DE60316977T2 - Verfahren zur herstellung einer beweglichen linsenstruktur für eine lichtformungseinheit - Google Patents

Verfahren zur herstellung einer beweglichen linsenstruktur für eine lichtformungseinheit Download PDF

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Description

  • TECHNISCHES GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft die Produktion von optischen Komponenten und vorzugsweise die Produktion von optischen Komponenten, welche eine bewegbare mikromechanische Vorrichtung mit einer Lichtformungseinheit umfassen.
  • BESCHREIBUNG DES VERWANDTEN STANDES DER TECHNIK
  • Bei der Produktion von optischen Komponenten und vorzugsweise von Komponenten, welche mikromechanische Positioniervorrichtungen umfassen, ist es bekannt, eine Linse in einer derartigen Anordnung zu verwenden, siehe zum Beispiel US-5 734 490 und US-5 923 480 .
  • In US-5 734 490 ist auch beschrieben, wie die Produktion einer Linse und Mikromechanik erreicht werden kann. Hier umfasst die mikromechanische Struktur Arme, welche mit einer Linse von der Seite verbunden sind. Die Linse wird zuerst gebildet, gefolgt durch das Bilden der mechanischen Struktur. Dies ist möglich, da sich die Arme auf der Seite der Linse erstrecken. Die Linse wird hier durch das gleiche transparente Material wie die Arme gebildet.
  • In US-5 923 480 ist ein Beispiel vorgesehen, wie eine Linse und eine Struktur produziert wird. Hier findet das Bilden eines Teils der mikromechanischen Struktur in der Form von Armen, welche die Linse halten, zusammen mit dem Bilden der Linse statt, gefolgt durch das Bilden des Restes der mikromechanischen Struktur. Auch hier werden die Arme und die Linse aus dem gleichen Material gebildet. In diesem Dokument ist es weiterhin schwierig, die Linsenstruktur zu variieren, welche in der Form eines Zylinders ist. Um einen Lichtdurchgangskanal unterhalb der Linse vorzusehen, ist es auch erforderlich, dass dieser gebildet wird, wenn das Material, welches die Linse und Arme werden soll, auf einem Substrat abgelagert wird.
  • US-6 074 888 und US-5 097 354 beschreiben Linsen, welche in optischen Systemen verwendet werden, jedoch ohne als eine kompakte Komponente, welche auch Mikromechanik enthält, angeordnet zu sein.
  • US-6 054 335 beschreibt einen bewegbaren Laser in einer Komponente, welche auch eine Linse enthält. Die Linse wird jedoch wahrscheinlich auch auf der Struktur nach dem Formen der anderen Teile der Struktur angeordnet.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung ist auf das Lösen der Aufgabe des Vorsehen eines Weges gerichtet, eine bewegbare Struktur für eine Lichtformungseinheit zu produzieren, welche eine vereinfachte Produktion der Lichtformungseinheit auf einer Mikromechanik ermöglicht, verglichen mit dem Stand der Technik.
  • Dies wird durch ein Verfahren zum Herstellen einer kompakten bewegbaren Struktur für eine Lichtformungseinheit erreicht, welche die folgenden Schritte umfasst: Bilden einer Lichtformungseinheit aus einem Material, welches auf einem Träger eines anderen Materials vorgesehen wird, und Bilden einer mikromechanischen Struktur aus dem Träger, wobei das Bilden der Lichtformungseinheit stattfindet, bevor die mikromechanische Struktur gebildet wird.
  • Durch das Produktionsverfahren gemäß der Erfindung werden Kompatibilitätsanforderungen zwischen der Mikromechanik und der Lichtformungseinheit, welche ansonsten schwierig zu erfüllen sind, vereinfacht. Durch das Verfahren gemäß der Erfindung wird auch ein späterer Zusammenbau der Lichtformungseinheit vermieden, was ein teurer Verarbeitungsschritt sein kann.
  • Da die Lichtformungseinheiten gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung durch Prägen produziert werden, können diese unter Verwendung einer Massenproduktion produziert werden, was die Kosten der Struktur senkt.
  • Die allgemeine Idee der Erfindung basiert somit auf der Tatsache, dass in der Produktion einer bewegbaren Struktur für eine Lichtformungseinheit zuerst eine Lichtformungseinheit auf einem Substrat gebildet wird, und erst danach die Mikromechanik gebildet wird.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • Die vorliegende Erfindung wird im Folgenden mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen beschrieben, wobei
  • 1 schematisch eine perspektivische Ansicht einer optischen Komponente zeigt, welche einen ersten Typ einer mikromechanischen Konstruktion aufweist,
  • 2 eine Draufsicht auf einen zweiten Typ der mikromechanischen Konstruktion zeigt,
  • 3 schematisch eine Schnittansicht einer vollständigen Komponente zeigt,
  • 4 bis 13 Schnittansichten von verschiedenen Produktionsschritten in der Produktion einer Komponente gemäß der Erfindung zeigen,
  • 14 schematisch das Prägen einer Linse zeigt,
  • 15 die geprägte Linse auf einem Substrat zeigt und
  • 16 ein Flussdiagramm von verschiedenen Produktionsschritten in dem Verfahren gemäß der Erfindung zeigt.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Die vorliegende Erfindung betrifft die Produktion einer bewegbaren Lichtformungseinheit in der Form einer Linse, und dann vorzugsweise eine Linse mit einer entsprechenden mikromechanischen Struktur, welche die Linse derartig bewegt, dass Licht von einer optischen Komponente, welche mit der bewegbaren Linse verbunden ist, abgelenkt werden kann.
  • 1 zeigt schematisch eine Schaltung 10, welche gemäß der Erfindung hergestellt ist, in einer perspektivischen Ansicht. Eine optische Komponente in der Form eines Lasers, eines optischen Detektors oder einer optischen Faser (nicht gezeigt) ist in einem Wafer 26 vorgesehen, wobei auf dem Wafer eine mikromechanische Vorrichtung vorgesehen ist, welche eine rechteckige intermediäre Platte 14 und zwei gegenüberliegende Seitenplatten 22 umfasst. Eine Linse 12 ist auf der intermediären Platte vorgesehen. Die intermediäre Platte ist mit Zähnen 18 ausgestattet, welche mit Hohlräumen zwischen entsprechenden Zähnen 16 auf den zwei Seitenplatten 22 übereinstimmen. Die Seitenplatten 22 umfassen jeweils einen Kontakt 20, welcher zum Steuern der mikromechanischen Vorrichtung verwendet wird. Die intermediäre Platte 14 ist an zwei gegenüberliegenden Lagerpunkten 29 über zwei elastische Arme 28 gelagert, wobei die Lagerpunkte und Arme auch einen Teil der mikromechanischen Struktur bilden. Die Zähne 18 sind auf zwei gegenüberliegenden Seiten der rechteckigen intermediären Platte angeordnet, während die elastischen Arme 28 auf den zwei verbleibenden gegenüberliegenden Seiten der intermediären Platte 14 angeordnet sind. In der Figur weisen die Arme eine gerade Struktur auf.
  • 2 zeigt eine Draufsicht auf eine bevorzugte Ausführungsform der mikromechanischen Struktur. Der Unterschied zu 1 ist der, dass jede Seite der intermediären Platte 14, welche Arme 28 aufweist, Arme mit einer gefalteten Zickzackstruktur aufweist, um die Elastizität zu vereinfachen, wenn die intermediäre Platte 14 bewegt wird. In einer entsprechenden Weise ist jeder Arm mit einem entsprechenden Lagerpunkt versehen. Die Konstruktion gemäß 2 weist somit vier Lagerpunkte 29 auf.
  • 3 zeigt schematisch eine Schnittansicht der Vorrichtung gemäß 1 oder 2. Hier ist der Wafer 26 gezeigt, welcher einen Halbleiterlaser 24 enthält. Die mikromechanische Vorrichtung ist mit den zwei Seitenplatten 22 und der intermediären Platte 14 oberhalb des Lasers angeordnet. Die Linse 12 ist auf der intermediären Platte 14 angeordnet, wobei die Platte mit einem Hohlraum oder Lichtdurchgangskanal zwischen der Linse und dem Laser versehen ist, um dem Licht zu erlauben, von dem Laser gesendet zu werden und durch die Linse 12 fokussiert zu werden. Im Betrieb kann die intermediäre Platte hergestellt sein, um sich in einer horizontalen Richtung zu bewegen, aufgrund von elektrischen Spannungen, welche an die Kontakte 20 angelegt worden sind, und aufgrund der Elastizität der Arme, welche in 1 und 2 gezeigt sind. Auf diese Weise kann die Linse sicherstellen, dass der Laserstrahl abgelenkt oder in unterschiedlichen Richtungen gescannt wird. Dies kann entweder in der rechten Richtung oder in der linken Richtung in Abhängigkeit davon durchgeführt werden, wie die intermediäre Platte 14 bewegt wird. Die Komponente gemäß der Erfindung kann daher auf eine Vielzahl von Arten verwendet werden, von welchen einige später erwähnt werden.
  • Wie die Vorrichtung gemäß einem bevorzugten Verfahren hergestellt wird, wird nun mit Bezug auf 4 bis 13 beschrieben werden, welche Schnittansichten von verschiedenen Substraten und Schichten in der Produktion der Mikromechanik und Linse zeigen.
  • Zuerst wird eine Schicht von Linsenmaterial 30 mit einer Dicke von ungefähr 3 bis 5 μm auf einem Träger oder einem Substrat gebildet. Der Träger umfasst eine erste Siliziumschicht 32 von einer Dicke von 10 μm. Unter der ersten Siliziumschicht 32 befindet sich eine Schicht 34 von Quarz mit einer Dicke von ungefähr 1 bis 2 μm. Unter dem Quarz 34 ist eine zweite Siliziumschicht 36 von einer Dicke von 500 μm vorhanden. Unter der zweiten Siliziumschicht ist eine Schicht eines Decklagenoxids 38 vorhanden. Das Linsenmaterial 30 ist vorzugsweise in der Form von einem Polymer und in der bevorzugten Ausführungsform CYTOP. Eine Alternative zu CYTOP ist Parylene. Eine bevorzugte Weise, das Linsenmaterial aufzubringen, ist durch Spinnbeschichtung, obwohl andere Wege natürlich auch möglich sind, wie beispielsweise eine chemische Ablagerung oder eine Sprühbeschichtung. Der Träger mit Linsenmaterial 30 ist in 4 gezeigt.
  • Danach wird die Linse in dem Linsenmaterial 30 gebildet, was vorzugweise durch Prägen ausgeführt wird. Bei dem Prägen wird das Linsenmaterial auf ungefähr 80 bis 110°C erhitzt, und dann wird die Linse unter Verwendung eines Stempels geprägt. Die Linse kann zum Beispiel eine beugende Struktur aufweisen, obwohl auch andere Typen von Linsenstrukturen möglich sind, wie beispielsweise rein konvexe oder rein konkave Linsen.
  • Danach wird ein Fotoresist über dem Linsenmaterial aufgebracht, zum Beispiel AZ-4562. Das Fotoresist wird durch Fotolithografie gedruckt, das heißt, es wird bestrahlt. Nach dem Entwickeln des Fotoresists, verbleibt Resist in der Form einer Maske nur oberhalb der Bereiche, welche verbleiben sollen, das heißt, die Linse selbst. Danach folgt ein Ätzen des Linsenmaterials unter Verwendung eines O2-Plasmas, um überflüssiges Linsenmaterial zu entfernen. Nach dem Ätzen wird die Maske entfernt, zum Beispiel unter Verwendung von Aceton. Die fertiggestellte Linse 12 wird auf dem Träger belassen, was in 5 gezeigt ist. Was hier beschrieben worden ist, ist somit normale Fotolithografie.
  • Nachdem die Linse fertiggestellt worden ist, fährt das Verfahren der Produktion mit einer Metallisierung der Kontakte fort. Metall wird in der Form von Gold/Chrom oder alternativ Aluminium über dem gesamten Wafer aufgebracht, zum Beispiel durch ein Verdampfungs- oder Sputterverfahren. Metallkontakte werden danach gebildet unter Verwendung eines Fotolithographieverfahrens, das heißt, durch Legen einer Maske auf die Bereiche, welche verbleiben sollen (positives Resist). Das überflüssige Metall wird dann unter Verwendung eines geeigneten Metallätzmittels weggeätzt. 6 zeigt die Kontakte 20, welche auf diese Weise zusammen mit der Linse 12 auf dem Träger mit den zwei Siliziumschichten 32 und 36 sowie den Oxidschichten 34 und 38 vorgesehen werden.
  • Danach wird eine Öffnung durch die Rückseite des Trägers gebildet unter Verwendung von Fotolithografie oder Ätzen, das heißt durch Vorsehen einer Maske auf den äußeren Teilen des Decklagenoxids 38 und dann Wegätzen des Oxids in der Mitte. Die Maske wird nach dem Ätzen entfernt. Die Struktur nach dem Ätzen ist in 7 gezeigt.
  • Danach ist es Zeit, das mechanische Muster in der Form der Fingerstruktur zu bilden, und die elastischen Beine, welche in 1 und/oder 2 erscheinen. Die mikromechanische Struktur wird somit nun gebildet, jedoch ohne ein Freigeben der intermediären Platte. Sie kann somit noch nicht nach diesem Schritt bewegt werden. Dies wird durch Aufbringen eines Resists 40 auf die Oberseite des Trägers auf die Teile 20, 12 durchgeführt, wo das Material nicht entfernt worden ist. Das Resist wird dann angeordnet, wo das mechanische Muster erhalten werden soll. Dies ist in 8 gezeigt.
  • Nachdem solch eine Maske gebildet worden ist, wird das nicht abgedeckte Siliziummaterial weggeätzt unter Verwendung von Plasmaätzen. Wie aus 9 ersichtlich ist, ist ein großer Teil der Siliziumschicht 32 oberhalb der Oxidschicht 34 weggeätzt worden. Auf diese Weise ist die Struktur, welche in 1 und/oder 2 gezeigt ist, mit der intermediären Platte 14 und elastischen Armen 28 erhalten worden, welche die intermediäre Platte 14 mit den Seitenplatten 22 verbinden. Hiernach wird das Resist auf eine bekannte Weise abgelöst.
  • Hiernach wird eine temporäre Schutzschicht auf der Oberseite der Struktur montiert. Zuerst eine Resistschicht 42 und dann eine Siliziumschicht 44. Dies wird in der bevorzugten Ausführungsform durch "Kleben" eines Wafers durchgeführt, welcher eine Siliziumschicht 44 und eine Resistschicht 42 auf der Linse und Mikromechanik umfasst. Durch diese Operation werden die Linse 12 und Kontakte 20 mit der Hilfe der Resistschicht 42 fixiert. Hiernach folgt ein Ätzen von unterhalb, um einen Hohlraum unter der inneren Oxidschicht 34 zu bilden. Bei diesem Ätzen wirkt die untere Oxidschicht 34 als eine Maske. Danach wird ein Resist 43 durch Sprühen aufgebracht, zum Beispiel maP-215s mit Ethylacetat, auf die Unterseite mit der Ausnahme eines Bereichs direkt unterhalb der Linse, um die Bildung eines Durchgangs für einen Laserstrahl zu erlauben. Die Struktur mit dieser Resistschicht ist in 10 gezeigt.
  • Danach wird der Hohlraum bis hinauf zu der Linse 10 gebildet, zuerst durch Oxidätzen durch die Oxidschicht 34, gefolgt durch Siliziumätzen durch die intermediäre Platte 14. Das Ätzen wird normalerweise auf solch eine Weise durchgeführt, dass die gesamte Struktur in ein Oxidätzmittel getaucht wird. Nach diesem Ätzen wird die Resistschicht 43 abgelöst. Das Ergebnis hiervon ist in 11 gezeigt. Ein Lichtdurchgangskanal ist dadurch durch die mikromechanische Struktur hinauf zu der Linse gebildet worden, und der durch eine später vorgesehene optische Komponente verwendet werden kann. Die Linse hat hier als eine Ätzblende gewirkt, wodurch zusätzliche Blendenschichten unnötig werden.
  • Danach folgt ein Oxidätzen von unterhalb, so dass die unterste Oxidschicht 38 entfernt wird, und nicht abgedeckte Teile der eingebauten Oxidschicht 34 entfernt werden. Das Ergebnis ist in 12 gezeigt.
  • Schließlich wird die Resistschicht 22 durch Tauchen der Konstruktoin in Aceton entfernt. Die oberste Siliziumschicht 44 wird dann in der Form eines Wafers vorgesehen, welcher abgehoben werden kann. Das Ergebnis ist in 13 gezeigt, welche somit die endgültige mikromechanische Struktur mit der Linse zeigt.
  • Die Struktur wird in Wasser gespült, in IPA (Isopropanolalkohol) getaucht und getrocknet. Danach wird die erhaltene Struktur auf einer optischen Komponente montiert, welche das Substrat 26 ist, welches einen Laser 24, einen optischen Detektor oder eine optische Faser umfasst, in Abhängigkeit von dem Typ der Vorrichtung, welche benötigt wird, siehe 3 und die Struktur wird gebondet.
  • Eine detaillierte Beschreibung des Prägungsverfahrens wird nun mit Bezug auf 14 gegeben, welche schematisch zwei heiße Platten 50a und 50b zeigt, zwischen welchen ein Siliziumwafer 50 oder Träger angeordnet worden ist, auf welchem ein Polymerfilm aufgesponnen worden ist, und eine Nickelform 54, welche dem Linsenmaterial gegenüberliegt. Dieser Träger entspricht dem Träger, welcher in 4 gezeigt ist. Die Nickelform 54 wird als Platte gebildet, mit einem Hohlraum entsprechend der Linsenstruktur, welche die resultierende Linse aufweisen soll. Das Prägeverfahren wird auf solch eine Weise ausgeführt, dass zuerst die Nickelform 54 zwischen den beiden heißen Platten 50a und 50b eingefügt wird, und danach der Siliziumwafer 52 mit dem Linsenmaterial 30 direkt gegen die Form 54 zwischen den zwei heißen Platten 50a und 50b eingefügt wird, wobei das Linsenmaterial der Form 54 gegenüberliegt. Danach wird Druck auf die zwei heißen Platten 50a und 50b aufgebracht, was als Ergebnis liefert, dass der Wafer 52 mit Linsenmaterial 30 gegen die Form 54 gedrückt wird. Die Temperatur der heißen Platten 50a und 50b wird erhöht, was als Ergebnis liefert, dass das Linsenmaterial beginnt, aufzuweichen und sich der Form 54 anzupassen, das heißt, es wird in den Hohlraum der Form 54 gedrückt. Danach wird die Temperatur abgesenkt und der Druck wird abgesenkt, so dass der Siliziumwafer 52 mit dem Polymermaterial 30 aus der Form 54 entfernt werden kann. Auf diese Weise erhält das Linsenmaterial die invertierte Krümmung der Form, welche Krümmung in 15 gezeigt ist.
  • Die endgültige Vorrichtung kann eine Laserquelle sein, wo ein Laserstrahl, welcher durch den Laser erzeugt wird, gescannt wird, ein optischer Detektor, welcher einen Laserstrahl aufnimmt, oder eine optische Faser, welche einen Laserstrahl überträgt, der durch einen Laser erzeugt wurde, in Abhängigkeit von der Anwendung.
  • Die Vorrichtung gemäß der Erfindung weist viele Anwendungen auf. Sie kann zum Scannen eines Laserstrahls verwendet werden, was nützlich sein kann, wenn Fluoreszenz in DNA oder Zellanalysen detektiert wird. Die Erfindung kann auch verwendet werden, wenn Retinas in tragbaren Augenspiegeln getestet werden. Ein weiteres Anwendungsgebiet ist, eine oder mehrere solcher Vorrichtungen im optischen Austausch zu haben.
  • Schließlich wird das Verfahren der Produktion schematisch mit Bezug auf 16 beschrieben werden, welche ein Flussdiagramm des Verfahrens der Produktion zeigt.
  • Zuerst wird das Linsenmaterial in der Form eines Polymers auf einem Träger oder einem Substrat aufgesponnen, Schritt 56. Danach wird die Linse in das Linsenmaterial geprägt, und überschüssiges Linsenmaterial wird entfernt, Schritt 58. Die mikromechanische Struktur wird danach in dem Substrat oder Träger von der Oberseite der Struktur gebildet, das heißt, von der Seite, auf welcher die Linse angeordnet ist, Schritt 60. Dies wird gefolgt durch Bilden eines Lichtdurchgangskanals durch die Struktur oder das Substrat von der Unterseite, das heißt, hinauf zu der Linse, Schritt 62. Wenn der Lichtdurchgangskanal fertiggestellt wird, wird die intermediäre Platte freigegeben, so dass sie bewegt werden kann, Schritt 64. Schließlich wird die Linse und die mikromechanische Struktur auf einer optischen Komponente montiert und gebondet, Schritt 66.
  • Es ist offensichtlich, dass verschiedene alternative Wege des Vorsehens der mikromechanischen Struktur zu denjenigen, welche beschrieben worden sind, möglich sind. Es gibt auch mehrere alternative Wege, um das Linsenmaterial aufzubringen, als das Spinnbeschichten. Metallkontakte können zum Beispiel nachdem die mikromechanische Struktur bereits gebildet worden ist, vorgesehen werden. Der Lichtdurchgangskanal kann auch als eine Alternative durch Nassätzen anstelle von Plasmaätzen gebildet werden.
  • Das Linsenmaterial und die mikromechanische Struktur werden geeignet ausgewählt gemäß dem Wellenlängenbereich, welcher die einzusetzende optische Komponente verwendet. Das verwendete Linsenmaterial ist vorzugsweise ein Polymer.
  • Oben wurde die Bewegung der Linse in einer Dimension zwischen einer linken und einer rechten Position durch die mikromechanische Struktur beschrieben. Es ist auch möglich, die mikromechanische Struktur auf solch eine Weise vorzusehen, dass die Linse in zwei Dimensionen durch das Vorsehen eines weiteren Zahns und Hohlräumen auf den anderen Seiten der intermediären Platte bewegt werden kann.
  • Das Prägeverfahren kann auch variiert werden. Die Form muss zum Beispiel nicht eine Nickelform sein, sondern es können auch andere Metalle verwendet werden. Die Reihenfolge, in welcher die Form und das Substrat zwischen den heißen Platten eingefügt werden, kann auch variiert werden. Sie können auch gleichzeitig eingefügt werden.
  • Durch das Herstellungsverfahren gemäß der Erfindung, wobei das Bilden der Lichtformungseinheit in einem Material vor dem Bilden der mikromechanischen Struktur in einem anderen Material stattfindet, ist es möglich, eine Lichtformungseinheit mit einer darunterliegenden mikromechanischen Struktur auf eine einfache Weise zu bilden, und welches überhaupt keine schwierigen Kompatibilitätserfordernisse zwischen dem Bilden von Mikromechanik und dem Bilden der Lichtformungseinheit aufweist. Ein kostspieliges späteres Montieren von individuellen Elementen in der Lichtformungseinheit wird auch vermieden.
  • Durch Verwenden verschiedener Materialien für die Lichtformungseinheit und Mikromechanik können diese zur besten Leistung optimiert werden, in Anbetracht der optischen Eigenschaften und Robustheit/Zuverlässigkeit der Mechanik.
  • Das Material für die Lichtformungseinheit ist vorzugsweise ein Polymer und dann vorzugsweise CYTOP, was es möglich macht, die Lichtformungseinheiten durch Prägen herzustellen, eine sehr kostengünstige Technik.
  • Die Lichtformungseinheit ist in der bevorzugten Ausführungsform eine Linse. Jedoch sind andere Typen von Einheiten auch möglich, wie Gitter, ablenkende optische Komponenten, Fresnelllinsen, Phasenhologramme oder Kinoformen.
  • Der Lichtdurchgangskanal wird in der beschriebenen Ausführungsform als ein Hohlraum vorgesehen, wo Licht frei passieren kann. Er kann jedoch als Alternative in der Form eines Wellenleiters vorgesehen sein.
  • Die mikromechanische Struktur ist vorzugsweise aus Silizium gebildet, aufgrund seiner niedrigen Kosten. Andere Materialien können jedoch natürlich auch in Erwägung gezogen werden.
  • Die vorliegende Erfindung wird nur durch die folgenden Ansprüche beschränkt.

Claims (14)

  1. Verfahren zum Herstellen einer kompakten beweglichen Struktur (10) für eine Lichtformungseinheit, welches die Schritte umfasst des: Bilden einer Lichtformungseinheit (12) aus einem Material (30), welches auf einem Träger (32, 34, 36) eines anderen Materials vorgesehen wird (Schritt 58), und Bilden einer mikromechanischen Struktur (12, 16, 18, 22, 29, 28) aus dem Träger (Schritt 60), wobei das Bilden der Lichtformungseinheit stattfindet, bevor die mikromechanische Struktur gebildet wird.
  2. Verfahren gemäß Anspruch 1, welches weiterhin den Schritt des Ablagerns des Materials für die Lichtformungseinheit auf dem Träger (56) umfasst.
  3. Verfahren gemäß Anspruch 2, wobei das Material für die Lichtformungseinheit auf dem Träger gesponnen wird.
  4. Verfahren gemäß irgendeinem der vorherigen Ansprüche, wobei die Lichtformungseinheit durch Prägen gebildet wird.
  5. Verfahren gemäß irgendeinem der vorherigen Ansprüche, wobei die mikromechanische Struktur unter der Lichtformungseinheit gebildet wird.
  6. Verfahren gemäß Anspruch 5, wobei das Bilden der mikromechanischen Struktur ein Bilden der Struktur von oben umfasst.
  7. Verfahren gemäß irgendeinem der vorherigen Ansprüche, wobei das Bilden der mikromechanischen Struktur ein Bilden einer Öffnung von dem Boden des Trägers (Schritt 62) in einer Richtung zu der Lichtformungseinheit umfasst, um einen Lichtdurchgangskanal vorzusehen.
  8. Verfahren gemäß Anspruch 7, wobei die Lichtformungseinheit (12) als eine Ätzblende beim Bilden der Öffnung dient.
  9. Verfahren gemäß Anspruch 7 oder 8, wobei eine optische Komponente (24) an der Bodenseite der mikromechanischen Struktur angebracht wird (Schritt 66), um die Projektion von Licht auf oder den Empfang von Licht von der Lichtformungseinheit durch den Lichtdurchgangskanal zu ermöglichen.
  10. Verfahren gemäß irgendeinem der Ansprüche 7–9, wobei der Lichtdurchgangskanal ein Hohlraum ist.
  11. Verfahren gemäß irgendeinem der Ansprüche 7–9, wobei der Lichtdurchgangskanal ein Wellenleiter ist.
  12. Verfahren gemäß irgendeinem der vorherigen Ansprüche, wobei das Material für die Lichtformungseinheit ein Polymer ist.
  13. Verfahren gemäß irgendeinem der vorherigen Ansprüche, wobei der Träger Silizium umfasst.
  14. Verfahren gemäß irgendeinem der vorherigen Ansprüche, wobei die Lichtformungseinheit eine Linse ist.
DE60316977T 2002-11-05 2003-11-04 Verfahren zur herstellung einer beweglichen linsenstruktur für eine lichtformungseinheit Expired - Lifetime DE60316977T2 (de)

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