EP4549740A3 - Strömungstechnisch- und temperaturoptimierte vakuumpumpe - Google Patents

Strömungstechnisch- und temperaturoptimierte vakuumpumpe

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EP4549740A3
EP4549740A3 EP25164817.6A EP25164817A EP4549740A3 EP 4549740 A3 EP4549740 A3 EP 4549740A3 EP 25164817 A EP25164817 A EP 25164817A EP 4549740 A3 EP4549740 A3 EP 4549740A3
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EP
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holweck
rotor
vacuum pump
diameter
sleeve
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EP25164817.6A
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Jan Hofmann
Maximilian Birkenfeld
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Pfeiffer Vacuum Technology AG
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Pfeiffer Vacuum Technology AG
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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit zumindest einer Holweck-Pumpstufe, die einen Holweck-Rotor und einen Holweck-Stator umfasst. Der Holweck-Rotor umfasst eine Rotorwelle mit einer daran vorgesehenen Nabe sowie zumindest zwei an der Nabe vorgesehene Holweck-Rotorhülsen, welche die Rotorwelle konzentrisch umgeben, wobei eine radial innere Holweck-Rotorhülse einen ersten Durchmesser und eine radial äußere Holweck-Rotorhülse einen zweiten Durchmesser aufweist. Der Holweck-Stator umfasst zwischen den beiden Holweck-Rotorhülsen eine zu diesen konzentrische Holweck-Statorhülse, welche ein an einem stationären Gehäuseabschnitt der Vakuumpumpe angebrachtes festes Ende, ein dem festen Ende in axialer Richtung gegenüberliegendes freies Ende sowie eine Innenoberfläche mit einem daran ausgebildeten Innengewinde und eine Außenoberfläche mit einem daran ausgebildeten Außengewinde aufweist. Der zweite Durchmesser der radial äußeren Holweck-Rotorhülse ist mindestens 30% größer als der erste Durchmesser der radial inneren Holweck-Rotorhülse.
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