CH440907A - Verfahren zum polierenden Abtragen von einkristallinen Halbleiterkörpern, insbesondere Halbleiterscheiben - Google Patents

Verfahren zum polierenden Abtragen von einkristallinen Halbleiterkörpern, insbesondere Halbleiterscheiben

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CH440907A
CH440907A CH10064A CH10064A CH440907A CH 440907 A CH440907 A CH 440907A CH 10064 A CH10064 A CH 10064A CH 10064 A CH10064 A CH 10064A CH 440907 A CH440907 A CH 440907A
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CH
Switzerland
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polishing removal
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monocrystalline
semiconductor wafers
wafers
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CH10064A
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Herbert Dr Lange
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Siemens Ag
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CH10064A 1963-03-28 1964-01-07 Verfahren zum polierenden Abtragen von einkristallinen Halbleiterkörpern, insbesondere Halbleiterscheiben CH440907A (de)

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