meios para regular a pressão de vapor metálico no ejetor sem provocar inércia durante as transições de pressão;
- os mencionados meios de regulagem compreendem uma válvula proporcional com, opcionalmente, um dispositivo de perda de carga disposto no mencionado conduto;
- a válvula proporcional é uma válvula tipo borboleta;
- o gerador compreende os meios para ajustar o comprimento da
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8/19 fenda longitudinal na largura do substrato;
- os mencionados meios compreendem os meios de rotação do ejetor em torno de seu conduto de alimentação;
- o cadinho contém uma mistura de metais em um estado fundido;
- o cadinho é alimentado por bombeamento ou por gravidade do metal fundido a partir de um forno de fusão;
- o cadinho compreende um indutor montado para fora de modo a assegurar a agitação magnética do metal fundido;
- o cadinho compreende uma saída de expurgo na direção do forno de fusão operado por bombeamento ou escoamento gravitacional;
- o cadinho compreende os meios externos para medição de massa para capacitar a regulagem do nível de metal fundido;
- o ejetor, o conduto e o cadinho estão isolados termicamente do meio exterior e aquecidos por um dos elementos aquecedores por radiação, chamados simplesmente de “forno de radiação;
- o gerador compreende os meios de aquecimento opcionais para aquecimento do recinto fechado a vácuo;
- o gerador compreende dois cadinhos com metais diferentes no estado fundido;
- cada cadinho é conectado por seu próprio conduto a um misturador, que é ele mesmo, conectado ao ejetor;
- cada conduto compreende uma válvula com, opcionalmente, um dispositivo de perda de carga permitindo o ajuste das concentrações de cada metal no momento da mistura dos vapores a serem depositados sobre o substrato e a regulação da pressão dos vapores metálicos na mistura sem provocar inércia no momento de transições de pressão;
- o misturador é o próprio ejetor e compreende um meio
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9/19 filtrante feito de material sinterizado permitindo uniformizar a velocidade de escoamento do vapor de cada metal saindo do ejetor;
- o mencionado meio filtrante de material sinterizado é feito de titânio ou apresenta-se sob a forma de uma peneira metálica de fibras de aço inoxidável sinterizado.
Breve descrição das figuras [021] As figuras 1A a 1C representam uma vista esquemática de vários exemplos de concretização do gerador de vapor industrial de acordo com a presente invenção;
[022] As figuras 2A e 2B representam os detalhes de concretização, respectivamente, do cadinho de metal fundido e do ejetor de vapor segundo uma modalidade de concretização preferida da presente invenção. A figura 2B ilustra, particularmente, o sistema fácil para ajustar o jato de vapor à largura da chapa, por simples rotação do ejetor em torno de seu eixo;
[023] As figuras 3A até 3C representam várias vistas do ejetor de vapor de acordo com a presente invenção, ilustrando uma distribuição uniforme do metal vaporizado;
[024] As figuras 4 e 5 representam os resultados de simulação em mecânica dos fluidos para a câmara de evaporação anteriormente citada (respectivamente, temperatura e velocidade de saída);
[025] A figura 6 mostra uma micrografia obtida para uma deposição de magnésio sobre o ferro preto obtido com uma instalação piloto de acordo com a presente invenção;
[026] A figura 7 ilustra um exemplo de regulagem da abertura das válvulas na instalação segundo a invenção, assim como a velocidade de deposição média correspondente, sobre o
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10/19 tempo para uma temperatura do magnésio fundido que é igual a 690oC; e [027] A figura 8 representa uma vista esquemática de um gerador de vapor segundo a invenção em uma forma de concretização permitindo um depósito de uma liga de dois metais puros sobre o substrato.
Descrição detalhada da invenção [028] A solução preconizada de acordo com a presente invenção consiste em utilizar um cadinho de evaporação que é separado de um cabeçote de ejeção JVD com uma fenda de saída de vapor longitudinal, chamada doravante de ejetor. O princípio geral de dito dispositivo é representado na figura 1A. Uma outra representação esquemática é dada na figura 1B. Uma visão geral da descrição de uma instalação piloto é dada na figura 1C. O cadinho 1 é alimentada por um conduto 1A a partir de um forno de fusão de magnésio 2, com decantação das impurezas. O tipo de forno de fusão 2 e de condutos 1A utilizados são de equipamentos normalmente utilizados na indústria da fundição e bem conhecidos do especialista na técnica. Particularmente, a fusão e o carregamento no aparelho, conforme a invenção serão realizadas por meio das técnicas comprovadas.
[029] Com o cadinho 1 sendo deslocado de forma cilíndrica, um alto nível de uniformidade de temperatura pode ser conseguida graças a uma agitação magnética significativa. A agitação magnética realizada por um indutor 1B ligado a este cadinho permite conservar uma homogeneidade em toda o cadinho, as segregações de impurezas não evaporadas (decantação e flutuação) são feitas no forno de fusão 2. Isto garante a consistência sobre o tempo das condições de
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11/19 evaporação e, portanto, da deposição . A agitação magnética é ajustada pela frequência de indução dependendo da natureza do cadinho e de seu tamanho.
[030] O cadinho deslocado é ligada ao ejetor 3 (duplicado na figura 1A) , que se encontra no recinto fechado a vácuo 6 através do qual passa a chapa metálica 7, por um conduto 4 cilíndrico, cuja secção é calibrada de modo a obter uma velocidade lenta (a velocidade na saída do cadinho é idealmente da ordem do metro por segundo até algumas dezenas de metro por segundo).
[031] A utilização de um conduto cilíndrico permite obter uma boa hermeticidade em alta temperatura e em vácuo, utilizando, por exemplo, uma válvula proporcional tal como uma válvula borboleta 5, tal como disponível comercialmente. A taxa de fluxo de vapor, o qual determina a espessura de metal depositado, é diretamente proporcional à potência útil fornecida (potência no indutor menos perdas térmicas), seja qual for a posição da válvula proporcional. Sem a utilização de tal válvula ou utilizando-se uma válvula de tipo aberta completamente ou fechada completamente como em EP-A-1 174 526, se a temperatura do vapor for aumentada, a pressão se ajusta ficando na curva de equilíbrio (P, T), mas com uma certa inércia, ou seja, não instantaneamente ou então provocando transições significativas acompanhado de aporte brusco de energia. A utilização de uma válvula proporcional permite obter, para uma mesma temperatura, pressões diferentes antes da válvula (no nível do cadinho) e depois da mesma. Se a potência fornecida for aumentada, mantém-se constante a pressão de deposição em um primeiro momento. A abertura da válvula permite então a expansão do vapor e o
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12/19 aumento na pressão de deposição correspondente ao ponto de equilíbrio na curva (P, T) , ou seja, a pressão de vapor saturada.
[032] A figura 7 ilustra a utilização de dita válvula borboleta 5, possivelmente com um dispositivo para perda de carga 5A, para a regulagem da taxa de fluxo de vapor. As taxas de fluxos em peso são constantes para uma dada posição da válvula e as transições são quase inexistentes.
[033] Uma outra vantagem significativa é que toda a parte externa do recinto fechado a vácuo 6 é acessível, a desvantagem sendo, entretanto, a realização obrigatória da vedação a vácuo e a alta temperatura no nível das junções na parte deslocada (não representada).
[034] Para aquecer o cadinho, o conduto e o ejetor, utiliza-se um aquecimento de tipo forno externo por radiação (de tipo forno cilíndrico com fios ou resistências de radiação). Tais fornos são utilizados em laboratório até uma temperatura de 1400-1500oC. Esse forno é, portanto, muito robusto visto que a temperatura de trabalho habitual para esta aplicação é da ordem de 700OC.
[035] Graças a esse forno por radiação, o vapor é superaquecido, o que permite afastar-se da temperatura de pressão de vapor saturada e, portanto, do ponto de condensação. O risco de nova condensação diminui assim. Ademais, simulações numéricas foram efetuadas para determinar a gama de velocidades que permite evitar a distensão adiabática e, assim, a condensação como resultada da redução da temperatura que esta causa.
[036] O fato de usar um aquecimento externo à câmara de vácuo, com isolamento térmico apropriado, tem um certo número
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13/19 de vantagens:
- manutenção facilitada do sistema de aquecimento;
- isolamento e hermeticidade posicionado fora da câmara de vácuo, limitando os fenômenos de limpeza (dégazage) a vácuo;
- redução dos problemas ligados à utilização de elementos aquecedores a vácuo e ligado ao resfriamento de suas conexões elétricas;
- limitação do número de cartuchos de aquecimento a vácuo no ejetor, com limite de utilização mais alto (melhor comportamente em função do tempo). Por exemplo, dois cartuchos de aquecimento a 1100OC são suficientes no caso do aquecimento por radiação;
- utilização de técnicas de aquecimento e de elementos de aquecimento robustos e confiáveis.
Descrição das formas de concretização preferidas
Instalação geral:
[037] Conforme uma forma de concretização preferida da invenção representada na figura 1B, um cadinho cilíndrico 1, contendo o magnésio fundido, está situado externamente ao tanque 6 e conectado a um cabeçote JVD, na forma de um ejetor de vapor de magnésio com uma fenda de saída disposta transversalmente sobre toda a largura da chapa. Conforme a invenção, esta última pode ser disposta indiferentemente na vertical ou na horizontal. O bombeamento do magnésio do forno de fusão para o cadinho é realizado por meio de uma bomba, mas pode-se fazer igualmente de maneira mais simples por baixa pressão, a pressão do cadinho sendo então inferior àquela do forno de fusão. Os meios de regulagem e a instrumentação são dispostos fora do vácuo.
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14/19 [038] A vantagem desse dispositivo é que ele não tem magnésio fundido estocado no tanque de deposição, o que reduz a inércia, nem há qualquer segregação de partículas de impurezas em vácuo. O conduto 4 de transferência de vapor é equipado com aquecimento. A distribuição do vapor de magnésio sobre a largura da chapa (antes da fenda de ejeção) é assegurada por um meio filtrante 3A situado dentro do ejetor. Este mecanismo assegura ademais a filtração e o reaquecimento eventual do vapor que o atravessa. Vantajosamente, esse meio filtrante pode ser um filtro de titânio sinterizado, com uma espessura de alguns mm ou mais, por exemplo, 3 mm. O titânio foi mantido porque ele não corrói devido ao magnésio fundido e porque ele é resistente a alta temperatura (ao contrário do bronze ou de outros materiais sinterizados, comumente utilizados). Pode-se igualmente utilizar, vantajosamente, como meio filtrante, uma “peneira metálica sob a forma de fibras de aço inoxidável sinterizadas, como o meio filtrante se puder ser garantido que não haverá contato da mesma com o magnésio fundido. Por exemplo, pode-se utilizar um filtro de espessura de 1 mm de SIKA-FIL (GKN Sinter Metals Filters GmbH, Radevormwald, Alemanha). Essa fibras são constituídas de fitas tendo uma porosidade de até 85% (DIN ISO 30911-3) e um tamanho eficaz de poros de 6 até 60 micras aproximadamente (ASTM E 1294) . Cadinho propriamente dito:
[039] O cadinho 1 conforme uma forma de concretização preferida da invenção mostrado em detalhes na figura 2A, é único e pode ser facilmente acessado por qualquer trabalho de manutenção. Ele é inerte ao contato a alta temperatura com o metal fundido sobre sua superfície interna e é resistente à
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15/19 oxidação pelo ar, sobre sua superfície externa.
[040] Será preferivelmente, feito de aço inox revestido ou de qualquer material compatível com o metal a ser evaporado e com o contato do ar a alta temperatura, em sua parte externa. Poder-se assim escolher, por exemplo, no caso do magnésio, um co-laminado inox-ferro macio.
[041] O aquecimento do cadinho 1 é convencional e é conseguido por indução 1B. A frequência está vantajosamente compreendida entre 400 e 1000 Hz. Outras características do dispositivo implementado são um aumento de temperatura em 20 min, taxa de aquecimento direta do magnésio de >60%, uma velocidade de agitação >1 m/s, etc.
[042] A inércia térmica é reduzida. O dispositivo é equipado com um obturador a partir do cadinho em direção ao forno de fusão operado por escoamento gravitacional ou bombeamento, em caso de problema (não representado).
[043] Como uma vantagem, o nível de magnésio no cadinho é regulado por meio de medidas de peso (balanças).
Ejetor:
[044] O ejetor 3 é representado em detalhes nas figuras 2B e 3A a 3C. Trata-se de uma caixa com comprimento maior que a largura da chapa a ser revestida. Este dispositivo contém um meio filtrante ou um meio que causa a perda de carga 5A e, assim, assegura a uniformização da taxa de fluxo de vapor sobre toda a largura da caixa. O ejetor 3 é aquecido a uma temperatura superior àquela do vapor metálico e é externamente isolado . O aquecimento pode ser interno por meio de cartuchos (escolha adotada na presente forma de concretização), mas pode ser igualmente externo por meio de resistências de radiação. Uma fenda calibrada assegura a
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16/19 pulverização, na velocidade sônica, do vapor metálico sobre a chapa 7. A garganta sônica sobre todo a largura da fenda complementa o meio filtrante 3A, muito eficientemente, de modo a garantir a uniformidade da deposição sobre a chapa. O ajuste para a largura da chapa 7 se faz por rotação do ejetor em torno de seu conduto de alimentação 4. A figura 2B representa o mecanismo interno no tanque de deposição, a qual é aqui simplificada e confiável. A regulagem da taxa defluxo de vapor é assegurada pela válvula 5 situada no conduto circular 4 (ver figura 1B). Como já mencionado, a figura 7 ilustra um exemplo de regulagem que pode ser realizada.
Resultados de simulações e de ensaios obtidos com uma instalação piloto:
[045]
A tabela 1 fornece os parâmetros de uma instalação piloto produzida para implementar a invenção, em comparação com os parâmetros de uma instalação industrial típica, no caso de uma aplicação de deposição de magnésio.
Tabela 1
| Solução industrial | Solução piloto | |
| Diâmetro do cadinho | 65 0 mm | 2 65 mm |
| Altura do gerador | 1000 mm | 50 0 mm |
| Diâmetros de condutos | 25 0 mm | 10 0 mm |
| Temperatura de trabalho | 690 - 750oC | 690 - 750oC |
| Temperaturas de paredes | 750oC | 750oC |
| Pressão de trabalho | 30 até 70 mbar | 30 até 70 mbar |
| Potência de indução | 160 kW | 5 0kW |
| Faixa de trabalho | 2,5 | 2,5 |
| Volume de metal fundido | 82 L | 18 L |
| Ejetor | 1600 mm | 45 0 mm |
| Fenda | 10 mm | 5 mm |
| Pressão do ejetor | Alguns mbars | Alguns mbars |
[046]
As figuras 3A a 3C mostram várias vistas em perspectiva do ejetor 3 equipado com seu filtro 3A de titânio sinterizado e a fenda 3B de ejeção
A figura 3C
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17/19 mostra uma simulação das trajetórias do vapor no cabeçote de ejeção.
[047] Alguns resultados de uma simulação de mecânica de dos fluidos, aplicada ao ejetor, estão representados nas figuras 4 e 5. As diferenças de temperatura de vapor antes e depois do filtro sinterizado são muito pequenas (0,103K, ver figura 4). A expansão no material poroso é, portanto, quase isotérmica. Além disso, a distribuição das velocidades ao longo da linha central de saída é praticamente constante, a direção da velocidade não variando significativamente até
| depois da | extremidade do cabeçote | (figura 5). | Assim, o jato | |
| de vapor | é quase perfeitamente | uniforme e | isotérmico. | A |
| deposição | do vapor metálico sobre | a chapa será uniforme | em | |
| espessura | e estrutura cristalina. | |||
| [048] | A figura 6 mostra, em | diferentes | amplitudes, | o |
| revestimento de uma amostra com | magnésio, | obtido com | a |
instalação piloto acima mencionada. Assim, pode-se constatar a boa homogeneidade de deposição.
[049] Por outro lado, o dispositivo deslocado de acordo com a invenção é, particularmente, adaptado à deposição de liga por meio da mistura de vapor, pois ele permite ajustar a composição química depositada sem requerer a modificação da composição de uma liga fundida. A mistura se faz então em um conduto em uma velocidade muito baixa de escoamento, contrariamente ao estado da técnica.
Mistura dos vapores de dois metais de recobrimento diferentes:
[050] Como representado na figura 8, duas câmaras de fusão 11, 12, cada uma compreendendo um de dois metais puros diferentes (por exemplo, zinco e magnésio) são conectadas,
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18/19 cada uma, por condutos 4, 4' equipados com válvulas 5, 5' em uma câmara de mistura acoplada ao ejetor 3. A concentração dos dois metais na mistura é ajustada por meio de energia injetada nos cadinhos e por meio das respectivas válvulas proporcionais 5, 5', o que simplifica o problema de controle. Como uma vantagem, isto reduz a obstrução desse sistema.
[051] Um sistema de perda de carga 5A é utilizado em cada conduto, cooperando com as respectivas válvulas, o que permite a obtenção de vapor com pressão mais alta do que na ausência desse sistema (por exemplo, 20 mbar a 700oC).
[052] Esse dispositivo permite e também regular o fluxo de vapor de forma precisa e rápida.
Vantagens da invenção:
[053] O sistema de acordo com a invenção permite a obtenção de uma uniformidade muito boa da temperatura e da velocidade do vapor depositado, sendo confiável e acessível e tendo um tempo de resposta muito pequeno. A invenção responde assim muito bem às exigências de industrialização do processo. Uma regulagem a baixa frequência do aquecimento por meio da indução assegura uma uniformidade muito boa da composição e da temperatura no cadinho e a taxa de fluxo de vapor é muito facilmente regulada por meio de uma válvula situada no nível do conduto ligando o cadinho de evaporação e o ejetor de deposição e ajustando a energia transmitida ao metal. No WO-A-2005/116290, o nível de metal fundido a vácuo , incluindo o interior da câmara de evaporação, é regulado por meio de uma bomba magneto-hidrodinâmica. Contrariamente a este estado da técnica, a regulagem de nível segundo a invenção é conseguida através da pesagem do cadinho e da câmara de distribuição, como na invenção é um sistema JVD
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19/19 equipado com uma fenda que compreende apenas o vapor do metal a ser depositado.
Claims (17)
- REIVINDICAÇÕES1. Gerador de vapor para deposição de um revestimento metálico sobre uma chapa metálica, compreendendo uma câmara de vácuo (6) na forma de um recinto fechado, dita câmara de vácuo (6) equipada com um meio para assegurar um estado de baixa pressão dentro dele em relação ao meio externo e sendo vedado em relação ao meio externo, dito recinto fechado circundando um cabeçote de deposição de vapor, na forma de um ejetor (3), alimentado por um conduto ejetor (3C), que é formado para criar um jato de vapor metálico na velocidade sônica na direção de, e perpendicular à superfície da chapa metálica (7), o ejetor (3) estando hermeticamente conectado por meio de um conduto de alimentação (4), e do conduto ejetor (3C) à pelo menos a um cadinho (1, 11, 12) compreendendo um metal de revestimento em um estado fundido e posicionado externamente à câmara de vácuo (6), caracterizado pelo fato de o ejetor (3) ser rotacionável em torno de um eixo perpendicular do conduto ejetor (3C) para a superfície da chapa metálica, e sendo que o ejetor (3) é uma caixa tendo uma dimensão longitudinal compreendendo uma fenda de saída (3B) para o vapor, agindo como uma garganta sônica, dita fenda (3B) sendo orientada ao longo da citada dimensão longitudinal e estendendo-se através de toda a largura da chapa metálica (7), e sendo que o ejetor (3) compreende ainda um meio filtrante (3A) sendo posicionado no ejetor (3) imediatamente antes da referida fenda (3B) na passagem do vapor e cooperante com a referida fenda (3B) de modo a equilibrar a velocidade de escoamento do vapor saindo do ejetor (3) através da garganta sônica, sendo que o referido meio filtrante (3A) está contido dentro do ejetor (3) ePetição 870190011477, de 04/02/2019, pág. 6/9
- 2/4 inteiramente dentro da câmara de vácuo (6) .2. Gerador, de acordo com a reivindicação 1, pelo fato de o referido meio filtrante (3A) titânio.
- 3. Gerador, de acordo com a reivindicação 1, caracterizado ser feito de caracterizado pelo fato de o citado meio (3A) ser uma peneira metálica de fibras de aço inoxidável sinterizadas.
- 4. Gerador, de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de compreender ainda meios para regular a pressão de vapor metálico no ejetor (3) sem provocar inércia no momento das transições de pressão.
- 5. Gerador, de acordo com a reivindicação 4, caracterizado pelo fato de os mencionados meios de regulagem compreenderem uma válvula proporcional (5).
- 6. Gerador, de acordo com a reivindicação 5, caracterizado pelo fato de a válvula proporcional (5) ser uma válvula de tipo borboleta.
- 7. Gerador, de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de o cadinho (1) ser alimentado por bombeamento ou por gravidade do metal fundido a partir de um forno de fusão (2).
- 8. Gerador, de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de o cadinho (1) compreender um indutor (1B) montado em seu lado externo para assegurar a agitação magnética do metal fundido.
- 9. Gerador, de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de o cadinho (1) compreender um obturador na direção do forno de fusão (2) operado por bombeamento ou escoamento gravitacional.
- 10. Gerador, de acordo com a reivindicação 1, caracterizadoPetição 870190011477, de 04/02/2019, pág. 7/93/4 pelo fato de o cadinho (1) compreender os meios externos de medição em peso para regular nele o nível de metal fundido.
- 11. Gerador, de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de o ejetor (3), o conduto (4) e o cadinho (1) estarem isolados termicamente do meio externo e aquecidos por um forno a radiação.
- 12. Gerador, de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de compreender meios de aquecimento opcionais para o recinto fechado a vácuo (6).
- 13. Gerador, de acordo com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de compreender dois cadinhos (11, 12) com dois metais diferentes em estado fundido.
- 14. Gerador, de acordo com a reivindicação 13, caracterizado pelo fato de cada cadinho (11, 12) ser ligado por seu próprio conduto (4, 4') a um misturador que é por si só conectado ao ejetor (3).
- 15. Gerador, de acordo com a reivindicação 14, caracterizado pelo fato de cada conduto (4, 4') compreender uma válvula (5,5') com um dispositivo adicional para perda de carga (5A) que permite o ajuste das concentrações de cada metal durante a mistura dos vapores a serem depositados sobre a chapa metálica (7) e a regulagem da pressão dos vapores metálicos no misturador sem provocar inércia no momento de transições de pressão.
- 16. Gerador, de acordo com a reivindicação 14, caracterizado pelo fato de o misturador ser o próprio ejetor (3) e compreender um meio filtrante de material sinterizado que permite equilibrar a velocidade de escoamento do vapor de cada metal saindo do ejetor (3).
- 17. Gerador, de acordo com a reivindicação 16, caracterizadoPetição 870190011477, de 04/02/2019, pág. 8/94/4 pelo fato de o citado meio filtrante de material sinterizado ser feito de titânio ou ser na forma de uma peneira metálica de fibras inoxidáveis sinterizadas.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP07447056A EP2048261A1 (fr) | 2007-10-12 | 2007-10-12 | Générateur de vapeur industriel pour le dépôt d'un revêtement d'alliage sur une bande métallique |
| EP07447056.8 | 2007-10-12 | ||
| PCT/EP2008/063638 WO2009047333A1 (fr) | 2007-10-12 | 2008-10-10 | Générateur de vapeur industriel pour le dépôt d'un revêtement d'alliage sur une bande métallique |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| BRPI0816567A2 BRPI0816567A2 (pt) | 2015-03-03 |
| BRPI0816567B1 true BRPI0816567B1 (pt) | 2019-04-09 |
Family
ID=39262566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| BRPI0816567-0A BRPI0816567B1 (pt) | 2007-10-12 | 2008-10-10 | Gerador de vapor para o deposição de um revestimento metálico sobre um substrato |
Country Status (14)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11434560B2 (pt) |
| EP (2) | EP2048261A1 (pt) |
| KR (1) | KR101530183B1 (pt) |
| CN (1) | CN101855380B (pt) |
| AU (1) | AU2008309572B2 (pt) |
| BR (1) | BRPI0816567B1 (pt) |
| CA (1) | CA2702188C (pt) |
| ES (1) | ES2647215T3 (pt) |
| HU (1) | HUE035305T2 (pt) |
| MX (1) | MX2010003889A (pt) |
| PL (1) | PL2198070T3 (pt) |
| RU (1) | RU2429312C1 (pt) |
| UA (1) | UA94675C2 (pt) |
| WO (1) | WO2009047333A1 (pt) |
Families Citing this family (43)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2891135B1 (fr) | 2005-09-23 | 2008-09-12 | Ldr Medical Sarl | Prothese de disque intervertebral |
| EP2199425A1 (fr) | 2008-12-18 | 2010-06-23 | ArcelorMittal France | Générateur de vapeur industriel pour le dépôt d'un revêtement d'alliage sur une bande métallique (II) |
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- 2008-10-10 WO PCT/EP2008/063638 patent/WO2009047333A1/fr not_active Ceased
- 2008-10-10 MX MX2010003889A patent/MX2010003889A/es active IP Right Grant
- 2008-10-10 HU HUE08805229A patent/HUE035305T2/en unknown
- 2008-10-10 CN CN2008801158960A patent/CN101855380B/zh active Active
- 2008-10-10 KR KR1020107007808A patent/KR101530183B1/ko active Active
- 2008-10-10 CA CA2702188A patent/CA2702188C/en active Active
- 2008-10-10 ES ES08805229.5T patent/ES2647215T3/es active Active
- 2008-10-10 EP EP08805229.5A patent/EP2198070B1/fr active Active
- 2008-10-10 AU AU2008309572A patent/AU2008309572B2/en active Active
- 2008-10-10 PL PL08805229T patent/PL2198070T3/pl unknown
- 2008-10-10 US US12/681,969 patent/US11434560B2/en active Active
- 2008-10-10 RU RU2010118090/02A patent/RU2429312C1/ru active
- 2008-10-10 BR BRPI0816567-0A patent/BRPI0816567B1/pt active IP Right Grant
- 2008-10-10 UA UAA201005707A patent/UA94675C2/ru unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP2198070A1 (fr) | 2010-06-23 |
| WO2009047333A1 (fr) | 2009-04-16 |
| BRPI0816567A2 (pt) | 2015-03-03 |
| ES2647215T3 (es) | 2017-12-20 |
| HUE035305T2 (en) | 2018-05-02 |
| CA2702188C (en) | 2016-08-16 |
| KR101530183B1 (ko) | 2015-06-19 |
| AU2008309572A1 (en) | 2009-04-16 |
| CN101855380B (zh) | 2012-07-18 |
| PL2198070T3 (pl) | 2018-02-28 |
| EP2048261A1 (fr) | 2009-04-15 |
| AU2008309572B2 (en) | 2012-10-11 |
| US20110000431A1 (en) | 2011-01-06 |
| CA2702188A1 (en) | 2009-04-16 |
| US11434560B2 (en) | 2022-09-06 |
| UA94675C2 (ru) | 2011-05-25 |
| RU2429312C1 (ru) | 2011-09-20 |
| CN101855380A (zh) | 2010-10-06 |
| EP2198070B1 (fr) | 2017-10-04 |
| KR20100126259A (ko) | 2010-12-01 |
| MX2010003889A (es) | 2010-07-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| B06T | Formal requirements before examination [chapter 6.20 patent gazette] | ||
| B06F | Objections, documents and/or translations needed after an examination request according [chapter 6.6 patent gazette] | ||
| B06I | Publication of requirement cancelled [chapter 6.9 patent gazette] | ||
| B07A | Application suspended after technical examination (opinion) [chapter 7.1 patent gazette] | ||
| B06A | Patent application procedure suspended [chapter 6.1 patent gazette] | ||
| B09A | Decision: intention to grant [chapter 9.1 patent gazette] | ||
| B16A | Patent or certificate of addition of invention granted [chapter 16.1 patent gazette] |
Free format text: PRAZO DE VALIDADE: 10 (DEZ) ANOS CONTADOS A PARTIR DE 09/04/2019, OBSERVADAS AS CONDICOES LEGAIS. (CO) 10 (DEZ) ANOS CONTADOS A PARTIR DE 09/04/2019, OBSERVADAS AS CONDICOES LEGAIS |