EP0857876A2 - Verfahren und Vorrichtung zur Regelung des Saugvermögens von Vakuumpumpen - Google Patents

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    • F04C2270/42—Conditions at the inlet of a pump or machine

Definitions

  • the invention relates to a method and a device for regulating the Pumping speed of vacuum pumps according to the preamble of the first claim.
  • control valves are used, which between Vacuum pump and vacuum chamber are attached. Because of the required high conductance have a large diameter. This will a complex construction causes high costs and an increase the spatial expansion of the system. They also become special Requirements placed on these valves because they are used in the high vacuum range will.
  • the object of the invention is to develop a method and an apparatus for To carry out the procedure to construct, with which the pumping speed of vacuum pumps can be set reproducibly and the individual vacuum process can be adjusted.
  • the disadvantages of the conventional methods are to be avoided will.
  • a complex construction should be avoided and the danger the condensation and corrosion caused by process gases can be reduced.
  • Claims 2, 3 and 5-7 provide further design options of the invention.
  • the process in the vacuum chamber can be influenced so that it can run in an optimal manner - as intended. If e.g. through the constant Suction rate of the vacuum pump or the vacuum system too much gas is pumped out, so that the process is no longer in the intended manner can run off, then a part of the pumped out via the connecting line Gases are fed back to the intake flange. As a result, increases the suction pressure and thus becomes according to the characteristic properties the vacuum pump the pumping speed for the process gas to be pumped out degraded.
  • the built-in control valve in the connecting line allows control this process precisely.
  • Turbomolecular pumps are for use with Vacuum processes are particularly suitable as high vacuum pumps. With them lets the method according to the invention can be carried out advantageously.
  • the supply of part of the pumped gas to the high vacuum side has also a positive influence on the composition of the process gas: Since the conductance of the connecting line and control valve for gases with low Molecular weight is higher than for high molecular weight gases, the composition the gases on the intake flange and thus also in the vacuum chamber changed in favor of lighter gases. At the end of the processes in vacuum chambers low molecular weight gases are predominantly involved. Heaviness Gases are rather the waste products Process also the more effective use of the gases required for the process clearly increased.
  • FIG 1 shows a schematic representation of a vacuum pump 1, which in this example consists of three stages 2a, 2b and 2c.
  • a vacuum pump 1 which in this example consists of three stages 2a, 2b and 2c.
  • Backing pump 6 is provided, which to the backing port 5 of the last Stage 2c is appropriate.
  • the vacuum chamber 3 At the high vacuum connection 4 of the first stage 2a is the vacuum chamber 3 connected. From any point 7 of the vacuum pump 1 one leads between the high vacuum connection 4 and the fore vacuum connection 5 Connection line 8 to the high vacuum connection 4.
  • a control valve 9 is attached.
  • the vacuum pump 1 with the three stages 2a, 2b and 2c also by a vacuum system 1 consisting of three different pumps 2a, 2b and 2c replaced will.
  • a vacuum system consisting of e.g. a pump with two stages 2a and 2b and from a pump 2c corresponds to the schematic structure in FIG Illustration.

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Abstract

Die Erfindung beschreibt ein Verfahren und eine Vorrichtung, durch welche Prozesse in Vakuumkammern in ihrem Ablauf positiv beeinflußt werden können. Bei einer Va-kuumpumpe (1) bestehend aus einer oder mehreren Stufen (2a, 2b, 2c) kann ein Teil des Gasstromes über eine Verbindungsleitung (8) und ein Regelventil (9) dem Ansaugflansch wieder zugeführt werden. Dadurch erhöht sich der Druck auf der Ansaugseite und das Saugvermögen für das abzupumpende Gas sinkt ab. Eine exakte und direkte Regelung des Saugvermögens der Vakuumpumpe ist somit möglich.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Regelung des Saugvermögens von Vakuumpumpen nach dem Oberbegriff des ersten Patentanspruches.
Bei Anlagen zur Durchführung von Vakuumprozessen, z.B. bei chemischen Verfahren oder in der Halbleiterindustrie, muß zwischen der Vakuumkammer, in welcher der Prozess stattfindet und der an die Vakuumkammer angrenzenden Vakuumpumpe ein großer Leitwert verfügbar sein, damit die anfallenden Gasmengen schnell abgepumpt werden können. Andererseits werden zur Einstellung und Aufrechterhaltung von bestimmten Drücken eines Gases oder eines Gasgemisches, unter welchem der Prozess abläuft, definiert reproduzierbare Saugvermögen benötigt.
In herhömmlichen Anlagen werden dazu Regelventile benutzt, welche zwischen Vakuumpumpe und Vakuumkammer angebracht sind. Diese können wegen des benötigten hohen Leitwertes einen großen Durchmesser aufweisen. Dadurch wird eine aufwendige Bauweise verursacht, welche hohe Kosten und ein Anwachsen der räumlichen Ausdehnung der Anlage mit sich bringt. Zudem werden besondere Anforderungen an diese Ventile gestellt, da sie im Hochvakuumbereich eingesetzt werden.
Eine andere Möglichkeit, das Saugvermögen auf der Hochvakuumseite zu regeln, bietet sich bei rotierenden Vakuumpumpen an. Hier kann man durch Veränderung der Drehzahl das Saugvermögen der Pumpe variieren. Diese Lösung hat jedoch den Nachteil, daß die so bewirkte Regelung sehr träge ist und nicht im erforderlichen Maße auf Änderungen der Drücke in der Vakuumkammer reagieren kann.
Zur Änderung des Saugvermögens auf der Hochvakuumseite ist es auch naheliegend auf einfache Weise eine Regelung des Vorvakuumdruckes vorzunehmen. Damit läßt sich allerdings eine definiert reproduzierbare Einstellung der Verhältnisse auf der Hochvakuumseite schwierig durchführen, da die Regelung sehr steil verläuft, d.h. geringe Verstellungen auf der Vorvakuumseite bewirken große Änderungen auf der Hochvakuumseite. Außerdem würde wegen des höheren Druckes auf der Vorvakuumseite die Kondensation und bei der Verwendung von aggressiven Prozessgasen die Korrosion in den Regelventilen deren Einsatz beschränken.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zu entwickeln und eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens zu konstruieren, womit das Saugvermögen von Vakuumpumpen reproduzierbar eingestellt werden und dem individuellen Vakuumprozess angepaßt werden kann. Die Nachteile der herkömmlichen Verfahren sollen vermieden werden. Insbesondere soll eine aufwendige Bauweise umgangen und die Gefahr der Kondensation und Korrosion durch Prozessgase vermindert werden.
Die Aufgabe wird gelöst durch die kennzeichnenden Merkmale des ersten und des vierten Patentanspruches. Die Ansprüche 2, 3 und 5 - 7 stellen weitere Ausgestaltungsmöglichkeiten der Erfindung dar.
Durch das der Erfindung zugrundeliegende Verfahren und die Vorrichtung wird erreicht, daß der Prozess in der Vakuumkammer so beeinflußt werden kann, daß er in optimaler Weise - wie vorgesehen - ablaufen kann. Wenn z.B. durch das konstante Saugvermögen der Vakuumpumpe oder des Vakuumsystems zu viel Gas abgepumpt wird, so daß das Verfahren nicht mehr in der vorgesehenen Weise ablaufen kann, dann kann über die Verbindungsleitung ein Teil des abgepumpten Gases wieder dem Ansaugflansch zugeführt werden. Als Folge davon erhöht sich der Ansaugdruck und somit wird entsprechend den charakteristischen Eigenschaften der Vakuumpumpe das Saugvermögen für das abzupumpende Prozessgas erniedrigt. Durch das in der Verbindungsleitung eingebaute Regelventil läßt sich dieser Vorgang präzise steuern. Turbomolekularpumpen sind für den Einsatz bei Vakuumprozessen als Hochvakuumpumpen besonders geeignet. Mit ihnen läßt sich das erfindungsgemäße Verfahren vorteilhaft durchführen.
Somit werden aufwendige Ventilkonstruktionen am Ansaugflansch zur Regelung des Saugvermögens vermieden. Weiterhin ist die Regelung direkt und weist nicht die Trägheit einer Regelung durch Variation der Drehzahl des Pumpenrotors auf. Da die Abzweigung des Gasstromes von einem Druckniveau aus erfolgt, welches unterhalb dem am Vorvakuumflansch ist, wird auch die Gefahr von Kondensation oder Korrosion durch das gepumpte Gas weitgehend eingeschränkt.
Die Zuführung eines Teils des abgepumpten Gases auf die Hochvakuumseite hat auch noch einen positiven Einfluß auf die Zusammensetzung des Prozessgases: Da der Leitwert von Verbindungsleitung und Regelventil für Gase mit niedrigem Molekulargewicht höher ist als für Gase mit hohem Molekulargewicht, wird die Zusammensetzung der Gase am Ansaugflansch und somit auch in der Vakuumkammer zugunsten leichter Gase verändert. Am Ablauf der Prozesse in Vakuumkammern sind Gase mit niedrigem Molekulargewicht überwiegend beteiligt. Schwere Gase stellen eher die Abfallprodukte dar. Somit wird durch das erfindungsgemäße Verfahren auch die effektivere Ausnutzung der für den Prozess benötigten Gase deutlich erhöht.
An Hand der einzigen Abbildung soll die Erfindung näher erläutert werden.
Die Abbildung 1 zeigt eine schematische Darstellung einer Vakuumpumpe 1, welche in diesem Beispiel aus drei Stufen 2a, 2b und 2c besteht. Für den Fall, daß mit der letzten Stufe 2c der Ausstoßdruck Atmosphärendruck nicht erreicht, ist eine zusätzliche Vorpumpe 6 vorgesehen, welche an den Vorvakuumanschluß 5 der letzten Stufe 2c angebracht ist. Am Hochvakuumanschluß 4 der ersten Stufe 2a ist die Vakuumkammer 3 angeschlossen. Von einer beliebigen Stelle 7 der Vakuumpumpe 1 zwischen dem Hochvakuumanschluß 4 und dem Vorvakuumanschluß 5 führt eine Verbindungsleitung 8 zum Hochvakuumanschluß 4. In dieser Verbindungsleitung ist ein Regelventil 9 angebracht. In der vorliegenden schematischen Abbildung kann die Vakuumpumpe 1 mit den drei Stufen 2a, 2b und 2c auch durch ein Vakuumsystem 1 bestehend aus drei verschiedenen Pumpen 2a, 2b und 2c ersetzt werden. Auch ein Vakuumsystem bestehend aus z.B. einer Pumpe mit zwei Stufen 2a und 2b und aus einer Pumpe 2c entspricht dem schematischen Aufbau in der Abbildung.
Mit Hilfe dieser Anordnung kann je nach Art und Ablauf des Prozesses, der in der Vakuumkammer 3 stattfindet, über die Verbindungsleitung 7 und das Regelventil 9 ein Teil des Gasstromes, der in der Pumpe oder im Pumpsystem 1 erzeugt wird, an die Stelle 4 des Ansaugflansches geregelt zurückgeführt werden.

Claims (7)

  1. Verfahren zur Regelung des Saugvermögens einer Vakuumpumpe (1), wobei die Vakuumpumpe aus einer oder mehreren Stufen (2a, 2b, 2c) besteht und einen Hochvakuumanschluß (4) und einen Vorvakuumanschluß (5) aufweist und in welcher ein Gasstrom vom Hochvakuumanschluß zum Vorvakuumanschluß erzeugt wird, dadurch gekennzeichnet, daß an einer Stelle (7) zwischen dem Hochvakuumanschluß (4) und dem Vorvakuumanschluß (5) ein Teil des Gasstromes abgezweigt und dem Hochvakuumanschluß wieder zugeführt wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Teil des Gasstromes, welcher dem Hochvakuumanschluß wieder zugeführt wird, durch ein Regelventil (9) gesteuert wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß anstelle einer Vakuumpumpe, welche aus einer oder mehreren Stufen besteht, ein Vakuumsystem verwendet wird, welches aus einer oder mehreren Pumpen besteht.
  4. Vorrichtung zur Regelung des Saugvermögens einer Vakuumpumpe (1), welche aus einer oder mehreren Stufen (2a, 2b, 2c) besteht und einen Hochvakuumanschluß (4) und einen Vorvakuumanschluß (5) aufweist und in welcher ein Gasstrom vom Hochvakuumanschluß zum Vorvakuumanschluß erzeugt wird, dadurch gekennzeichnet, daß zur Rückführung eines Teils des Gasstromes von einer Stelle (7) zwischen Hochvakuumanschluß (4) und Vorvakuumanschluß (5) zum Hochvakuumanschluß eine Verbindungsleitung (8) vorhanden ist, welche von dieser Stelle zum Hochvakuumanschluß führt.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zur Steuerung des Teils des Gasstromes, welcher von der Stelle (7) zum Hochvakuumanschluß zurückgeführt wird, die Verbindungsleitung mit einem Regelventil (9) ausgestattet ist.
  6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Stufe (2a) der Vakuumpumpe, welche den Hochvakuumanschluß trägt, eine Turbomolekularpumpe ist.
  7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 - 6, dadurch gekennzeichnet, daß anstelle einer Vakuumpumpe, welche aus einer oder mehreren Stufen besteht, ein Vakuumsystem verwendet wird, welches aus einer oder mehreren Pumpen besteht.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0898083B1 (de) * 1997-08-15 2003-12-17 The BOC Group plc Vakuum-Pumpsystem

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19831123A1 (de) * 1998-07-11 2000-01-13 Pfeiffer Vacuum Gmbh Gasballasteinrichtung für mehrstufige Verdrängerpumpen
JP3038432B2 (ja) * 1998-07-21 2000-05-08 セイコー精機株式会社 真空ポンプ及び真空装置
DE19962445A1 (de) * 1999-12-22 2001-06-28 Leybold Vakuum Gmbh Trockenverdichtende Vakuumpumpe mit Gasballasteinrichtung
DE10046902B4 (de) * 2000-09-21 2006-04-27 Nash_Elmo Industries Gmbh Pumpenanlage und Verfahren zum Pumpen eines Gases
JP2008008302A (ja) * 2001-09-06 2008-01-17 Ulvac Japan Ltd 多段式容積移送型ドライ真空ポンプの省エネ方法
DE10159835B4 (de) * 2001-12-06 2012-02-23 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpsystem
DE10302764A1 (de) * 2003-01-24 2004-07-29 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpsystem
DE10321771C5 (de) * 2003-05-15 2017-01-19 Continental Teves Ag & Co. Ohg Verfahren zur Leistungsbegrenzung eines mehrstufigen Kompressor und Kompressor zur Durchführung des Verfahrens
GB0401396D0 (en) * 2004-01-22 2004-02-25 Boc Group Plc Pressure control method
JP4633370B2 (ja) * 2004-02-17 2011-02-16 財団法人国際科学振興財団 真空装置
US7886692B2 (en) * 2004-07-13 2011-02-15 Delaval Holding Ab Controllable vacuum source
DE102004059486A1 (de) * 2004-12-10 2006-06-22 Leybold Vacuum Gmbh Vakuum-Anlage
CN100491721C (zh) * 2005-06-27 2009-05-27 建国科技大学 多级式抽真空装置及其抽真空方法
DE602005007593D1 (de) * 2005-06-30 2008-07-31 Varian Spa Vakuumpumpe
US8573465B2 (en) 2008-02-14 2013-11-05 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Robotically-controlled surgical end effector system with rotary actuated closure systems
US9241714B2 (en) 2011-04-29 2016-01-26 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Tissue thickness compensator and method for making the same
US9301753B2 (en) 2010-09-30 2016-04-05 Ethicon Endo-Surgery, Llc Expandable tissue thickness compensator
GB2499217A (en) * 2012-02-08 2013-08-14 Edwards Ltd Vacuum pump with recirculation valve
DE202012012359U1 (de) * 2012-12-22 2014-03-24 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Pumpstand zum Pumpen leichter Gase
DE102013218506A1 (de) * 2013-09-16 2015-03-19 Inficon Gmbh Schnüffellecksucher mit mehrstufiger Membranpumpe
US20150098839A1 (en) * 2013-10-08 2015-04-09 Ingersoll-Rand Company Pump Systems and Methods
JP6935216B2 (ja) * 2017-03-31 2021-09-15 株式会社荏原製作所 ルーツ型真空ポンプ
CN119467389A (zh) * 2024-10-30 2025-02-18 中国船舶集团有限公司第七〇四研究所 船用真空泵站性能监测与故障诊断平台

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT204163B (de) 1958-02-19 1959-07-10 Enfo Grundlagen Forschungs Ag Verfahren und Einrichtung zur stufenlosen Regelung der Liefermenge von mehrstufigen Verdichtern
EP0344345A1 (de) 1988-06-01 1989-12-06 Leybold Aktiengesellschaft Pumpsystem für ein Lecksuchgerät
DE69000990T2 (de) 1989-06-05 1993-06-09 Cit Alcatel Zweistufige trockenprimaerpumpe.
DE4410903A1 (de) 1994-03-29 1995-10-05 Leybold Ag System mit Vakuumpumpe, Meßgerät sowie Versorgungs-, Steuer-, Bedienungs- und Anzeigeeinrichtungen

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD230614A3 (de) * 1983-06-22 1985-12-04 Alfred Voelzer Verfahren zur inbetriebnahme eines mehrstufigen kolbenverdichters ohne waermeuebertrager nach dem letzten verdichtungsabschnitt
DD236967B1 (de) * 1985-05-06 1989-03-08 Ardenne Forschungsinst Verfahren zum zyklischen evakuieren einer vakuumkammer
US4850806A (en) * 1988-05-24 1989-07-25 The Boc Group, Inc. Controlled by-pass for a booster pump
DE4331589C2 (de) * 1992-12-24 2003-06-26 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpsystem

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT204163B (de) 1958-02-19 1959-07-10 Enfo Grundlagen Forschungs Ag Verfahren und Einrichtung zur stufenlosen Regelung der Liefermenge von mehrstufigen Verdichtern
EP0344345A1 (de) 1988-06-01 1989-12-06 Leybold Aktiengesellschaft Pumpsystem für ein Lecksuchgerät
DE69000990T2 (de) 1989-06-05 1993-06-09 Cit Alcatel Zweistufige trockenprimaerpumpe.
DE4410903A1 (de) 1994-03-29 1995-10-05 Leybold Ag System mit Vakuumpumpe, Meßgerät sowie Versorgungs-, Steuer-, Bedienungs- und Anzeigeeinrichtungen

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0898083B1 (de) * 1997-08-15 2003-12-17 The BOC Group plc Vakuum-Pumpsystem

Also Published As

Publication number Publication date
US6030181A (en) 2000-02-29
DE19704234B4 (de) 2006-05-11
EP0857876A3 (de) 1999-07-07
JPH10220373A (ja) 1998-08-18
EP0857876B1 (de) 2003-03-19
DE19704234A1 (de) 1998-08-06
ATE235004T1 (de) 2003-04-15
DE59807507D1 (de) 2003-04-24

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