ES2256574T3

ES2256574T3 - Articulo revestido con estructura de capa de barrera mejorada y procedimiento para la preparacion del mismo.

Info

Publication number: ES2256574T3
Application number: ES02789469T
Authority: ES
Inventors: Grzegorz Stachowiak
Original assignee: Guardian Industries Corp
Current assignee: Guardian Industries Corp
Priority date: 2001-11-09
Filing date: 2002-11-07
Publication date: 2006-07-16
Anticipated expiration: 2022-11-07
Also published as: PL368507A1; US20030194488A1; WO2003042122A3; EP1446364A2; US8551300B2; AU2002352496A1; US20030104221A1; EP1446364B1; US7025859B2; CA2466450C; US20040253455A1; US6602608B2; US6802943B2; WO2003042122A2; WO2003042122A9; PL203151B1; DE60209148T2; US20060054492A1; DE60209148D1; CA2466450A1

Abstract

Artículo revestido, que comprende: un sustrato de vidrio; un revestimiento soportado por el sustrato de vidrio, en el que el revestimiento comprende una primera capa dieléctrica, una primera capa que comprende NiCrOx, una capa que comprende Ag, una segunda capa que comprende NiCrOx, y una segunda capa dieléctrica, en el que la capa que comprende Ag se encuentra situada entre las primera y segunda capas que comprenden NiCrOx; y en el que el revestimiento comprende además una capa de contacto de metal o de nitruro de metal situada entre y en contacto con la capa de Ag y con una de las capas que comprende NiCrOx, depositándose la capa de contacto de metal o de nitruro de metal utilizando una diana de bombardeo catódico y depositándose la capa que comprende NiCrOx utilizando otra diana de bombardeo catódico.

Description

Artículo revestido con estructura de capa de barrera mejorada y procedimiento para la preparación del mismo.

La presente invención se refiere a un artículo revestido, que comprende una capa de metal o de nitruro de metal provista de una capa reflectante de IR (por ejemplo una capa de Ag) y una capa de barrera de óxido (por ejemplo NiCrO_{x}) y un procedimiento para prepararlos.

Antecedentes de la invención

Son conocidos en la técnica los artículos revestidos proporcionados con fines de control solar. Por ejemplo, ver la patente US nº 5.344.718, que da a conocer una pila de capas de vidrio/Si_{3}N_{4}/NiCr/Ag/NiCr/Si_{3}N_{4}. En estos revestimientos, las capas de barrera de NiCr con frecuencia se utilizan para proteger la Ag (plata) en los revestimientos de tipo baja-emisividad ("low-E").

Por desgracia, el NiCr metálico se caracteriza por una absorción elevada que reduce la transmitancia del artículo revestido final. Debido a este problema de elevada absorción, los expertos en la materia que desean productos de elevada transmisión de luz visible se han visto forzados a utilizar capas de barrera de NiCr muy delgadas. Por ejemplo, las capas de NiCr en la patente US nº 5.344.718 indicada anteriormente son de un grosor "inferior a aproximadamente 7 \ring{A}", con el fin de obtener la transmisión deseada de la luz visible. Cuanto más delgadas son estas capas, proporcionan menor funcionalidad de barrera y protección. En consecuencia, los expertos en la materia han buscado incrementar la transmisividad de las capas de barrera introduciendo oxígeno y/o nitrógeno en las capas de barrera de NiCr (por ejemplo ver la patente US nº 6.014.872, columna 4, líneas 40-50).

Considérese una pila de capas de vidrio/Si_{3}N_{4}/NiCrO_{x}/Ag/NiCrO_{x}/Si_{3}N_{4}. Aunque las capas de barrera protectora de NiCrO_{x} son más transparentes que las capas de barrera protectora de NiCr, adolecen de sus mismos problemas. Por ejemplo, la utilización de capas de barrera protectora de NiCrO_{x} en contacto con la capa de Ag en lados respectivos de la misma en ocasiones puede conducir a problemas con respecto a la durabilidad y/o tratabilidad térmica. Se cree que durante la deposición (por ejemplo mediante bombardeo catódico) de un revestimiento, comprendiendo las capas de barrera protectora de NiCrO_{x}, la capa de Ag se expone al plasma de oxígeno (y de esta manera al oxígeno atómico químicamente activo en este plasma) utilizado en la deposición del NiCrO_{x}; ello es especialmente cierto con respecto a la superficie superior de la capa de Ag cuando se aplica directamente sobre la misma una barrera protectora superior de NiCrO_{x}. La exposición del Ag a este plasma que comprende oxígeno se cree que en ocasiones conduce a problemas de adhesión de la Ag.

En vista de lo expuesto anteriormente, resultará evidente a los expertos en la materia que existe una necesidad de una estructura mejorada de una o más capas de barrera para proteger una capa reflectante de IR (por ejemplo de Ag).

Breve sumario de la invención

Un objetivo de la presente invención es proporcionar una estructura mejorada de una o más capas de barrera para proteger una capa reflectante de IR, tal como de Ag, en un artículo revestido, y un procedimiento correspondiente de preparación de la misma.

Otro objetivo de la presente invención es proporcionar una estructura de una o más capas de barrera que sea capaz de proteger una capa reflectante de IR, y que sea bastante transmisora de la luz visible y que permita obtener un artículo revestido final duradero.

Otro objetivo de la presente invención es conseguir uno o más de los objetivos y/o necesidades anteriormente indicados.

En determinadas formas de realización ejemplares de la presente invención, uno o más de los objetivos y/o necesidades indicados anteriormente se alcanza preparando un artículo revestido según la reivindicación independiente 1, que comprende: un sustrato de vidrio, un revestimiento soportado por el sustrato de vidrio, en el que el revestimiento comprende una primera capa dieléctrica, una primera capa que comprende NiCrO_{x}, una capa que comprende Ag, una segunda capa que comprende NiCrO_{x}, y una segunda capa dieléctrica, en el que la capa que comprende Ag se encuentra situada entre las primera y segunda capas que comprenden NiCrO_{x}, y en el que el revestimiento comprende además una capa de contacto protectora de metal o de nitruro de metal situada en posición intermedia y en contacto con la capa de Ag y con una de las capas que comprenden NiCrO_{x}.

En otras formas de realización ejemplares de la presente invención, se alcanzan uno o más de los objetivos y/o necesidades indicados anteriormente preparando un artículo revestido según la reivindicación independiente 17, que comprende un revestimiento soportado por un sustrato, comprendiendo el revestimiento una capa que comprende NiCrO_{x}, una capa que comprende Ag, y una capa de metal o de nitruro de metal situada en posición entre y en contacto con la capa que comprende NiCrO_{x} y la capa que comprende Ag.

En todavía otras formas de realización de la presente invención, se alcanzan uno o más de los objetivos y/o necesidades indicados anteriormente proporcionando un procedimiento para preparar un artículo revestido según la reivindicación independiente 24, comprendiendo el procedimiento: proporcionar un sustrato de vidrio; depositar una primera capa dieléctrica de manera que se encuentre soportada por el sustrato; depositar una capa de Ag en el sustrato sobre la primera capa dieléctrica; depositar una capa de contacto de metal o de nitruro de metal en el sustrato directamente por encima y en contacto con la capa de Ag; depositar una capa que comprende NiCrO_{x} sobre el sustrato directamente encima y en contacto con la capa de contacto de metal o de nitruro de metal; y depositar otra capa dieléctrica en el sustrato sobre la capa que comprende NiCrO_{x}.

Breve descripción de los dibujos

La figura 1 es una vista en sección transversal de un artículo revestido según una forma de realización de la presente invención.

La figura 2 es una vista en sección transversal de un artículo revestido según otra forma de realización de la presente invención.

La figura 3 es una vista en sección transversal de un artículo revestido según todavía otra forma de realización de la presente invención.

Descripción detallada de formas de realización ejemplares de la invención

A continuación, haciendo referencia más particularmente a los dibujos adjuntos, en los que partes similares se identifican con números de referencia similares en la totalidad de cada una de las vistas.

Los artículos revestidos según las diferentes formas de realización de la presente invención pueden utilizarse en el contexto de ventanas arquitectónicas (por ejemplo unidades de IG), ventanas de automoción o cualquier otra aplicación adecuada. Los artículos revestidos en la presente memoria pueden o no tratarse térmicamente (por ejemplo templarse térmicamente, doblarse con calor, o similar) en diferentes formas de realización de la presente invención.

La figura 1 es una vista lateral de una sección transversal de un artículo revestido según una forma de realización de la presente invención. El artículo revestido comprende un sustrato 1 (por ejemplo sustrato de vidrio transparente, verde, bronce, o azul-verde de grosor entre 1,0 y 10,0 mm, más preferentemente de grosor entre aproximadamente 1,8 mm y 4 mm), una primera capa dieléctrica 3, una capa de barrera inferior 5, una capa de contacto inferior de barrera 7 (que se encuentra en contacto con la capa reflectante de IR 9), una primera capa reflectante de infrarrojos (IR) metálica conductora 9, una capa de contacto superior de barrera 11 (que se encuentra en contacto con la capa reflectante de IR 9), una capa superior de barrera 13 y una capa superior dieléctrica 15. Cada una de las capas de "contacto" 7 y 11 se encuentra en contacto con la capa reflectante de IR 9. En la fig. 1 se ilustran materiales ejemplares no limitativos para las capas 3 a 15. Las capas 3 a 15 indicadas anteriormente constituyen un revestimiento de control solar (por ejemplo un revestimiento de tipo "low E" o de baja emisividad) que puede proporcionarse sobre sustratos de vidrio o de plástico 1. La pila de capas 3 a 15 ilustrada en la fig. 1 puede, en determinadas formas de realización alternativas de la presente invención, repetirse en el sustrato 1 una o más veces (por ejemplo puede proporcionarse otra pila de capas 3 a 15 sobre la pila mostrada en la fig. 1 en el mismo sustrato; ello resulta aplicable a cualquiera y a todas las formas de realización en la presente memoria).

En determinadas formas de realización de la presente invención, la primera capa dieléctrica 3 puede comprender o realizarse en dióxido de titanio (TiO_{x} en el que x es 1,7 a 2,7, más preferentemente 2,0 a 2,6), nitruro de silicio (Si_{x}N_{y}, en el que x/y puede ser aproximadamente 0,75 (es decir, Si_{3}N_{4}), o alternativamente x/y puede ser de aproximadamente 0,76 a 1,5 en las formas de realización ricas en Si), dióxido de silicio (SiO_{x} en el que x es 1,7 a 2,3, más preferentemente aproximadamente 2,0), óxido de niobio (por ejemplo Nb_{2}O_{5}), SiZrN, óxido de estaño, óxido de cinc, oxinitruro de silicio o cualquier otro material dieléctrico adecuado. La primera capa dieléctrica 3 puede funcionar como una capa antirreflectante y/o modificadora del color en determinadas formas de realización de la presente invención.

La capa reflectante de infrarrojos (IR) 9 preferentemente es metálica y conductora, y puede comprender o realizarse en plata (Ag), oro (Au) o en cualquier otro material reflectante de IR adecuado. Sin embargo, la Ag metálica es el material seleccionado para la capa reflectante de IR 9 en determinadas formas de realización ejemplares de la presente invención. La capa o capas reflectantes de IR ayudan a proporcionar características de baja emisividad al revestimiento.

Las capas de barrera 5 y 13 preferentemente se encuentran por lo menos parcialmente oxidadas, y en determinadas formas de realización de la presente invención comprenden o son de óxido de níquel (Ni) o de un óxido de aleación de níquel, tal como óxido de níquel-cromo (NiCrO_{x}) o de cualquier otro material o materiales adecuados. En la forma de realización en la fig. 1, las capas 5 y 13 comprenden NiCrO_{x}, que pueden encontrarse completamente oxidadas o sólo parcialmente oxidadas. En particular, las capas de NiCrO_{x} 5 y 13 pueden encontrarse completamente oxidadas en determinadas formas de realización de la presente invención (es decir, totalmente estequiométricas), o pueden encontrarse oxidadas aproximadamente al 75% en otras formas de realización de la presente invención. Aunque NiCrO_{x} es un material preferente para las capas de barrera 5 y 13, los expertos en la materia apreciarán que en su lugar pueden utilizarse otros materiales (por ejemplo óxidos de Ni, óxidos de aleaciones de Ni, óxidos de Cr, óxidos de aleaciones de Cr, NiCrO_{x}N_{y}, NiCrN_{x}, NbO_{x} o cualquier otro material adecuado) para una o más de estas capas. Se indica que las capas de barrera 5 y 13 pueden ser o no continuas en diferentes formas de realización de la presente invención.

Todavía haciendo referencia a las capas de barrera 5 y 13, estas capas pueden o no encontrarse oxidadas en gradiente en diferentes formas de realización de la presente invención. En algunas formas de realización, las capas de barrera 5 y 13 se encuentran oxidadas de manera aproximadamente uniforme en todo su grosor respectivo (es decir, no presentan gradiente). Sin embargo, en otras formas de realización, las capas de barrera 5 y 13 pueden encontrarse oxidadas en gradiente de manera que se encuentren menos oxidadas en la interfaz de contacto con la capa o capas de contacto inmediatamente contiguas 7, 11 que en una parte de la capa de barrera más alejada o de la capa o capas de barrera más alejadas de la capa de contacto inmediatamente contigua. Ello puede mejorar la adhesión de las capas de contacto de metal o de nitruro de metal 7, 11 a las capas de barrera 5, 13, respectivamente. Este gradiente también puede permitir que el revestimiento, en determinadas formas de realización ejemplares no limitativas, consiga la combinación de tratabilidad térmica y elevada transmisión de la luz visible. Para una exposición más detallada de cómo las capas 5 y/o 13 pueden oxidarse en gradiente, ver la patente US pendiente nº de serie 09/794.224, la exposición de la cual se incorpora de esta manera en la presente memoria como referencia.

Las capas de contacto 7 y 11 (que se encuentran en contacto con la capa reflectante de IR 9) preferentemente son más metálicas y/o se encuentran menos oxidadas que sus capas contiguas de barrera respectivas 5 y 13. Por ejemplo, en determinadas formas de realización de la presente invención, las capas de contacto 7 y 11 pueden comprender o realizarse en Ni, Cr, NiCr, CrN_{x} o NiCrN_{x} (se indica que el término NiCrN_{x} tal como se utiliza en la presente memoria comprende situaciones en las que el Ni en la capa se encuentra en forma metálica y la nitruración mayoritariamente se refiere al Cr). En estas formas de realización, las capas 7 y 11 no se encuentran oxidadas o se encuentran sólo ligeramente oxidadas en un grado significativamente menor al de las capas de barrera 5 y 13. De esta manera, en las determinadas formas de realización ejemplares preferentes de la presente invención, las capas de contacto 7 y/o 11 se encuentran sustancialmente libres de oxígeno (es decir, oxidadas menos de aproximadamente 10%) o incluso se encuentran oxidadas sólo entre 0% y 5% en determinadas formas de realización.

Inesperadamente, se ha descubierto que mediante la provisión de delgadas capas de contacto protectoras de metal o de nitruro de metal 7 y 11 (por ejemplo NiCr, Ni, Cr, CrN_{x}, Nb o NiCrN_{x}) sobre el sustrato entre la capa reflectante de IR 9 (por ejemplo de Ag) y las capas de barrera respectivas 5 y 13 (por ejemplo de NiCrO_{x}), puede mejorarse la durabilidad en comparación con una situación en la que las capas de barrera de NiCrO_{x} 5 y 13 se encuentran por completo en contacto directo con la capa de Ag 9. La utilización de capas delgadas de contacto de metal o de nitruro de metal 7 y/o 11 en contacto con las capas de barrera 5 y/o 13 permite que el artículo revestido resultante presente tanto una transmisión elevada de la luz visible (por ejemplo de por lo menos 70% en determinadas formas de realización ejemplares) y sea duradero antes y/o después del tratamiento térmico. Se indica que las capas de contacto de metal o de nitruro de metal 7 y 11 se proporcionan bastante delgadas (con el fin de reducir los efectos negativos de la absorción de la luz visible) en determinadas formas de realización, de manera que las capas de contacto 7 y 11 pueden o no ser continuas en diferentes formas de realización de la presente invención.

Cuando se utiliza NiCr en las capas 5, 7, 11 y/o 13 en determinadas formas de realización de la presente invención (es decir, cuando se utiliza una diana de NiCr para la deposición mediante bombardeo catódico de cualquiera de estas capas, con independencia de que se encuentren oxidadas, nitruradas o no oxidadas ni nitruradas), el Ni y el Cr pueden proporcionarse en cantidades diferentes, tal como en la forma de nicromo de aproximadamente 80% a 90% Ni y 10% a 20% Cr en peso. Una diana ejemplar para la deposición mediante bombardeo catódico de estas capas comprende no sólo SS-316, compuesto esencialmente de 10% de Ni y 90% de otros ingredientes, principalmente Fe y Cr, sino también aleación de Inconel y Haynes 214, que en peso consiste esencialmente en los materiales siguientes (como composición nominal) que también pueden presentarse en estas capas: Ni: 75,45%; Fe: 4%; Cr: 16%; C: 0,04%; Al: 4,5%; e Y: 0,01%. En otras formas de realización, la diana de NiCr puede ser 50/50 Ni/Cr o cualquier otra proporción adecuada.

Todavía haciendo referencia a la fig. 1, aunque pueden utilizarse diversos materiales y/o grosores consistentes con uno o más de los objetivos expuestos en la presente memoria, los siguientes son grosores y materiales ejemplares preferentes para las capas respectivas depositadas sobre el sustrato de vidrio 1 en la forma de realización en la fig. 1:

TABLA 1 Ejemplos de materiales/grosores; forma de realización en la fig. 1

Capa	Intervalo preferente (\ring{A})	Más preferente (\ring{A})	Ejemplo (\ring{A})

Si_{x}N_{y} (capa 3)	0-600 \ring{A}	300-550 \ring{A}	410-520 \ring{A}
NiCrO_{x} (capa 5)	5-100 \ring{A}	10-50 \ring{A}	15-30 \ring{A}
NiCr (capa 7)	1-25 \ring{A}	1-10 \ring{A}	3-4 \ring{A}
Ag (capa 9)	50-250 \ring{A}	80-160 \ring{A}	100-140 \ring{A}
NiCr (capa 11)	1-25 \ring{A}	1-10 \ring{A}	3-4 \ring{A}
NiCrO_{x} (capa 13)	5-100 \ring{A}	10-50 \ring{A}	15-25 \ring{A}
Si_{x}N_{y} (capa 15)	0-800 \ring{A}	300-600 \ring{A}	410-540 \ring{A}

También pueden proporcionarse una o más capas por debajo o por encima del revestimiento ilustrado. De esta manera, aunque el sistema de capas o revestimiento de la fig. 1 se encuentra "sobre" o "soportado por" el sustrato 1 (directa o indirectamente), pueden proporcionarse una o más capas adicionales entre ellas. De esta manera, por ejemplo, el revestimiento de la fig. 1 puede considerarse que se encuentra "sobre" o "soportado por" el sustrato 1 incluso si la otra capa o capas se proporcionan entre la capa 3 y el sustrato 1. Además, pueden eliminarse determinadas capas del revestimiento en determinadas formas de realización, mientras que pueden añadirse otras en otras formas de realización de la presente invención sin apartarse del espíritu global de determinadas formas de realización de la presente invención.

La figura 2 es una vista en sección transversal de un artículo revestido según otra forma de realización de la presente invención. La forma de realización en la fig. 2 es la misma que la forma de realización en la fig. 1 excepto en que la capa inferior de contacto 7 en la forma de realización en la fig. 1 no se encuentra presente en la forma de realización en la fig. 2. En particular, se proporciona una capa de contacto de metal o de nitruro de metal 11 únicamente en la cara superior de la capa de Ag 9 debido a que ésta es la situación en la que la capa de Ag es más susceptible que presente problemas surgidos de la exposición al plasma de oxígeno, tal como se ha expuesto anteriormente. En todavía otras formas de realización de la presente invención, aunque menos preferentes, puede proporcionarse una capa de contacto de metal o de nitruro de metal sobre la parte inferior de la capa de Ag 9 pero no sobre la parte superior de la capa 9 (es decir, a la inversa que en la fig. 2). En la forma de realización en la fig. 2, los expertos en la materia apreciarán que la capa 5 no es necesariamente de NiCrO_{x}, sino que puede ser de cualquier otro material, comprendiendo, aunque sin limitarse a ellos, un óxido de titanio (por ejemplo TiO_{2}), ZnAlO_{x} o similares.

La figura 3 es una vista en sección transversal de todavía otra forma de realización de la presente invención, en la que puede utilizarse una o más capas de metal o de nitruro de metal 7 y/o 11. Los expertos en la materia apreciarán que estas capas pueden utilizarse en una diversidad de diferentes pilas de revestimiento, y los materiales dieléctricos del revestimiento o revestimientos y el número de capas reflectantes de IR del revestimiento no siempre resultan particularmente relevantes con respecto a las capas de contacto descritas en la presente memoria. Aunque puede proporcionarse una capa de contacto de metal o de nitruro de metal (capa de contacto 11 sobre la capa inferior de Ag 9 y la capa de contacto 11' sobre la capa superior de Ag 9'), en otras formas de realización de la presente invención también pueden proporcionarse una o más capas de contacto de metal o de nitruro de metal por debajo de una o de ambas capas de Ag (por ejemplo ver la capa de contacto 7 en la fig. 1). En la tabla 2 a continuación se indican los materiales y grosores ejemplares (que evidentemente no son limitativos) de la forma de realización en la figura 3.

\vskip1.000000\baselineskip

TABLA 2 Materiales/grosores ejemplares; forma de realización en la fig. 3

Capa	Intervalo preferente (\ring{A})	Más preferente (\ring{A})	Ejemplo (\ring{A})

TiO_{2} (capa 2)	0-400 \ring{A}	50-250 \ring{A}	100-160 \ring{A}
Si_{x}N_{y} (capa 3)	0-500 \ring{A}	50-400 \ring{A}	170-360 \ring{A}
NiCrO_{x} (capa 5)	5-100 \ring{A}	10-50 \ring{A}	15-30 \ring{A}
Ag (capa 9)	50-250 \ring{A}	80-120 \ring{A}	105 \ring{A}
NiCr (capa 11)	1-25 \ring{A}	1-10 \ring{A}	3-4 \ring{A}
NiCrO_{x} (capa 13)	5-100 \ring{A}	10-50 \ring{A}	15-30 \ring{A}
SnO_{2} (capa 16)	0-800 \ring{A}	500-850 \ring{A}	650 \ring{A}
Si_{x}N_{y} (capa 18)	0-800 \ring{A}	50-250 \ring{A}	170 \ring{A}
NiCrO_{x} (capa 5')	5-100 \ring{A}	10-50 \ring{A}	15-30 \ring{A}
Ag (capa 9')	50-250 \ring{A}	80-120 \ring{A}	105 \ring{A}
NiCr (capa 11')	1-25 \ring{A}	1-10 \ring{A}	3-4 \ring{A}
NiCrO_{x} (capa 13')	5-100 \ring{A}	10-50 \ring{A}	15-30 \ring{A}
SnO_{2} (capa 20)	0-500 \ring{A}	100-300 \ring{A}	150 \ring{A}
Si_{3}N_{4} (capa 22)	0-500 \ring{A}	100-300 \ring{A}	250 \ring{A}

Se preparó y sometió a ensayo un ejemplo de la forma de realización de la invención en la fig. 1, tal como se explica posteriormente. Durante el procedimiento de revestimiento mediante bombardeo catódico en el que se depositaron las capas 3 a 15, la velocidad de la línea para la capa inferior de nitruro de silicio 3 (con una diana de Si para el bombardeo catódico) era de 55 pulgadas/minuto con 8 pasadas; la velocidad de la línea para la capa superior de nitruro de silicio 15 (con una diana de Si para el bombardeo catódico) era de 50 pulgadas/minuto con 8 pasadas; la velocidad de la línea para las capas de contacto de NiCr 7 y 11 era de 100 pulgadas/minuto con 1 pasada; y la velocidad de la línea para las capas de barrera de NiCrO_{x} 5 y 13 era de 37,5 pulgadas/minuto con 2 pasadas.

\newpage

Conjunto de revestidor para el ejemplo de la forma de realización en la fig. 1

Material de diana	Potencia (kW)	Voltaje (V)	Ar (sccm)	O_{2} (sccm)	N_{2} (sccm)	Grosor (\ring{A})

Si (capa 3)	1 kW	485 V	40	0	40	470 \ring{A}
NiCr (capa 5)	1 kW	415 V	40	10	0	22 \ring{A}
NiCr (capa 7)	0,38 kW	370 V	30	0	0	3 \ring{A}
Ag (capa 9)	2,95 kW	465 V	30	0	0	R_{s}=16 ohm/sq.
NiCr (capa 11)	0,38 kW	370 V	30	0	0	3 \ring{A}
NiCr (capa 13)	1 kW	415 V	40	10	0	22 \ring{A}
Si (capa 15)	1 kW	485 V	40	0	40	510 \ring{A}

Tal como apreciarán los expertos en la materia, el conjunto revestidor indicado anteriormente resultó en una pila de capas sobre el sustrato de vidrio 1 de (en orden de sustrato hacia afuera): Si_{3}N_{4}/NiCrO_{x}/NiCr/Ag/NiCr/NiCrO_{x}/Si_{3}N_{4}. Evidentemente en formas de realización alternativas de la presente invención la capa o capas de contacto 7 y/o 11 podrían nitrurarse (completamente o sólo parcialmente) mediante la adición de gas nitrógeno al procedimiento de revestimiento mediante bombardeo catódico de dichas capas 7 y/o 11. Las características ópticas medidas de este ejemplo particular eran las siguientes (III.C, para las características de transmisión se utilizó la técnica del observador a 2 grados):

Características ópticas del ejemplo

	Transmisión (TY), %:	81,25%
	a*_{T}:	-2,24 \;
	b*_{T}:	0,81 \;

Reflectancia vista desde

	la cara de vidrio (G): R_{G}Y (%):	7,54
	L*_{G}:	33,01
	a*_{G}:	0,56
	b*_{G}:	-7,13

Reflectancia vista desde

	la cara de la película/revestimiento (f): R_{F}Y (%):	5,07
	a*_{F}:	3,21
	b*_{F}:	-5,30
	R_{s} (resistividad laminar, en ohms/sq):	16,0

El presente ejemplo se caracterizaba por una mejor durabilidad que un ejemplo comparativo en el que se omitieron las capas de contacto metálicas.

Los artículos revestidos según determinadas formas de realización de la presente invención presentan una transmisión de la luz visible de por lo menos 65%, más preferentemente de por lo menos 70%, y todavía más preferentemente de por lo menos 75%, e incluso ocasionalmente de por lo menos 80%. Además, los artículos revestidos según determinadas formas de realización de la presente invención presentan una resistividad laminar (R_{s}) no superior a 20 ohms/sq, más preferentemente no superior a 16 ohms/sq y ocasionalmente superior a 12 ohms/sq.

Aunque se ha descrito la invención haciendo referencia a lo que en la actualidad se considera la forma de realización más práctica y preferente, debe interpretarse que la invención no se encuentra limitada a la forma de realización dada a conocer, sino al contrario, se pretende que cubra diversas modificaciones y organizaciones equivalentes dentro del espíritu y alcance de las reivindicaciones adjuntas.

Claims

```
\global\parskip0.970000\baselineskip
```
1. Artículo revestido, que comprende:

un sustrato de vidrio;

un revestimiento soportado por el sustrato de vidrio, en el que el revestimiento comprende una primera capa dieléctrica, una primera capa que comprende NiCrO_{x}, una capa que comprende Ag, una segunda capa que comprende NiCrO_{x}, y una segunda capa dieléctrica, en el que la capa que comprende Ag se encuentra situada entre las primera y segunda capas que comprenden NiCrO_{x}; y

en el que el revestimiento comprende además una capa de contacto de metal o de nitruro de metal situada entre y en contacto con la capa de Ag y con una de las capas que comprende NiCrO_{x}, depositándose la capa de contacto de metal o de nitruro de metal utilizando una diana de bombardeo catódico y depositándose la capa que comprende NiCrO_{x} utilizando otra diana de bombardeo catódico.
2. Artículo revestido según la reivindicación 1, en el que la capa de contacto de metal o de nitruro de metal comprende NiCr.
3. Artículo revestido según la reivindicación 2, en el que la capa de contacto que comprende NiCr es más metálica que dicha capa que comprende NiCrO_{x} que se encuentra en contacto con la capa de contacto.
4. Artículo revestido según la reivindicación 2, en el que la capa de contacto que comprende NiCr se encuentra menos oxidada que dicha capa que comprende NiCrO_{x} que se encuentra en contacto con la capa de contacto.
5. Artículo revestido según la reivindicación 1, en el que la capa de contacto de metal o de nitruro de metal comprende NiCrN_{x}.
6. Artículo revestido según la reivindicación 5, en el que la capa de contacto que comprende NiCrN_{x} es más metálica que dicha capa que comprende NiCrO_{x} que se encuentra en contacto con la capa de contacto.
7. Artículo revestido según la reivindicación 5, en el que la capa de contacto que comprende NiCrN_{x} se encuentra menos oxidada que dicha capa que comprende NiCrO_{x} que se encuentra en contacto con la capa de contacto.
8. Artículo revestido según la reivindicación 1, en el que el revestimiento comprende además otra capa de contacto de metal o de nitruro de metal situada entre y en contacto con la capa que comprende Ag y la otra capa de entre las capas que comprenden NiCrO_{x}.
9. Artículo revestido según la reivindicación 8, en el que la otra capa de contacto comprende por lo menos uno de entre NiCr y NiCrN_{x}.
10. Artículo revestido según la reivindicación 1, en el que el artículo revestido presenta una transmisión de la luz visible de por lo menos 70%.
11. Artículo revestido según la reivindicación 10, en el que el artículo revestido presenta una transmisión de la luz visible de por lo menos 75%.
12. Artículo revestido según la reivindicación 1, en el que el revestimiento presenta una resistividad laminar (R_{s}) no superior a 20 ohms/sq.
13. Artículo revestido según la reivindicación 1, en el que la primera capa dieléctrica comprende nitruro de silicio.
14. Artículo revestido según la reivindicación 13, en el que la segunda capa dieléctrica comprende nitruro de silicio.
15. Artículo revestido según la reivindicación 1, en el que la primera capa dieléctrica comprende un óxido de titanio.
16. Artículo revestido según la reivindicación 1, en el que se proporciona la capa de contacto sobre la superficie superior de la capa que comprende Ag.
17. Artículo revestido que comprende un revestimiento soportado por un sustrato, comprendiendo el revestimiento:

una capa que comprende NiCrO_{x};

una capa que comprende Ag; y

una capa de metal o de nitruro de metal situada entre y en contacto con cada una de entre la capa que comprende NiCrO_{x} y la capa que comprende Ag.
18. Artículo revestido según la reivindicación 17, en el que la capa de metal o de nitruro de metal comprende NiCr y es más metálica que la capa que comprende NiCrO_{x}.
19. Artículo revestido según la reivindicación 17, en el que la capa de metal o de nitruro de metal comprende por lo menos uno de entre CrN_{x} y NiCrN_{x}.
20. Artículo revestido según la reivindicación 17, en el que la capa de metal o de nitruro de metal se encuentra menos oxidada que la capa que comprende NiCrO_{x}.
21. Artículo revestido según la reivindicación 17, en el que el revestimiento presenta una resistividad laminar (R_{s}) no superior a 20 ohms/sq.
22. Artículo revestido según la reivindicación 17, en el que la capa de contacto de metal o de nitruro de metal comprende el mismo metal o la misma aleación metálica que la capa de óxido.
23. Artículo revestido según la reivindicación 21, en el que el revestimiento presenta una transmisión de la luz visible de por lo menos 70%.
24. Procedimiento para preparar un artículo revestido, comprendiendo el procedimiento:

proporcionar un sustrato de vidrio;

depositar una primera capa dieléctrica de manera que se encuentre soportada por el sustrato;

depositar una capa de Ag en el sustrato sobre la primera capa dieléctrica;

depositar, utilizando una primera diana de bombardeo catódico, una capa de contacto de metal o de nitruro de metal en el sustrato directamente por encima y en contacto con la capa de Ag;

depositar, utilizando una segunda diana de bombardeo catódico diferente de la primera diana de bombardeo catódico, una capa que comprende NiCrO_{x} en el sustrato directamente por encima y en contacto con la capa de contacto de metal o de nitruro de metal; y

depositar otra capa dieléctrica sobre el sustrato por encima de la capa que comprende NiCrO_{x}.
25. Procedimiento según la reivindicación 24, en el que la capa de contacto comprende un nitruro de metal, y el procedimiento comprende además utilizar gas oxígeno en la deposición de la capa que comprende NiCrO_{x}, y utilizar gas nitrógeno en la deposición de la capa de contacto.
26. Procedimiento según la reivindicación 24, en el que cada una de las capas reivindicadas se deposita mediante bombardeo catódico.
27. Procedimiento según la reivindicación 24, en el que la capa de contacto comprende por lo menos uno de entre NiCr y CrN_{x}.
28. Procedimiento según la reivindicación 24, en el que las capas se depositan a grosores respectivos y de manera que el artículo revestido resultante este caracterizado por una transmisión de la luz visible de por lo menos 70% y una resistividad laminar (R_{s}) no superior a 20 ohms/sq.
29. Artículo revestido según la reivindicación 1, en el que la capa de contacto de metal o de nitruro de metal es de grosor inferior al de la capa que comprende NiCrO_{x} que se encuentra en contacto con la capa de contacto.
30. Artículo revestido según la reivindicación 1, en el que la capa de contacto de metal o de nitruro de metal presenta un grosor de entre aproximadamente 1 y 10 \ring{A}, y la capa que comprende NiCrOx que se encuentra en contacto con la capa de contacto presenta un grosor de entre aproximadamente 10 y 50 \ring{A}.
31. Artículo revestido según la reivindicación 17, en el que la capa de metal o de nitruro de metal presenta un grosor de entre aproximadamente 1 y 10 \ring{A}, y la capa que comprende NiCrO_{x} que se encuentra en contacto con la capa de metal o de nitruro de metal presenta un grosor de entre aproximadamente 10 y 50 \ring{A}.
32. Artículo revestido según la reivindicación 1, en el que la capa de contacto de metal o de nitruro de metal se encuentra sustancialmente libre de oxígeno.
33. Artículo revestido según la reivindicación 17, en el que la capa de metal o de nitruro de metal se encuentra oxidada entre 0% y 5%.