EP2029998A1 - Microscope a force atomique asservi - Google Patents

Microscope a force atomique asservi

Info

Publication number
EP2029998A1
EP2029998A1 EP07766092A EP07766092A EP2029998A1 EP 2029998 A1 EP2029998 A1 EP 2029998A1 EP 07766092 A EP07766092 A EP 07766092A EP 07766092 A EP07766092 A EP 07766092A EP 2029998 A1 EP2029998 A1 EP 2029998A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
microscope
signal
frequency
head
vibration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP07766092A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Michal Hrouzek
Alina Anca Voda
Joël CHEVRIER
Gildas Besancon
Fabio Comin
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Institut Polytechnique de Grenoble
Universite Joseph Fourier Grenoble 1
European Synchrotron Radiation Facility
Original Assignee
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Institut Polytechnique de Grenoble
Universite Joseph Fourier Grenoble 1
European Synchrotron Radiation Facility
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Centre National de la Recherche Scientifique CNRS, Institut Polytechnique de Grenoble, Universite Joseph Fourier Grenoble 1, European Synchrotron Radiation Facility filed Critical Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Publication of EP2029998A1 publication Critical patent/EP2029998A1/fr
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
    • G01Q10/04—Fine scanning or positioning
    • G01Q10/06—Circuits or algorithms therefor
    • G01Q10/065—Feedback mechanisms, i.e. wherein the signal for driving the probe is modified by a signal coming from the probe itself
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q70/00—General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
    • G01Q70/02—Probe holders
    • G01Q70/04—Probe holders with compensation for temperature or vibration induced errors

Definitions

  • the present invention relates to measuring the relief of a surface using an atomic force microscope.
  • Figure 1 schematically shows the Extremists ⁇ detection moth-eaten an atomic force microscope.
  • This detection end ⁇ consists of a tip 1 disposed at one end of a beam 2 whose other end is embedded at a support 3.
  • the beam has for example a length of 50 to 500 microns, a width of 20 to 60 microns and a thickness of 1 to 5 microns.
  • an object of the present invention is to provide an atomic microscope structure adapted to a new mode of operation which overcomes at least some of the disadvantages of the previously exposed modes of use and which is furthermore particularly suitable for use in a liquid medium. .
  • It includes the photodétec ⁇ tor 22 provides a signal Sz output which is compared with a SZO desired position signal in a comparator 41 followed by a controller stabilization 42, the set of elements 41 and 42 corresponding to the controller 31 of FIG. 2.
  • the output servo signal Sf of this controller is supplied on the one hand to a second comparator 43 followed by a controller 44, the comparator 43 and the controller 44 corresponding to the controller 32 of FIG. 2.
  • the comparator 43 compares the servo signal Sf with a desired signal SO.
  • the scanning speed between the microtip and the sample is chosen so that the highest frequency component that can result from the surface interaction is less than the natural frequency of the beam.
  • the depreciation effort shown in Figure 5D essentially includes a component related to the surface interaction. We will have a more precise measurement of the interaction.
  • 5A to 5D if one wants to obtain a homogeneous treatment of all the frequency components of the signal. For example, if one wants to observe surfaces of living matter, in displacement, one will choose a relatively fast scan, corresponding to the conditions of figure 4.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

L'invention concerne un microscope à force atomique comprenant une micropointe (1) disposée sur un support souple lié à une tête de microscope (11) en regard d'une surface à étudier (5), comprenant des moyens (31, 32) pour asservir à une valeur donnée la distance entre ladite tête et ladite surface, et des moyens (31, 35) pour inhiber la vibration de la micropointe.

Description

MICROSCOPE A FORCE ATOMIQUE ASSERVI
Domaine de l'invention
La présente invention concerne la mesure du relief d'une surface en utilisant un microscope à force atomique. Exposé de l'art antérieur La figure 1 représente très schématiquement l'extré¬ mité de détection d'un microscope à force atomique. Cette extré¬ mité de détection est constituée d'une pointe 1 disposée à une extrémité d'une poutre 2 dont l'autre extrémité est encastrée au niveau d'un support 3. La poutre a par exemple une longueur de 50 à 500 μm, une largeur de 20 à 60 μm et une épaisseur de 1 à 5 μm. Quand la pointe est disposée assez près d'une surface d'un échantillon 5 à étudier, il apparaît une force d'interaction atomique entre l'extrémité de la pointe 1 et la surface de l'échantillon 5. Aussi, quand la pointe est déplacée en transla- tion par rapport à l'échantillon 5 dans la direction de l'axe x de la figure 1, ou inversement, la poutre est l'objet de dépla¬ cements dans la direction de l ' axe z qui traduisent les irrégu¬ larités de surface de l'échantillon 5. Pour mesurer la position de la poutre, divers moyens ont été proposés. Le plus courant consiste en un détecteur optique d'un faisceau se réfléchissant sur la poutre. Le détecteur comporte éventuellement des moyens interférométriques . De tels microscopes, connus depuis une vingtaine d'années, sont par exemple utilisés pour mesurer des irrégularités de surface ayant des dimensions de l ' ordre du nanomètre, c'est-à-dire que l'on arrive à observer des molé¬ cules, voire des atomes. Deux façons principales d'utiliser un microscope à force atomique ont été proposées .
Dans un premier cas, une poutre extrêmement souple (de très faible raideur) est utilisée. La pointe est mise en contact permanent avec la surface mesurée et la déflexion de la poutre est enregistrée. En ce cas, il existe une forte interaction répulsive avec la surface à mesurer et il en résulte des risques de dégradation de la pointe, et/ou de la surface mesurée.
Dans un deuxième cas, la poutre est excitée en vibra¬ tion au voisinage de sa fréquence de résonance. A proximité de la surface balayée, les forces d'interaction attractive et répulsive modulent cette vibration en phase et/ou en fréquence. L'analyse de la modulation de la vibration de la poutre permet de déterminer ladite interaction. Dans ce cas, la sensibilité de la mesure est fondamentalement limitée par le bruit thermique de la poutre. Il existe diverses variantes selon que la pointe est autorisée ou non à frapper la surface étudiée pendant de brèves durées ou en fonction du mode de régulation obtenu : amplitude de vibration régulée et fréquence d'excitation constante ou recherche permanente de la fréquence de résonance compte tenu du décalage de fréquence induit par l'interaction. Quel que soit le détail de mise en oeuvre, ce mode à vibration permanente de la poutre présente des problèmes, inhérents à son principe, quand on veut mesurer des distances et des forces d'interaction dans un milieu liquide, par exemple un milieu biologique. En effet, cette technique repose sur la vibration forcée de la poutre et des problèmes fondamentaux se posent pour utiliser un tel microscope atomique en milieu liquide : comment combiner mise en vibration et milieu liquide, comment concilier résonance marquée nécessaire à une bonne résolution et amortissement dû au fluide. Résumé de l' invention
Ainsi, un objet de la présente invention est de prévoir une structure de microscope atomique adaptée à un nouveau mode de fonctionnement qui pallie au moins certains des inconvénients des modes d'utilisation précédemment exposés et qui en outre est particulièrement adapté à une utilisation en milieu liquide.
Pour atteindre tout ou partie de ces objets, la pré¬ sente invention prévoit un microscope à force atomique compre- nant une micropointe disposée sur un support souple lié à une tête de microscope en regard d'une surface à étudier, comprenant des moyens pour asservir à une valeur donnée la distance entre ladite tête et ladite surface, cette distance étant mesurée au droit de la pointe, et des moyens commandés pour inhiber la vibration de la micropointe.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, la micropointe est disposée à l'extrémité d'une poutre encastrée.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, les moyens pour inhiber la vibration de la micropointe compren¬ nent des moyens conducteurs solidaires de la tête de microscope, en couplage capacitif avec la poutre et recevant, sans filtrage haute fréquence, le signal d'asservissement utilisé pour stabi¬ liser la distance entre la tête de microscope et la surface à étudier.
Selon un mode de réalisation de la présente invention, lesdits moyens conducteurs reçoivent des fréquences allant au- delà de la fréquence du troisième mode de résonance de la poutre. Selon un mode de réalisation de la présente invention, la vitesse de balayage transverse entre la tête de microscope et la surface à étudier est choisie pour que la mesure de variation de relief n'ait que des composantes fréquentielles à des fréquences inférieures à la fréquence propre de vibration de la poutre. Brève description des dessins
Ces objets, caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres de la présente invention seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non-limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : la figure 1 représente de façon très schématique la partie active d'un microscope atomique ; la figure 2 représente très schématiquement un premier mode de réalisation d'un microscope atomique selon la présente invention ; la figure 3 est une représentation sous forme de schéma blocs de la présente invention ; les figures 4A à 4D sont des courbes illustrant un premier exemple d'utilisation d'un microscope atomique selon la présente invention ; et les figures 5A à 5D sont des courbes illustrant un second exemple d'utilisation d'un microscope atomique selon la présente invention. Description détaillée
La figure 2 illustre un exemple de réalisation d'un microscope atomique selon la présente invention. La pointe 1 est disposée à l'extrémité d'une poutre en un matériau conducteur 2, par exemple du silicium fortement dopé, gravée à partir d'un support en silicium 3. Le support est solidaire d'une tête de microscope atomique orientable et réglable en position 11. Dans la figure, on a représenté une pièce intermédiaire 12 en un matériau conducteur dont une extrémité 13 est en couplage capacitif avec l'extrémité libre de la poutre 2. La pièce intermédiaire 12 est isolée électriquement du support 3 et de préférence également de la tête 11. Le support et la tête sont par exemple tous deux à la masse. L'échantillon à mesurer 5 est posé par l'intermédiaire d'une structure piézoélectrique 17 sur une table X-Y 19 permettant par exemple d'assurer le déplacement dans la direction x mentionnée en relation avec la figure 1. La pièce intermédiaire 12 comporte une ouverture permettant à la poutre 2 d'être éclairée par un laser 21 dont le faisceau réfléchi est détecté par un photodétecteur 22 disposé de façon connue pour fournir un signal correspondant à la position, z, de la poutre.
La présente invention prévoit de maintenir constante la distance zd entre le support de poutre (l'ensemble constitué du support 3, de la pièce intermédiaire 12 et de la tête de microscope 11) et l'échantillon 5. La présente invention prévoit en outre de stabiliser la poutre, c'est-à-dire d'éviter ses vibrations, de façon que la distance zt entre la pointe de mesure et la surface de l'échantillon 5 soit effectivement constante (ainsi la distance zd est une distance prise au droit de la pointe) . En effet, comme l'ont constaté les inventeurs, normalement, en l'absence de toute action sur la poutre, celle- ci tend à vibrer sous l'effet du bruit thermique à des fréquences voisines de sa fréquence propre et de ses harmoniques. Pour une poutre en silicium ayant une longueur L de 50 à 500 μm, une largeur de 10 à 60 μm et une épaisseur e de 1 à 5 μm, la fréquence propre de la poutre sera comprise entre 10 et 500 kHz. Par exemple, pour une poutre ayant une longueur L de 125 μm, une épaisseur e de 4 μm et une raideur de 40 N/m, la fréquence propre sera de 300 kHz. Selon un mode de réalisation de l'invention, le signal de position de la poutre, Sz, fourni par le dispositif de mesure 22 est comparé à une valeur désirée SzO, de préférence 0, dans un contrôleur de stabilisation 31. Le signal de sortie du contrôleur est fourni à un contrôleur 32 de point de réglage de la structure piézoélectrique 17 portant l'échantillon 5. Le signal du contrôleur 32 est amplifié par un amplificateur 33. Ce signal de réglage comprend des composantes fréquentielles allant sensiblement du continu à une fréquence qui dépend de la vitesse de balayage de l'échantillon sous le microscope et qui, comme on le verra ci-après, peut être du même ordre de grandeur que la fréquence propre de vibration de la poutre mais est de préférence nettement inférieure.
Le signal de sortie du contrôleur de stabilisation 31 est également fourni à un amplificateur 35 fournissant une ten- sion à la pièce intermédiaire 12 ou au moins à son extrémité 13 qui agit par effet capacitif sur la poutre 2. L'amplificateur 35 amplifie les fréquences allant d'une valeur inférieure à celle de la fréquence fondamentale de résonance de la poutre à des valeurs aussi élevées que possible pour corriger les fréquences de résonance d'ordres plus élevés. De préférence, on choisira une plage de fréquences permettant de compenser les vibrations de la poutre jusqu'à des fréquences élevées, typiquement au moins jusqu'à la fréquence du troisième mode de résonance de la poutre . Cette chaîne d'asservissement est représentée sous forme de schéma blocs en figure 3. On y retrouve le photodétec¬ teur 22 fournissant un signal Sz dont la sortie est comparée à un signal de position désirée SzO dans un comparateur 41 suivi d'un contrôleur de stabilisation 42, l'ensemble des éléments 41 et 42 correspondant au contrôleur 31 de la figure 2. Le signal d'asservissement Sf de sortie de ce contrôleur est fourni d'une part à un deuxième comparateur 43 suivi d'un contrôleur 44, l'ensemble du comparateur 43 et du contrôleur 44 correspondant au contrôleur 32 de la figure 2. Le comparateur 43 compare le signal d'asservissement Sf à un signal désiré SO. Le contrôleur
44 fournit une tension de positionnement qui est envoyé par l'intermédiaire d'un amplificateur 33 à l'ensemble piézoélec¬ trique 17 qui fournit un signal correspondant à la position de l'échantillon. De même, le signal Sf est fourni à un amplifica- teur 35 et à un actionneur capacitif 36 correspondant au couplage entre la pièce intermédiaire 12 et la poutre 2. A chaque instant, l'intégrale du signal d'asservissement Sf constitue le signal de mesure d'interaction selon l'invention. Les figures 4A à 4C représentent le signal Sz (ω) tel qu'il serait dans diverses hypothèses. La figure 4D représente le signal Sf (ω) correspondant.
En figure 4A, on a montré ce que serait le signal Sz (ω) à l'entrée du contrôleur 31 en l'absence de tout asser¬ vissement. Ce signal comprendrait trois composantes 61, 62 et 63. Le signal 61 est lié au bruit thermique du système et comprend des pics à la fréquence de résonance (jûg de la poutre et à des modes de résonance plus élevés, (%, (»2.... Le signal 62, basse fréquence, est lié au bruit électrique et mécanique du système. Le signal dû à l'interaction de surface entre la pointe et l'échantillon se déplaçant devant celle-ci est contenu dans la bande spectrale 63 représentée. Ce signal d'interaction de surface peut comprendre des fréquences jusqu'à une valeur GO3 liée à la vitesse de balayage de l'échantillon.
La figure 4B représente la résultante des trois compo¬ santes de la figure 4A.
La figure 4C représente le mouvement de la poutre résultant de l'amortissement selon la présente invention. On a supposé que ce mouvement n'est pas complètement amorti et on a représenté un déplacement encore relativement important pour mieux faire comprendre l'invention. On notera toutefois qu'en pratique, on imposera une atténuation du mouvement d'un facteur de l'ordre de 100 par rapport à ce que serait ce mouvement non amorti tel que représenté en figure 4B.
La figure 4D représente le signal Sf (ω) mesuré à la sortie du contrôleur 42 de la figure 3, qui correspond à la force d'asservissement fournie. Bien entendu, la valeur de ce signal ainsi que l'efficacité de l'amortissement dépendront des fréquences de coupure choisies et des taux d'amplification des divers amplificateurs.
On notera que l'évolution de la force d'asservissement nécessaire à l'amortissement de la poutre en fonction de la fréquence dépend de l'allure de la fonction de réponse de la poutre. A amplitude de déplacement égale, une force bien plus grande est nécessaire pour amortir un déplacement en dehors d'une plage de résonance que dans une plage de fréquences de résonance (ceci explique le creux dans la force d'asservissement pour un déplacement constant au voisinage de la résonance) . En d'autres termes, le déplacement induit par un signal d'amplitude donnée à une fréquence située en dehors d'une plage de résonance sera pratiquement indiscernable par rapport au déplacement induit par ce même signal à une fréquence située dans une plage de résonance. Par contre les forces nécessaires à l'annulation des déplacements seront sensiblement égales. Ainsi, l'influence d'un bruit thermique uniforme, qui est majoritaire aux fréquences de résonance dans la représentation du déplacement de la figure 4C, s'estompe à ces fréquences de réso¬ nance sur la courbe de force d'amortissement de la figure 4D. L'intégrale de la courbe d'énergie d'amortissement de la figure 4D représentera donc l'influence d'une interaction en dehors des plages de fréquences de résonance beaucoup mieux que ne le ferait 1 ' intégrale de la courbe de déplacement de la figure 4B dans laquelle l ' influence de la composante de bruit aux fréquences de résonance serait loin d'être négligeable.
Si on veut améliorer encore les résultats de la présente invention, on peut se placer dans les conditions illus¬ trées en figures 5A à 5D qui correspondent respectivement aux figures 4A à 4D. La différence entre ces figures résulte du choix de la vitesse de balayage relative entre la micropointe et l'échantillon d'où il résulte que le signal d'interaction n'est pas susceptible de contenir des composantes aux fréquences de résonance de la poutre.
Comme l'illustre la figure 5A, la vitesse de balayage entre la micropointe et l'échantillon est choisie pour que la composante fréquentielle la plus élevée pouvant résulter de 1 ' interaction de surface soit inférieure à la fréquence propre de la poutre. On notera que l'effort d'amortissement qui apparaît en figure 5D comprend pour l'essentiel une composante liée à l'interaction de surface. On aura ainsi une mesure plus précise de l'interaction.
Selon le cas, on pourra choisir un balayage rapide tel qu'illustré en relation avec les figures 4A à 4D, qui fournit quand même une bonne mesure du relief de l'échantillon, ou un balayage plus lent tel qu'illustré en relation avec les figures
5A à 5D si on veut obtenir un traitement homogène de toutes les composantes fréquentielles du signal. Par exemple, si on veut observer des surfaces de matières vivantes, en déplacement, on choisira un balayage relativement rapide, correspondant aux conditions de la figure 4.
Selon un premier avantage de la présente invention, 1 ' absence de vibration de la poutre entraîne que la mesure de la force d'interaction est effectuée pour une distance précise et non pour une moyenne de distances comme dans le cas où la poutre est en permanence excitée en vibration. Cela améliore intrinsè¬ quement la précision de la mesure.
Selon un deuxième avantage de la présente invention, 1 ' absence de vibration de la poutre entraîne que l ' invention est bien adaptée à une mesure dans un milieu liquide. En effet dans un tel milieu, les vibrations seraient perturbées par le milieu ambiant et la création de vibrations dans le milieu peut entraîner divers inconvénients.
Selon un troisième avantage de la présente invention, l'annulation par la boucle d'asservissement de vibrations de la poutre entraîne une réduction du bruit thermique et donc une grande augmentation de la précision de mesure. En effet, dans un système classique, le bruit thermique se traduit essentiellement par une excitation de la poutre qui se met à résonner. Ainsi, l'amortissement des vibrations équivaut à un refroidissement de l'ensemble du système, qui serait impossible en milieu liquide.
Selon un troisième avantage de la présente invention, elle permet de réaliser des balayages plus rapides que les dispositifs antérieurs. Bien entendu, la présente invention est susceptible de nombreuses variantes qui apparaîtront à l'homme de l'art, notamment en ce qui concerne la réalisation des divers circuits électriques et électroniques décrits. Par ailleurs la présente invention s'applique à divers types de microscopes à force ato¬ mique, par exemple des microscopes dans lesquels la micropointe, au lieu d'être portée par une poutre est portée par une autre structure souple, par exemple une membrane.

Claims

REVENDICATIONS
1. Microscope à force atomique comprenant une micro¬ pointe disposée sur un support souple lié à une tête de micros¬ cope (11) en regard d'une surface à étudier (5) , comprenant : des moyens (31, 32) pour asservir à une valeur donnée la distance entre ladite tête et ladite surface, cette distance étant mesurée au droit de la pointe, et des moyens (31, 35) commandés pour inhiber la vibration de la micropointe.
2. Microscope atomique selon la revendication 1, dans lequel, à tout instant, le signal de mesure de l'interaction avec la surface à étudier est constitué de 1 ' intégrale du signal d'asservissement (Sf(OD)).
3. Microscope atomique selon la revendication 1, dans lequel la micropointe (1) est disposée à l'extrémité d'une poutre encastrée (2) .
4. Microscope atomique selon la revendication 3, dans lequel les moyens pour inhiber la vibration de la micropointe comprennent des moyens conducteurs (12) solidaires de la tête de microscope (11) , en couplage capacitif avec la poutre (2) et recevant, sans filtrage haute fréquence, le signal d'asservisse¬ ment utilisé pour stabiliser la distance entre la tête de microscope et la surface à étudier.
5. Microscope selon la revendication 4, dans lequel lesdits moyens conducteurs reçoivent des fréquences allant au- delà de la fréquence du troisième mode de résonance de la poutre.
6. Microscope selon la revendication 2, dans lequel la vitesse de balayage transverse entre la tête de microscope et la surface à étudier est choisie pour que la mesure de variation de relief n'ait que des composantes fréquentielles à des fréquences inférieures à la fréquence propre de vibration de la poutre.
EP07766092A 2006-05-24 2007-05-23 Microscope a force atomique asservi Withdrawn EP2029998A1 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0604674A FR2901601B1 (fr) 2006-05-24 2006-05-24 Microscope a force atomique asservi
PCT/FR2007/051319 WO2007135345A1 (fr) 2006-05-24 2007-05-23 Microscope a force atomique asservi

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP2029998A1 true EP2029998A1 (fr) 2009-03-04

Family

ID=37000002

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP07766092A Withdrawn EP2029998A1 (fr) 2006-05-24 2007-05-23 Microscope a force atomique asservi

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20100064397A1 (fr)
EP (1) EP2029998A1 (fr)
JP (1) JP2009537840A (fr)
AU (1) AU2007253164A1 (fr)
CA (1) CA2653116A1 (fr)
FR (1) FR2901601B1 (fr)
WO (1) WO2007135345A1 (fr)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011119930A1 (fr) * 2010-03-26 2011-09-29 Wayne State University Capteur résonnant doté de cantilevers asymétriques espacés
WO2017088016A1 (fr) 2015-11-24 2017-06-01 Rmit University Dispositif à memristance et son procédé de fabrication

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0262253A1 (fr) * 1986-10-03 1988-04-06 International Business Machines Corporation Dispositif micromécanique détecteur de forces atomiques
JP3069923B2 (ja) * 1991-06-17 2000-07-24 キヤノン株式会社 カンチレバー型プローブ及び原子間力顕微鏡、情報記録再生装置
US5883705A (en) * 1994-04-12 1999-03-16 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. University Atomic force microscope for high speed imaging including integral actuator and sensor
JP3497913B2 (ja) * 1995-03-10 2004-02-16 日立建機株式会社 走査型プローブ顕微鏡およびその測定方法
JP3235786B2 (ja) * 1998-06-30 2001-12-04 技術研究組合オングストロームテクノロジ研究機構 走査プローブの力制御方法
US6189374B1 (en) * 1999-03-29 2001-02-20 Nanodevices, Inc. Active probe for an atomic force microscope and method of use thereof
JP2002116132A (ja) * 2000-10-04 2002-04-19 Canon Inc 信号検出装置、該信号検出装置によって構成した走査型原子間力顕微鏡、および信号検出方法
JP4510277B2 (ja) * 2000-12-15 2010-07-21 エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 走査型プローブ顕微鏡

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO2007135345A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
FR2901601B1 (fr) 2008-12-19
JP2009537840A (ja) 2009-10-29
CA2653116A1 (fr) 2007-11-29
FR2901601A1 (fr) 2007-11-30
AU2007253164A1 (en) 2007-11-29
US20100064397A1 (en) 2010-03-11
WO2007135345A1 (fr) 2007-11-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7220962B2 (en) Cantilever array and scanning probe microscope including a sliding, guiding, and rotating mechanism
US7787133B2 (en) Optical displacement-detecting mechanism and probe microscope using the same
EP3244169B1 (fr) Systeme de mesure resonant a resolution amelioree
US20060272418A1 (en) Opto-acoustic methods and apparatus for perfoming high resolution acoustic imaging and other sample probing and modification operations
Rasool et al. A low noise all-fiber interferometer for high resolution frequency modulated atomic force microscopy imaging in liquids
FR2708357A1 (fr) Microscope acoustique.
WO2014114860A1 (fr) Microscope à sonde locale multimode, microscope raman exalté par pointe et procédé de régulation de la distance entre la sonde locale et l'échantillon
EP2029998A1 (fr) Microscope a force atomique asservi
WO1991017435A1 (fr) Procede et dispositif pour determiner en continu le coefficient d'elasticite d'un materiau non rigide en defilement
EP4357801A1 (fr) Dispositif de detection d'un champ magnetique et systeme de mesure d'un champ magnetique comprenant un tel dispositif
WO2006136705A1 (fr) Microscope a force atomique a harmonique superieur
EP2340409B1 (fr) Dispositif et procede de mise en vibration d'un element solide amplificateur au sein d'un gyrolaser
EP2183568A2 (fr) Dispositif de detection heterodyne pour l'imagerie d'un objet par retroinjection
EP2504676A1 (fr) Capteur de force resonant sensible a des micro-forces
FR3061165B1 (fr) Structure microelectronique a amortissement visqueux controle par maitrise de l'effet thermo-piezoresistif
FR3083606A1 (fr) Gyrometre micromecanique resonant performant a encombrement reduit
WO2013057426A1 (fr) Dispositif de mesure de force atomique
FR2929404A1 (fr) Dispositif de positionnement d'un objet mobile submicronique
FR2697087A1 (fr) Procédé acoustique d'analyse microscopique ou d'imagerie d'un objet en profondeur par application d'une pointe vibrante et microscope en faisant application.
EP3159703A1 (fr) Dispositif et systeme microelectromecanique avec transducteur resistif a faible impedance
FR3119024A1 (fr) Dispositif de mesure et/ou de modification d’une surface
EP3049832A1 (fr) Capteur sismique
FR2633782A1 (fr) Dispositif de prelevement d'un faisceau secondaire a partir d'un faisceau laser principal
FR2885446A1 (fr) Sonde coaxiale, son procede de fabrication et dispositif de mesure en champ proche electromagnetique sur des systemes a distance submicrometrique
WO2001009661A1 (fr) Dispositif permettant la determination de caracteristiques de la surface d'un objet.

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20081223

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: AL BA HR MK RS

RIN1 Information on inventor provided before grant (corrected)

Inventor name: COMIN, FABIO

Inventor name: BESANCON, GILDAS

Inventor name: CHEVRIER, JOEL

Inventor name: VODA, ALINA, ANCA

Inventor name: HROUZEK, MICHAL

RIN1 Information on inventor provided before grant (corrected)

Inventor name: COMIN, FABIO

Inventor name: BESANCON, GILDAS

Inventor name: CHEVRIER, JOEL

Inventor name: VODA, ALINA, ANCA

Inventor name: HROUZEK, MICHAL

17Q First examination report despatched

Effective date: 20120706

DAX Request for extension of the european patent (deleted)
STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20121120