CH353923A - Procédé de fabrication d'un transducteur céramique ferroélectrique - Google Patents
Procédé de fabrication d'un transducteur céramique ferroélectriqueInfo
- Publication number
- CH353923A CH353923A CH353923DA CH353923A CH 353923 A CH353923 A CH 353923A CH 353923D A CH353923D A CH 353923DA CH 353923 A CH353923 A CH 353923A
- Authority
- CH
- Switzerland
- Prior art keywords
- coating
- transducer
- chromium
- layer
- sub
- Prior art date
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 24
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 19
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 17
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 13
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 8
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 8
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 3
- 229910002112 ferroelectric ceramic material Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910018487 Ni—Cr Inorganic materials 0.000 claims description 2
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 5
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 4
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- LQBJWKCYZGMFEV-UHFFFAOYSA-N lead tin Chemical compound [Sn].[Pb] LQBJWKCYZGMFEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 1
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229910001174 tin-lead alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
- 210000002268 wool Anatomy 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B1/00—Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0644—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Description
Procédé de fabrication d'un transducteur céramique ferroélectrique Le présent brevet a pour objet un procédé de fabrication d'un transducteur céramique ferroëlectri- que, pouvant être facilement relié, d'une façon con nue,<B>à</B> une ligne<B>à</B> retard solide, non cristalline, et<B>à</B> une électrode arrière, pour fonctionnement suivant le mode<B> </B> cisaillement<B> ,</B> par exemple<B>à</B> une ligne <B>à</B> retard en verre on en silice fondue et<B>à</B> une élec trode arrière composée d7un alliage étain-plomb.
L'industrie a, pendant un certain temps, employé des transducteurs en céramique ferroélectrique mon tés pour mode de vibration longitudinal sur des lignes <B>à</B> retard prévues pour des retards de courte durée. Sur des lignes plus longues, ces transducteurs ont été montés d'une façon sinùlaire et, en l'absencee <B>de</B> connaissances sur la façon de monter directement les transducteurs céramiques, pour vibration suivant le mode<B> </B> cisaillement<B> ,</B> on a eu recours<B>à</B> l'emploi de prismes<B>de</B> conversion. En général,pour des lignes plus longues avec de nombreux trajets, de réflexion, seule la vibration en épaisseur du quartz suivant un mode<B> </B> cisaillement<B> </B> a donné satisfaction.
Parmi les avantages obtenus par l'emploi de transducteurs en céramique ferroëlectrique faisant vibrer en épais seur un quartz suivant un mode<B> </B> cisaillement<B> </B> se trouvent la faible atténuation du signal principal, la forte atténuation de l'indésirable signal parasite du 3ème ordre et l'utilisation de verre optique peu coû teux pour les lignes<B>à</B> retard courtes au lieu de la silice coûteuse employée avec les transducteurs en quartz. De plus, les transducteurs en céramique sont thermiquement stables et peuvent être plus facile ment reproduits qu'e les transducteurs en quartz. Ils présentent, déplus, l'avantage d'avoir de faibles per tes d'insertion, par comparaison au quartz.
Le fait que les transducteurs en céramique ne doivent pas être soumis pendant un temps apprécia- blé <B>à</B> des températures excédant 2000<B>C</B> après leur polarisation a, jusqu!ici, fait obstacle<B>à</B> leur utilisa tion dans le mode<B> </B> cisaillement<B> </B> parce qu7il ii'exis- tait pas de procédé d'application<B>à</B> basse température d#un revêtement soudable.
Bien qu'une telle tempé rature soit dépassée par l'application & un filin sou- dable par les procédés connus, cela n'a pas été un obstacle<B>à</B> la production<B>de</B> transducteurs polarisés pour le mode longitudinal. Dans ce cas, la surface <B>à</B> réunir<B>à</B> la ligne<B>à</B> retard et la surface opposée<B>à</B> connecter<B>à</B> une électrode arrière sont simplement revêtues avant la polarisation du transducteur qui est ensuite polarisé en réunissant pendant un court ins tant les pellicules respectives aux bornes d7une source appropriée<B>à</B> courant continu<B>à</B> haute tension. Le transducteur peut alors être réuni<B>à</B> la ligne<B>à</B> retard, par un procédé connu.
Un<B>de</B> ces procédés est décrit dans le brevet français No 1140481 du 12 décembre<B>1955</B> mais en réduisant les températures <B>à</B> des valeurs suffisamment basses pour éviter une influence néfaste sur la polarisation du transducteur.
Le procédé objet du présent brevet est caractérisé en ce qu7il comprend le découpage Cune lame dans un bloc polarisé de matière céramique ferroëlectri- que, parallèlement<B>à</B> ses lignes de polarisation, et l'application & un revêtement soudable<B>à</B> chacune des grandes faces de la lame, parallèles aux lignes<B>de</B> polarisation,<B>à</B> des températures inférieures<B>à</B> celles qui seraient capables d!altérer la polarité du trans" ducteur.
Le brevet concerne également le transducteur obtenu d'après le procédé susdit.
L'application des revêtements soudables peut comprendre l'application<B>à</B> chacune des, grandes faces d'un revêtement de base d!un métal noble par dépôt sous vide, le dépôt d'une couche, de chrome sur ce revêtement de base, le recouvrement du chrome par un revêtement graduel contenant approximativement 80,% Ni et 20'% Cr avec la teneur en chrome la plus élevée,
<B>à</B> la surface en contact avec le chrome et la plus faible<B>à</B> la surface exposée et, finalement, le recouvrement du revêtement graduel par une cou che d7or.
Un exemple du procédé est décrit en détail ci- après, en référence au dessin annexé,<B>où:</B> La fig. <B>1</B> est une vue, en perspective eun bloc de céramique ferroëlectrique polarisé.
La fig. 2 est une vue en élévation latérale, re- .présentant schématiquement les pièces détachées diun transducteur en céramique et de ses revêtements res pectifs disposés entre une électrode arrière et le re vêtement d'une facette d'une ligne<B>à</B> retard<B>;</B> la ma tière de liaison servant<B>à</B> relier le transducteur<B>à</B> l'électrode, arrière et au revêtement<B>de</B> la facette étant également représentée.
En se, reportant au dessin,<B>le</B> bloc<B>11</B> porte les revêtements conducteurs 12 et<B>13</B> sur ses faces supé rieure et inférieure qui ont été préalablement bran chées aux bornes d!une source<B>à</B> courant continu<B>à</B> haute tension pour lui donner des lignes de polarisa tion transversales indiquées par les flèches<B>A,</B> de sorte que lorsqu'une laine<B>15</B> est enlevée pour servir de transducteur et quune de ses faces larges est réunie<B>à</B> la surface d'une ligne<B>à</B> retard, il sera en mode<B>de </B> cisaillement<B> </B> par rapport<B>à</B> elle.
Spécifiquement, la première couche ou couche de base d'environ<B>300</B> angstr#ms de platine ou ear- gent est disposée sur les deux faces de la lame<B>15</B> en céramique par évaporation dans le vide<B>à</B> la tem- perature ambiante. Ce revêtement est, de préférence, soumis<B>à</B> un chauffage en atmosphère libre<B>à</B> une température d7environ 2000<B>C</B> de<B>1</B> heure<B>à 18</B> heures pour assurer une bonne adhérence.
La seconde couche d#cnviron <B>500</B> angstr#ms <B>de</B> chrome est alors déposée par évaporation sous vide <B>à</B> la température ambiante. Ce métal, qui est inso luble dans la soudure, est destiné<B>à</B> former une bar rière entre la soudure et<B>le</B> platine, qui est soluble.
La troisième couche d'environ<B>500</B> angstr#ms, qui contient environ 80% Ni et 201% Cr, est éga- lement appliquée<B>à</B> la température ambiante par éva poration sous le même vide que pendant rapplica- tion de la seconde couche. Le dépôt est réalisé de manière que la couche ait une teneur en Cr décrois sant progressivement.
La quatrième couche, ou couche finale, d'environ <B>500</B> angstr#ms, en or, est appliquée dans le même vide que pour l'application<B>de</B> la 3ème couche pour préserver la surface métallique nickel-chrome.
En opérant la réunion des couches finales en or respectivement avec la matière formant la ligne<B>à</B> retard et avec rélectrode arrière, ces couches peuvent être presque instantanément dissoutes par les sou dures employées. Pendant une telle opération de sou dure, la soudure pénètre les revêtements inulti-cou- ches jusqu!à ce q-delle soit arrêtée, soit<B>à</B> la partie riche en Cr de la couche nickel/chrome, soit<B>à</B> la face intermédiaire nickel-chrome/Cr. Comme le montre la fig. 2,
la ligne<B>à</B> retard porte une couche de platine sur sa facette 20 d'as semblage au transducteur. La liaison par fusion de sa surface<B>à</B> la surface d'or<B>de 15</B> est obtenue en amenant de la chaleur entre les surfaces d'assem blage jusqu'à ce qu'elles aient atteint 200,,<B>C</B> ou<B>à</B> peu près et en appliquant sur elles de l'indium pur. Ces surfaces sont ensuite nettoyées avec une brosse vibrante en fibres de verre, revêtues d'indium pur pris d7une source auxiliaire d'indium fondu et Pin- dium est lentement étendu sur les surfaces d7assem- blage de la façon décrite dans le brevet français précité.
Les surfaces respectives peuvent alors se re froidir jusqu7à une température stabilisée entre 165o et<B>1750 C</B> et après Penlèvement final d'une peau de ces surfaces, celles-ci sont amenées en contact et soumises<B>à</B> une pression augmentant graduellement jusqu'à ce qu'elles soient refroidies<B>à 1350 C</B> en viron.
<B>A</B> ce moment, la surface d'assemblage du trans ducteur et l'électrode arrière sont nettoyés<B>à</B> l'aide & une brosse de fibres de verre revêtues d'une sou dure de<B>65</B> In<B>- 35</B> Sn, assemblées, puis laissées<B>à</B> re froidir. L'électrode arrière est, de préférence, un bloc préformé de 60 % d'étain et 40 % de plomb, sui- vant indications du brevet précité.
La soudure en excédent est enlevée de l'assem blage terminé avec un couteau aiguisé ou une lame <B>de</B> rasoir. Toute matière de revêtement vaporisée sur la surface extérieure est facilement enlevée par un dispositif<B>à</B> jet de sable.
Bien que la liaison entre le transducteur ferro- électrique décrit une ligne<B>à</B> retard et une électrode arrière étain-plomb soit pratiquement réalisée d'après les indications du brevet français<B>déjà</B> cité, il est bien évident que des assemblages semblables peuvent être faits en utilisant toute soudure ayant une teneur élevée en indium.
La matière céramique ferroëlec- trique utilisée contient approximativement 45 % PbTiOa- 55 % PbZnO3 mais les procédés décrits sont également applicables<B>à</B> d'autres compositions céramiques ferroëlectriques.
Claims (1)
- REVENDICATION I Procédé de fabrication d7un transducteur céra mique ferroélectrique, caractérisé en ce qu'il com prend le découpage d'une lame dans un bloc polarisé de matière céramique ferroëlectrique, parallèlement <B>à</B> ses lignes de polarisation, et l'application d1n re vêtement soudable<B>à</B> chacune des grandes faces de la lame, parallèles aux lignes<B>de</B> polarisation,<B>à</B> des températures inférieures<B>à</B> celles qui seraient capa bles d!altérer la polarité du transducteur.SOUS-REVENDICATIONS <B>1.</B> Procédé selon la revendication<B>1,</B> caractérisé en ce que l'application des revêtements soudables comprend l'application<B>à</B> chacune des grandes faces d'un revêtement de base d'un métal noble par dépôt sous vide, le dépôt d'une couche<B>de</B> chrome sur ce revêtement de base, le recouvrement du chrome par un revêtement graduel contenant approximativement 80'D/o Ni et 20'()/o Cr avec la teneur en chrome la plus élevée<B>à</B> la surface en contact avec le chrome et la plus faible<B>à</B> la surface exposée et, finalement, le recouvrement du revêtement graduel par une cou che d'or. 2.Procédé selon la sous-revendication <B>1,</B> carac térisé en ce qu'il comporte l'application du revête ment soudable<B>à</B> une température ne dépassant pas 200o<B>C</B> environ. <B>3.</B> Procédé selon la sous-revendication 2, carac térisé par le chauffage du revêtement<B>de</B> métal no ble,<B>à</B> 2000<B>C</B> environ. REVENDICATION II Transducteur céramique ferroëlectrique obtenu d'après le -procédé selon la revendication<B>1.</B> SOUS-REVENDICATIONS 4. Transducteur selon la revendication II, carac térisé en ce que le revêtement comprend des couches d'un métal noble, de chrome, de nickel-chrome et d'or disposées dans l'ordre donné.<B>5.</B> Transducteur selon la sous-revendication 4, caractérisé en ce que<B>le</B> métal noble est de rargent. <B>6.</B> Transducteur selon la sous-revendication 4, caractérisé en ce que le métal noble est du platine.<B>7.</B> Transducteur selon la revendication .11, ca- ract6risé en ce que<B>le</B> revêtement comprend une couche en un métal soluble dans une. soudure<B>à</B> Pin- dium, recouverte par une couche d'un métal insolu ble dans cette soudure' cette dernière couche de métal étant recouverte d7un revêtement graduel de métal progressivement moins soluble dans cette sou <B>dure</B> en direction de sa face en contact avec la cou che insoluble.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US353923XA | 1958-05-23 | 1958-05-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CH353923A true CH353923A (fr) | 1961-04-30 |
Family
ID=21882392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CH353923D CH353923A (fr) | 1958-05-23 | 1959-05-22 | Procédé de fabrication d'un transducteur céramique ferroélectrique |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CH (1) | CH353923A (fr) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2935873A1 (de) * | 1979-09-05 | 1981-03-19 | Bosch-Siemens Hausgeräte GmbH, 7000 Stuttgart | Ultraschall-schwingsystem zur fluessigkeitszerstaeubung sowie verfahren und vorrichtung zur herstellung |
-
1959
- 1959-05-22 CH CH353923D patent/CH353923A/fr unknown
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2935873A1 (de) * | 1979-09-05 | 1981-03-19 | Bosch-Siemens Hausgeräte GmbH, 7000 Stuttgart | Ultraschall-schwingsystem zur fluessigkeitszerstaeubung sowie verfahren und vorrichtung zur herstellung |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3042550A (en) | Solid delay line improvements | |
| US4259607A (en) | Quartz crystal vibrator using Ni-Ag or Cr-Ni-Ag electrode layers | |
| US3590467A (en) | Method for bonding a crystal to a solid delay medium | |
| US4336982A (en) | MgF2 Coating for promoting adherence of thin films to single crystal materials | |
| US4415233A (en) | Achromatized beam splitter of low polarization | |
| WO2012149826A1 (fr) | Dispositif de couplage optique comprenant un cristal du groupe kbbf couplé à des prismes et procédé de fabrication de celui-ci | |
| AU595071B2 (en) | Piezoelectric sensing element | |
| JPH11228192A5 (fr) | ||
| JPH01300202A (ja) | 反射体および該反射体を用いた干渉装置 | |
| EP0880801B1 (fr) | SiC FIXE SUR UNE PUCE ET PROCEDE DE FIXATION DE PUCE POUR SiC | |
| CH353923A (fr) | Procédé de fabrication d'un transducteur céramique ferroélectrique | |
| JPS62186202A (ja) | プラスチツク光学部品の反射防止膜 | |
| US3959747A (en) | Metallized lithium niobate and method of making | |
| US4706256A (en) | Fritless endbell assembly | |
| US4039116A (en) | Photodetector-to-substrate bonds | |
| JPS58223106A (ja) | 光回路素子部材 | |
| JP3593185B2 (ja) | 光電子部品 | |
| JPH11174248A (ja) | 光導波路素子 | |
| JPH0750208B2 (ja) | 光ファイバアレイ及び光ファイバアレイの製造方法 | |
| JPH06293963A (ja) | Itoスパッタリングターゲット用バッキングプレート | |
| JPS5941867A (ja) | 貫通穴を有するセラミックス部品の製造方法 | |
| JPH05313001A (ja) | プラスチック製光学部品の反射防止膜 | |
| JPH0132643B2 (fr) | ||
| JPS58100414A (ja) | アルミニウム電極を有するチタン酸バリウムの製造方法 | |
| JP3582913B2 (ja) | 光アイソレータの製造方法 |