CH463629A - Verfahren zur Herstellung von Halbleitervorrichtungen - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Halbleitervorrichtungen

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CH463629A
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CH1213865A
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Bernard Setchfield John
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Itt
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W20/00Interconnections in chips, wafers or substrates
    • H10W20/40Interconnections external to wafers or substrates, e.g. back-end-of-line [BEOL] metallisations or vias connecting to gate electrodes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10PGENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P95/00Generic processes or apparatus for manufacture or treatments not covered by the other groups of this subclass
CH1213865A 1964-09-02 1965-08-30 Verfahren zur Herstellung von Halbleitervorrichtungen CH463629A (de)

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GB35926/64A GB1046187A (en) 1964-09-02 1964-09-02 Improvements in or relating to semiconductor devices

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CH463629A true CH463629A (de) 1968-10-15

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NL275667A (de) * 1961-04-28
FR1320577A (fr) * 1961-04-28 1963-03-08 Ibm Dispositif et procédé de fabrication de semiconducteurs
FR1350402A (fr) * 1962-03-16 1964-01-24 Gen Electric Dispositifs à semiconducteurs et méthodes de fabrication

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BE669078A (de) 1966-03-02
DE1280418B (de) 1968-10-17
SE301678B (de) 1968-06-17
GB1046187A (en) 1966-10-19
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