DE69813751T2 - Oberflächentaster mit Detektoranhebung - Google Patents

Oberflächentaster mit Detektoranhebung

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DE69813751T2
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    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Oberflächeneigenschafts-Messvorrichtung, die einen Detektor, der an seinem vorderen Ende einen Taster zum Messen der Oberflächeneigenschaft, typischerweise der Oberflächenrauhigkeit, aufweist, und eine Gleitkufe und einen Antriebsmechanismus, der bewirkt, daß der Detektor entlang einer zu messenden Oberfläche ausfährt und einfährt, umfasst, und insbesondere eine Oberflächeneigenschafts-Messvorrichtung, welche in der Lage ist, eine Nase, den Taster und die Gleitkufe zu schützen, welche aus dem Detektor bei der Vorbereitung zur Messung hervorstehen, wie z. B. beim Aufsetzen der Messvorrichtung auf einem zu messenden Gegenstand und nach dem Wegnehmen der Messvorrichtung nach der Messung.
  • Bisher wurde im grossem Umfang eine Oberflächenrauhigkeits-Messvorrichtung genutzt, die einen Taster auf eine zu messende Oberfläche aufbringt, und die Oberflächenrauhigkeit durch die Detektion einer von der Oberflächenrauhigkeitsrichtung abhängigen Auslenkung des Tasters unter Ausfahren und Einfahren eines den Taster enthaltenden Detektors entlang der zu messenden Oberfläche gemessen, um dadurch die delektierte Auslenkung in ein elektrisches Signal umzuwandeln und dann das elektrische Signal in einer vorbestimmten Weise zu verarbeiten.
  • Es wurden bereits verschiedene Detektoren für die Oberflächenrauhigkeits- Messvorrichtung vorgeschlagen.
  • Beispielsweise gibt es, wie es in Fig. 22 dargestellt und in der Japanischen Patentoffenlegung (Kokoku) Nr. 4-60523 beschrieben ist, eine Oberflächenrauhigkeits- Messvorrichtung, welche eine in einem Lager 33, welches auf einem Rahmen 32 des Antriebsmechanismus angeordnet ist, gelagerte Gleitwelle 34, und die in einer Ausfahr- und Einfahrrichtung (in der durch den Pfeil A dargestellten Richtung) eines Detektors 10 gleitet, einen antriebsseitigen Verbinder 40, der an der Gleitwelle 34 über einen Bewegungsblock 36 und eine Blattfeder 38 befestigt ist, einen Vorschubblock 44, der auf der Gleitwelle 34 über einen Verbindungsabschnitt 42 befestigt ist, um ein Ausfahren und Einfahren der Gleitwelle 34 in der durch den Pfeil A dargestellten Richtung zu bewirken, eine Vorschubspindel 46, die mit dem Vorschubblock 44 in Eingriff steht, ein Reduziergetriebe 50, das mit der Vorschubspindel 46 über eine Kupplung 48 verbunden ist, und einen Motor 52 für einen Rotationsantrieb des Reduzierungsgetriebes 50 umfasst.
  • In Fig. 22 bezeichnet das Bezugszeichen 14 einen detektorseitigen Verbindungsstift, der mit einem hinteren Ende (auf dem rechten Ende der Zeichnung) eines Gehäuses 12 des Detektors 12 verbunden ist und mit dem antriebseitigen Verbinder 40 in Eingriff steht, 18 einen Tasterarm mit einem Taster 16, welcher sich aufwärts und abwärts bewegt, während er der zu messenden Oberfläche folgt, an einem vorderen Ende davon (auf dem linken Ende der Zeichnung) und in dem Gehäuse 12 um einem Gelenkpunkt (20) als Mittelpunkt schwingt, 20 eine Blattfeder, welche im wesentlichen wie ein L geformt ist, die den Gelenkpunkt des Tasterarmes 18 bildet, 22 einen Induktions- Auslenkungsdetektor, der in der Nähe eines hinteren Ende des Tasterarms 18 zum Detektieren einer Aufwärts- und Abwärtsbewegung des hinteren Ende des Tasterhebels 18 angeordnet ist, 24 eine Gleitkufe zum Absorbieren winziger Unregelmässigkeiten in der Nachbarschaft des Tasters 16, um dadurch einen stabil gemessenen Wert zu erzielen, und 26 eine Nase zum Schützen des Tasters 16 und des Tasterarms 18.
  • Ferner ist in der vorläufigen Japanischen Gebrauchsmusterveröffentlichung (Kokai) Nr. 5-75606 ein Arm-Rückziehmechanismus beschrieben, in welchem, wenn nicht gemessen und die Messung vorbereitet wird, ein Motor 60 rotiert, wie es in Fig. 23 dargestellt ist, eine Scheibe 62 einen Nocken 62A aufweist, und dadurch bewirkt, dass der Nocken 62A eine Stange 68 anhebt, welche in einem Zwischenbereich eines Arms 66 mit einem Taster 64 an einem vorderen Ende davon angeordnet ist, was ein Zurückziehen des Arms 66 bewirkt.
  • In Fig. 23 bezeichnet ein Bezugszeichen 70 einen Gelenkpunktpunkt des Armes 76, 72 einen Auslenkungsdetektor für die Detektion einer Auslenkung eines hinteren Endes des Armes 66, 74 ein Reibungsübertragungsrad für die Übertragung der Rotation des Motors 60 in einer solchen Weise, dass es gleitet, wenn eine Belastung einen vorbestimmten Wert überschreitet.
  • Ausserdem schlägt der Anmelder in der vorläufigen Japanischen Gebrauchsmusterveröffentlichung (Kokai) Nr. 58-76107 die Bereitstellung einer Aufnahmeeinrichtung vor, welche einen sofort ansprechenden Verriegelungsmechanismus umfasst, um in einem Schutzfalle einen aus einem Tastervorstehöffnungsabschnitt vorstehenden Taster gegen eine Druckkraft einer Messdruck aufbringenden Feder aufzunehmen.
  • Der Anmelder schlägt ferner in der Japanischen Gebrauchsmusterveröffentlichung (Kokoku) No. 63-10481 eine Taster-schützende Feder vor, um einen Tasterarm durch eine Druckkraft zu drücken, welche eine Druckkraft einer Messdruck aufbringenden Feder in einer solchen Weise überwindet, dass ein Taster in einem Schutzgehäuse aufgenommen wird, und einen Elektromagneten für die Absorption der Taster-schützenden Federkraft aufgrund der in der Messung ausgeführten Erregung, um dadurch den Tasterarm von der Druckkraft der Taster-schützenden Feder zu entlasten.
  • Außerdem schlägt der Anwender in der Japanischen Gebrauchsmusterveröffentlichung (Kokoku) Nr. 63-10482 die Bereitstellung einer Aufnahmeeinrichtung vor, welche gemeinsam einen Permanentmagneten und ein Paar von Spulen verwendet, beim Messen bewirkt, dass die (Permanent)-Magnet-seitigen Endflächen der Spulen sofort zu einem N-Pol und einem S-Pol erregt werden, und dadurch zu bewirken, dass das Magnetteil von dem Tasterarm getrennt wird, wenn nicht gemessen wird, bewirkt, dass die (Pennanent)-Magnet-seitigen Endflächen der Spulen sofort auf den anderen N-Pol und S-Pol erregt werden, um dadurch zu bewirken, dass das Magnetteil den Tasterarm in eine zu der Druckrichtung der den Messdruck aufbringenden Feder entgegengesetzte Richtung drückt.
  • Jedoch benötigt alle von den Vorrichtungen eine unabhängige Energiequelle, wie z. B. einen Motor oder einen Elektromagneten, und haben somit die Probleme, dass deren Mechanismus kompliziert ist und die Zuverlässigkeit des Betriebs fraglich ist.
  • Die vorliegende Erfindung wurde gemacht, um die vorstehend erwähnten herkömmlichen Probleme zu lösen. Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine zu messende Oberfläche, eine Nase, einen Taster und eine Gleitkufe, welche aus einem Detektor hervorsteht wenn nicht gemessen wird und wenn die Messung vorbereitet wird, durch eine einfache Konstruktion und ohne das Erfordernis einer unabhängigen Energiequelle zu schützen.
  • Die Erfindung stellt eine Oberflächeneigenschafts-Messvorrichtung bereit, die einen Detektor mit einem Taster zum Messen einer Oberflächeneigenschaft; eine Gleitkufe an einem vorderen Ende derselben, einen Antriebsmechanismus, der bewirkt, dass der Detektor an einer zum messenden Oberfläche entlang ausfährt und einfährt, umfasst, wobei:
  • die Vorrichtung eine Detektor-Anhebeeinrichtung umfasst, die wenigstens das vordere Ende des Detektors anhebt, um die Gleitkufe und den Taster von der zu messenden Oberfläche zu trennen, wenn der Detektor von dem Antriebsmechanismus vollständig eingefahren wird.
  • Gemäss der in Anspruch 1 beanspruchten Erfindung wird die zu messende Oberfläche nicht durch den Taster, der die zu messende Oberfläche permanent berührt, beschädigt. Ferner sind, bei der Vorbereitung der Einstellung eines zu messenden Gegenstandes und einer Messvorrichtung, oder wenn die Messvorrichtung nach der Messung entfernt usw. wird, die Nase, der Taster und die Gleitkufe des Detektors vor einem unachtsamen Zusammenstoss mit dem zu messenden Gegenstand geschützt, was die Beschädigung der Nase, des Tasters und der Gleitkufe und auch des zu messenden Artikels verhindert. Ferner können selbst dann, wenn die Messvorrichtung durch Ungeschick zu Boden fällt, die Nase, die Gleitkufe und der Taster des Detektors geschützt werden.
  • Eine in Anspruch 2 beanspruchte Ausführungsform stellt eine Oberflächeneigenschafts- Messvorrichtung bereit, in welcher die Detektor-Anhebeeinrichtung eine Detektor- Anhebeplatte umfasst, die mit einem Teil eines Elementes in Eingriff kommt, das sich bewegt, wenn der Detektor ausfährt und einfährt, um so den Detektor anzuheben.
  • Eine in Anspruch 3 beanspruchte Ausführungsform stellt eine Oberflächeneigenschafts- Messvorrichtung bereit, in welcher der Detektor von dem Antriebsmechanismus durch Verbinder abgenommen werden kann, und ein winkelartiger Vorsprung, der mit der Detektor-Anhebeplatte in Eingriff kommt, außerhalb eines Antriebsseitengehäuses des Verbinders angeordnet ist.
  • Eine in Anspruch 4 beanspruchte Ausführungsform stellt eine Oberflächeneigenschafts- Messvorrichtung bereit, in welcher die Position der Detektor-Anhebeplatte in einer Ausfahr-und-Einfahr-Richtung des Detektors verstellt werden kann.
  • Eine in Anspruch 5 beanspruchte Ausführungsform stellt eine Oberflächeneigenschafts- Messvorrichtung bereit, die einen Abschnitt für elektrische Einrichtungen umfasst, der den Antriebsmechanismus aufnimmt, wobei der gesamte Detektor in dem Abschnitt für elektrische Einrichtungen aufgenommen ist, wenn der Detektor einfährt.
  • Eine in Anspruch 6 beanspruchte Ausführungsform stellt eine Oberflächeneigenschafts- Messvorrichtung bereit, in welcher der gesamte Detektor in dem Antriebsmechanismus aufgenommen ist, wenn der Detektor einfährt.
  • Diese und weitere neue Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden beschrieben, oder werden aus der nachstehenden detaillierten Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen ersichtlich.
  • Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht, welche den Aufbau eines Hauptteils einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt;
  • Fig. 2 ist eine Seitenansicht, betrachtet aus der durch den Pfeil II in Fig. 1 dargestellten Richtung;
  • Fig. 3 ist eine Längsschnittansicht, von der Vorderseite eines Antriebsmechanismus aus Betrachtet, an welchem ein Detektor gemäss der ersten Ausführungsform befestigt ist;
  • Fig. 4 ist eine Längsschnittansicht derselben, betrachtet von oben;
  • Fig. 5 ist eine Längsschnittansicht derselben, betrachtet von unten;
  • Fig. 6 ist eine Seitenschnittansicht entlang der Linie VI-VI in Fig. 4;
  • Fig. 7 ist eine Seitenschnittansicht entlang der Linie VII-VII in Fig. 4;
  • Fig. 8 ist eine Seitenschnittansicht entlang der Linie VIII-VIII in Fig. 4;
  • Fig. 9 ist eine perspektivische Ansicht einer in der ersten Ausführungsform verwendeten Detektor-Anhebeplatte, welche nützlich zur Erläuterung der Form der Detektor- Anhebeplatte ist;
  • Fig. 10 ist eine Vorderansicht, welche einen Zustand darstellt, in welchem der Antriebsmechanismus der ersten Ausführungsform in einem Abschnitt für elektrischen Einrichtungen enthalten ist;
  • Fig. 11 ist eine Draufsicht auf dasselbe;
  • Fig. 12 ist eine Unteransicht desselben;
  • Fig. 13 ist ein Blockschaltbild, welche den Aufbau des Abschnittes für elektrische Einrichtungen darstellt;
  • Fig. 14 ist eine Vorderansicht, welche einen Zustand mit befestigtem Nasenstück in der ersten Ausführungsform darstellt;
  • Fig. 15 ist eine linke Seitenansicht eines Nasenstückes zur Zylindermessung, welche nützlich bei der Erläuterung der vorderen Form des Nasenstückes ist;
  • Fig. 16 ist eine linke Seitenansicht eines Nasenstückes zur Ebenenmessung, welche nützlich für die Erläuterung der vorderen Form des Nasenstückes ist;
  • Fig. 17 ist eine perspektivische Explosionsansicht des Nasenstückes für die Zylindermessung;
  • Fig. 18 ist eine perspektivische Ansicht, welche das Nasenstück zur Zylindermessung im befestigten Zustand zeigt;
  • Fig. 19 ist eine perspektivische Explosionsansicht des Nasenstückes zur Ebenenmessung;
  • Fig. 20 ist eine perspektivische Ansicht, welche das Nasenstück zur Ebenenmessung im befestigten Zustand darstellt;
  • Fig. 21 ist eine Längsschnittansicht, betrachtet von der Vorderseite eines Antriebsmechanismus in einer zweiten Ausführungsform der Erfindung;
  • Fig. 22 ist eine Schnittansicht einer Anordnung einer in der Japanischen Gebrauchsmusterveröffentlichung (Kokoku) No. 4-60523 vorgeschlagenen stationären Oberflächenrauhigkeits-Messvorrichtung; und
  • Fig. 23 ist eine perspektivische Ansicht eines in der Japanischen Gebrauchsmusterveröffentlichung (Kokoku) No. 5-75606 vorgeschlagenen Einziehmechanismus.
  • Auf eine stationäre tragbare Oberflächenrauhigkeits-Messvorrichtung angewendete Ausführungsformen werden hierin nachstehend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.
  • Ein Antriebsmechanismus 100 gemäss der vorliegenden Ausführungsform weist eine Hauptwelle 104, eine Hilfswelle 106, welche in einem Rahmen 102 des Antriebsmechanismus 100 fixiert sind, einen Gleitblock 108, welcher im wesentlichen wie ein in der Ausfahr- und Einfahrrichtung verlängertes 0 (in der durch den Pfeil A dargestellten Richtung) eines Detektors ausbildet ist, der auf den Wellen 104, 106 gleitet, wobei die Hauptwelle 104 bei zwei von einer vorderen und hinteren Stelle davon durchgeführt ist, eine Zwischenverbindungsstange 110 und eine Vorschubmutter 112, welche das Ausfahren und Einfahren des Gleitblockes 108 entlang der Wellen 104, 106 bewirkt, eine Vorschubspindel 118, die mit der Vorschubmutter 112 in Schraubeingriff steht, und einen Getriebemotor 118 zum Drehen der Vorschubspindel 114 über eine flexible Kupplung 116 auf.
  • Wie in Fig. 2 im Detail dargestellt, ist eine Detektorhalterung 108A an einem hinteren Ende des Gleitblockes 108 ausgebildet, und an einer unteren Seite des Gleitblockes 108 sind mittels Schrauben 112 sowohl eine Blattfeder 152, die an einem hinteren Ende eines Verbindergehäuses 150 für das Unterbringen eines Detektors 200 für die Bereit stellung eines Gleitkufendruckes angebracht ist, als auch eine Wellenunterstützungsplatte 120 für das Andrücken einer unteren Oberfläche der Hilfswelle 106 befestigt. Ferner ist eine Blattfeder 126, auf welcher sich eine Gleitplatte 124 zum Andrücken der Oberseite der Hilfswelle 106 befindet, auf einer Oberseite der Detektorhalterung 108A durch Schrauben 128 befestigt.
  • Gemäss Darstellung in Fig. 5 ist eine in Fig. 9 dargestellte L-förmige Detektor- Anhebeplatte 140 an dem Rahmen 102 durch Schrauben 142 befestigt. Die Detektor- Anhebeplatte 140 ist so angepasst, dass ein Eingriffsabschnitt 140A davon in einen winkelartigen Vorsprung 150A eingreift, welcher auf einer Aussenseitenfläche des Verbindergehäuses 150 bei einer Einfahrstelle des Detektors 200 in der Nähe seiner Einfahrgrenzposition ausgebildet ist. Daher läuft an der Einfahrstelle des Detektors 200 der Vorsprung 150A des Verbindergehäuses 150 auf den Eingriffsabschnitt 140A der Detektor-Anhebeplatte 140, und bewirkt dadurch, dass das Verbindergehäuse 150 mit einer Blattfeder 152 als ein Mittelpunkt angehoben wird, was bewirkt, dass der an einem vorderen Ende des Detektors 200 angeordnete Taster 202 und die Gleitkufe 204 von der zu messenden Oberfläche getrennt werden, und somit verhindert wird, dass diese von einer Unterseite des Antriebsmechanismus 100 nach unten vorstehen.
  • Ein Schraubenloch 14B zum Befestigen der Detektor-Anhebeplatte 140 ist, wie in Fig. 9 dargestellt, in einer Ausfahr-Einfahr-Richtung des Detektors 200 gestreckt dargestellt. Somit ermöglicht eine Einstellung der Befestigungsposition der Detektor-Anhebeplatte 140 das Einstellen einer solche Lage, dass ein Kopf des Detektors 200 mit dem Anheben beginnt, was verhindert, dass der Kopf des Detektors 200 mit dem Antriebsmechanismus, dem Abschnitt für elektrischen Einrichtungen und einem oberen Abschnitt eines Einlasses für den Detektor kollidiert, wenn sich der Detektor zurückzieht, um dadurch den Kopf anzuheben.
  • In Fig. 1 bis 3 bezeichnet ein Bezugszeichen 101 ein Gehäuse eines Antriebsmechanismus, 130 einen Schaltstift, welcher aufrecht in den Gleitblock 108 eingesetzt ist; 132 und 143 einen vorderen und einen hinteren Endschalter, welche mit dem Schaltstift 130 in Eingriff stehen, um den Getriebemotor 118 zu stoppen oder umzukehren; 154 einen antriebseitigen Verbinder, der in dem Verbindergehäuse 150 enthalten ist; 206 einen detektorseitigen Verbinderstift, der in den antriebsseitigen Verbinder 154 eingesetzt ist; 208 ein Verbindergehäuse des Detektors, und 210 eine Nase desselben.
  • Der Antriebsmechanismus 100 kann in einem Abschnitt 300 für elektrische Einrichtungen gemäss Darstellung in den später beschriebenen Fig. 10 und 12 enthalten sein. Auf einem hinteren Ende des Antriebsmechanismus 100 ist ein Verbinder 136 auf der Seite der elektrischen Einrichtungen elektrisch mit dem Abschnitt 300 für elektrische Einrichtungen verbunden, und ein Abschnitt zwischen dem Verbinder 136 auf der Seite der elektrischen Einrichtungen und dem antriebseitigen Verbinder 154 ist mittels eines dünnen flexiblen gedruckten Leiterplattensubstrats (FBC) 138 mit einer Dicke von beispielsweise etwa 0,2 mm durch das Verbindergehäuse 150 hindurch verdrahtet.
  • Der Abschnitt 300 für elektrische Einrichtungen umfasst hauptsächlich gemäss Darstellung in Fig. 10 (Vorderansicht), Fig. 11 (Draufsicht), Fig. 12 (Bodenansicht) und Fig. 13 (Blockschaltbild) eine Signalverarbeitungsschaltung 304 zum Verarbeiten eines Signals auf, welches von den Detektor 200 der in dem Antriebsmechanismus 100 enthalten ist, über ein Kabel 302 erhalten wird, das mit dem Verbinder 136 auf der Seite der elektrischen Einrichtungen verbunden ist, eine Messchaltung 306 zum Erzielen einer verschiedenen Arten von Parameter entsprechenden Oberflächenrauhigkeit auf der Basis des Signals aus der Signalverarbeitungsschaltung 304, eine digitale Anzeigeeinrichtung 308 zum Anzeigen des durch die Messchaltung 306 erhaltenen gemessenen Wertes, eine Treiberschaltung 310 zum Ansteuern des Getriebemotors 118 in der Antriebsvorrichtung 100 über das Kabel 302, eine Steuerschaltung 312 zum Steuern der Treiberschaltung 310, der Messchaltung 306 und der digitale Anzeigeeinrichtung 308, und eine elektrische Energieversorgungsschaltung 314 zur Zuführung von elektrischer Energie zu den jeweiligen vorstehenden Schaltungen.
  • Die durchgezogene Linie in der Zeichnung stellt die Position eines vorderen Endes des Detektors 200 freiliegend während der Messung dar, und die einfach punktierte Kettenlinie stellt die Position des vorderen Endes des Detektors 200 freiliegend dar, wenn diese in dem Abschnitt für elektrischen Einrichtungen 300 untergebracht ist.
  • In Fig. 11 bezeichnet das Bezugszeichen 320 einen Schalter für die elektrische Energieversorgung, 322 einen Startschalter und 324 einen Parameterauswahlschalter.
  • Gemäss Darstellung in Fig. 14 ist ein Nasenstück 160 zum Schützen des vorderen Endes des Detektors 200, usw. an einem vorderen Ende des Antriebsmechanismus 100 angeordnet. Das Nasenstück 160 enthält ein Nasenstück 160A für Zylindermessung, welches in seiner vorderen unteren Form gemäss Darstellung in Fig. 15 konkav ist, und ein Nasenstück 160B für Ebenenmessung, welches in seiner vorderen unteren Form gemäss Darstellung in Fig. 16 konvex ist. Das Nasenstück 160A für Zylindermessung ist an dem Antriebsmechanismus 100 durch Schrauben 162 gemäss Darstellung in Fig. 17 (eine perspektivische Explosionsansicht) und Fig. 18 (eine perspektivische Ansicht des Zustands mit befestigtem Nasenstück), und an dem Nasenstück 160B für die Ebenenmessung gemäss Darstellung in Fig. 19 (eine perspektivische Explosionsansicht) und Fig. 20 (eine perspektivische Ansicht des Zustandes mit angebrachtem Nasenstück) befestigt.
  • Die Verwendung eines derartigen Nasenstückes 160 macht es für das vordere Ende des Detektors 200 usw. schwierig, dass es durch eine externe Kraft ausser von der zu messenden Oberfläche aus während des Messens beeinflusst wird, was somit zu einem ausreichenden Schutz des Detektors 200 führt; jedoch ragt das vordere Ende (die Gleitkufe 204 und der Taster 202) des Detektors 200 gemäss Darstellung in Fig. 14 aus der zu messenden Oberfläche während des Transportes vor, und bewirken dadurch möglicherweise Beschädigungen ohne Schutz. Dagegen verändert gemäss der Erfindung das Trennen des vorderen Endes des Detektors 200 von der zu messenden Oberfläche und somit das Einfahren dieses, dass das vordere Ende des Detektors 200 aus der zu messenden Oberfläche hervorsteht, und damit zu bewirken, dass das vordere Ende des Detektors 200 in dem Nasenstück 160 aufgenommen wird, welches einen sicheren Schutz auch dann realisiert, wenn der Detektor transportiert wird usw..
  • Beim Messen wird dem zu messenden Objekt entsprechend, wie es in Fig. 10 bis 12 dargestellt ist, ausgewählt, ob der Antriebsmechanismus 100 in einer solchen Weise verwendet wird, dass er in dem Abschnitt 300 für elektrische Einrichtungen untergebracht ist, oder der Antriebsmechanismus 100 unabhängig in einer solchen Weise verwendet wird, dass er von dem Abschnitt 300 für elektrischen Einrichtungen getrennt wird. Beispielsweise wird beim Messen einer Innenoberfläche eines kleines Loches die Messung mit entferntem Antriebsmechanismus 100 durchgeführt, da der Abschnitt 300 für elektrische Einrichtungen hinderlich ist, und mit dem Antriebsmechanismus 100 mit dem Abschnitt für elektrischen Einrichtungen 300 vereint in den anderen Fällen.
  • Konkret gesagt, wird der Taster 202 des Detektors 200 mit einer zu messenden Oberfläche in Kontakt gebracht, der Schalter 320 für die elektrische Energieversorgung eingeschaltet, und der Startschalter 320 gedrückt. Dann veranlasst die Steuerschaltung 312 den Getriebemotor 118 sich über die Ansteuerschaltung 310 zu drehen. Wenn die Drehung des Getriebemotors 118 das Drehen der Vorschubspindel 114 bewirkt, wird der Gleitblock 108 in einer axialen Richtung der Vorschubspindel 114 bewegt; daher wird der Taster 202 des Detektors 200 nach oben und unten gemäss der Oberflächenrauhigkeit eines zu messenden Artikels ausgelenkt.
  • Die Auslenkung des Tasters 202 wird durch den Detektor 200 in ein elektrisches Signal umgewandelt und dann an die Signalverarbeitungsschaltung 304 über ein Kabel 302 übertragen. Danach wird das verarbeitete Signal an die Messchaltung 306 übertragen. Die Messchaltung 306 erhält die Oberflächenrauhigkeit auf der Basis des von der Signalverarbeitungsschaltung 304 übertragenen Signals gemäss den von der Steuerschaltung 312 vorgegebenen Parametern und stellt sie auf der digitalen Anzeigeeinrichtung 308 dar.
  • Andererseits werden während des Einfahrens vor der Messung oder nach der Messung, das Verbindergehäuse 150 und der damit verbundene Detektor 200 tief bis zum äussersten Punkt in dem Antriebsmechanismus 100 durch eine Einfahranweisung zurückgezogen. Dann läuft der auf der Aussenseite des Verbindergehäuses 150 angeordnete Vorsprung 150A auf den Eingriffsabschnitt 140A der Detektor-Anhebeplatte 140, und bewirkt damit das Anheben des vorderen Endes des Detektors 200 mit der Blattfeder 152 als ein Mittelpunkt, was bewirkt, dass der Taster 202 und die Gleitkufe 204 von der zu messenden Oberfläche getrennt werden. Dies verhindert, dass der Taster permanent die zu messende Oberfläche berührt, und verhindert dadurch, dass die Oberfläche eines zu messenden Gegenstandes beschädigt wird. Ferner wird bei der Vorbereitung der Rauhigkeitsmessung der Rauhigkeits-Messvorrichtung und bei der Entfernung der Rauhigkeits-Messvorrichtung nach der Messung die Nase 210, der Taster 202 und die Gleitkufe 204 daran gehindert, unachtsam mit dem zu messenden Gegenstand zu kollidie ren, was verhindert, dass diese Komponenten und der zu messende Gegenstand beschädigt werden.
  • Gemäss dieser Ausführungsform wird der Detektor 200 tief bis zu dem äussersten Punkt in dem Antriebsmechanismus 100 zurückgezogen und dann der gesamte Detektor in dem elektrischen Vorrichtungsabschnitt 300 aufgenommen, wenn er sich in einer zurückgezogenen Position befindet, was es ermöglicht, dass die Nase, die Gleitkufe und der Taster des Detektors selbst dann geschützt werden, wenn die Messvorrichtung unachtsam mit einem bestimmten Objekt kollidiert oder zu fallen gelassen wird.
  • Diese Ausführungsform weist eine solche Aufnahmekonstruktion auf, dass der gesamte Detektor nicht in dem Antriebsmechanismus, sondern in dem Abschnitt 300 für elektrische Einrichtungen aufgenommen wird, was verhindert, dass der Antriebsmechanismus gross wird.
  • Anschliessend wird eine Oberflächenrauhigkeits-Messvorrichtung gemäss einer zweiten Ausführungsform der Erfindung, in welcher der gesamte Detektor in dem Antriebsmechanismus aufgenommen wird, hierin nachstehend beschrieben.
  • In der Oberflächenrauhigkeits-Messvorrichtung gemäss der zweiten Ausführungsform erstreckt sich das Gehäuse 101 des Anzeigeeinrichtung 100 nach vorne, so dass der Taster 202 und die Gleitkufe 204 des vorderen Endes des Detektors 200 vollständig in dem Antriebsmechanismus 100 aufgenommen sind, wenn sie sich in einer zurückgezogenen Position befinden.
  • Gemäss dieser Ausführungsform kann die Nase 210, der Taster 202 und die Gleitkufe 204 des Detektors 200 selbst dann geschützt werden, wenn der Antriebsmechanismus 100 unabhängig transportiert und unachtsam mit einem bestimmten Objekt kollidiert, oder fallen gelassen wird.
  • Gemäss allen vorstehend erwähnten Ausführungsformen macht das Anheben des Detektors 200 mit der Blattfeder 152 als Mittelpunkt, die Konstruktion durch eine Kombination der Detektor-Anhebeplatte 140 und des winkelartigen Vorsprungs 150A, der auf der Aussenseite des Verbindergehäuses 150 angeordnet ist, einfach. Ferner ist die Kon struktion der Anhebung des Detektors beim Zurückziehen des Detektors nicht auf die vorstehende beschränkt.
  • In jeder von den Ausführungsformen wird die Erfindung auf die stationäre tragbare Oberflächenrauhigkeits-Messvorrichtung angewendet, wobei aber die Anwendung der Erfindung nicht darauf beschränkt ist, und somit die Erfindung beispielsweise für Konturmessvorrichtungen und Oberflächenrauhigkeitsprüfungen, welche für dreidimensionale Koordinatenmessmaschinen verwendet werden, angewendet werden kann.

Claims (6)

1. Oberflächeneigenschafts-Messvorrichtung, die einen Detektor (200) mit einem Taster (202) zum Messen einer Oberflächeneigenschaft, eine Gleitkufe (204) an einem vorderen Ende derselben, einen Antriebsmechanismus (100), der bewirkt, dass der Detektor (200) an einer zum messenden Oberfläche entlang ausfährt und einfährt, umfasst, wobei:
die Vorrichtung eine Detektor-Anhebeeinrichtung (140) umfasst, die wenigstens das vordere Ende des Detektors (200) anhebt, um die Gleitkufe (204) und den Taster (202) von der zu messenden Oberfläche zu trennen, wenn der Detektor (200) von dem Antriebsmechanismus vollständig eingefahren wird.
2. Oberflächeneigenschafts-Messvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Detektor- Anhebeeinrichtung eine Detektor-Anhebeplatte (140) umfasst, die mit einem Teil eines Elementes (150) in Eingriff kommt, das sich bewegt, wenn der Detektor (200) ausfährt und einfährt, um so den Detektor (200) anzuheben.
3. Oberflächeneigenschafts-Messvorrichtung nach Anspruch 2, wobei der Detektor (200) von dem Antriebsmechanismus (100) durch Verbinder (154, 208) abgenommen werden kann, und ein winkelartiger Vorsprung (150A), der mit der Detektor- Anhebeplatte (140) in Eingriff kommt außerhalb eines Antriebsseitengehäuses (150) des Verbinders (154) angeordnet ist.
4. Oberflächeneigenschafts-Messvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Position der Detektor-Anhebeplatte (140) in einer Ausfahr-und-Einfahr-Richtung des Detektors (200) verstellt werden kann.
5. Oberflächeneigenschafts-Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, die des Weiteren einen Abschnitt (300) für elektrische Einrichtungen umfasst, der den Antriebsmechanismus (100) aufnimmt, wobei der gesamte Detektor (200) in dem Abschnitt (300) für elektrische Einrichtungen aufgenommen ist, wenn der Detektor (200) einfährt.
6. Oberflächeneigenschafts-Messvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei der gesamte Detektor (200) in dem Antriebsmechanismus (100) aufgenommen ist, wenn der Detektor (200) einfährt.
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3373465B2 (ja) 1999-11-01 2003-02-04 株式会社ミツトヨ 表面性状測定機
JP3474504B2 (ja) * 1999-11-01 2003-12-08 株式会社ミツトヨ 駆動装置
US6954987B2 (en) * 2003-05-22 2005-10-18 Powerwave Technologies, Inc. Method of interconnecting a circuit board to a substrate
DE102005035786B3 (de) * 2005-07-27 2007-01-04 Carl Mahr Holding Gmbh Rauheitstaster
JP5331645B2 (ja) * 2009-10-13 2013-10-30 株式会社ミツトヨ 検出器、及び測定機
US8413492B1 (en) 2009-10-23 2013-04-09 Honda Motor Co., Ltd. Cylinder sleeve surface measurement assembly
JP6104557B2 (ja) 2012-10-18 2017-03-29 株式会社ミツトヨ 表面粗さ測定ユニット、三次元測定装置
JP5846462B1 (ja) * 2014-10-28 2016-01-20 株式会社東京精密 形状測定装置
WO2019155845A1 (ja) * 2018-02-09 2019-08-15 コニカミノルタ株式会社 倣い装置
KR101888466B1 (ko) * 2018-02-12 2018-08-16 황재은 형상측정기
GB2582375B (en) * 2019-03-22 2022-07-06 Taylor Hobson Ltd Metrological apparatus and method of manufacture
JP7448323B2 (ja) 2019-09-06 2024-03-12 株式会社ミツトヨ 粗さ測定機

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2654421C2 (de) * 1976-12-01 1985-06-27 Hommelwerke GmbH, 7730 Villingen-Schwenningen Meßvorrichtung zur Messung der Oberflächenbeschaffenheit eines Werkstücks
JPS5876107A (ja) * 1981-10-31 1983-05-09 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 軟泥沈降処理装置
GB2192062B (en) * 1986-06-27 1990-02-28 Rank Taylor Hobson Ltd Metrological apparatus
JPS6310482A (ja) * 1986-06-28 1988-01-18 富士通株式会社 コネクタの接続方法
JPS6310481A (ja) * 1986-06-30 1988-01-18 ヒロセ電機株式会社 コンデンサ入り電気コネクタ
JP2675179B2 (ja) * 1990-06-29 1997-11-12 浜松ホトニクス株式会社 偏光子
DE4129687C2 (de) * 1991-09-08 2002-11-14 Helmut Fischer Gmbh & Co Vorrichtung zur Messung der Dicke dünner Schichten
JPH0575606A (ja) * 1991-09-17 1993-03-26 Nec Corp 相手先アドレス集約登録方式
GB2281779B (en) * 1993-09-14 1997-04-23 Rank Taylor Hobson Ltd Metrological instrument

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