AT252682B - Verfahren und Anordnung zur elektronischen Aufdampfung von Substanzen auf isolierende Unterlagen - Google Patents

Verfahren und Anordnung zur elektronischen Aufdampfung von Substanzen auf isolierende Unterlagen

Info

Publication number
AT252682B
AT252682B AT189765A AT189765A AT252682B AT 252682 B AT252682 B AT 252682B AT 189765 A AT189765 A AT 189765A AT 189765 A AT189765 A AT 189765A AT 252682 B AT252682 B AT 252682B
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
substances
arrangement
vapor deposition
insulating substrates
electronic vapor
Prior art date
Application number
AT189765A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Balzers Patent Beteilig Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Balzers Patent Beteilig Ag filed Critical Balzers Patent Beteilig Ag
Application granted granted Critical
Publication of AT252682B publication Critical patent/AT252682B/de

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
    • C23C14/30—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation by electron bombardment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/305—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating, or etching
    • H01J37/3053—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating, or etching for evaporating or etching

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
AT189765A 1964-03-09 1965-03-04 Verfahren und Anordnung zur elektronischen Aufdampfung von Substanzen auf isolierende Unterlagen AT252682B (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH300364A CH441928A (de) 1964-03-09 1964-03-09 Anordnung zur elektronischen Aufdampfung von Substanzen auf isolierende Unterlagen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
AT252682B true AT252682B (de) 1967-03-10

Family

ID=4246434

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT189765A AT252682B (de) 1964-03-09 1965-03-04 Verfahren und Anordnung zur elektronischen Aufdampfung von Substanzen auf isolierende Unterlagen

Country Status (6)

Country Link
AT (1) AT252682B (de)
CH (1) CH441928A (de)
DE (1) DE1270354C2 (de)
FR (1) FR1428330A (de)
GB (1) GB1065745A (de)
NL (1) NL6404974A (de)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4099969A (en) * 1974-10-10 1978-07-11 Xerox Corporation Coating method to improve adhesion of photoconductors
US4013463A (en) 1975-08-15 1977-03-22 Leder Lewis B Photoreceptor fabrication utilizing AC ion plating
CH610013A5 (de) 1975-11-19 1979-03-30 Battelle Memorial Institute

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE875249C (de) * 1950-12-05 1953-04-30 Sueddeutsche Lab G M B H Bedampfungseinrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
CH441928A (de) 1967-08-15
DE1270354B (de) 1968-06-12
NL6404974A (de) 1965-09-10
FR1428330A (fr) 1966-02-11
DE1270354C2 (de) 1977-02-24
GB1065745A (en) 1967-04-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AT290509B (de) Verfahren und Vorrichtung zur fraktionierten Desublimation von Polycarbonsäureanhydriden
AT252436B (de) Verfahren zur Herstellung von brennbaren Gasen
AT267278B (de) Verfahren zur Herstellung von metallischen Überzügen auf Oberflächen nichtmetallischer Unterlagen
CH458908A (de) Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen Herstellung von rechteckförmigen Schläuchen
AT290507B (de) Verfahren zur Reinigung von aromatischen Di- und Polycarbonsäuren
AT265170B (de) Verfahren zur Förderung von Bitumina aus Lagerstätten
AT257661B (de) Verfahren zur Reduktion von anorganischen und organischen Verbindungen
AT252682B (de) Verfahren und Anordnung zur elektronischen Aufdampfung von Substanzen auf isolierende Unterlagen
AT288360B (de) Verfahren zur Reinigung von aromatischen Di- und Polycarbonsäuren
CH433510A (de) Verfahren zur Serienfertigung von Halbleiterbauelementen
AT260223B (de) Verfahren zur Reinigung von Pyromellithsäuredianhydrid
AT303922B (de) Verfahren zur Abscheidung von organischen Überzügen auf elektrisch leitenden Gegenständen
AT245901B (de) Verfahren und Vorrichtung zur Regenerierung von Salzsäure
CH471757A (de) Verfahren zur Herstellung von Terpenen und Terpenderivaten
CH409852A (de) Verfahren zur Herstellung von wasch- und lösungsmittelbeständigen Überzügen oder Beschichtungen auf Textilien
AT290506B (de) Verfahren zur Reinigung von aromatischen Di- und Polycarbonsäuren
AT260399B (de) Verfahren zur Verdampfung und Überhitzung thermisch instabiler Kohlenwasserstoffgemische
CH421044A (de) Verfahren zur Erzeugung poröser Feinbeschichtungen auf Textilien
AT257952B (de) Verfahren zur Stabilisierung von organischen Stoffen
CH370202A (de) Verfahren zur Erhöhung der Leitfähigkeit von auf Unterlagen aufgebrachten, nichtmetallischen dünnen Schichten
CH513797A (de) Verfahren zur Reinigung von rohem bis-(B-Hydroxyäthyl)-terephthalat
AT252865B (de) Verfahren zur Erzeugung von lösungsmittelbeständigen Textilbeschichtungen
CH400716A (de) Vorrichtung zur Abscheidung von Halbleitermaterial aus der Gasphase auf stabförmigen Trägern aus Halbleitermaterial und Verfahren zu deren Herstellung
AT254751B (de) Vorrichtung zur Fertigung großflächiger Bauelemente
CH406182A (de) Verfahren zur Reinigung von Dimethylterephthalat