DK0959333T3 - Fremgangsmåde til detektering af vibrationsbölge og vibrationsbölgedetektor - Google Patents

Fremgangsmåde til detektering af vibrationsbölge og vibrationsbölgedetektor

Info

Publication number
DK0959333T3
DK0959333T3 DK99110076T DK99110076T DK0959333T3 DK 0959333 T3 DK0959333 T3 DK 0959333T3 DK 99110076 T DK99110076 T DK 99110076T DK 99110076 T DK99110076 T DK 99110076T DK 0959333 T3 DK0959333 T3 DK 0959333T3
Authority
DK
Denmark
Prior art keywords
vibration wave
detecting
detector
wave detector
detecting vibration
Prior art date
Application number
DK99110076T
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeru Ando
Muneo Harada
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electron Ltd filed Critical Tokyo Electron Ltd
Application granted granted Critical
Publication of DK0959333T3 publication Critical patent/DK0959333T3/da

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H11/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties
    • G01H11/06—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means
    • G01H11/08—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means using piezoelectric devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H3/00—Measuring characteristics of vibrations by using a detector in a fluid
    • G01H3/04—Frequency
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H1/00—Measuring characteristics of vibrations in solids by using direct conduction to the detector
    • G01H1/04—Measuring characteristics of vibrations in solids by using direct conduction to the detector of vibrations which are transverse to direction of propagation
    • G01H1/06—Frequency

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
DK99110076T 1998-05-22 1999-05-22 Fremgangsmåde til detektering af vibrationsbölge og vibrationsbölgedetektor DK0959333T3 (da)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14191598 1998-05-22
JP12530399A JP3348686B2 (ja) 1998-05-22 1999-04-30 振動波検出方法及び装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DK0959333T3 true DK0959333T3 (da) 2008-05-13

Family

ID=26461771

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DK99110076T DK0959333T3 (da) 1998-05-22 1999-05-22 Fremgangsmåde til detektering af vibrationsbölge og vibrationsbölgedetektor

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6079274A (da)
EP (1) EP0959333B1 (da)
JP (1) JP3348686B2 (da)
KR (1) KR100354976B1 (da)
AU (1) AU746037B2 (da)
DE (1) DE69937858T2 (da)
DK (1) DK0959333T3 (da)
TW (1) TWI243238B (da)

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3348687B2 (ja) * 1998-05-22 2002-11-20 住友金属工業株式会社 振動波検出方法及び装置
US6360611B1 (en) * 2000-04-21 2002-03-26 Kohji Toda Device for ultrasound radiation into a material
US6600389B2 (en) * 2001-05-30 2003-07-29 Intel Corporation Tapered structures for generating a set of resonators with systematic resonant frequencies
DE10129456A1 (de) * 2001-06-19 2003-01-09 Fraunhofer Ges Forschung Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung und Analyse von Schallsignalen
US7444877B2 (en) * 2002-08-20 2008-11-04 The Regents Of The University Of California Optical waveguide vibration sensor for use in hearing aid
KR100583103B1 (ko) 2002-12-31 2006-05-23 주식회사 하이닉스반도체 반도체 소자의 제조 방법
US7088031B2 (en) * 2003-04-22 2006-08-08 Infinite Power Solutions, Inc. Method and apparatus for an ambient energy battery or capacitor recharge system
US20080178682A1 (en) * 2005-01-10 2008-07-31 The Regents Of The University Of California Resonator circuit having reduced effects of parasitic feed-through capacitance
JP2006200976A (ja) * 2005-01-19 2006-08-03 Denso Corp 超音波センサ
US7559242B2 (en) * 2005-03-31 2009-07-14 Intel Corporation Silicon micromachined ultra-sensitive vibration spectrum sensor array (VSSA)
US7600429B2 (en) * 2006-04-20 2009-10-13 Intel Corporation Vibration spectrum sensor array having differing sensors
JP4539920B2 (ja) * 2006-05-12 2010-09-08 国立大学法人 東京大学 振動波検出方法及び装置
JP2008008683A (ja) * 2006-06-27 2008-01-17 Univ Of Tokyo 振動波検出方法及び装置
JP2008139136A (ja) * 2006-12-01 2008-06-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 力学量センサおよびその製造方法
KR100999838B1 (ko) 2008-05-09 2010-12-09 한국과학기술원 다중외팔보 mems 센서의 제조방법 및 다중외팔보 mems 센서를 이용한 음원위치 추정방법
EP2442445B1 (en) * 2010-10-12 2013-12-11 Nxp B.V. MEMS oscillator
US9105751B2 (en) 2011-11-11 2015-08-11 International Business Machines Corporation Integrated semiconductor devices with single crystalline beam, methods of manufacture and design structure
US8546240B2 (en) 2011-11-11 2013-10-01 International Business Machines Corporation Methods of manufacturing integrated semiconductor devices with single crystalline beam
US8629036B2 (en) 2011-11-11 2014-01-14 International Business Machines Corporation Integrated semiconductor devices with amorphous silicon beam, methods of manufacture and design structure
KR102207928B1 (ko) * 2014-08-13 2021-01-26 삼성전자주식회사 음향 센싱 소자 및 주파수 정보 획득 방법
KR102454950B1 (ko) * 2015-12-11 2022-10-14 삼성전자주식회사 분광기 및 분광기를 포함하는 이미지 센서
JP7030331B2 (ja) * 2018-03-28 2022-03-07 リバーエレテック株式会社 Ａｅセンサ素子及びａｅセンサ
KR102692565B1 (ko) * 2018-11-20 2024-08-07 삼성전자주식회사 공진기, 이를 포함하는 공진기 시스템 및 공진기 제조 방법
KR102827125B1 (ko) * 2020-09-17 2025-07-03 삼성전자주식회사 공진기 및 차동 증폭기를 포함하는 센서 인터페이스
KR20230069710A (ko) * 2021-11-12 2023-05-19 삼성전자주식회사 지향성 음향 센서

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3614678A (en) * 1967-08-11 1971-10-19 Gen Electric Electromechanical filters with integral piezoresistive output and methods of making same
DE3731196A1 (de) * 1987-09-17 1989-03-30 Messerschmitt Boelkow Blohm Frequenzselektiver schallwandler
US5001933A (en) * 1989-12-26 1991-03-26 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Micromechanical vibration sensor
US5856722A (en) * 1996-01-02 1999-01-05 Cornell Research Foundation, Inc. Microelectromechanics-based frequency signature sensor

Also Published As

Publication number Publication date
KR19990088491A (ko) 1999-12-27
JP2000046639A (ja) 2000-02-18
EP0959333B1 (en) 2008-01-02
EP0959333A2 (en) 1999-11-24
KR100354976B1 (ko) 2002-10-05
JP3348686B2 (ja) 2002-11-20
AU3121899A (en) 1999-12-02
EP0959333A3 (en) 2003-01-15
TWI243238B (en) 2005-11-11
DE69937858D1 (de) 2008-02-14
US6079274A (en) 2000-06-27
DE69937858T2 (de) 2009-01-02
AU746037B2 (en) 2002-04-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DK0959333T3 (da) Fremgangsmåde til detektering af vibrationsbölge og vibrationsbölgedetektor
DK0881477T3 (da) Vibrationsbölgedetekteringsfremgangsmåde og vibrationsbölgedetektor
DK132097A (da) Indretning og fremgangsmåde til udførelse af borehulsfunktioner.
TW390438U (en) Vibration wave detecting method and vibration wave detector
NO330995B1 (no) Fremgangsmate og anordning for akustisk logging
DK0815450T3 (da) Forbindelser og fremgangsmåder til påvisning af T. Cruzi infektion
NO983366D0 (no) FremgangsmÕte og anordning for bestemmelse av banen til borehull
DK0821234T3 (da) Diagnostisk testbærer med et flerlags-testfelt og fremgangsmåde til bestemmelse af analyter ved anvendelse heraf
NO20003724L (no) FremgangsmÕte og anordning ved veiing
NO20012034D0 (no) Anordning og fremgangsmåte til NMR-logging for fluidtypebestemmelse
DK0900918T3 (da) Fremgangsmåde og apparatur til undertrykkelse af borestrengvibrationer
NO972578L (no) FremgangsmÕte og anordning for forsegling
NO990043L (no) Seismisk deteksjonsapparat og fremgangsmÕte
NO20012289D0 (no) Anordning og fremgangsmåte for innretting
DK0701128T3 (da) Anordning til petrofysiske målinger og fremgangsmåde til udførelse af disse
DE69906870D1 (de) Nachweisvorrichtung und Nachweismethode
DK1123582T3 (da) Anordning og fremgangsmåde til elimination af interferens
DK1337547T3 (da) Nuklease-baseret fremgangsmåde til detektion og kvantificering af oligonukleotider
DK0913708T3 (da) Elektromagnetisk signalopsamlingsapparat og fremgangsmåde til brug af samme
DK0999025T3 (da) Fremgangsmåde til fremstilling af profilerede og laminerede materialer
NO992823L (no) Sammenfoldbar kutteapparatur og fremgangsmåte for kutting av rörelementer
NO20015089L (no) System og fremgangsmåte for konvertert-bölge-analyse
DK0947885T3 (da) Fotofølsomt materialebehandlingsapparatur og tætningsstruktur til behandlingsdelen af apparaturet
DK0955759T3 (da) Fremgangsmåde og arrangement til evaluering af hjemmesidebesøg
NO991275D0 (no) FremgangsmÕte og anordning for inspeksjon av en gjenstand