EP0874159A3 - Reibungsvakuumpumpe mit einer Gaedepumpenstufe - Google Patents

Reibungsvakuumpumpe mit einer Gaedepumpenstufe Download PDF

Info

Publication number
EP0874159A3
EP0874159A3 EP98110191A EP98110191A EP0874159A3 EP 0874159 A3 EP0874159 A3 EP 0874159A3 EP 98110191 A EP98110191 A EP 98110191A EP 98110191 A EP98110191 A EP 98110191A EP 0874159 A3 EP0874159 A3 EP 0874159A3
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
projection
stage
stator
pump
section
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP98110191A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0874159A2 (de
Inventor
Günter Schütz
Heinrich Engländer
Friedrich Karl Dr. Von Schulz-Hausmann
Hinrich Dr. Henning
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leybold GmbH
Original Assignee
Leybold Vakuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Vakuum GmbH filed Critical Leybold Vakuum GmbH
Publication of EP0874159A2 publication Critical patent/EP0874159A2/de
Publication of EP0874159A3 publication Critical patent/EP0874159A3/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
    • F04D17/08—Centrifugal pumps
    • F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
    • F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/046—Combinations of two or more different types of pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D23/00—Other rotary non-positive-displacement pumps
    • F04D23/008—Regenerative pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Reibungsvakuumpumpe mit einem Rotor (8, 10) und einem Stator (4) sowie mit einer Gaedepumpenstufe, die von einem Statorabschnitt (60) und einem Rotorabschnitt (15, 57) gebildet wird; um bei einer Reibungsvakuumpumpe dieser Art im Übergangsbereich zwischen molekularer und viskoser Strömung gute Fördereigenschaften zu erzielen, wird vorgeschlagen, dass der Statorabschnitt in Höhe der Gaedepumpenstufe mit einer Nut (63, 71, 72) ausgerüstet ist, die von radial einwärts gerichteten Stegen (61, 62) oder von Statorringscheiben (16) seitlich begrenzt ist, dass in die Nut (63, 71, 72) mindestens ein feststehender Vorsprung (65, 75, 76) hineinragt, der mit dem Rotorabschnitt (17, 57) einen Sperrspalt (66, 79) bildet, und dass sich Einlass (19, 64) und Auslass (67) der Gaedepumpenstufe in der Nähe des Vorsprungs (65, 75, 76) befinden, und zwar derart, dass sich der Einlass - in Drehrichtung des Rotorabschnittes (17, 57) gesehen - hinter dem Vorsprung (65, 75, 76) und der Auslass (67) vor dem Vorsprung (65, 75, 76) befindet.
EP98110191A 1993-05-03 1994-03-31 Reibungsvakuumpumpe mit einer Gaedepumpenstufe Withdrawn EP0874159A3 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4314418A DE4314418A1 (de) 1993-05-03 1993-05-03 Reibungsvakuumpumpe mit unterschiedlich gestalteten Pumpenabschnitten
DE4314418 1993-05-03
EP94913098A EP0697069B1 (de) 1993-05-03 1994-03-31 Reibungsvakuumpumpe mit unterschiedlich gestalteten pumpenabschnitten

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP94913098A Division EP0697069B1 (de) 1993-05-03 1994-03-31 Reibungsvakuumpumpe mit unterschiedlich gestalteten pumpenabschnitten

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP0874159A2 EP0874159A2 (de) 1998-10-28
EP0874159A3 true EP0874159A3 (de) 1998-11-18

Family

ID=6486923

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP94913098A Expired - Lifetime EP0697069B1 (de) 1993-05-03 1994-03-31 Reibungsvakuumpumpe mit unterschiedlich gestalteten pumpenabschnitten
EP98110191A Withdrawn EP0874159A3 (de) 1993-05-03 1994-03-31 Reibungsvakuumpumpe mit einer Gaedepumpenstufe

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP94913098A Expired - Lifetime EP0697069B1 (de) 1993-05-03 1994-03-31 Reibungsvakuumpumpe mit unterschiedlich gestalteten pumpenabschnitten

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5695316A (de)
EP (2) EP0697069B1 (de)
JP (1) JPH08511071A (de)
DE (2) DE4314418A1 (de)
WO (1) WO1994025760A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101517240B (zh) * 2006-09-22 2013-08-14 爱德华兹有限公司 分子拖曳泵送机构

Families Citing this family (57)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9318801D0 (en) * 1993-09-10 1993-10-27 Boc Group Plc Improved vacuum pumps
US5496149A (en) * 1995-03-10 1996-03-05 Basf Corporation Thin plate turbine
DE29516599U1 (de) * 1995-10-20 1995-12-07 Leybold AG, 50968 Köln Reibungsvakuumpumpe mit Zwischeneinlaß
IT1281025B1 (it) * 1995-11-10 1998-02-11 Varian Spa Pompa turbomolecolare.
DE19632874A1 (de) * 1996-08-16 1998-02-19 Leybold Vakuum Gmbh Reibungsvakuumpumpe
WO1999061799A1 (de) * 1998-05-26 1999-12-02 Leybold Vakuum Gmbh Reibungsvakuumpumpe mit chassis, rotor und gehäuse sowie einrichtung, ausgerüstet mit einer reibungsvakuumpumpe dieser art
TW504548B (en) * 1998-06-30 2002-10-01 Ebara Corp Turbo molecular pump
JP3788558B2 (ja) 1999-03-23 2006-06-21 株式会社荏原製作所 ターボ分子ポンプ
US6179573B1 (en) * 1999-03-24 2001-01-30 Varian, Inc. Vacuum pump with inverted motor
JP4104098B2 (ja) * 1999-03-31 2008-06-18 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
US6220824B1 (en) * 1999-06-21 2001-04-24 Varian, Inc. Self-propelled vacuum pump
DK1070848T3 (da) * 1999-07-19 2004-08-09 Sterling Fluid Sys Gmbh Fortrængningsmaskine til kompressible medier
DE19942410A1 (de) * 1999-09-06 2001-03-08 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
SG97943A1 (en) * 1999-10-04 2003-08-20 Ebara Corp Vacuum exhaust system
US6508631B1 (en) 1999-11-18 2003-01-21 Mks Instruments, Inc. Radial flow turbomolecular vacuum pump
US6394747B1 (en) 2000-06-21 2002-05-28 Varian, Inc. Molecular drag vacuum pumps
JP3777498B2 (ja) * 2000-06-23 2006-05-24 株式会社荏原製作所 ターボ分子ポンプ
DE10046766A1 (de) * 2000-09-21 2002-04-11 Leybold Vakuum Gmbh Compound-Reibungsvakuumpumpe
JP2002138987A (ja) * 2000-10-31 2002-05-17 Seiko Instruments Inc 真空ポンプ
US6503050B2 (en) * 2000-12-18 2003-01-07 Applied Materials Inc. Turbo-molecular pump having enhanced pumping capacity
US6607351B1 (en) * 2002-03-12 2003-08-19 Varian, Inc. Vacuum pumps with improved impeller configurations
GB0409139D0 (en) * 2003-09-30 2004-05-26 Boc Group Plc Vacuum pump
DE10353034A1 (de) * 2003-11-13 2005-06-09 Leybold Vakuum Gmbh Mehrstufige Reibungsvakuumpumpe
DE10357546A1 (de) * 2003-12-10 2005-07-07 Pfeiffer Vacuum Gmbh Seitenkanalpumpstufe
GB0614928D0 (en) * 2006-07-27 2006-09-06 Boc Group Plc Molecular Drag Pumping Mechanism
US7628577B2 (en) * 2006-08-31 2009-12-08 Varian, S.P.A. Vacuum pumps with improved pumping channel configurations
US20080056886A1 (en) * 2006-08-31 2008-03-06 Varian, S.P.A. Vacuum pumps with improved pumping channel cross sections
DE102006043327A1 (de) * 2006-09-15 2008-03-27 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
JP4885000B2 (ja) * 2007-02-13 2012-02-29 株式会社ニューフレアテクノロジー 気相成長装置および気相成長方法
JP5056152B2 (ja) * 2007-05-15 2012-10-24 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプ
DE102008004297A1 (de) * 2008-01-15 2009-07-16 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Turbomolekularpumpe
US8109744B2 (en) * 2008-03-26 2012-02-07 Ebara Corporation Turbo vacuum pump
US8087907B2 (en) * 2008-03-26 2012-01-03 Ebara Corporation Turbo vacuum pump
US8152442B2 (en) * 2008-12-24 2012-04-10 Agilent Technologies, Inc. Centripetal pumping stage and vacuum pump incorporating such pumping stage
US8070419B2 (en) * 2008-12-24 2011-12-06 Agilent Technologies, Inc. Spiral pumping stage and vacuum pump incorporating such pumping stage
JP2010174779A (ja) * 2009-01-30 2010-08-12 Hitachi High-Technologies Corp 真空処理装置
JP5397138B2 (ja) * 2009-10-02 2014-01-22 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプ
GB2474507B (en) * 2009-10-19 2016-01-27 Edwards Ltd Vacuum pump
KR101773632B1 (ko) * 2009-12-11 2017-08-31 에드워즈 가부시키가이샤 나사 홈 배기부의 통형 고정 부재와 이것을 사용한 진공 펌프
US9759233B2 (en) * 2011-10-31 2017-09-12 Edwards Japan Limited Stator member and vacuum pump
GB2498816A (en) 2012-01-27 2013-07-31 Edwards Ltd Vacuum pump
JP6353195B2 (ja) * 2013-05-09 2018-07-04 エドワーズ株式会社 固定円板および真空ポンプ
DE102013213815A1 (de) * 2013-07-15 2015-01-15 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
DE102013214662A1 (de) 2013-07-26 2015-01-29 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe
JP6616560B2 (ja) * 2013-11-28 2019-12-04 エドワーズ株式会社 真空ポンプ用部品、および複合型真空ポンプ
JP6692635B2 (ja) * 2015-12-09 2020-05-13 エドワーズ株式会社 連結型ネジ溝スペーサ、および真空ポンプ
JP7108377B2 (ja) * 2017-02-08 2022-07-28 エドワーズ株式会社 真空ポンプ、真空ポンプに備わる回転部、およびアンバランス修正方法
IT201700075054A1 (it) * 2017-07-04 2017-10-04 Agilent Tech Inc A Delaware Corporation Stadio di pompaggio molecolare per pompa da vuoto e pompa da vuoto comprendente detto stadio di pompaggio molecolare
GB2569314A (en) * 2017-12-12 2019-06-19 Edwards Ltd A turbomolecular pump and method and apparatus for controlling the pressure in a process chamber
GB2575450B (en) * 2018-07-09 2022-01-26 Edwards Ltd A variable inlet conductance vacuum pump, vacuum pump arrangement and method
JP2020186687A (ja) * 2019-05-15 2020-11-19 エドワーズ株式会社 真空ポンプとそのネジ溝ポンプ部の固定部品
JP7348753B2 (ja) * 2019-05-31 2023-09-21 エドワーズ株式会社 真空ポンプ、および連結型ネジ溝スペーサ
GB2589151A (en) * 2019-11-25 2021-05-26 Edwards Ltd Molecular drag vacuum pump
JP7590851B2 (ja) * 2020-11-04 2024-11-27 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
JP7672849B2 (ja) 2021-03-17 2025-05-08 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
JP7546621B2 (ja) * 2022-05-26 2024-09-06 エドワーズ株式会社 真空ポンプ及び真空排気システム
JP2025035506A (ja) * 2023-09-01 2025-03-13 エドワーズ株式会社 真空ポンプ、固定円板および後付け部品

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE239213C (de) *
GB336001A (en) * 1929-07-09 1930-10-09 Edwin Rodolph Grote Improvements in pumps for obtaining high vacua
US1942139A (en) * 1930-12-26 1934-01-02 Central Scientific Co Molecular vacuum pump
US1975568A (en) * 1932-03-18 1934-10-02 Central Scientific Co Molecular vacuum pump
FR1443239A (fr) * 1965-05-05 1966-06-24 Pompe à vide mécanique rotative
US4090815A (en) * 1975-12-03 1978-05-23 Aisin Seiki Kabushiki Kaisha High vacuum pump
EP0445855A1 (de) * 1990-03-09 1991-09-11 VARIAN S.p.A. Verbesserte Turbomolekularpumpe

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3104802A (en) * 1963-09-24 Unified system vacuum pump
SU528388A1 (ru) * 1965-06-25 1976-09-15 Институт Металлургии Имени А.А.Байкова Ан Ссср Молекул рный вакуумный насос
FR2161179A5 (de) * 1971-11-16 1973-07-06 Cit Alcatel
US3969039A (en) * 1974-08-01 1976-07-13 American Optical Corporation Vacuum pump
DE3239328C2 (de) * 1982-10-23 1993-12-23 Pfeiffer Vakuumtechnik Magnetisch gelagerte Turbomolekularpumpe mit Schwingungsdämpfung
JPS60116895A (ja) * 1983-11-30 1985-06-24 Hitachi Ltd 真空ポンプ
JPS60116896A (ja) * 1983-11-30 1985-06-24 Hitachi Ltd 真空ポンプ
JPS60125795A (ja) * 1983-12-09 1985-07-05 Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk 複合真空ポンプ
JPS60139098U (ja) * 1984-02-24 1985-09-13 セイコ−精機株式会社 組合せ型軸流分子ポンプ
US4732529A (en) * 1984-02-29 1988-03-22 Shimadzu Corporation Turbomolecular pump
SU1285198A1 (ru) * 1985-01-04 1987-01-23 Предприятие П/Я А-1614 Двухступенчатый турбомолекул рный вакуумный насос
JPS61226596A (ja) * 1985-03-29 1986-10-08 Hitachi Ltd タ−ボ分子ポンプ
JPS6385291A (ja) * 1986-09-29 1988-04-15 Hitachi Ltd 真空ポンプ
DE3922782A1 (de) * 1988-07-12 1990-02-08 Beijing Lab Of Vacuum Physics Molekularpumpe in kombinierter bauart
DE3919529C2 (de) * 1988-07-13 1994-09-29 Osaka Vacuum Ltd Vakuumpumpe
US5221179A (en) * 1988-07-13 1993-06-22 Osaka Vacuum, Ltd. Vacuum pump
US5358373A (en) * 1992-04-29 1994-10-25 Varian Associates, Inc. High performance turbomolecular vacuum pumps

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE239213C (de) *
GB336001A (en) * 1929-07-09 1930-10-09 Edwin Rodolph Grote Improvements in pumps for obtaining high vacua
US1942139A (en) * 1930-12-26 1934-01-02 Central Scientific Co Molecular vacuum pump
US1975568A (en) * 1932-03-18 1934-10-02 Central Scientific Co Molecular vacuum pump
FR1443239A (fr) * 1965-05-05 1966-06-24 Pompe à vide mécanique rotative
US4090815A (en) * 1975-12-03 1978-05-23 Aisin Seiki Kabushiki Kaisha High vacuum pump
EP0445855A1 (de) * 1990-03-09 1991-09-11 VARIAN S.p.A. Verbesserte Turbomolekularpumpe

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101517240B (zh) * 2006-09-22 2013-08-14 爱德华兹有限公司 分子拖曳泵送机构

Also Published As

Publication number Publication date
EP0697069B1 (de) 2000-05-24
DE59409375D1 (de) 2000-06-29
EP0874159A2 (de) 1998-10-28
WO1994025760A1 (de) 1994-11-10
US5695316A (en) 1997-12-09
DE4314418A1 (de) 1994-11-10
JPH08511071A (ja) 1996-11-19
EP0697069A1 (de) 1996-02-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0874159A3 (de) Reibungsvakuumpumpe mit einer Gaedepumpenstufe
DE69105418T2 (de) Schaufelgitter für Turbomaschinen mit Saugschlitzen.
DE2854656A1 (de) Pumpe
DE173030T1 (de) Pumpe ohne dichtung.
EP0408792A1 (de) Gasreibungspumpe mit mindestens einer auslassseitigen Gewindestufe
DE69029062D1 (de) Gehäuse, insbesondere für Radialkreiselpumpen und Verfahren zu dessen Herstellung
EP0372104A1 (de) Seitenkanalverdichter
DE2500854A1 (de) Schaufel fuer ein schaufelrad einer hochleistungs-zentrifugalpumpe
WO1998054471A1 (de) Kreiselpumpe mit einer einlaufleiteinrichtung
WO2005106207A1 (de) Verdichterschaufel und verdichter
DE2035063C3 (de) Laufrad für eine Turbomolekularpumpe
EP0976928A3 (de) Schaufelanordnung für eine Strömungsmaschine
EP0684386A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Förderung eines Fluides
EP0320060A3 (de) Pumpvorrichtung für leicht viskose Flüssigkeiten
DE3912279A1 (de) Leitrad fuer kreiselpumpen
DE3705307A1 (de) Radialverdichter
DE4239071C2 (de) Tauchpumpenaggregat
DE202019004403U1 (de) Zweistufiges Kreisellaufrad mit dem doppelflutige Einlauf.
EP3853483A1 (de) Turboverdichter mit angepasster meridiankontur der schaufeln und verdichterwand
DE10227426C1 (de) Schaufelrad für kompakte Strömungsmaschinen
DE2717366A1 (de) Laufrad fuer eine turbomolekularpumpe
EP0816680A3 (de) Flügelzellenpumpe
DE102017129477A1 (de) Strömungsoptimierter Seitenkanalverdichter und entsprechendes Schaufelrad
EP1200739A1 (de) Reibungsvakuumpumpe mit pumpaktiven elementen
WO2002025116A1 (de) Turbomolekularvakuumpumpe mit rotorschaufelreihen und statorschaufelreihen

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

PUAL Search report despatched

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013

AC Divisional application: reference to earlier application

Ref document number: 697069

Country of ref document: EP

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): CH DE FR GB IT LI

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A3

Designated state(s): CH DE FR GB IT LI

17P Request for examination filed

Effective date: 19990114

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20021001