ES2238325T3 - Procedimiento y dispositivo para cortar rapidamente una pieza de trabajo de material de rotura fragil por medio de rayos laser. - Google Patents

Procedimiento y dispositivo para cortar rapidamente una pieza de trabajo de material de rotura fragil por medio de rayos laser.

Info

Publication number
ES2238325T3
ES2238325T3 ES00977435T ES00977435T ES2238325T3 ES 2238325 T3 ES2238325 T3 ES 2238325T3 ES 00977435 T ES00977435 T ES 00977435T ES 00977435 T ES00977435 T ES 00977435T ES 2238325 T3 ES2238325 T3 ES 2238325T3
Authority
ES
Spain
Prior art keywords
laser
cutting line
laser beams
workpiece
cooling medium
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
ES00977435T
Other languages
English (en)
Inventor
Bernd Hoetzel
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Schott AG
Original Assignee
Schott AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Schott AG filed Critical Schott AG
Application granted granted Critical
Publication of ES2238325T3 publication Critical patent/ES2238325T3/es
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material
    • B23K26/40Removing material taking account of the properties of the material involved
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00Severing cooled glass
    • C03B33/09Severing cooled glass by thermal shock
    • C03B33/091Severing cooled glass by thermal shock using at least one focussed radiation beam, e.g. laser beam
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/146Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor the fluid stream containing a liquid
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Sawing (AREA)

Abstract

Procedimiento para cortar rápidamente una pieza de trabajo de material de rotura frágil por medio de rayos láser a lo largo de una línea de corte prefijada de cualquier contorno, con los pasos siguientes: - generación de rayos láser, - guiado acoplado de los rayos láser enfocados sobre la línea de corte, sin fusión del material, - conformación del respectivo rayo láser de tal manera que la respectiva sección transversal del rayo que actúa como mancha focal sobre la superficie de la pieza de trabajo a cortar corresponda a una forma y distribución de intensidad predeterminadas, - generación de un movimiento relativo entre los rayos láser y la pieza de trabajo a lo largo de la línea de corte, con inducción de una tensión termomecánica, caracterizado porque los rayos láser guiados en forma acoplada son guiados uno tras otro hacia la línea de corte o porque los rayos láser guiados en forma acoplada son guiados hacia la línea de corte en forma total o parcialmente superpuesta y se aplica así unaalta potencia de láser a la pieza de trabajo a cortar, sin que se funda dicha pieza de trabajo, y porque se insufla seguidamente un medio refrigerante fluido para la refrigeración subsiguiente del segmento calentado de la línea de corte, incrementando al propio tiempo la tensión termodinámica hasta más allá de la resistencia a la rotura de la pieza de trabajo.

Description

Procedimiento y dispositivo para cortar rápidamente una pieza de trabajo de material de rotura frágil por medio de rayos láser.
La invención se refiere a un procedimiento y un dispositivo para cortar rápidamente una pieza de trabajo de material de rotura frágil, especialmente de vidrio, vitrocerámica o cerámica, por medio de rayos láser a lo largo de una línea de corte de cualquier contorno. Una aplicación preferida es el corte rápido de vidrio plano.
Los procedimientos convencionales de partición de vidrio se basan en generar primero por medio de un diamante o una ruedecilla de corte una traza de rayado en el vidrio para romper a continuación el vidrio por medio de una fuerza mecánica exterior a lo largo del sitio debilitado así generado. En estos procedimientos es desventajoso el hecho de que, debido a la traza de rayado, se sueltan partículas (esquirlas) de la superficie que se pueden depositar sobre el vidrio y conducir allí, por ejemplo, a arañazos. Asimismo, se pueden producir los llamados desconchamientos en el canto del corte, los cuales conducen a un borde no plano del vidrio. Además, las microfisuras producidas durante el rayado en el canto del corte conducen a una capacidad de solicitación mecánica reducida, es decir, a un riesgo de rotura incrementado.
Un método para evitar tanto esquirlas como desconchamientos y microfisuras consiste en partir el vidrio sobre la base de una tensión térmicamente generada. En este caso, una fuente de calor que está dirigida hacia el vidrio es movida a velocidad fija con relación al vidrio y se genera así una tensión térmica tan alta que el vidrio forma fisuras. La propiedad necesaria de la fuente de calor consistente en poder posicionar la energía térmica localmente, es decir, con una precisión mejor de un milímetro, lo que corresponde a las precisiones de corte típicas, es satisfecha por radiadores de infrarrojos, quemadores de gas especiales y en particular láseres. Los láseres se han acreditado e impuesto a causa de su buena capacidad de enfoque, su buena capacidad de control de la potencia y la posibilidad de conformación del rayo y, por tanto, la distribución de la intensidad sobre el vidrio.
Este procedimiento de corte con rayo láser, que, debido a un calentamiento local por el rayo láser enfocado, en combinación con una refrigeración desde fuera, induce una tensión termomecánica hasta más allá de la resistencia a la rotura del material, ha sido dado a conocer por varios documentos.
El procedimiento conocido por el documento WO 93/20015 utiliza un rayo láser con una forma elíptica, dotado de una mancha de refrigeración subsiguiente. Este procedimiento muestra buenos resultados en el rayado en línea recta de material en placa no metálico, pero no puede asegurar un rayado de alto valor y alta precisión a lo largo de un contorno curvado. Además, el procedimiento citado presenta una reducida estabilidad del desarrollo del corte a una elevada densidad de radiación y a altas velocidades de corte.
Para optimizar las condiciones de calentamiento del material a lo largo de la línea de corte, el calentamiento se efectúa según el documento WO 96/20062 por medio de un haz de radiación calorífica en cuya sección transversal, que discurre a través del centro del haz, se distribuye la densidad de la potencia de radiación disminuyendo desde la periferia hacia el centro. Se emplea un haz de rayos elíptico que produce una distribución de la temperatura en forma de un anillo elíptico.
Los inconvenientes de estos procedimientos conocidos se evitan con el procedimiento según el documento EP 0 872 303 A2, que prevé una mancha focal con un contorno de forma de U o de V que se abre en la dirección de corte y con una distribución característica de la intensidad. Este problema ha dado buenos resultados en la práctica para la realización de cortes rectos. Es posible partir también limpiamente grandes espesores de pieza de trabajo. En la realización de cortes de forma libre, es decir, cortes con cualquier contorno, también curvado, se tiene que generar una distribución de la intensidad de forma de U o de V curvada, adaptada al contorno de la línea de corte, y se tiene que seguir al contorno en unión de la refrigeración subsiguiente. Esto requiere especialmente un acoplamiento del mecanismo de escaneo generador de la mancha focal con un sistema de control de trayectoria, lo que trae consigo un coste de control y de ajuste no despreciable.
Se ha dado a conocer por el documento DE 44 11 037 C2 un procedimiento de corte con rayo láser para cortar vidrios huecos, que trabaja con un rayo láser estacionario fuertemente concentrado en un punto, que genera una zona de tensión térmica todo alrededor del vidrio hueco giratorio. Seguidamente, se enfría a lo largo de la zona de tensión introducida, en todo el perímetro del vidrio hueco, con una niebla de agua pulverizada descargada de una boquilla y se logra así, en unión de una fisura de arranque mecánica o térmicamente generada, una partición del borde del vidrio hueco.
Se ha dado a conocer por el documento DE 43 05 107 A1 un procedimiento de corte con rayo láser en el que el rayo láser está conformado de modo que su sección transversal presenta una forma alargada en la superficie de la pieza de trabajo, y en el que la relación de la longitud y la anchura de la sección transversal producida del rayo se puede ajustar por medio de un diafragma en la trayectoria del rayo láser.
Asimismo, se conocen procedimientos para cortar vidrio por medio de varios rayos láser.
La patente GB-PS 1,433,463 describe un procedimiento en el que se trabaja con dos rayos láser, empleándose el primer rayo láser con baja energía para el precalentamiento y empleándose el segundo rayo láser con alta energía para el corte propiamente dicho por medio de fusión del vidrio.
En el procedimiento descrito en el documento DE-AS 1 244 346 se utiliza más de un rayo láser en el mismo corte, entre otras cosas, para generar cantos perfilados durante el corte con láser y los distintos rayos láser forman ángulos diferentes con la superficie del vidrio. La patente US 3,453,097 correspondiente describe un procedimiento para cortar vidrio por medio de varios rayos láser conducidos en forma acoplada hacia la línea de corte.
El procedimiento de corte con rayo láser primeramente citado se ha acreditado, por los más diferentes motivos, como el procedimiento más superior y se ha impuesto en la práctica. La invención parte también de éste. La capacidad de corte que se puede lograr con el procedimiento primeramente citado y la capacidad de utilización del procedimiento vienen condicionadas especialmente por la efectiva inducción de una tensión termomecánica a lo largo de la línea de corte en la pieza de trabajo a cortar, la distribución de la intensidad en el rayo láser y la clase de refrigeración. La inducción rápida y al mismo tiempo efectiva - necesaria para el corte - de una tensión termomecánica a largo de la línea de corte queda garantiza sólo en medida insuficiente con los procedimientos conocidos. Debido a la ineficaz inducción de la tensión termomecánica se han impuesto límites al requisito de velocidades de corte cada vez mayores.
El cometido de la presente invención consiste en proporcionar un procedimiento y un dispositivo para cortar una pieza de trabajo de material de rotura frágil, especialmente de vidrio, vitrocerámica o cerámica, por medio de rayos láser a lo largo de una línea de corte prefijada de cualquier contorno, de modo que, sin que se presenten microfisuras, desconchamientos o esquirlas, se haga posible una alta precisión de corte y fidelidad de contorno, así como un corte rápido.
Este problema se resuelve con un procedimiento según la reivindicación 1.
Según las medidas de la reivindicación 1, el corte rápido de una pieza de trabajo de material de rotura frágil por medio de rayos láser a lo largo de una línea de corte prefijada de cualquier contorno se efectúa con los pasos siguientes:
-
generación de rayos láser,
-
guiado acoplado de los rayos láser enfocados sobre la línea de corte, sin fusión del material,
-
conformación del respectivo rayo láser de tal manera que la respectiva sección transversal que actúa como mancha focal sobre la superficie de la pieza de trabajo a cortar corresponda a una forma y distribución de intensidad predeterminadas,
-
generación de un movimiento relativo entre los rayos láser y la pieza de trabajo a lo largo de la línea de corte, con inducción de una tensión termomecánica, en donde
los rayos láser guiados en forma acoplada son guiados uno tras otro hacia la línea de corte o los rayos láser guiados en forma acoplada son conducidos hacia la línea de corte en forma total o parcialmente superpuesta y se aporta así una alta potencia de láser a la pieza de trabajo a cortar, sin que se funda esta pieza de trabajo. A continuación, se aplica un medio refrigerante fluido para la refrigeración subsiguiente del segmento calentado de la línea de corte, aumentando al mismo tiempo la tensión termomecánica hasta más allá de la resistencia a la rotura del material.
Se logran cantos de partición limpios que no contienen microfisuras ni desconchamientos o esquirlas.
El procedimiento según la invención permite la inducción rápida y efectiva de una tensión termomecánica a lo largo de una línea de corte de cualquier contorno. Sorprendentemente, se ha visto que se pueden aportar altas potencias de láser a la pieza de trabajo a cortar, sin que esta pieza de trabajo de funda. Al mismo tiempo, la velocidad de corte ha podido ser incrementada en hasta un 100% con respecto a procedimientos actuales.
Así, se pueden conseguir sin dificultades velocidades de corte de hasta 200 m/min.
En particular, para aportar altas potencias de láser a la pieza de trabajo sin que ésta se funda al mismo tiempo, es ventajoso que los rayos láser guiados en forma acoplada y especialmente en paralelo sean conducidos uno tras otro hacia la línea de corte. Es posible así que los rayos láser sean conducidos uno tras otro a corta distancia o bien que los rayos láser sean conducidos hacia la línea de corte en forma total o parcialmente superpuesta.
Los respectivos rayos láser se conforman preferiblemente de tal manera que las secciones de los rayos que actúan como manchas focales sobre la superficie de la pieza de trabajo a cortar correspondan cada vez a la misma forma y a la misma distribución de la intensidad.
Además, los rayos láser se conducen de preferencia paralelamente entre sí hacia la línea de corte, perpendicularmente a la superficie de la pieza de trabajo o al menos bajo el mismo ángulo con ésta.
Al cortar vidrio hay que cuidar especialmente de que no se sobrepase la temperatura de transformación T_{G} del vidrio correspondiente.
Si se aplica una microfisura al comienzo de la línea de corte, la fisura sigue a la línea de corte con mucha precisión.
Preferiblemente, los respectivos rayos láser son rayos de uno o varios láseres de CO o de CO_{2}, siendo sintonizable de manera especialmente preferida la longitud de onda del láser y pudiendo adaptarse así ésta al respectivo máximo de absorción del material a cortar. Cuanto mejor pueda adaptarse la longitud de onda del láser al máximo de absorción del material a cortar, tanto más efectiva será la inducción de una tensión termomecánica y tanto más alta puede elegirse también la velocidad de corte.
El medio refrigerante fluido se insufla preferiblemente de arriba abajo sobre la pieza de trabajo.
Medios refrigerantes fluidos preferidos son gases refrigerantes, preferiblemente aire frío, o una mezcla de aire y agua.
En una ejecución preferida de la invención se ajusta y regula la temperatura del medio refrigerante fluido. De manera especialmente preferida, se enfría adicionalmente el medio refrigerante fluido. Esto puede efectuarse, por ejemplo, por medio de al menos un elemento Peltier. Se hace posible así una conducción reproducible del proceso en condiciones regulables y controlables.
En otra ejecución de la invención se conforma el rayo láser por medio de una o varias boquillas concéntricas y/o elípticas.
Se pueden emplear todas las formas de rayo láser y disposiciones de boquilla que hagan posible una refrigeración eficaz.
En principio, se pueden emplear todas las formas de rayo láser predeterminadas y distribuciones de intensidad ligadas a ellas sobre la pieza de trabajo a cortar.
Se prefieren especialmente el contorno de forma de U o de V del rayo láser, descrito en el documento EP 0 872 303 A2, y la distribución de intensidad ligada al mismo.
Además, el láser de CO o de CO_{2}, como también cualquier otro láser que sea suficientemente absorbido por el material, es adecuado para la fusión y redondeamiento finales del canto roto con aristas vivas.
El procedimiento según la invención es adecuado especialmente para cortar materiales de rotura frágil a base de vidrio, vitrocerámica o cerámica, pudiendo cortarse ventajosamente también materiales relativamente gruesos, por ejemplo vidrio plano con un espesor de 30 mm.
El procedimiento según la invención es adecuado especialmente para cortar piezas de trabajo de vidrio plano de cualquier contorno, especialmente para cortar discos de forma circular o de forma de corona circular. Tales discos de vidrio de forma de corona circular se emplean preferiblemente como vidrio de substrato para medios de memoria magnéticos y ópticos.
Respecto del dispositivo para cortar rápidamente una pieza de trabajo de material de rotura frágil por medio de rayos láser a lo largo de una línea de corte de cualquier contorno, se han previsto:
-
una o varias fuentes de láser para generar rayos láser,
-
medios ópticos para el guiado acoplado de los rayos láser enfocados sobre la línea de corte, sin fundir el material,
-
medios para conformar el respectivo rayo láser de tal manera que la respectiva sección transversal del rayo que actúa como mancha focal sobre la superficie de la pieza de trabajo a cortar corresponda a una forma y distribución de intensidad predeterminadas,
-
una disposición de accionamiento para generar un movimiento relativo entre los rayos láser y la pieza de trabajo a lo largo de la línea de corte con inducción de una tensión termomecánica,
-
los medios ópticos para el guiado acoplado de los rayos láser permiten un guiado acoplado de los rayos láser enfocados y situados a corta distancia uno tras otro hacia la línea de corte o los medios ópticos para el guiado acoplado de los rayos láser permiten un guiado acoplado de los rayos láser enfocados y total o parcialmente superpuestos hacia la línea de corte para aportar así una alta potencia de láser a la pieza de trabajo a cortar, sin que se funda dicha pieza de trabajo, y
-
medios para insuflar un medio refrigerante fluido para la refrigeración subsiguiente del segmento calentado de la línea de corte, incrementando al propio tiempo la tensión termomecánica hasta más allá de la resistencia a la rotura del material.
Es posible a este respecto que los medios ópticos para el guiado acoplado de los rayos láser permitan un guiado acoplado de los rayos láser de tal manera que los rayos láser sean conducidos hacia la línea de corte enfocados y separados uno de otro o bien total o parcialmente superpuestos.
Asimismo, se han previsto preferiblemente medios para aplicar una microfisura al comienzo de la línea de corte.
Preferiblemente, el láser es un láser de CO_{2} cuya longitud de onda corresponde al máximo de absorción espectral del material a cortar. Este láser de CO_{2} emite luz en el dominio infrarrojo lejano a una longitud de onda de 10,6 \mum. Esta radiación calorífica muestra considerables peculiaridades al actuar sobre materia. Así, es fuertemente absorbido por la mayoría de los materiales transparentes en el dominio de la luz visible.
La circunstancia de la fuerte absorción en vidrio es empleada para cortar vidrio. A un coeficiente de absorción de 10^{3}cm^{-1} se absorbe un 95% de la potencia en una capa de 30 \mum de espesor.
Si se deben cortar materiales cuyos máximos de absorción se encuentran en una longitud de onda de aproximadamente 5 \mum, se ofrece el empleo de un láser de CO como fuente de láser.
En principio, pueden emplearse todos los medios predeterminados para generar, conformar y guiar un rayo láser, que sean adecuados para inducir una tensión termomecánica por debajo de la temperatura de fusión de la pieza de trabajo a cortar.
Según otra forma de ejecución, el chorro de gas para soplar libremente la porción de la superficie de la pieza de trabajo sobre la cual incide el rayo láser es un chorro de aire.
Se explican seguidamente con más detalle ejemplos de formas de ejecución de la invención.
Para cortar rápidamente una pieza de trabajo de material de rotura frágil por medio de rayos láser a lo largo de una línea de corte prefijada de cualquier contorno se generan cada vez tres rayos láser que, guiados en forma acoplada, se enfocan sobre la línea de corte, sin fundir el material. Los rayos láser son conducidos de preferencia perpendicularmente a la superficie de la pieza de trabajo. Los rayos láser se conforman de tal manera que la respectiva sección transversal que actúa como mancha focal sobre la superficie de la pieza de trabajo a cortar corresponda a una forma y distribución de intensidad predeterminadas. La respectiva sección transversal de los rayos posee un contorno de forma de V y la distribución de intensidad ligada al mismo. Por el contrario, la respectiva sección transversal de los rayos que actúa como mancha focal presenta un contorno de forma lineal.
Generando un movimiento relativo entre los tres rayos láser acoplados y la pieza de trabajo a lo largo de la línea de corte se induce una tensión termomecánica en la pieza de trabajo. Es esencial a este respecto que los rayos láser acoplados paralelos sigan lo más exactamente posible a la línea de corte prefijada. Siguiendo a los rayos láser, se incrementa la tensión termomecánica hasta más allá de la resistencia a la rotura del material de trabajo mediante el insuflado de un medio refrigerante fluido para la refrigeración subsiguiente (mancha de refrigeración) del segmento calentado de la línea de corte.
Los tres rayos láser paralelos son guiados aquí al mismo tiempo hacia la línea de corte, de preferencia uno tras otro.

Claims (20)

1. Procedimiento para cortar rápidamente una pieza de trabajo de material de rotura frágil por medio de rayos láser a lo largo de una línea de corte prefijada de cualquier contorno, con los pasos siguientes:
-
generación de rayos láser,
-
guiado acoplado de los rayos láser enfocados sobre la línea de corte, sin fusión del material,
-
conformación del respectivo rayo láser de tal manera que la respectiva sección transversal del rayo que actúa como mancha focal sobre la superficie de la pieza de trabajo a cortar corresponda a una forma y distribución de intensidad predetermi- nadas,
-
generación de un movimiento relativo entre los rayos láser y la pieza de trabajo a lo largo de la línea de corte, con inducción de una tensión termomecánica,
caracterizado porque los rayos láser guiados en forma acoplada son guiados uno tras otro hacia la línea de corte o porque los rayos láser guiados en forma acoplada son guiados hacia la línea de corte en forma total o parcialmente superpuesta y se aplica así una alta potencia de láser a la pieza de trabajo a cortar, sin que se funda dicha pieza de trabajo, y porque se insufla seguidamente un medio refrigerante fluido para la refrigeración subsiguiente del segmento calentado de la línea de corte, incrementando al propio tiempo la tensión termodinámica hasta más allá de la resistencia a la rotura de la pieza de trabajo.
2. Procedimiento según la reivindicación 1, caracterizado porque se aplica una microfisura al comienzo de la línea de corte.
3. Procedimiento según la reivindicación 1 ó 2, caracterizado porque se emplea como respectivo rayo láser el rayo de un láser de CO o de CO_{2}.
4. Procedimiento según al menos una de las reivindicaciones 1 a 3, caracterizado porque se emplea como respectivo rayo láser el rayo de un láser sintonizable.
5. Procedimiento según al menos una de las reivindicaciones 1 a 4, caracterizado porque el medio refrigerante fluido es insuflado de arriba abajo sobre la pieza de trabajo.
6. Procedimiento según al menos una de las reivindicaciones 1 a 5, caracterizado porque se efectúa la refrigeración insuflando un gas refrigerante, preferiblemente aire frío.
7. Procedimiento según al menos una de las reivindicaciones 1 a 6, caracterizado porque se efectúa la refrigeración insuflando una mezcla de aire y
agua.
8. Procedimiento según al menos una de las reivindicaciones 1 a 7, caracterizado porque se ajusta y regula la temperatura del medio refrigerante flui-
do.
9. Procedimiento según al menos una de las reivindicaciones 1 a 8, caracterizado porque se enfría el medio refrigerante fluido.
10. Procedimiento según al menos una de las reivindicaciones 1 a 9, caracterizado porque se enfría el medio refrigerante fluido por medio de al menos un elemento Peltier.
11. Dispositivo para cortar rápidamente una pieza de trabajo de material de rotura frágil por medio de rayos láser a lo largo de una línea de corte prefijada de cualquier contorno, que comprende:
-
una o más fuentes de láser para generar rayos láser,
-
medios ópticos para el guiado acoplado de los rayos láser enfocados sobre la línea de corte, sin fusión del material,
-
medios para conformar el respectivo rayo láser de tal manera que la respectiva sección transversal del rayo que actúa como mancha focal sobre la superficie de la pieza de trabajo a cortar corresponda a una forma y distribución de intensidad predeterminadas,
-
una disposición de accionamiento para generar un movimiento relativo entre los rayos láser y la pieza de trabajo a lo largo de la línea de corte con inducción de una tensión termomecánica,
caracterizado porque los medios ópticos para el guiado acoplado de los rayos láser permiten un guiado acoplado de los rayos láser hacia la línea de corte con dichos rayos enfocados y situados a corta distancia uno tras otro, o porque los medios ópticos para el guiado acoplado de los rayos láser permiten un guiado acoplado de los rayos láser hacia la línea de corte con dichos rayos enfocados y total o parcialmente superpuestos, y se puede aportar así una alta potencia de láser a la pieza de trabajo a cortar, sin que se funda dicha pieza de trabajo, y porque están previstos medios para insuflar un medio refrigerante fluido para la refrigeración subsiguiente del segmento calentado de la línea de corte, incrementando al propio tiempo la tensión termomecánica hasta más allá de la resistencia a la rotura del material.
12. Dispositivo según la reivindicación 11, caracterizado por medios para aplicar una microfisura al comienzo de la línea de corte.
13. Dispositivo según la reivindicación 11 ó 12, caracterizado porque una o más fuentes de láser son láseres de CO o de CO_{2}.
14. Dispositivo según al menos una de las reivindicaciones 11 a 13, caracterizado porque una o más fuentes de láser son sintonizables.
15. Dispositivo según al menos una de las reivindicaciones 11 a 14, caracterizado porque los medios para insuflar un medio refrigerante fluido permiten un insuflado de arriba abajo.
16. Dispositivo según al menos una de las reivindicaciones 11 a 15, caracterizado porque los medios para insuflar un medio refrigerante fluido permiten un insuflado de un gas refrigerante, preferiblemente un insuflado de aire frío.
17. Dispositivo según al menos una de las reivindicaciones 11 a 16, caracterizado porque los medios para insuflar un medio refrigerante fluido permiten un insuflado de una mezcla de aire y agua.
18. Dispositivo según al menos una de las reivindicaciones 11 a 17, caracterizado porque la temperatura del medio refrigerante fluido es ajustable y regulable.
19. Dispositivo según al menos una de las reivindicaciones 11 a 18, caracterizado por medios para enfriar el medio refrigerante fluido.
20. Dispositivo según la reivindicación 19, caracterizado porque los medios para enfriar el medio refrigerante fluido contienen al menos un elemento Peltier.
ES00977435T 1999-10-29 2000-10-27 Procedimiento y dispositivo para cortar rapidamente una pieza de trabajo de material de rotura fragil por medio de rayos laser. Expired - Lifetime ES2238325T3 (es)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19952331 1999-10-29
DE19952331A DE19952331C1 (de) 1999-10-29 1999-10-29 Verfahren und Vorrichtung zum schnellen Schneiden eines Werkstücks aus sprödbrüchigem Werkstoff mittels Laserstrahlen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ES2238325T3 true ES2238325T3 (es) 2005-09-01

Family

ID=7927411

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
ES00977435T Expired - Lifetime ES2238325T3 (es) 1999-10-29 2000-10-27 Procedimiento y dispositivo para cortar rapidamente una pieza de trabajo de material de rotura fragil por medio de rayos laser.

Country Status (10)

Country Link
US (1) US6800831B1 (es)
EP (1) EP1224053B1 (es)
JP (2) JP2003512943A (es)
KR (1) KR100510775B1 (es)
CN (1) CN1181946C (es)
AT (1) ATE291985T1 (es)
AU (1) AU1515601A (es)
DE (2) DE19952331C1 (es)
ES (1) ES2238325T3 (es)
WO (1) WO2001032349A1 (es)

Families Citing this family (89)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19963939B4 (de) * 1999-12-31 2004-11-04 Schott Spezialglas Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Durchtrennen von flachen Werkstücken aus sprödbrüchigem Material
DE10200144B4 (de) * 2002-01-04 2005-12-29 Schott Ag Verfahren und Vorrichtung zum Trennen eines Werkstoffes
US7304265B2 (en) * 2002-03-12 2007-12-04 Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. Method and system for machining fragile material
JP2004042423A (ja) * 2002-07-11 2004-02-12 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd スクライブ装置
CN100528507C (zh) 2002-11-06 2009-08-19 三星钻石工业股份有限公司 划线形成设备和划线形成方法
KR100497005B1 (ko) * 2003-01-30 2005-06-23 주식회사 에쎌텍 레이저 절단장치
EP1690835B1 (en) * 2003-12-05 2011-08-17 Asahi Glass Company Ltd. Method for cutting glass plates
CN100389485C (zh) * 2003-12-27 2008-05-21 上海华虹(集团)有限公司 一种运用激光制作集成电路样品断面的方法
DE102005013783B4 (de) * 2005-03-22 2007-08-16 Jenoptik Automatisierungstechnik Gmbh Verfahren zum Trennen von spröden Materialien mittels Laser mit unsymmetrischer Strahlungsdichteverteilung
DE102005024563B9 (de) * 2005-05-28 2006-12-14 Schott Ag Verfahren zum Trennen von Glas und Verwendung einer dafür geeigneten Flüssigkeit
WO2006129504A1 (ja) * 2005-06-03 2006-12-07 Asahi Glass Company, Limited 合わせガラスの切断方法および装置
DE102005038027A1 (de) * 2005-08-06 2007-02-08 Jenoptik Automatisierungstechnik Gmbh Verfahren zum Durchtrennen von spröden Flachmaterialien
WO2007049668A1 (ja) * 2005-10-28 2007-05-03 Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. 脆性材料基板のスクライブライン形成方法およびスクライブライン形成装置
KR100972488B1 (ko) * 2005-12-29 2010-07-26 엘지디스플레이 주식회사 레이저를 이용한 액정표시소자 절단장치 및 절단방법, 이를이용한 액정표시소자 제조방법
US7971012B2 (en) * 2007-05-15 2011-06-28 Pitney Bowes Inc. Mail processing computer automatic recovery system and method
US7982162B2 (en) * 2007-05-15 2011-07-19 Corning Incorporated Method and apparatus for scoring and separating a brittle material with a single beam of radiation
TWI341242B (en) * 2007-07-31 2011-05-01 Nat Applied Res Laboratories Device for cutting brittle material
JP5011048B2 (ja) * 2007-09-27 2012-08-29 三星ダイヤモンド工業株式会社 脆性材料基板の加工方法
CN101164936B (zh) * 2007-09-28 2010-09-15 华北制药股份有限公司玻璃分公司 一种卡式瓶制造方法
KR101303542B1 (ko) * 2008-02-11 2013-09-03 엘지디스플레이 주식회사 평판표시패널 절단장치
US8053704B2 (en) * 2008-05-27 2011-11-08 Corning Incorporated Scoring of non-flat materials
US8258427B2 (en) * 2008-05-30 2012-09-04 Corning Incorporated Laser cutting of glass along a predetermined line
US8051679B2 (en) * 2008-09-29 2011-11-08 Corning Incorporated Laser separation of glass sheets
US8895892B2 (en) * 2008-10-23 2014-11-25 Corning Incorporated Non-contact glass shearing device and method for scribing or cutting a moving glass sheet
US8347651B2 (en) * 2009-02-19 2013-01-08 Corning Incorporated Method of separating strengthened glass
US8245540B2 (en) * 2009-02-24 2012-08-21 Corning Incorporated Method for scoring a sheet of brittle material
CN102686354B (zh) * 2009-03-20 2015-11-25 康宁股份有限公司 精密激光刻痕
JP5478957B2 (ja) * 2009-06-30 2014-04-23 三星ダイヤモンド工業株式会社 脆性材料基板の割断方法
WO2011002089A1 (ja) * 2009-07-03 2011-01-06 旭硝子株式会社 脆性材料基板の割断方法及び割断装置並びにその割断方法により得られる車両用窓ガラス
US8932510B2 (en) * 2009-08-28 2015-01-13 Corning Incorporated Methods for laser cutting glass substrates
US8171753B2 (en) * 2009-11-18 2012-05-08 Corning Incorporated Method for cutting a brittle material
US8946590B2 (en) 2009-11-30 2015-02-03 Corning Incorporated Methods for laser scribing and separating glass substrates
JP5696393B2 (ja) * 2010-08-02 2015-04-08 日本電気硝子株式会社 ガラスフィルムの割断方法
TWI513670B (zh) * 2010-08-31 2015-12-21 Corning Inc 分離強化玻璃基板之方法
DE102010045094B4 (de) * 2010-09-13 2013-03-07 Schott Ag Verfahren und Vorrichtung zur lasergestützten Glasformung
US8887529B2 (en) 2010-10-29 2014-11-18 Corning Incorporated Method and apparatus for cutting glass ribbon
WO2012096053A1 (ja) * 2011-01-11 2012-07-19 旭硝子株式会社 強化ガラス板の切断方法
CN102627396A (zh) * 2011-06-14 2012-08-08 胡伟 一种玻璃/陶瓷深加工成型方法及成型设备
RU2471600C1 (ru) * 2011-08-04 2013-01-10 Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России) Способ газолазерной резки крупногабаритных деталей из композиционных материалов и устройство для его осуществления
US9938180B2 (en) 2012-06-05 2018-04-10 Corning Incorporated Methods of cutting glass using a laser
US9610653B2 (en) 2012-09-21 2017-04-04 Electro Scientific Industries, Inc. Method and apparatus for separation of workpieces and articles produced thereby
WO2014079478A1 (en) 2012-11-20 2014-05-30 Light In Light Srl High speed laser processing of transparent materials
EP2754524B1 (de) 2013-01-15 2015-11-25 Corning Laser Technologies GmbH Verfahren und Vorrichtung zum laserbasierten Bearbeiten von flächigen Substraten, d.h. Wafer oder Glaselement, unter Verwendung einer Laserstrahlbrennlinie
EP2781296B1 (de) 2013-03-21 2020-10-21 Corning Laser Technologies GmbH Vorrichtung und verfahren zum ausschneiden von konturen aus flächigen substraten mittels laser
US10442719B2 (en) 2013-12-17 2019-10-15 Corning Incorporated Edge chamfering methods
US9676167B2 (en) 2013-12-17 2017-06-13 Corning Incorporated Laser processing of sapphire substrate and related applications
US11556039B2 (en) 2013-12-17 2023-01-17 Corning Incorporated Electrochromic coated glass articles and methods for laser processing the same
US9850160B2 (en) * 2013-12-17 2017-12-26 Corning Incorporated Laser cutting of display glass compositions
US20150165560A1 (en) 2013-12-17 2015-06-18 Corning Incorporated Laser processing of slots and holes
US9815730B2 (en) 2013-12-17 2017-11-14 Corning Incorporated Processing 3D shaped transparent brittle substrate
US9517963B2 (en) 2013-12-17 2016-12-13 Corning Incorporated Method for rapid laser drilling of holes in glass and products made therefrom
US9701563B2 (en) * 2013-12-17 2017-07-11 Corning Incorporated Laser cut composite glass article and method of cutting
US9260337B2 (en) 2014-01-09 2016-02-16 Corning Incorporated Methods and apparatus for free-shape cutting of flexible thin glass
CN103831539B (zh) * 2014-01-10 2016-01-20 合肥鑫晟光电科技有限公司 激光打孔方法及激光打孔系统
CN106687419A (zh) 2014-07-08 2017-05-17 康宁股份有限公司 用于激光处理材料的方法和设备
US11648623B2 (en) * 2014-07-14 2023-05-16 Corning Incorporated Systems and methods for processing transparent materials using adjustable laser beam focal lines
US10611667B2 (en) 2014-07-14 2020-04-07 Corning Incorporated Method and system for forming perforations
EP3169476A1 (en) 2014-07-14 2017-05-24 Corning Incorporated Interface block; system for and method of cutting a substrate being transparent within a range of wavelengths using such interface block
EP3169479B1 (en) 2014-07-14 2019-10-02 Corning Incorporated Method of and system for arresting incident crack propagation in a transparent material
US10017411B2 (en) * 2014-11-19 2018-07-10 Corning Incorporated Methods of separating a glass web
US10047001B2 (en) 2014-12-04 2018-08-14 Corning Incorporated Glass cutting systems and methods using non-diffracting laser beams
WO2016115017A1 (en) 2015-01-12 2016-07-21 Corning Incorporated Laser cutting of thermally tempered substrates using the multi photon absorption method
HUE055461T2 (hu) 2015-03-24 2021-11-29 Corning Inc Kijelzõ üveg kompozíciók lézeres vágása és feldolgozása
WO2016160391A1 (en) 2015-03-27 2016-10-06 Corning Incorporated Gas permeable window and method of fabricating the same
EP3319911B1 (en) 2015-07-10 2023-04-19 Corning Incorporated Methods of continuous fabrication of holes in flexible substrate sheets and products relating to the same
CN105081587A (zh) * 2015-09-21 2015-11-25 江南大学 一种水射流激光复合多道切割陶瓷的方法
CN105702882A (zh) * 2016-01-29 2016-06-22 深圳市华星光电技术有限公司 封装组件及其封装方法
JP6938543B2 (ja) 2016-05-06 2021-09-22 コーニング インコーポレイテッド 透明基板からの、輪郭設定された形状のレーザ切断及び取り外し
US10410883B2 (en) 2016-06-01 2019-09-10 Corning Incorporated Articles and methods of forming vias in substrates
US10794679B2 (en) 2016-06-29 2020-10-06 Corning Incorporated Method and system for measuring geometric parameters of through holes
DE102016114104A1 (de) 2016-07-29 2018-02-01 Schott Ag Verfahren zur lasergestützen Umformung von Glaskörpern
WO2018022476A1 (en) 2016-07-29 2018-02-01 Corning Incorporated Apparatuses and methods for laser processing
KR102423775B1 (ko) 2016-08-30 2022-07-22 코닝 인코포레이티드 투명 재료의 레이저 가공
CN109803786B (zh) 2016-09-30 2021-05-07 康宁股份有限公司 使用非轴对称束斑对透明工件进行激光加工的设备和方法
US11542190B2 (en) 2016-10-24 2023-01-03 Corning Incorporated Substrate processing station for laser-based machining of sheet-like glass substrates
US10752534B2 (en) 2016-11-01 2020-08-25 Corning Incorporated Apparatuses and methods for laser processing laminate workpiece stacks
US10688599B2 (en) 2017-02-09 2020-06-23 Corning Incorporated Apparatus and methods for laser processing transparent workpieces using phase shifted focal lines
US11512016B2 (en) 2017-03-22 2022-11-29 Corning Incorporated Methods of separating a glass web
US11078112B2 (en) 2017-05-25 2021-08-03 Corning Incorporated Silica-containing substrates with vias having an axially variable sidewall taper and methods for forming the same
US10580725B2 (en) 2017-05-25 2020-03-03 Corning Incorporated Articles having vias with geometry attributes and methods for fabricating the same
US10626040B2 (en) 2017-06-15 2020-04-21 Corning Incorporated Articles capable of individual singulation
US12180108B2 (en) 2017-12-19 2024-12-31 Corning Incorporated Methods for etching vias in glass-based articles employing positive charge organic molecules
US11554984B2 (en) 2018-02-22 2023-01-17 Corning Incorporated Alkali-free borosilicate glasses with low post-HF etch roughness
CN108971772B (zh) * 2018-08-29 2020-08-14 杭州千皓科技有限公司 一种激光光学玻璃切割的裂片工艺
CN111645210B (zh) * 2020-06-18 2021-08-20 惠安洛强装修设计中心 一种冷热液往复循环的辅助硬质石材切割设备
CN111558785B (zh) * 2020-07-14 2020-10-23 武汉华工激光工程有限责任公司 一种用于透明材料三维轮廓加工的方法
CN112404747B (zh) * 2020-11-09 2022-05-24 松山湖材料实验室 一种晶圆剥离方法和晶圆剥离装置
CN114734153B (zh) * 2022-03-31 2023-02-14 武汉华日精密激光股份有限公司 一种用于激光器加工脆性材料的裂片方法及系统
CN115781059B (zh) * 2023-02-08 2023-07-21 佛山科学技术学院 基于脆性材料的激光切割方法及系统

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1244346B (de) * 1964-10-19 1967-07-13 Menzel Gerhard Glasbearbeitung Verfahren zum Schneiden von Glas
AT342232B (de) * 1972-10-12 1978-03-28 Glaverbel Verfahren und vorrichtung zum trennen eines korpers aus einem glasartigen oder vitrokristallinen material
CA994815A (en) 1973-03-01 1976-08-10 Takasago Perfumery Co. Process for producing cycloalkenes
FR2228040B1 (es) * 1973-05-04 1977-04-29 Commissariat Energie Atomique
US3885943A (en) * 1974-07-01 1975-05-27 Ford Motor Co Method of cutting glass with a laser
EP0062482A1 (en) 1981-03-31 1982-10-13 EASTMAN KODAK COMPANY (a New Jersey corporation) Replenishable liquid electrographic developers containing wax and method of preparing same
US4467168A (en) * 1981-04-01 1984-08-21 Creative Glassworks International Method of cutting glass with a laser and an article made therewith
DE3841635A1 (de) 1988-12-10 1990-06-13 Bodenseewerk Geraetetech Joule-thomson kuehlvorrichtung
JPH03216287A (ja) 1990-01-19 1991-09-24 Fanuc Ltd レーザ切断加工方法
JPH0639572A (ja) * 1991-01-11 1994-02-15 Souei Tsusho Kk ウェハ割断装置
RU2024441C1 (ru) * 1992-04-02 1994-12-15 Владимир Степанович Кондратенко Способ резки неметаллических материалов
DE4305107C2 (de) * 1993-02-19 1995-02-23 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Vorrichtung zum Schneiden eines spröden Körpers mit Laserstrahlung
DE4411037C2 (de) * 1993-04-02 1995-07-20 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zum Schneiden von Hohlglas
US5776220A (en) * 1994-09-19 1998-07-07 Corning Incorporated Method and apparatus for breaking brittle materials
WO1996020062A1 (en) * 1994-12-23 1996-07-04 Kondratenko Vladimir Stepanovi Method of cutting non-metallic materials and a device for carrying out said method
GB9512316D0 (en) 1995-06-16 1995-08-16 The Technology Partnership Plc Apparatus and method for cooling of liquids
JPH0929472A (ja) * 1995-07-14 1997-02-04 Hitachi Ltd 割断方法、割断装置及びチップ材料
US5747818A (en) 1996-10-21 1998-05-05 Schlumberger Technologies Inc. Thermoelectric cooling in gas-assisted FIB system
US5830208A (en) 1997-01-31 1998-11-03 Laserlite, Llc Peltier cooled apparatus and methods for dermatological treatment
MY120533A (en) * 1997-04-14 2005-11-30 Schott Ag Method and apparatus for cutting through a flat workpiece made of brittle material, especially glass.

Also Published As

Publication number Publication date
JP2003512943A (ja) 2003-04-08
US6800831B1 (en) 2004-10-05
WO2001032349A1 (de) 2001-05-10
DE50009936D1 (de) 2005-05-04
KR100510775B1 (ko) 2005-08-26
JP2006150984A (ja) 2006-06-15
DE19952331C1 (de) 2001-08-30
CN1414893A (zh) 2003-04-30
EP1224053B1 (de) 2005-03-30
KR20020047311A (ko) 2002-06-21
AU1515601A (en) 2001-05-14
EP1224053A1 (de) 2002-07-24
ATE291985T1 (de) 2005-04-15
CN1181946C (zh) 2004-12-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES2238325T3 (es) Procedimiento y dispositivo para cortar rapidamente una pieza de trabajo de material de rotura fragil por medio de rayos laser.
US11028003B2 (en) Method and device for laser-based machining of flat substrates
JP3484603B2 (ja) 脆い材料、特にガラス製の平坦な加工品を切断する方法及び装置
US11053156B2 (en) Method of closed form release for brittle materials using burst ultrafast laser pulses
ES2247002T3 (es) Procedimiento para cortar componentes hechos de cristal, de ceramica,de vitroceramica o de un material analogo por realizacion de una fisura termica en el componente a lo largo de una zona de corte.
JP5525491B2 (ja) レーザスコアリングにおける亀裂深さの制御
US10280108B2 (en) Device and method for cutting out contours from planar substrates by means of laser
TWI394628B (zh) The splitting device and segmentation method of brittle material substrate
TWI395721B (zh) 由雷射導引迴旋管光束之玻璃片切割
ES2927973T3 (es) Aparato de mecanizado por láser y procedimiento de mecanizado por láser
KR20080010446A (ko) 이동하는 광 어셈블리를 통합하여 취성 재료를 스코링하기위한 방법 및 장치
ITMI961316A1 (it) Metodo e dispositivo per il taglio mediante un raggio laser di articoli cavi in vetro
ES2762744T3 (es) Método para desafilar los objetos de vidrio
SK4512003A3 (en) Method and installation for cutting out glass pieces
US6373025B1 (en) Apparatus and method for laser fusion bonding
JP2000313630A (ja) ガラス融着方法、ガラス融着装置、融着ガラスおよび融着ガラスの製造方法
KR100300418B1 (ko) 비금속 재료의 절단방법 및 그 장치
ES2400019T3 (es) Procedimiento para la separación térmica por láser de placa de material cerámico o de otro material de placa frágil
ES2898636T3 (es) Método para cortar a forma una lámina de vidrio
KR20120004792A (ko) 레이저를 이용한 스크라이빙 방법 및 절단방법
RU209801U1 (ru) Устройство лазерной резки образца из хрупкого неметаллического материала
KR20040046421A (ko) 레이저를 이용한 취성재료 절단장치 및 방법
JP2015142937A (ja) プラスチック製品のレーザマーキング装置及びその方法
ES2329887T3 (es) Proceso y dispositivo para cortar y/o soldar y/o marcar cuerpos con un rayo laser enfocado por un espejo parabolico cilindrico.