ES2248135T3 - Circuito de vacio para un dispositivo de tratamiento de un recipiente con la ayuda de un plasma a baja presion. - Google Patents

Circuito de vacio para un dispositivo de tratamiento de un recipiente con la ayuda de un plasma a baja presion.

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ES2248135T3 ES00971478T ES00971478T ES2248135T3 ES 2248135 T3 ES2248135 T3 ES 2248135T3 ES 00971478 T ES00971478 T ES 00971478T ES 00971478 T ES00971478 T ES 00971478T ES 2248135 T3 ES2248135 T3 ES 2248135T3
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Abstract

La invención se relaciona con el dominio de dispositivos para el tratamiento de un recipiente con la ayuda de un plasma a baja presión en el cual el plasma es creado por excitación de un gas gracias a ondas electromagnéticas. El dispositivo en el cual el tratamiento por plasma a baja presión tiene por objeto efectuar un depósito de material sobre las paredes del recipiente. Por esto, es necesario aportar en la cavidad de tratamiento un gas precursor que será ionizado bajo forma de plasma. Ventajosamente, el dicho documento prevé entonces que los medios de inyección del gas precursor lleven un inyector montado sobre la tapa de la cavidad.

Description

Circuito de vacío para un dispositivo de tratamiento de un recipiente con la ayuda de un plasma a baja presión.
La invención se relaciona con el dominio de dispositivos para el tratamiento de un recipiente con la ayuda de un plasma a baja presión en el cual el plasma es creado por excitación de un gas gracias a ondas electromagnéticas.
Un dispositivo tal está por ejemplo descrito en la solicitud de patente WO99/49991 del mismo solicitante, a la cual se podrá referir para cualquier aclaración concerniente a los procedimientos susceptibles de ser puestos en marcha gracias al dispositivo según la invención. En el dispositivo descrito en el documento citado anteriormente, se prevé que cada recipiente es puesto en carga en un puesto de tratamiento que lleva una cavidad hermética y un recinto externo. El puesto está provisto de una tapa superior móvil que permite abrir la cavidad con el fin de poder introducir allí un recipiente por tratar. En posición de cierre, la tapa cierra esta cavidad de manera hermética, con el fin de poder obtener dentro de la cavidad la baja presión necesaria para la creación de un plasma denominado frío. Ventajosamente, la tapa del dispositivo lleva medios de soporte del recipiente, de manera que la introducción y la extracción del recipiente sean aseguradas por el desplazamiento de la tapa entre sus posición de apertura y cierre.
El dispositivo descrito en el documento es un dispositivo en el cual el tratamiento por plasma a baja presión tiene por objeto efectuar un depósito de material sobre las paredes del recipiente. Por esto, es necesario aportar en la cavidad de tratamiento un gas precursor que será ionizado bajo forma de plasma. Ventajosamente, el dicho documento prevé entonces que los medios de inyección del gas precursor lleven un inyector montado sobre la tapa de la cavidad.
Por otra parte, para alcanzar la baja presión necesaria al establecer un plasma, la cavidad debe ser conectada a medios de bombeo mediante un circuito denominado circuito de vacío. Además, el documento citado arriba, prevé que el extremo de este circuito de vacío esté dispuesto sobre la tapa para desembocar directamente dentro de la cavidad.
No obstante, este documento no describe de manera particular los medios que permiten conectar la tapa al circuito de vacío.
La invención tiene entonces por objeto proponer una concepción particular del circuito de vacío que permita un funcionamiento perfectamente fiable de la máquina incorporando este dispositivo.
Con este objeto, la invención propone un dispositivo de tratamiento del tipo descrito previamente, caracterizado por que la tapa lleva un canal de unión el cual, cuando la tapa está en posición de cierre hermético de la cavidad, pone en comunicación la cavidad con una extremidad fija del circuito de vacío. Según otras características de la invención:
- el canal de unión lleva un extremo de unión, que coopera con el extremo fijo del circuito de vacío, y dos terminaciones que desembocan en una cara interior de la tapa que delimita la cavidad cuando la tapa está en posición de cierre, y los medios de soporte están previstos para sujetar de manera hermética una abertura del recipiente por tratar, contra la dicha cara interior de la tapa, rodeando la abertura completamente una primera de dichas terminaciones de manera que el recipiente delimite dentro de la cavidad una primera parte conectada al circuito de vacío por la primera terminación y una segunda parte conectada al circuito de vacío por la segunda de dichas terminaciones;
- una de las dos terminaciones lleva un obturador controlado para poder separar de manera hermética las dos partes de la cavidad cuando la tapa esté en posición de cierre;
- el obturador es una válvula controlada;
- la primera terminación del canal de unión permite el paso de un inyector para llevar un gas reactivo al interior del recipiente; y
- el canal de unión lleva un orificio de retoma de aire que desemboca al aire libre y que está provisto de un cierre de obturación controlado para poder conectar la cavidad con la atmósfera al final del tratamiento. Otras características y ventajas de la invención serán evidentes con la lectura de la descripción detallada que sigue, así como en los dibujos anexos en los cuales:
- la figura 1 es una vista esquemática en corte axial de una máquina que incorpora un dispositivo de tratamiento según la invención cuya tapa está ilustrada en posición de apertura;
- la figura 2 es una vista similar a la de la figura 1 en la cual la tapa está ilustrada en posición de cierre de la cavidad;
- la figura 3 es una vista esquemática en perspectiva fragmentada de diferentes componentes de un puesto de tratamiento según la invención;
- la figura 4 es una vista esquemática plana de la tapa según la invención;
- la figura 5 es una vista esquemática en sección según la línea 5-5 de la figura 4 que ilustra las dos terminaciones del canal de unión;
- la figura 6 es una vista esquemática e corte que ilustra los medios de control de la válvula de control del diferencial de presión entre el interior y el exterior del recipiente.
Se ha ilustrado en las figuras 1 y 2 vistas esquemáticas en corte axial de un puesto de tratamiento 10 conforme a las enseñanzas de la invención. El puesto 10 hace aquí parte de una máquina rotativa que lleva un carrusel 12 dotado de un movimiento continuo de rotación alrededor de un eje A0 vertical. El carrusel 12 está entonces previsto para llevar a su periferia una serie de puestos de tratamiento 10 idénticos a los aquí ilustrados, estando los puestos repartidos angularmente de manera regular alrededor del eje A0.
El puesto de tratamiento 10 lleva un recinto externo 14 que está fijado por un soporte radial 16 a la periferia del carrusel 12. El recinto 14 está fabricado en material conductor de la electricidad, por ejemplo, en metal, y está formado de una pared cilíndrica tubular 18 de eje A1 vertical. El recinto está cerrado en su extremo inferior por una pared de fondo 20.
En el exterior del recinto 14, fijado a él, se encuentra una caja 22 que lleva medios (no representados) para crear en el interior del recinto 14 un campo electromagnético apto para generar un plasma. En este caso, se puede tratar de medios aptos para generar una radiación electromagnética en el intervalo UHF, es decir, en el intervalo de las microondas. En este caso, la caja 22 puede entonces contener un magnetrón cuya antena 24 desemboca en una guía de onda 26. Esta guía de onda 26 es por ejemplo un túnel de sección rectangular que se extiende según un radio con respecto al eje A0 y que desemboca directamente en el interior del recinto 14, a través de la pared lateral 18. No obstante, la invención podría también ser puesta en marcha dentro del marco de un dispositivo provisto de una fuente de radiación de tipo radiofrecuencia y/o la fuente podría también estar dispuesta diferentemente, por ejemplo, en el extremo axial inferior del recinto 14.
En el interior del recinto 14, se encuentra un tubo 28 de eje A1 que está fabricado con un material transparente a las ondas electromagnéticas introducidas en el recinto 14 vía la guía de onda 26. Se puede por ejemplo fabricar el tubo 28 en cuarzo. Este tubo 28 está destinado a recibir un recipiente 30 por tratar. Su diámetro interno debe entonces ser adaptado al diámetro del recipiente. Debe además delimitar una cavidad 32 en la cual será creada una depresión del orden de 10^{-4} bares, una vez el recipiente esté en el interior del recinto.
Como se puede ver en la figura 1, el recinto 14 está parcialmente rodeado en su extremo superior por una pared superior 36 que está provista de una apertura central 38 de diámetro sensiblemente igual al diámetro del tubo 28 de tal suerte que el tubo 28 esté totalmente abierto hacia arriba para permitir la introducción del recipiente 30 en la cavidad 32. Al contrario, se ve que la pared inferior metálica 20, en la cual el extremo inferior del tubo 28 está conectado de manera hermética, forma el fondo de la cavidad 32.
Para contener el recinto 14 y la cavidad 32, el puesto de tratamiento 10 lleva entonces una tapa 34 que es móvil axialmente entre una posición alta ilustrada en la figura 1 y una posición baja de cierre ilustrada en la figura 2. En posición alta, la tapa está suficientemente libre para permitir la introducción del recipiente 30 en la cavidad 32.
En posición de cierre, ilustrado en la figura 2, la tapa 34 viene en apoyo de manera hermética, contra la cara superior de la pared superior 36 del recinto 14. Como el extremo superior del tubo 28 está conectado de manera hermética a la pared superior 36, la tapa 34 es capaz de cerrar de manera hermética la cavidad 32. Está prevista para ella una unión de hermeticidad 40, de tipo unión tórica, que es portada por la tapa 34 y que viene en apoyo sobre la pared superior 36 de la cavidad 14 alrededor del orificio central 38.
Por otra parte, la tapa 34 lleva también un anillo conductor flexible 42, por ejemplo fabricado bajo la forma de una trenza metálica, que viene también en apoyo contra la pared 36 de manera que se asegure una unión eléctrica entre el recinto 14 y la tapa 34 cuando la última está en posición de cierre. En efecto, la tapa está fabricada en material conductor y tiene también como función cerrar el recinto 14 para permitir el establecimiento, en su interior, de un campo electromagnético apto para crear un plasma en la cavidad 32. De manera ventajosa, este anillo puede ser fabricado a base de un material flexible (tipo silicona) cargado de partículas metálicas para ser conductor de la electricidad. En efecto, un anillo tal puede jugar a la vez el rol de unión de hermeticidad y el de unión eléctrica entre la tapa y el recinto 14.
En el ejemplo ilustrado, la tapa 34 se desliza verticalmente con respecto al recinto 14. A este efecto, es portado por una vagoneta 44 que se desliza sobre una corredera 46 solidaria del carrusel 12. No obstante, se podría considerar que la tapa 34 tuviera otro movimiento relativo con respecto a la cavidad 14 entre sus posiciones de apertura y de cierre, por ejemplo, un movimiento de pivote alrededor de un eje horizontal.
En el ejemplo ilustrado, se aprovecha el hecho de que el puesto de tratamiento esté montado sobre un carrusel rotativo para controlar los desplazamientos de la tapa con la ayuda de un sistema de leva 48 y de rodillo 50. En efecto, la máquina lleva una leva fija 48 que se extiende en arco de círculo alrededor del eje A0 y en la cual una cara superior forma una pista de rodamiento. Por supuesto, la altura de la leva 48 varía en función de la posición angular alrededor del eje A0.
El rodillo 50 está unido a la vagoneta 44 que lleva la tapa 34 por una jamba 52 y es entonces solidario en rotación del carrusel 12. Cuando el rodillo 50 llega al sector angular en el cual la leva 48 se eleva, el rodillo provoca entonces la elevación de la tapa hacia su posición alta. Al contrario, en otros sectores angulares, el nivel de la leva se baja y el rodillo 50 permite entonces a la tapa 34 redescender hacia su posición de cierre. Por supuesto, otros medios de control del desplazamiento de la tapa 34 son previsibles sin exceder el marco de la invención.
De manera particularmente ventajosa, la tapa 34 no tiene como única función asegurar el cierre hermético de la cavidad 32. Lleva en efecto órganos complementarios.
En primer lugar, la tapa 34 lleva medios de soporte del recipiente. En el ejemplo ilustrado, los recipientes por tratar son botellas en material termoplástico, por ejemplo, en tereftalato de polietileno (PET). Estas botellas llevan una brida excrescencia radial en la base de su cuello 58 de tal suerte que es posible asirlos con la ayuda de una horquilla 54, que viene a acoplarse o a hacer trinquete alrededor del cuello bajo la brida. Esta horquilla 54 es entonces montada en el extremo inferior de un vástago 56 que atraviesa la tapa 34. Este vástago 56 es móvil verticalmente con respecto a la tapa de tal suerte que la botella 30 puede ser acoplada sobre la horquilla siendo ligeramente separada hacia abajo con respecto a la tapa (figura 1). Una vez llevada por la horquilla 54, la botella 30 puede ser sujetada hacia arriba contra una superficie de apoyo 60 de la tapa 34. Preferiblemente, este apoyo es hermético de tal suerte que, cuando la tapa está en posición de cierre, el espacio interior de la cavidad 32 está separado en dos partes por la pared del recipiente: el interior y el exterior del recipiente.
Esta disposición permite no tratar más que una de las dos superficies (interior o exterior) de la pared del recipiente. En el ejemplo ilustrado, se busca no tratar más que la superficie interna de la pared del recipiente.
Este tratamiento interno impone pues poder controlara la vez la presión y la composición de los gases presentes en el interior del recipiente. Por ello, el interior del recipiente debe poder ser puesto en comunicación con una fuente de depresión y con un circuito de distribución de gas. La tapa 34 lleva entonces un inyector 62 que está dispuesto según el eje A1 y que es así móvil con relación a la tapa 34 entre una posición alta esquivada por la cual el recipiente 30 puede ser llevado radialmente sobre la horquilla 54 (Figura 1), y una posición baja en la cual el inyector 62 está sumergido en el interior del recipiente 30 (Figura 2).
Para que el gas inyectado por el inyector 62 pueda ser ionizado y formar un plasma bajo el efecto del campo electromagnético creado en el recinto, es necesario que la presión en el recipiente sea del orden de 10^{-4} bares. Para poner en comunicación el interior del recipiente con una fuente de depresión (por ejemplo, una bomba) la tapa 34 lleva un canal interno 64 del cual una terminación principal 65 desemboca en la cara inferior de la tapa, más precisamente en el centro de la superficie de apoyo 60 contra la cual está sujetado el cuello de la botella 30.
Se hace hincapié en que en el modo de realización propuesto, la superficie de apoyo 60 no está formada directamente sobre la cara inferior de la tapa, sino sobre el extremo anular inferior de una pieza transportada tubular 61 de eje A1 que está fijada bajo la tapa 34. El calibre interno de esta pieza tubular 61 constituye en este caso la prolongación de la terminación principal 65. Así, cuando el extremo superior del recipiente está en apoyo contra la superficie de apoyo 60, la abertura del recipiente 30 que está delimitada por este extremo superior rodea completamente el orificio por el cual la terminación principal 65 desemboca en la cara inferior de la tapa 34.
Según la invención, esta terminación principal 65 no está ligada directamente a los medios de bombeo. En efecto, del hecho de la movilidad de la tapa 34, habría que prever entonces canalizaciones flexibles entre la tapa y el circuito de bombeo. Ahora bien, tales canalizaciones son poco adaptadas en un circuito de vacío pues una canalización flexible tendrá tendencia a aplastarse bajo el efecto de la presión atmosférica.
También, según la invención, el canal interno 64 de la tapa 24 lleva un extremo de unión 66 y el circuito de vacío de la máquina lleva un extremo fijo 68 que está dispuesto de tal suerte que los dos extremos 66, 68 estén frente el uno del otro cuando la tapa está en posición de cierre.
En el ejemplo ilustrado, la pared superior 36 del recinto 14 presenta una prolongación 70 que se extiende en el mismo plano horizontal, radialmente hacia el interior con respecto al eje A0. Esta prolongación 70 está perforada con un orificio 72 y lleva medios para permitir la conexión de una canalización 74 del circuito de vacío. Esta canalización 74 está por ejemplo unida a una o varias bombas (no representadas). Estas bombas están de preferencia dispuestas en el exterior de la máquina, y están en este caso unidas a la canalización 74 por medio de un acople giratorio (no representado) de manera que no impida la rotación del carrusel.
De este modo, dado que el recinto 14 está fijo con respecto al carrusel 12, la canalización 74 puede ser rígida o muy poco flexible.
Como se puede ver en la Figura 3, la tapa 34 presente en una vista superior la misma forma que la de la pared superior del recinto 14 y el extremo de unión 64 desemboca entonces en la cara inferior de la tapa 34, justo a plomo del orificio 72 sobre el cual está acoplada la canalización 74.
Para simplificar la realización del canal interno 64, la tapa 34 está fabricada en dos partes. Un apoyo inferior 76 y un capó superior 78. El canal interno 64 está cavado en la cara superior en el apoyo 76, desembocando en la cara inferior sólo el extremo de unión 66 y la terminación 65. Así, cuando el capó 78 está sujeto de manera hermética sobre el apoyo, no hay más comunicación posible que entre el extremote unión 66y la terminación, de manera que el canal 64 asegure una unión hermética entre la canalización 74 y la cavidad 32.
La máquina ilustrada en las figuras está prevista para tratar la superficie interna de recipientes que son de material relativamente deformable. Tales recipientes no podrían soportar un sobrepresión del orden de 1 bar entre el exterior y el interior de la botella. Así, para obtener en el interior de la botella del orden de 10^{-4} bares sin deformar la botella, es necesario que la parte de la cavidad 32 en el exterior de la botella sea, también, al menos parcialmente despresurizada. También, el canal 64 de la tapa 34 lleva, además de la terminación principal 65, una terminación auxiliar 80 que desemboca también a través de la cara inferior de la tapa, pero radialmente al exterior de la superficie anular de apoyo 60 sobre la cual está sujeto el cuello 58 del recipiente.
Así, los mimos medios de bombeo crean simultáneamente el vacío en el interior y en el exterior del recipiente.
Para limitar el volumen de bombeo, y para evitar la aparición de un plasma inútil en el exterior de la botella, es preferible que la presión en el exterior no descienda por debajo de 0,05 a 0,1 bar, contra una presión de 10^{-4} bar en el interior. Se constata además que las botellas, incluso de paredes delgadas, pueden soportar esta diferencia de presión sin sufrir deformación notable. Por esta razón, está previsto proveer la tapa de una válvula controlada 82 que pueda obturar la terminación auxiliar 80.
Como se puede ver sobre las Figuras 4 y 5, la válvula 82 está aprisionada entre la tapa 34, entre el apoyo 76 y el capó 78, y es del tipo "normalmente cerrada". La válvula 82 está dispuesta en el extremo inferior de un vástago de válvula 84 que se dirige hacia arriba a través del capó 78 de la tapa 34.
Como se puede ver más en detalle en la Figura 6, el vástago de la válvula 84 está dirigido por un sistema de rodillo 86 que está destinado a cooperar con una leva 88 fija de la máquina. En un punto dado de la rotación del carrusel, la leva 88 provoca el elevamiento del rodillo 86 que es solidario de una palanca 90 articulada alrededor de un eje horizontal A2 sobre la tapa 34. El rodillo provoca entonces un pivote de la palanca 90, el cual provoca el elevamiento del rodillo 84 por intermedio de una nuez de comando 92. Cuando la leva 88 permite al rodillo redescender, un muelle antagonista 94, que opera entre la tapa 34 y la palanca 90, tiende a llevar el vástago de válvula 84 hacia abajo para sujetar la válvula 82 contra un asiento de válvula 96 formado alrededor de la terminación auxiliar 80.
Por supuesto, otros medios de control de la válvula 82 podrían ser previstos sin salir del marco de la invención. Se podría también utilizar por ejemplo un gato o un electroimán.
El funcionamiento del dispositivo que acaba de ser descrito puede por tanto ser el siguiente.
En un punto dado de la rotación del carrusel, la tapa 34 está en posición alta., La horquilla 54 está en posición baja y el inyector está e posición esquivada alta tal como está ilustrada en la Figura 1. Un recipiente 30 puede entonces ser llevado en este punto sobre la horquilla 54, por ejemplo gracias a una rueda de transferencia de muescas. Tales ruedas son ampliamente conocidas y utilizadas en las máquinas de fabricación y rellenado de botellas de PET. Esta rueda sería entonces tangente al carrusel en el punto de carga del recipiente.
Una vez el recipiente cargado sobre la horquilla 54, el carrusel 12 prosiguiendo su movimiento de rotación, la tapa se baja hacia su posición de cierre. Al mismo tiempo, el vástago 56 que lleva la horquilla 54 está controlado para sujetar el recipiente de manera hermética contra la superficie de apoyo 58 de la tapa 34 y el inyector 62 es bajado para sumergirse en el interior del recipiente. Se resalta de otra parte, que el inyector se baja a través de la terminación principal 65 del canal 64 pero no lo obtura.
Una vez la tapa en posición de cierre, es posible aspirar el aire contenido en la cavidad 32 la cual se encuentra unida al circuito de vacío gracias al canal interno 64 de la tapa 34.
En un primer momento la válvula 82 está controlada para ser abierta de manera que la presión caiga dentro de la cavidad 32 a la vez en el exterior y en el interior del recipiente. Cuando el carrusel 12 alcanza una posición angular predeterminada, se considera que el nivel de vacío en el exterior del recipiente ha alcanzado un nivel suficiente y el sistema de leva 88 y de rodillo 86 controla el cierre de la válvula 82. Es posible entonces continuar el bombeo exclusivamente en el interior del recipiente 30.
Una vez se alcance la presión de tratamiento, el tratamiento puede comenzar. Este tratamiento puede, por ejemplo, consistir en el depósito de un revestimiento interno, siendo este depósito obtenido del hecho de la ionización bajo forma de plasma de un gas precursor inyectado en el recipiente gracias al inyector 62.
Una vez el tratamiento ha sido terminado, el retorno de la cavidad a la presión atmosférica será ventajosamente realizado a través del canal interno 64 de la tapa. Se puede entonces escoger hacerlo reconectando la canalización 74 a la presión atmosférica o se puede escoger dotar el canal 64 de una apertura controlada (no representada) que permite reconectar directamente el canal a la atmósfera. En los dos casos, se asegurará primeramente el controlar la apertura de la válvula 82 para que la presión atmosférica sea restablecida simultáneamente en el exterior y en el interior del recipiente.
Una vez se ha alcanzado el equilibrio de presión entre el exterior y el interior del recipiente, es posible conducir la tapa hacia su posición alta, eludir el inyector y desplazar la horquilla 54 hacia abajo con respecto a la tapa 34 para permitir la evacuación del recipiente tratado.
Gracias a la invención, el circuito de vacío de la máquina puede ser concebido de manera económica y fiable pues no hay que recurrir, al nivel de la tapa, a sistemas flexibles que serían de manera repetitiva y que podrían entonces averiarse.

Claims (7)

1. Dispositivo para el tratamiento de un recipiente (30) con la ayuda de un plasma con baja presión que es creado por excitación de un gas gracias a ondas electromagnéticas, del tipo que lleva al menos un puesto de tratamiento (14) que comprende una cavidad fija (32) prevista para recibir el recipiente (30) por tratar, estando destinada la cavidad (32) a ser unida a una fuente de depresión por intermedio de un circuito de vacío (74), del tipo en el cual el puesto de tratamiento (14) lleva una tapa móvil (34) que permite cerrar la cavidad (32) de manera hermética, y del tipo en el cual la introducción de un recipiente en la cavidad (32) antes del tratamiento y su extracción después del tratamiento están aseguradas por desplazamiento de la tapa (34) con respecto a la cavidad (32),
caracterizada porque la tapa (34) lleva un canal de unión (64) que, cuando la tapa (34) está en posición de cierre hermético de la cavidad (32), pone en comunicación la cavidad (32) con un extremo fijo (68) del circuito de vacío (74).
2. Dispositivo según la reivindicación 1, caracterizado porque el canal de unión (64) lleva un extremo de unión (66), que coopera con el extremo fijo (68) del circuito de vació, y dos terminaciones (65, 80) que desembocan en una cara interior de la tapa (34) que delimita la cavidad cuando la tapa está en posición de cierre, y por que medios de soporte (54) están previstos para ajustar de manera hermética una apertura del recipiente por tratar (58, 30) contra la dicha cara interior (60) de la tapa (34), rodeando la abertura completamente una primera de dichas terminaciones de manera que el recipiente (30) delimite en la cavidad (32) una primera parte unida al circuito de vacío por la primera terminación (65) y una segunda parte unida al circuito de vacío por la segunda (80) de dichas terminaciones.
3. Dispositivo según la reivindicación 2, caracterizado porque una de las dos terminaciones (65, 80) incluye un obturador (82) controlado para poder separar de manera hermética las dos partes de la cavidad cuando la tapa (34) está en posición de cierre.
4. Dispositivo según la reivindicación 3, caracterizado porque el obturador es una válvula controlada (82).
5. Dispositivo según una cualquiera de las reivindicaciones 2 a 4, caracterizado porque la primera terminación (65) del canal de unión (64) permite el paso de un inyector (62) para llevar un gas reactivo al interior del recipiente (30).
6. Dispositivo según una cualquiera de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque el canal de unión lleva un orificio de retoma de aire que desemboca al aire libre y que provee una válvula de obturación controlada para poder unir la cavidad (32) a la atmósfera al final del tratamiento.
7. Dispositivo según una cualquiera de las reivindicaciones precedentes, caracterizado porque la tapa (34) lleva medios de soporte (54) del recipiente (30).
ES00971478T 1999-10-25 2000-10-23 Circuito de vacio para un dispositivo de tratamiento de un recipiente con la ayuda de un plasma a baja presion. Expired - Lifetime ES2248135T3 (es)

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