EP0146685A2 - Getter-Sorptionspumpe mit Wärmespeicher für Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen - Google Patents

Getter-Sorptionspumpe mit Wärmespeicher für Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen Download PDF

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EP0146685A2
EP0146685A2 EP84109515A EP84109515A EP0146685A2 EP 0146685 A2 EP0146685 A2 EP 0146685A2 EP 84109515 A EP84109515 A EP 84109515A EP 84109515 A EP84109515 A EP 84109515A EP 0146685 A2 EP0146685 A2 EP 0146685A2
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EP
European Patent Office
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getter
sorption pump
heating element
gas
pump
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EP84109515A
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EP0146685A3 (de
Inventor
Heinz Ing. grad. Mägdefessel
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Siemens AG
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens AG
Siemens Corp
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Publication date
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Publication of EP0146685A3 publication Critical patent/EP0146685A3/de
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/02Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by absorption or adsorption
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J7/00Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J7/14Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H01J7/18Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering

Definitions

  • the invention has for its object to increase the specific performance of getter pumps with a simultaneous reduction in the required heating output and to stabilize them over the long term with the aid of heat storage.
  • the pumping speed of a getter body increases with its surface, i.e. also with its porosity, but the capacity with its mass. Both factors together determine the temporal stability over the amount of gas sorbed. Furthermore, this stability is influenced by the working temperature depending on the type of gas. Highly porous bodies lose mechanical strength with increasing mass. The gases with a suitable mesh size proposed in the invention nevertheless allow the use of extremely high porosity with a large mass.
  • the heat storage is achieved by the ceramic mass integrated in the construction.
  • the possibilities are extremely versatile and can be optimized in a practical way.
  • the slow cooling of the getter body has an advantageous effect in that the temperature-related selective optimal pumping areas pass very slowly and thus all important gas type-related sorption maxima are recorded.
  • the outer heating coil 5 is embedded in an insulating compound 6.
  • both getter bodies 1, which are provided with different getter materials as required, are heated with a heating element 5.
  • the pump can be installed on any vacuum flange with suitable heater connections (current feedthroughs) 7. It can also be used as an immersion or appendix pump.
  • FIG. 5 is provided with the reference numeral 10 getter sorption example 8 with plug contacts with purely schematically shows in horizontal construction, the reference numeral 7 are in turn the H - eizeran Why designated.
  • FIG. 6 shows the use of the getter sorption pump provided with the reference number 10 as a throughflow pump directly in the gas stream. It can be installed in a flange tube 9 (standard part) and installed as a closed and replaceable pump unit in vacuum or gas discharge systems (for example for noble gas cleaning).

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Getter-Sorptionspumpe mit mindestens einem Getterkörper (1) aus nichtverdampfendem Gettermaterial und einem zugehörigen Heizelement (5). Es soll die spezifische Leistungsfähigkeit von Getterpumpen bei gleichzeitiger Herabsetzung der erforderlichen Heizleistung erhöht und mit Hilfe einer Wärmespeicherung langzeitig stabilisiert werden. Die Erfindung sieht hierzu vor, daß der Getterkörper (1) auf seiner Außenoberfläche von einer Draht- Gaze (2) oder einem porösen, gasdurchlässigen Sinterrohr (3) eingehüllt ist, und mit seiner Innenoberfläche an mindestens ein wärmespeicherndes Isolierrohr (4) angrenzt, das außerdem als Träger für das Heizelement (5) dient.
Eine erfindungsgemäße Getterpumpe findet in Hochvakuumund Gasentladungsanlagen Verwendung.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Getter-Sorptionspumpe für Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen mit mindestens einem Getterkörper aus nichtverdampfendem Gettermaterial und einem zugehörigen Heizelement.
  • Um eine große Pumpleistung zu erzielen, mußten bisher eine Vielzahl von Einzelgettern zusammengeschaltet werden, wodurch sich der auf der Heizleistung bezogene Wirkungsgrad zunehmend verschlechtert, das Problem der Wärmeabführung sich vergrößerte sowie der Platzbedarf für die Unterbringung der Einzelgetter sich problematisch erhöhte. Um die Pumpleistung über längere Zeit zu stabilisieren mußte ständig Heizleistung zugeführt werden.
  • Da die gebräuchlichen Getterstoffe ihre optimale Pumpfähigkeit für verschiedene Gase nur bei bestimmten Temperaturen entfallen (selektive Pumpeigenschaften), mußte die Arbeitstemperatur entweder variiert werden oder mit mindestens zwei Heizstromkreisen die einzelnen Getter auf unterschiedliche Temperaturen gehalten werden.
  • In der Anwendungspraxis wurden diese notwendigen Maßnahmen in der Regel vernachlässigt, so daß die optimalen Gettereigenschaften der nichtverdampfenden Getter ungenutzt blieben. Auch die bisher bekannten Getterpumpen, die an Stelle vieler Einzelgetter einen größeren Getterkörper besitzen weisen die wesentlichsten genannten Nachteile auf.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die spezifische Leistungsfähigkeit von Getterpumpen bei gleichzeitiger Herabsetzung der erforderlichen Heizleistung zu erhöhen und mit Hilfe einer Wärmespeicherung langzeitig zu stabilisieren.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Getter-Sorptionspumpe mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.
  • Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand zusätzlicher Ansprüche.
  • Die Pumpgeschwindigkeit eines Getterkörpers erhöht sich mit seiner Oberfläche, d.h. auch mit seinerr Porösität, die Kapazität hingegen mit seiner Masse. Beide Faktoren zusammen bestimmen die zeitliche Stabilität über die sorbierte Gasmenge. Ferner wird diese Stabilität von der gasartabhängigen Arbeitstemperatur beeinflußt. Hochporöse Körper verlieren mit zunehmender Masse an mechanischer Festigkeit. Die in der Erfindung vorgeschlagenen Gase mit geeigneter Maschenweite erlaubt dennoch die Anwendung extrem hoher Porösität mit großer Masse.
  • Größte Sicherheit bei beliebiger Porösität bietet die Verwendung eines gasdurchlässigen Sinterrohres aus Keramik oder anderem geeigneten Materials, z.B. Wolframpulver.
  • Die Herabsetzung der erforderlichen Heizleistung gegenüber der Verwendung von vielen Einzelgettern ergibt sich aus der wirtschaftlicheren Ausnutzung der Heizleistung aus dem Heizelement, z.B. einer Heizspirale (weniger Strahlungsverluste).
  • Die Wärmespeicherung wird duch die in die Konstruktion integrierte Keramikmasse erzielt. Die Möglichkeiten sind außerordentlich vielseitig und zweckdienlich optimierbar.
  • Ein weiterer Vorteil der energiesparenden Wärmespeicherung ist, daß die wärmebedingte gute Pumpwirkung längere Zeit erhalten bleibt, nachdem die Heizspannung abgeschaltet ist. Eine solche Abschaltung ist z.B. unbedingt erforderlich in Nuklear-Beschleunigeranlagen, um Störungen durch Fremdfelder zu vermeiden.
  • Außerdem wirkt sich die langsame Abkühlung des Getterkörpers dadurch vorteilhaft aus, daß die temperaturbedingten selektiven optimalen Pumpbereiche sehr langsam durchfahren und damit alle wichtigen gasartbedingten Sorptionsmaxima erfaßt werden.
  • Die Erfindung wird anhand von Ausführungsbeispielen weiter erläutert. Teile, die nicht unbedingt zum Verständnis der Erfindung beitragen, sind in den Figuren unbezeichnet oder weggelassen. Einander entsprechende Teile sind in den Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
  • Es zeigen schematisch teilweise im Schnitt:
    • Fig. 1 eine erfindungsgemäße Getter-Sorptionspumpe,
    • Fig. 2 eine dublierte Ausführung dieser Pumpe,
    • Fig. 3 eine Variante der Pumpe nach Fig. 2,
    • Fig. 4 ein Beispiel vertikaler Aufbauweise der Pumpe,
    • Fig. 5 das Schema der Pumpe in horizontaler Bauweise und
    • Fig. 6 die Anwendung als Durchströmungspumpe direkt im Gasstrom.
  • In Fig. 1 ist das Schema der Grundkonzeption der Getter-Sorptionspumpe dargestellt. Als Getterkörper 1 sind alle gebräuchlichen nichtverdampfenden Gettermaterialien sowie deren Mischungen und Legierungen verwendbar. Auf seiner Außenoberfläche ist der Getterkörper 1 von einer Draht-Gaze 2 oder einem porösen, gasdurchlässigen Sinterrohr 3 eingehüllt. Die Draht-Gaze 2 besteht beispielsweise aus Molybdän, Wolfram, Eisen oder V2A-Stahl. Das Sinterrohr 3 besteht aus Keramik oder einem anderen geeigneten Material, z.B. Wolframpulver. Mit seiner Innenoberfläche grenzt der Getterkörper 1 an ein wärmespeicherndes Isolierrohr 4, das außerdem als Träger für das Heizelement 5 dient.
  • In Fig. 2 ist die dublierte Ausführung der Getter-Sorptionspumpe dargestellt.Damit kann bei gleichem Raumbedarf die aktive Pumpfläche der-Getterkörper 1 vergrößert werden. Außerdem besteht die Möglichkeit mit zwei verschiedenen Arbeitstemperaturen der Heizelemente 5 zu arbeiten. Die äußere Heizwendel 5 ist in diesem Ausführungsbeispiel in einem Isoliermasse 6 eingebettet.
  • Fig. 3 zeigt eine Variante von dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 2. Hier werden mit einem Heizelement 5 beide Getterkörper 1, die nach Bedarf mit unterschiedlichen Gettermaterialien versehen sind, aufgeheizt.
  • In Fig. 4 ist ein Ausführungsbeispiel der Getter-Sorptionspumpe in vertikaler Aufbauweise dargestellt.
  • Die Pumpe kann auf jeden beliebigen Vakuumflansch mit geeigneten Heizeranschlüssen (Stromdurchführungen) 7 aufgebaut werden. Damit kann sie auch als Eintauch-oder Appendixpumpe Verwendung finden.
  • Fig. 5 zeigt die mit dem Bezugszeichen 10 versehene Getter-Sorptionspumpe rein schematisch in horizontaler Bauweise, z.B. mit Steckkontakten 8. Mit dem Bezugszeichen 7 sind wiederum die H-eizeranschlüsse bezeichnet. Fig. 6 zeigt die Anwendung der mit dem Bezugszeichen 10 versehenen Getter-Sorptionspumpe als Durchströmungspumpe direkt im Gasstrom. Sie kann in ein Flanschrohr 9 (Normteil) eingebaut werden und als geschlossene und austauschbare Pumpeinheit in Vakuum- bzw. Gasentladungsanlagen (z.B. zur Edelgasreinigung) eingebaut werden.

Claims (4)

1. Getter-Sorptionspumpe für Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen mit mindestens einem Getterkörper aus nichtverdampfendem Gettermaterial und einem zugehörigen Heizelement, dadurch gekennzeichnet, daß der Getterkörper (1) auf seiner Außenoberfläche von einer Draht-Gaze (2) oder einem porösen, gasdurchlässigen Sinterrohr (3) eingehüllt ist, und-mit seiner Innenoberfläche an mindestens ein wärmespeicherndes Isolierrohr (4) angrenzt, das außerdem als Träger für das Heizelement (5) dient.
2. Getter-Sorptionspumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß das gasdurchlässige Sinterrohr (3) aus Keramik oder Wolframpulver besteht.
3. Getter-Sorptionspumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Heizelement (5) eine Heizspirale dient.
4. Getter-Sorptionspumpe nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Getterkörper (1) aus Zirkon, Titan, Thorium, Tantal,Platin, Niob, Cer, Palladium sowie deren Mischungen oder Legierungen besteht.
EP84109515A 1983-09-09 1984-08-09 Getter-Sorptionspumpe mit Wärmespeicher für Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen Withdrawn EP0146685A3 (de)

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DE19833332647 DE3332647A1 (de) 1983-09-09 1983-09-09 Getter-sorptionspumpe mit waermespeicher fuer hochvakuum- und gasentladungsanlagen

Publications (2)

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EP0146685A2 true EP0146685A2 (de) 1985-07-03
EP0146685A3 EP0146685A3 (de) 1986-10-01

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