CA2010482A1 - Processus de fabrication de dispositifs utilisant des gaz electrochimiques - Google Patents
Processus de fabrication de dispositifs utilisant des gaz electrochimiquesInfo
- Publication number
- CA2010482A1 CA2010482A1 CA2010482A CA2010482A CA2010482A1 CA 2010482 A1 CA2010482 A1 CA 2010482A1 CA 2010482 A CA2010482 A CA 2010482A CA 2010482 A CA2010482 A CA 2010482A CA 2010482 A1 CA2010482 A1 CA 2010482A1
- Authority
- CA
- Canada
- Prior art keywords
- gases
- arsine
- electrochemically generated
- fabrication
- devices
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/448—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials
- C23C16/4488—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials by in situ generation of reactive gas by chemical or electrochemical reaction
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25B—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES FOR THE PRODUCTION OF COMPOUNDS OR NON-METALS; APPARATUS THEREFOR
- C25B1/00—Electrolytic production of inorganic compounds or non-metals
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Electrolytic Production Of Non-Metals, Compounds, Apparatuses Therefor (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US33934489A | 1989-04-18 | 1989-04-18 | |
| US339,344 | 1989-04-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CA2010482A1 true CA2010482A1 (fr) | 1990-10-18 |
| CA2010482C CA2010482C (fr) | 1998-08-25 |
Family
ID=23328589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CA002010482A Expired - Fee Related CA2010482C (fr) | 1989-04-18 | 1990-02-20 | Processus de fabrication de dispositifs utilisant des gaz electrochimiques |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5427659A (fr) |
| EP (1) | EP0393897B1 (fr) |
| JP (1) | JPH071757B2 (fr) |
| CA (1) | CA2010482C (fr) |
| DE (1) | DE69011567T2 (fr) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2792877A1 (fr) * | 1999-04-29 | 2000-11-03 | Michelin Soc Tech | Pneumatique pourvu d'une protuberance pour devier les projections laterales |
| US8021536B2 (en) * | 2006-04-13 | 2011-09-20 | Air Products And Chemical, Inc. | Method and apparatus for achieving maximum yield in the electrolytic preparation of group IV and V hydrides |
| US20090159454A1 (en) | 2007-12-20 | 2009-06-25 | Air Products And Chemicals, Inc. | Divided electrochemical cell and low cost high purity hydride gas production process |
| FR2977579B1 (fr) * | 2011-07-08 | 2015-10-16 | Air Liquide Electronics Sys | Procede de preparation de monosilane electrochimiquement assiste |
| DE102017006698B4 (de) * | 2017-06-25 | 2023-07-20 | Bvp Gmbh | Unter- und überdruckdichter Molekularsiebbehälter |
| CN111378979B (zh) * | 2018-12-29 | 2022-03-15 | 紫石能源有限公司 | 砷纳米颗粒及其制备方法、电解制砷烷的系统和方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1375819A (en) * | 1919-06-11 | 1921-04-26 | Jr Henry Blumenberg | Process and apparatus for the electrolytic generation of arsin, phosphin and stibin |
| DE1209302B (de) * | 1964-01-18 | 1966-01-20 | Siemens Ag | Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen Reinigung von Arsen, insbesondere fuer Halbleiterzwecke |
| US3404076A (en) * | 1965-04-15 | 1968-10-01 | Shell Oil Co | Electrolytic preparation of hydrides |
| US4178224A (en) * | 1978-01-19 | 1979-12-11 | Texas Instruments Incorporated | Apparatus for generation and control of dopant and reactive gases |
| SU1033576A1 (ru) * | 1982-03-24 | 1983-08-07 | Предприятие П/Я Р-6878 | Способ получени сурьм нистого водорода |
-
1990
- 1990-02-20 CA CA002010482A patent/CA2010482C/fr not_active Expired - Fee Related
- 1990-04-09 JP JP2092381A patent/JPH071757B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1990-04-09 EP EP90303769A patent/EP0393897B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1990-04-09 DE DE69011567T patent/DE69011567T2/de not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-02-25 US US08/023,159 patent/US5427659A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CA2010482C (fr) | 1998-08-25 |
| DE69011567D1 (de) | 1994-09-22 |
| JPH02296320A (ja) | 1990-12-06 |
| EP0393897A1 (fr) | 1990-10-24 |
| US5427659A (en) | 1995-06-27 |
| EP0393897B1 (fr) | 1994-08-17 |
| DE69011567T2 (de) | 1994-12-08 |
| JPH071757B2 (ja) | 1995-01-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| MY115263A (en) | Use of deuterated materials in semiconductor processing | |
| RU94046451A (ru) | Способ производства электрической энергии, устройство для его осуществления и соединение | |
| ES2093965T3 (es) | Dispositivo tipo reactor de volumen variable y procedimiento de cultivo de material celular. | |
| ES2057526T3 (es) | Catalizadores de fluoruro de aluminio y su uso en un procedimiento de clorofluoracion para la preparacion de 1,1-dicloro-1,2,2,2-tetrafluoroetano. | |
| DE69418492D1 (de) | Geschlossene wiederaufladbare zellen die quecksilberfreie zinkanoden enthalten und vefahren zur herstellung | |
| EP0208561A3 (fr) | Procédé pour la préparation d'alumoxanes | |
| CA2231437A1 (fr) | Procede d'actionnement d'un systeme de piles a combustible et systeme de piles a combustible permettant de mettre ledit procede en oeuvre | |
| CA2010482A1 (fr) | Processus de fabrication de dispositifs utilisant des gaz electrochimiques | |
| BG48568A3 (bg) | Метод за производство на керамични абразивни материали | |
| ATE66708T1 (de) | Korrosionsschutz fuer zugglieder. | |
| WO1987007916A1 (fr) | Appareil pour former un film mince | |
| DE69002647D1 (de) | Gettermaterialien fuer die vakuumisolation von wasserstoffspeichergefaessen und transportlinien. | |
| CA2099385A1 (fr) | Oxyde natif d'algaas | |
| AR000393A1 (es) | Procedimiento para la preparación de un producto que contiene isobutano/isohexano | |
| GR3025427T3 (en) | Process for the realisation of an active composite. | |
| AU7832691A (en) | New process for the industrial preparation of 4-chloro-3- sulphamoyl-n-(2,3-dihydro-2-methyl-1h-indol-1-yl)-benzamide from 2,3-dihydro-2-methyl-1h-indole and hydroxylamine-o-sulphonic acid | |
| RU94018532A (ru) | Способ и устройство для разгрузки реактора | |
| SU825107A1 (ru) | ЗАПОРНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАЛЛОНА СО СЖАТЫМГАЗОМ1Изобретение относитс к пожарной технике, а именно к детал м огнетушителей, у которых огнетушащее вещество выбрасываетс под давлением сжатого газа,наход щегос в отдельном герметически закрытом резервуаре, и может быть использовано в любой отрасли народного хоз йства при изготовлении огнетушителей. .Известно запорное устройство дл баллона со сжатым газом, содержащее установленный в горловине баллона полый штуцер с фланцем и каналом дл впуска сжатого газа и мембрану, размещенную в полости штуцера \^ .Недостатком известного устройства вл етс Мсшый срок службы и сложность конструкции.Цель изобретени - увеличение срока службы и упрощение конструкции.Указанна цель достигаетс тем, что в запорном устройстве дл баллона со сжатым газом канал дл впуска газа выполнен в виде сквозного отверсти в стенке штуцера под нижним торцом фланца, а мембрана расположена у его верхнего торца.Наличие одного сквозного отверсти ,в стенке штуцера вместо нескольких •продольных канавок на его наружнойto15202530поверхности увеличивает прочность устройства, а значит и срок службы его, и упрощает конструкцию.На чертеже изображено запорное устройство, общий вид, разрез.Запорное устройство состоит из полого штуцера 1 с фланцем 2 и мембраны 3. Штуцер ввернут в горловину 4 баллона. В стенке штуцера 1 выполнено сквозное отверстие 5, ме>&хду флйнцем и торцом горловины установлено уплотнительное кольцо 6,Устройство' работает следующим образом.Перед заполнением баллона сжатым газом полый штуцер 1 запорного устройства ввинчивают в.горловину 4 баллона так, чтобы сквозное отверстие 5 было свободным. При зар дке сжатый газ через отверстие 5, полость штуцера и горловину 4 заполн ет бгш- лон. После заполнени баллона сжатым газом до рабочего давлени штуцер 1 ввинчиваетс в горловину 4 баллона до отказа. При этом уплотнительное кольцо 6 сжимаетс , обеспечива герметичное закрытие зар женного баллона.Предлагаемое изобретение обеспечивает повышение срока службы и упро- | |
| SU703090A1 (ru) | Способ профилактики послеоперационных артрогенных контрактур | |
| EP0634684A4 (fr) | Element magneto-optique. | |
| Bigun et al. | The Adsorption of Potassium and Sodium on the Surface of a Germanium Single Crystal | |
| Gasgnier et al. | Behaviour of Thin Films of Heavy Rare-Earth Metals and of Sc in an Electron-Microscope Residual Atmosphere | |
| SU576263A1 (ru) | Емкость дл цемента | |
| JPS5296866A (en) | Gas phase grown unit for chemical compound semiconductor | |
| Flamant et al. | Intelligence service: A tool for building expert systems. |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EEER | Examination request | ||
| MKLA | Lapsed |