CH475559A - Procédé de mesure de la vitesse d'évaporation sous vide, jauge pour la mise en oeuvre de ce procédé et application de ce procédé - Google Patents

Procédé de mesure de la vitesse d'évaporation sous vide, jauge pour la mise en oeuvre de ce procédé et application de ce procédé

Info

Publication number
CH475559A
CH475559A CH576267A CH576267A CH475559A CH 475559 A CH475559 A CH 475559A CH 576267 A CH576267 A CH 576267A CH 576267 A CH576267 A CH 576267A CH 475559 A CH475559 A CH 475559A
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
gauge
implementation
measuring
application
under vacuum
Prior art date
Application number
CH576267A
Other languages
English (en)
Inventor
Zega Bodgan
Original Assignee
Battelle Development Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Battelle Development Corp filed Critical Battelle Development Corp
Priority to CH576267A priority Critical patent/CH475559A/fr
Priority to CH454168A priority patent/CH490678A/fr
Priority to DE19681773242 priority patent/DE1773242C3/de
Priority to GB1858368A priority patent/GB1194943A/en
Priority to JP2638368A priority patent/JPS5212590B1/ja
Priority to FR1577403D priority patent/FR1577403A/fr
Priority to US722951A priority patent/US3586854A/en
Publication of CH475559A publication Critical patent/CH475559A/fr

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J41/00—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas; Discharge tubes for evacuation by diffusion of ions
    • H01J41/02—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas
    • H01J41/04—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas with ionisation by means of thermionic cathodes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
    • C23C14/542—Controlling the film thickness or evaporation rate
    • C23C14/544—Controlling the film thickness or evaporation rate using measurement in the gas phase

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
CH576267A 1967-04-21 1967-04-21 Procédé de mesure de la vitesse d'évaporation sous vide, jauge pour la mise en oeuvre de ce procédé et application de ce procédé CH475559A (fr)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH576267A CH475559A (fr) 1967-04-21 1967-04-21 Procédé de mesure de la vitesse d'évaporation sous vide, jauge pour la mise en oeuvre de ce procédé et application de ce procédé
CH454168A CH490678A (fr) 1967-04-21 1968-03-26 Jauge de mesure de la vitesse d'évaporation sous vide
DE19681773242 DE1773242C3 (de) 1967-04-21 1968-04-19 Meßgerät zur Ermittlung und Regelung der Verdampfungsgeschwindigkeit von im Vakuum verdampften Substanzen
GB1858368A GB1194943A (en) 1967-04-21 1968-04-19 Gauge for Measuring the Rate of Evaporation of Substances in an Evacuated Enclosure
JP2638368A JPS5212590B1 (fr) 1967-04-21 1968-04-20
FR1577403D FR1577403A (fr) 1967-04-21 1968-04-22
US722951A US3586854A (en) 1967-04-21 1968-04-22 Method of measuring the rate of evaporation in a vacuum,a gauge for carrying this method into effect,and an application of this method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH576267A CH475559A (fr) 1967-04-21 1967-04-21 Procédé de mesure de la vitesse d'évaporation sous vide, jauge pour la mise en oeuvre de ce procédé et application de ce procédé

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH475559A true CH475559A (fr) 1969-07-15

Family

ID=4298922

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH576267A CH475559A (fr) 1967-04-21 1967-04-21 Procédé de mesure de la vitesse d'évaporation sous vide, jauge pour la mise en oeuvre de ce procédé et application de ce procédé

Country Status (2)

Country Link
US (1) US3586854A (fr)
CH (1) CH475559A (fr)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114905157A (zh) * 2021-02-08 2022-08-16 中国科学院沈阳自动化研究所 一种基于多触点的水射流定位装置及方法
CN116988014A (zh) * 2023-09-27 2023-11-03 中国科学技术大学 一种组合集中真空互联系统装置

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3734620A (en) * 1971-04-01 1973-05-22 Ibm Multiple band atomic absorption apparatus for simultaneously measuring different physical parameters of a material
US4036167A (en) * 1976-01-30 1977-07-19 Inficon Leybold-Heraeus Inc. Apparatus for monitoring vacuum deposition processes
US6558735B2 (en) * 2001-04-20 2003-05-06 Eastman Kodak Company Reusable mass-sensor in manufacture of organic light-emitting devices
US6513451B2 (en) * 2001-04-20 2003-02-04 Eastman Kodak Company Controlling the thickness of an organic layer in an organic light-emiting device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114905157A (zh) * 2021-02-08 2022-08-16 中国科学院沈阳自动化研究所 一种基于多触点的水射流定位装置及方法
CN116988014A (zh) * 2023-09-27 2023-11-03 中国科学技术大学 一种组合集中真空互联系统装置
CN116988014B (zh) * 2023-09-27 2023-12-22 中国科学技术大学 一种组合集中真空互联系统装置

Also Published As

Publication number Publication date
US3586854A (en) 1971-06-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
OA02457A (fr) Procédé de transfusion et appareil pour la mise en oeuvre du procédé.
CH534531A (fr) Procédé de séchage par pulvérisation et appareil pour la mise en oeuvre de ce procédé
CH501932A (fr) Procédé de mesure du niveau de radioactivité d'échantillons, et appareil pour la mise en oeuvre de ce procédé
CH510369A (fr) Procédé de production d'ions, source d'ions pour la mise en oeuvre du procédé et application du procédé
CH475559A (fr) Procédé de mesure de la vitesse d'évaporation sous vide, jauge pour la mise en oeuvre de ce procédé et application de ce procédé
BE773156Q (fr) Procede pour la preparation de jaunes d'oeuf
CH396566A (de) Procédé de gravure d'une surface cuivreuse et solution pour la mise en oeuvre dudit procédé
CH477326A (fr) Procédé d'emballages d'articles en forme de tiges et appareil pour la mise en oeuvre du procédé
FR891601A (fr) Procédé et dispositif pour la mesure, en continu, d'objets de grande longueur
CH540710A (fr) Procédé de filtration continue et appareil pour la mise en oeuvre du procédé
FR1171502A (fr) Appareil pour la mise continue sous forme de pulpe de matières fibreuses
FR1512817A (fr) Procédé pour l'obtention de dichloro-3, 4 butène-1
FR1462343A (fr) Procédé de mise en évidence simultanée et de mesure des propriétés mécaniquesd'un milieu viscoélastique, et balance-rhéomètre pour sa mise en oeuvre
CH487256A (fr) Procédé de galvanoplastie et appareil pour la mise en oeuvre de ce procédé
FR1455832A (fr) Procédé de chargement de machines de formage sous pression et dispositif pour la mise en oeuvre du procédé
CH521201A (fr) Procédé pour la compensation d'erreurs de mesures fournies par un tâteur de position et appareil pour la mise en oeuvre de ce procédé
FR1449444A (fr) Procédé de congélation-dessiccation, et appareil pour la mise en oeuvre du procédé
BE747825A (fr) Procede pour la preparation de derives d'oxazole
CH490678A (fr) Jauge de mesure de la vitesse d'évaporation sous vide
CH541406A (fr) Cylindre souple, procédé de fabrication de ce cylindre et appareil pour la mise en oeuvre du procédé
FR1545970A (fr) Procédé et dispositif pour la production continue d'emballages en forme de boyaux
CH495289A (fr) Plaque de corindon, procédé pour sa fabrication et appareil pour la mise en oeuvre du procédé
FR1516123A (fr) Procédé pour la dessiccation continue de matières solides et appareil pour la mise en oeuvre de ce procédé
CH535945A (fr) Procédé de bornage et matériel pour la mise en oeuvre de ce procédé
CH505859A (fr) Procédé pour la polymérisation des oléfines

Legal Events

Date Code Title Description
PL Patent ceased