CS257114B1 - Nosič na hromadné čistenie, najma křemíkových dosiek v akustickom prostředí - Google Patents

Nosič na hromadné čistenie, najma křemíkových dosiek v akustickom prostředí Download PDF

Info

Publication number
CS257114B1
CS257114B1 CS862206A CS220686A CS257114B1 CS 257114 B1 CS257114 B1 CS 257114B1 CS 862206 A CS862206 A CS 862206A CS 220686 A CS220686 A CS 220686A CS 257114 B1 CS257114 B1 CS 257114B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
carrier
silicon wafers
acoustic environment
silicon
cleaning
Prior art date
Application number
CS862206A
Other languages
Czech (cs)
English (en)
Other versions
CS220686A1 (en
Inventor
Ivan Haban
Dominik Jankech
Miroslav Pavlik
Original Assignee
Ivan Haban
Dominik Jankech
Miroslav Pavlik
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ivan Haban, Dominik Jankech, Miroslav Pavlik filed Critical Ivan Haban
Priority to CS862206A priority Critical patent/CS257114B1/sk
Publication of CS220686A1 publication Critical patent/CS220686A1/cs
Publication of CS257114B1 publication Critical patent/CS257114B1/sk

Links

Landscapes

  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

Riešenie sa týká nosiča na hromadné čistenie najma křemíkových dosiek v akustickom prostředí. Podstatou riešenia je, že nosič pozostáva z dvoch rotačných čiel, ktoré sú opatřené čapmi. Na okrajoch rotačných čiel sú připevněné hřebene, z ktorých aspoň jeden je připevněný rozoberatelne.
CS862206A 1986-03-28 1986-03-28 Nosič na hromadné čistenie, najma křemíkových dosiek v akustickom prostředí CS257114B1 (sk)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS862206A CS257114B1 (sk) 1986-03-28 1986-03-28 Nosič na hromadné čistenie, najma křemíkových dosiek v akustickom prostředí

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS862206A CS257114B1 (sk) 1986-03-28 1986-03-28 Nosič na hromadné čistenie, najma křemíkových dosiek v akustickom prostředí

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CS220686A1 CS220686A1 (en) 1987-09-17
CS257114B1 true CS257114B1 (sk) 1988-04-15

Family

ID=5358521

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS862206A CS257114B1 (sk) 1986-03-28 1986-03-28 Nosič na hromadné čistenie, najma křemíkových dosiek v akustickom prostředí

Country Status (1)

Country Link
CS (1) CS257114B1 (sk)

Also Published As

Publication number Publication date
CS220686A1 (en) 1987-09-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW444241B (en) Method and apparatus for cleaning the edge of a thin disc
US4178188A (en) Method for cleaning workpieces by ultrasonic energy
US4064885A (en) Apparatus for cleaning workpieces by ultrasonic energy
US3251087A (en) Apparatus for wall washing or the like
US20020062839A1 (en) Method and apparatus for frontside and backside wet processing of a wafer
JP2001070896A5 (sk)
CS257114B1 (sk) Nosič na hromadné čistenie, najma křemíkových dosiek v akustickom prostředí
JP3219375B2 (ja) スクラブ洗浄部材およびそれを用いた基板処理装置、ならびに洗浄用ブラシ
CN212703191U (zh) 一种液晶显示器用玻璃基板高效清洗装置
CN104289470A (zh) 一种扫刷式纺织锭子超声波清洗机
CN112842134B (zh) 一种用于清洁装置中的毛发处理结构
CN108568569A (zh) 一种齿轮加工清洗装置
RU50880U1 (ru) Устройство мегазвуковой очистки плоских стеклянных подложек
JPS63262196A (ja) 洗濯機の靴洗い制御装置
JP3272039B2 (ja) ブラシ洗浄装置およびブラシ洗浄方法
JPH11121415A (ja) ウエハ洗浄装置
CN222332322U (zh) 一种免刮毛刷毛针布清理装置
CN218014712U (zh) 一种坩埚外壁清扫装置
CN217289458U (zh) 一种机械振动式医用器械清洗装置
JPH0493838A (ja) ガラスマスクの洗浄装置
CN221754169U (zh) 一种用于工件清洗的多角度超声波清洗机
JP3065061B1 (ja) ウェハ洗浄装置
CN217963843U (zh) 一种避免排液槽口堵塞的超声波清洗机
SU1107911A1 (ru) Устройство дл ультразвуковой очистки деталей
KR0118226Y1 (ko) Lcd 제조공정에 사용되는 글라스 세정장치