ES2274632T3 - Sustrato para circuito impreso de alta densidad y su procedimiento de fabricacion. - Google Patents

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Abstract

Un sustrato eléctrico, que comprende: una capa dieléctrica que tiene una rugosidad superficial no mayor de 6, 0 micrómetros; y una primera capa conductora unida a dicha capa dieléctrica en el que la capa dieléctrica comprende una tela que tiene un tejido uniforme y una resina que está impregnada consistentemente dentro del tejido uniforme de dicha tela.

Description

Sustrato para circuito impreso de alta densidad y su procedimiento de fabricación.
Antecedentes de la invención 1. Campo de la invención
La presente invención se refiere en general a placas de circuitos impresos, y más en particular a un procedimiento y aparato para proporcionar un sustrato de circuito impreso de alta densidad.
2. Descripción de la técnica relacionada
Los circuitos integrados se ensamblan normalmente en un paquete que se suelda a una placa de circuito impreso. El circuito integrado puede montarse en un sustrato que tiene una pluralidad de contactos como gotas o patillas de soldadura que se sueldan a la placa de circuito impreso. Los contactos están situados normalmente en una superficie inferior del sustrato mientras que el circuito integrado está situado normalmente en una superficie superior del sustrato. El sustrato del paquete puede contener trazas de ruta, planos de energía/masa y pasos que conectan eléctricamente el circuito integrado con los contactos situados en el otro lado del sustrato. El sustrato puede tener múltiples capas de trazas de ruta y pasos para interconectar el circuito integrado y los contactos.
Las Figuras 1A a E muestran un procedimiento convencional para formar un sustrato. Según se muestra en las Figuras 1A y 1B, primero se forma un laminado de base. En la Figura 1A, se electrodeposita primero una capa conductora 2 como cobre en un tambor 4. La superficie 6 del material conductor 2 que es adyacente al tambor 4 es normalmente lisa, mientras que la superficie 8 de la capa conductora 2 que está en el lado opuesto del tambor 4 está normalmente afieltrada. Además, la superficie afieltrada 8 de la capa conductora 2 se trata normalmente añadiendo nódulos o dientes de enganche a la superficie 8 de manera que se potencie la resistencia de la unión de la capa conductora 2 a un dieléctrico (ver Figura 1B) durante el procedimiento de laminación. La rugosidad superficial \mu de la superficie 8 es normalmente mayor que 6,0 micrómetros (pico-valle, R_{Z}DIN) medida con un perfilómetro de contacto. Posteriormente se une un promotor de acoplamiento de silano 10 a la superficie afieltrada 8 para potenciar aún más la resistencia de la unión de la capa conductora 2. Según se muestra en la Figura 1B, la capa conductora 2 tratada se lamina a continuación en uno o ambos lados de una capa dieléctrica 12 bajo calor y presión (sólo se muestra una capa 2 unida a la capa dieléctrica 12 en la Figura 1B) para formar un laminado de base 14. En el laminado de base 14 puede dibujarse una máscara de materia protectora al grabado 16 según se muestra en la Figura 1C. A continuación se dibuja la máscara de materia protectora 16, según se muestra en la Figura 1D, y posteriormente se graba la capa conductora 2 para proporcionar un sustrato 18 según se muestra en la Figura 1E. La capa conductora 2 tiene normalmente un grosor de 5 a 18 \mum. Posteriormente se elimina la resistencia al grabado para proporcionar el sustrato con circuitos según se muestra en la Figura 1F.
Durante dicha producción convencional de sustratos de circuito impreso, normalmente se forman inclusiones metálicas residuales (como inclusiones de cobre) debido a que se desprenden astillas de los nódulos de la superficie afieltrada 8 de la capa conductora 2 durante el procedimiento de laminación. Dado que el procedimiento de grabado falla normalmente al eliminar estas astillas integradas profundamente, las imperfecciones que quedan en el laminado 14 actúan como sitios de enganche para quimioplastia, y posteriormente provocan defectos de conducción en la superficie del laminado 14. Estos defectos dan como resultado cortocircuitos potenciales en la circuitería producida por el cliente.
Con las metas de diseño de proporcionar placas de circuitos impresos de densidad cada vez más alta, las características de espacios y líneas de traza de placas de circuitos impresos se reducen proporcionalmente. Además, deben reducirse los diámetros de zonas que capturan pasos en las placas de circuitos. Cuando las características de espacios y líneas de traza se hacen más finas (por ejemplo, 10-50 \mum), el problema de las astillas integradas se hace más acusado. Por otra parte, para grabar espacios y líneas finos, la capa conductora 2 (por ejemplo, una capa de cobre) debe ser mucho más fina.
Además, durante la producción convencional de placas de circuitos impresos, el sustrato se somete normalmente a varios ciclos de presión y temperatura. Un procedimiento típico para fabricar laminados emplea una prensa de laminación de lecho plano usando presión hidráulica. Se laminan chapas de cobre por electrodeposición en preimpregnaciones termoestables de tela de resina bajo calor y presión. El laminado resultante tiene normalmente niveles inaceptables de tensiones residuales, que surgen principalmente de la interacción mecánica de la estructura de dientes de cobre tratada y la superficie de laminado reticulada. Posteriormente, durante el grabado de la primera capa conductora 2 (por ejemplo, la capa de cobre), la tensión incorporada causa movimientos dimensionales muy grandes e impredecibles, dando como resultado unos diámetros aumentados de zona de captura.
En consecuencia, existe una necesidad en la tecnología de un aparato y procedimiento para proporcionar un sustrato de circuito impreso de alta densidad con defectos de conducción reducidos. Existe también una necesidad en la tecnología de un aparato y procedimiento para proporcionar un sustrato de circuito impreso de alta densidad que tenga consistencia dimensional mejorada, de manera que pueda alcanzarse una formación de líneas finas, y puedan reducirse las dimensiones de tamaño de zona terminal. Además, existe una necesidad en la tecnología de proporcionar un sustrato de circuito que tenga grosor de cobre reducido. Existe una necesidad adicional en la tecnología de un sustrato con superficies muy lisas, que facilita la producción de sustratos de circuito impreso que tengan líneas y espacios muy finos.
Breve resumen de la invención
La presente invención es un procedimiento y aparato para proporcionar un sustrato eléctrico. El sustrato eléctrico comprende una capa dieléctrica que tiene una rugosidad superficial de no más de 6,0 micrómetros. Se une una primera capa conductora a la capa dieléctrica. En una forma de realización, la capa dieléctrica comprende un laminado que comprende una tela que tiene un tejido uniforme y una resina que está impregnada consistentemente dentro del tejido uniforme. Puede unirse una capa extraíble al laminado y retirarse antes de metalizar la primera capa conductora. Se describen varias formas de realización.
Breve descripción de los dibujos
Las Figuras 1A a F ilustran un procedimiento convencional para formar un sustrato.
La Figura 2 ilustra una forma de realización de un paquete de circuito integrado 20 proporcionado según los principios de la presente invención.
Las Figuras 3A a H ilustran una forma de realización de un procedimiento para formar un sustrato de circuito de alta densidad 26 según una forma de realización de la presente invención.
Las Figuras 4A a I ilustran una forma de realización alternativa de un procedimiento para formar un sustrato de circuito de alta densidad 26a según una forma de realización de la presente invención.
La Figura 5A ilustra una vista lateral de una forma de realización de un laminado de base recubierto con polímero 100 proporcionado según los principios de la presente invención.
La Figura 5B ilustra una vista lateral de una segunda forma de realización de un laminado de base recubierto con polímero 100a proporcionado según los principios de la presente invención.
La Figura 5C ilustra una vista lateral de una forma de realización de un laminado de base recubierto con resina 100b proporcionado según los principios de la presente invención.
La Figura 5D ilustra una vista lateral de una segunda forma de realización de un laminado recubierto con resina 100c proporcionado según los principios de la presente invención.
La Figura 6 es una vista lateral de una forma de realización de una prensa hidráulica 118 para laminar un libro 120 de laminados de base recubiertos con polímero o laminados de base recubiertos con resina.
La Figura 7 ilustra una forma de realización de un procedimiento para fabricar el laminado de base 102 según los principios de la presente invención.
Descripción detallada de la invención
Un aspecto de la presente invención se refiere a un procedimiento y aparato para proporcionar un sustrato eléctrico. El sustrato eléctrico comprende una capa dieléctrica que tiene una rugosidad superficial no mayor de 6,0 micrómetros. Una capa conductora como cobre se une a la capa dieléctrica. En una forma de realización alternativa, se une primero una capa de adhesión a la capa dieléctrica. Posteriormente, se deposita una capa conductora sobre la capa de adhesión.
Otro aspecto de la presente invención se refiere a un procedimiento y aparato para proporcionar la capa dieléctrica, que comprende una tela equilibrada (es decir, una tela que tiene un tejido uniforme) que está impregnada con una resina que está curada con un agente que no contiene diciandiamida (DICY). Se entiende que el término "impregnación", según se usa en el presente documento, incluye el vaciado de la solución, la extrusión o el hilado de la resina en la tela. El término "impregnación" incluye también otras técnicas conocidas generalmente para impregnar la resina en la tela. La resina tiene una temperatura de transición vítrea (Tg) de más de 180°C, y una constante dieléctrica en el intervalo de 2,9 a 3,1. La tela impregnada con resina está curada parcialmente (estado b) para formar una preimpregnación. Posteriormente, se laminan múltiples pliegues de preimpregnación usando calor y presión para producir un laminado. El laminado resultante es estable, liberado de tensión, tiene un coeficiente de expansión térmica (CET) controlado que se corresponde estrechamente con la capa conductora (por ejemplo, cobre), tiene un factor de disipación reducido en el intervalo de 0,008 a 0,015, un bajo contenido de humedad en el intervalo del 0,4 al 0,6% en peso; y una constante dieléctrica baja en el intervalo de 3,2 a 3,7. Se describen varias formas de realización.
La Figura 2 ilustra una forma de realización de un paquete de circuito integrado 20 proporcionado según los principios de la presente invención. El paquete 20 puede incluir un circuito integrado 22 que está montado en una primera superficie 24 de un sustrato 26. El circuito integrado 22 puede estar montado en el sustrato 26 con una pluralidad de puntos de soldadura 28. La unión del circuito integrado 22 al sustrato 26 puede realizarse con un procedimiento referido comúnmente como conexión de soldadura de chip invertido. Aunque en el presente documento se describe un paquete de soldadura de chip invertido, se entiende que el circuito integrado 22 puede unirse al sustrato 26 con conexiones de unión o una conexión automatizada de cinta (TAB) o mediante otras técnicas según se conoce en la tecnología.
Puede unirse una pluralidad de contactos 30 a una segunda superficie 32 del sustrato 26. Los contactos 30 puede ser gotas de soldadura que se hacen refluir en el sustrato 26. Posteriormente, los contactos 30 pueden unirse a una placa de circuito impreso (no mostrada). El sustrato 26 puede tener zonas terminales de superficie, trazas de ruta, planos de energía/masa y pasos que interconectan los puntos de soldadura 28 con los contactos 30. El sustrato 26 puede tener también múltiples capas de trazas de ruta, planos de energía/masa y pasos para interconectar el circuito integrado 22 con los contactos 30.
Las Figuras 3A a H ilustran una forma de realización de un procedimiento para formar un sustrato de circuito impreso de alta densidad 26 según una forma de realización de la presente invención. El sustrato de circuito impreso de alta densidad 26 comprende un laminado de base 50, según se muestra en la Figura 3A. En una forma de realización, el laminado de base 50 es una capa dieléctrica que se proporciona según los principios de la presente invención, y según se expone en detalle en las secciones siguientes. Puede formarse una abertura de paso 52a y/o 52b en el laminado de base 50, según se muestra en la Figura 3B. Dicha abertura de paso 52a y/o 52b puede taladrarse mecánicamente (por ejemplo, abertura de paso 52a) o taladrarse por láser (por ejemplo, abertura de paso 52b) en el laminado de base 50. Un diámetro típico de un orificio taladrado por láser está en el intervalo de 10 a 100 \mum, mientras que un diámetro típico del orificio taladrado mecánicamente es de aproximadamente 100 \mum/0,004 pulgadas o mayor. Según se muestra en la Figura 3C, puede unirse una primera capa conductora 54 al laminado de base 50. En una forma de realización, la primera capa conductora 54 es una capa de adhesión. Los ejemplos de dicha capa de adhesión incluyen cromo, titanio, tungsteno, cinc y níquel. Se entiende que pueden usarse también otros tipos de adhesivos conocidos en la técnica.
La primera capa conductora 54 puede depositarse también de cualquier manera conocida generalmente en la técnica, incluyendo varias técnicas aditivas, semiaditivas o sustractivas. La deposición de la primera capa conductora 54 puede realizarse a través de procedimientos como metalización al vacío, deposición electrónica, deposición iónica, deposición de vapores químicos, electrodeposición, quimioplastia, etc. En una forma de realización, la primera capa conductora 54 tiene un grosor en el intervalo de 50 a 200 angstroms. En otra forma de realización, la primera capa conductora 54 puede estar unida simultáneamente a las dos superficies del laminado de base 50. En una forma de realización alternativa, la primera capa conductora 54 está unida simultáneamente a las dos superficies del laminado de base 50 y a la abertura de paso 52a y/o 52b.
Posteriormente, se une una segunda capa conductora 56 a la primera capa conductora 54, según se muestra en la Figura 3C. Como en el caso de la primera capa conductora 54, la segunda capa conductora 56 puede depositarse de cualquier manera conocida generalmente en la técnica, incluyendo varias técnicas aditivas, semiaditivas o sustractivas. La deposición de la primera capa conductora 56 (y otras capas conductoras descritas en el presente documento) puede realizarse a través de procedimientos como metalización al vacío, deposición electrónica, deposición iónica, deposición de vapores químicos, electrodeposición, quimioplastia, etc. Las capas conductoras 54 y 56 pueden estar formadas por capas de un solo metal o capas compuestas formadas por diferentes procedimientos, polímeros conductores y similares. Los ejemplos de la segunda capa conductora 56 incluyen cobre, oro y aluminio. En una forma de realización, la primera capa conductora 56 es una capa adhesiva y la segunda capa conductora es una capa de enganche. En otra forma de realización, la segunda capa conductora 56 es mayor que 500 angstroms. En una forma de realización más, el grosor de la segunda capa conductora 56 está en el intervalo de 500 a 10.000 angstroms. La segunda capa conductora 56 puede depositarse en uno o los dos lados del laminado de base 50. Alternativamente, la segunda capa conductora 56 puede estar unida simultáneamente (por ejemplo, metalizada al vacío o por deposición electrónica) a las dos superficies del laminado de base 50 y a la abertura de paso 52a y/o 52b. En una forma de realización alternativa, puede implementarse un procedimiento de metalización directa usando un catalizador de paladio de inmersión, para unir una única capa conductora como, por ejemplo, cobre (en vez de dos capas conductoras, por ejemplo, las capas conductoras primera y segunda 54 y 56), en una o las dos superficies del laminado de base 50. En este procedimiento de metalización alternativo, no se requiere una primera capa conductora 54 como la capa de adhesión (por ejemplo, cromo, tungsteno, titanio, níquel o cinc) para facilitar la unión de la segunda capa conductora 56 (por ejemplo, la capa de enganche) al laminado de base 50.
Según se muestra en las Figuras 3D y 3E, puede dibujarse una materia protectora 58 como una materia protectora de película seca fotosensible en la segunda capa conductora 56 (o en la única capa conductora que se unió al laminado de base 50 usando el procedimiento de metalización directo). La materia protectora de deposición 56 puede dibujarse con técnicas fotolitográficas convencionales aplicando una capa de materia protectora y posteriormente eliminando porciones del material de materia protectora, según se muestra en la Figura 3E. En una forma de realización, las porciones de la materia protectora 56 pueden enmascararse y es posible eliminar el exceso de porciones de la materia protectora 56 usando soluciones de revelado apropiadas como solución de revelado acuosa o basada en disolvente.
Puede depositarse (por ejemplo, electrodepositarse) una capa adicional de material conductor 60, por ejemplo, cobre, en las áreas de la segunda capa conductora 56 no cubierta por la materia protectora 58, según se muestra en las Figuras 3F-1 y 3F-2, para facilitar circuitos de geometría lineal fina. En una forma de realización, según se muestra en la Figura 3F-1, la abertura de paso 52a y/o 52b puede obtenerse por deposición hasta un grosor de pared de cobre (normalmente 0,00254 cm/0,001 pulgadas), o por deposición hasta cerrarse completamente, produciendo un punto sólido para futuros procedimientos de unión, según se muestra en la Figura 3F-2. Normalmente, los orificios taladrados por láser más pequeños son mejores candidatos para deposición de las aberturas de paso completamente cerradas.
Según se muestra en la Figura 3G, a continuación se elimina la materia protectora 58. A continuación, se implementa un procedimiento de grabado por revestimiento rápido. El objetivo de esto es eliminar la segunda capa conductora 56 (que, por ejemplo, es la capa de enganche de cobre) o eliminar la única capa conductora (que, por ejemplo, es la capa de enganche de cobre). Posteriormente, se somete el sustrato 26 a una solución de grabado para eliminar la primera capa conductora 54 (que, por ejemplo, es una solución de grabado de cromo para eliminar los 50 a 200 angstroms de cromo expuestos después de eliminar el cobre). La eliminación del cromo asegura el aislamiento eléctrico entre las trazas de circuito sometidas a deposición. El procedimiento de formación de circuitos descrito anteriormente puede aplicarse a una o las dos superficies (por ejemplo, superficie 24 y/o 32) del sustrato 26.
Las Figuras 4A a I ilustran una forma de realización alternativa de un procedimiento para formar el sustrato de circuito de alta densidad 26 según los principios de la presente invención. El sustrato de circuito impreso de alta densidad 26a puede usarse en lugar del sustrato 26 y comprende un laminado de base 80, según se muestra en la Figura 4A. En una forma de realización, el laminado de base 80 es una capa dieléctrica que se proporciona según los principios de la presente invención, y se expone en detalle en las secciones siguientes.
Según se muestra en la Figura 4B, puede unirse una primera capa conductora 82 al laminado de base 80. En una forma de realización, la primera capa conductora 82 es una capa de adhesión. Los ejemplos de dicha capa de adhesión incluyen cromo, titanio, tungsteno, cinc y níquel. Se entiende que pueden usarse también otros tipos de adhesivos. La primera capa conductora 82 puede depositarse según cualquier manera generalmente conocida en la técnica, incluyendo varias técnicas aditivas o semiaditivas o sustractivas. La deposición de la primera capa conductora 82 (y otras capas conductoras descritas en el presente documento) puede realizarse a través de procedimientos como metalización al vacío, deposición electrónica, deposición iónica, deposición de vapores químicos, electrodeposición, quimioplastia, etc. En una forma de realización, la primera capa conductora 82 tiene un grosor en el intervalo de 50 a 200 angstroms. En otra forma de realización, la primera capa conductora 82 puede estar unida simultáneamente a las dos superficies del laminado de base 80. Posteriormente, se une una segunda capa conductora 84 a la primera capa conductora 82, según se muestra en la Figura 4B.
Como en el caso de la primera capa conductora 82, la segunda capa conductora 84 se deposita según cualquier manera generalmente conocida en la técnica, incluyendo varias técnicas de sustrato aditivas o semiaditivas. La deposición de la segunda capa conductora 84 puede realizarse a través de procedimientos como metalización al vacío, deposición electrónica, deposición iónica, deposición de vapores químicos, electrodeposición, quimioplastia, etc. Las capas conductoras 82 y 84 pueden estar formadas por capas metálicas únicas o capas compuestas formadas por diferentes procedimientos, y pueden incluir metales así como polímeros conductores y similares. Los ejemplos de la segunda capa conductora 84 incluyen cobre, oro y aluminio. En una forma de realización, la primera capa conductora 56 es una capa adhesiva y la segunda capa conductora es una capa de enganche. En una forma de realización, la segunda capa conductora 84 es mayor que 500 angstroms. En una forma de realización más, el grosor de la segunda capa conductora 84 está en el intervalo de 500 a 10.000 angstroms.
La segunda capa conductora 84 puede depositarse en uno o los dos lados del laminado de base 80. En una forma de realización alternativa, puede implementarse un procedimiento de metalización directo usando un catalizador de paladio de inmersión, para unir una única capa conductora como, por ejemplo, cobre en vez de dos capas conductoras (por ejemplo, las capas conductoras primera y segunda 82 y 84), en una o las dos superficies del laminado de base 80. En este procedimiento de metalización alternativo, no se requiere la primera capa conductora 82 como la capa de adhesión para facilitar la unión de la segunda capa conductora 84 al laminado de base 80. A continuación (por ejemplo, después de la unión de las capas de adhesión y de cobre o después del procedimiento de metalización directo), se depositan por revestimiento rápido hasta 0,5 micrómetros de cobre en la superficie del laminado de base 80, según se muestra en la Figura 4B.
Puede formarse una abertura de paso 86a y/u 86b en el laminado de base 80, según se muestra en la Figura 4C. Dicha abertura de paso 86a y/u 86b puede taladrarse mecánicamente (por ejemplo, abertura de paso 86a) u taladrarse por láser (por ejemplo, abertura de paso 86b) en el laminado de base 80. Un diámetro típico de un orificio taladrado por láser 86b está en el intervalo de 10 a 100 \mum, mientras que un diámetro típico del orificio taladrado mecánicamente 86a es aproximadamente de 100 \mum/0,004 pulgadas o más. A continuación, se enganchan la abertura o aberturas de paso 86a y/u 86b. En una forma de realización, se une una capa de enganche 88 a lo largo de las paredes de las aberturas de paso 86a y/u 86b. En una forma de realización alternativa, la capa de enganche 88 se une sobre la superficie de la segunda capa conductora 84 (o la única capa conductora que se une al laminado de base 80 usando el procedimiento de metalización directo) y también se extiende a lo largo de las paredes de las aberturas de paso 86a y/u 86b. En una forma de realización, la capa de enganche 88 puede ser uno cualquiera de los siguientes materiales: paladio, estaño o carbono.
Posteriormente, se deposita una tercera capa conductora 89 (por ejemplo, por quimioplastia) en las aberturas de paso 86a y 86b y en la capa 88, según se muestra en la Figura 4D. En una forma de realización, la tercera capa conductora 89 es cobre. En esta forma de realización, pueden depositarse hasta 1,0 micrómetros de cobre (por ejemplo, depositados por revestimiento rápido) sobre la tercera capa conductora 89 y en las aberturas de paso 86a y 86b. Según se muestra en la Figura 4E, puede dibujarse una materia protectora 90 como una materia protectora de película seca fotosensible en la tercera capa conductora 89. La materia protectora de deposición 90 puede dibujarse con técnicas fotolitográficas convencionales aplicando una capa de materia protectora y posteriormente eliminando las porciones del material de materia protectora, según se muestra en la Figura 4F. En una forma de realización, las porciones de la materia protectora 90 pueden enmascararse y es posible eliminar el exceso de porciones de la materia protectora usando soluciones de revelado apropiadas como soluciones de revelado de base acuosa o de base de disolvente.
Puede depositarse (por ejemplo, electrodepositarse) una capa adicional de material conductor 92, como material de cobre, sobre las áreas de la tercera capa conductora 89 no cubiertas por la materia protectora 90, según se muestra en las Figuras 4G-1 y 4G-2, para facilitar circuitos de geometría lineal fina. En una forma de realización según se muestra en la Figura 4G-1, la abertura de paso 86a y/o 86b puede depositarse hasta un grosor de pared de cobre especificado (normalmente, 0,00254 cm/0,001 pulgadas), o depositarse hasta cerrarse completamente, produciendo un punto sólido para futuros procedimientos de unión, según se muestra en la Figura 4G-2. Normalmente, los orificios taladrados por láser más pequeños son mejores candidatos para deposición en las aberturas de paso completamente cerradas.
Según se muestra en la Figura 4H, a continuación se elimina la materia protectora 90. A continuación, se implementa un procedimiento de grabado por revestimiento rápido. El propósito de esto es eliminar las capas conductoras segunda y tercera, 84 y 89 respectivamente (que, por ejemplo pueden ser el material de cobre y la capa de enganche de cobre, respectivamente) o eliminar la única capa conductora y la tercera capa conductora 89 (que, por ejemplo, pueden ser el material de cobre y la capa de enganche de cobre, respectivamente). Posteriormente, se somete el sustrato 26a a una solución de grabado para eliminar la primera capa conductora 82 (que, por ejemplo, puede ser una solución de grabado de cromo para eliminar los 50 a 200 angstroms de cromo expuestos después de eliminar el cobre). La eliminación del cromo asegura el aislamiento eléctrico entre las trazas de circuito depositadas. El procedimiento de formación de circuito descrito anteriormente puede aplicarse a una o las dos superficies (por ejemplo, superficie 24 y/o 32) del sustrato 26a.
Usando el procedimiento o procedimientos integrados según se ha descrito anteriormente y según se muestra en las Figuras 3A a 3H y Figuras 4A a 4I, la presente invención proporciona un sustrato de circuito que tiene grosor de cobre reducido. En consecuencia, pueden evitarse las técnicas convencionales para proporcionar sustratos de circuito, que incluyen laminación de chapas de cobre electrodepositadas para preimpregnaciones de tela de resina termoestables bajo calor y presión. Dichas técnicas convencionales proporcionan normalmente capas de cobre que tienen de 5 a 18 \mum de grosor. Sin embargo, usando la o las técnicas de la presente invención, pueden conseguirse capas de cobre de menos de 5 \mum de grosor. En formas de realización alternativas, pueden conseguirse capas de cobre de 1 a 3 \mum.
Un segundo aspecto de la presente invención implica un aparato y procedimiento para proporcionar el laminado de base 50 u 80. Para los propósitos de la presente exposición, en lo sucesivo los laminados de base 50 u 80 se referirán en el presente documento como el laminado de base 102. La Figura 5A ilustra una vista lateral de una forma de realización de un laminado de base recubierto con polímero 100 proporcionado según los principios de la invención. En una forma de realización, el laminado de base recubierto con polímero 100 comprende un laminado de base 102 que incluye al menos un pliegue de una capa de laminado de base (por ejemplo, uno cualquiera de 102 a 102_{n}). Los ejemplos de la capa de laminado de base (por ejemplo, cualquiera de 102_{1} a 102_{n}) incluyen un material preimpregnado (material de estado b). En una forma de realización alternativa, el laminado de base recubierto con polímero 100 comprende un laminado de base 102 que incluye una pluralidad de capas de laminado de base 102_{1} a 102_{n} que se seleccionan y entrelazan para formar el laminado de base 102. En una forma de realización, el laminado de base 102 está interpuesto entre dos capas extraíbles o películas de liberación extraíble 104a y 104b. En una forma de realización, la capa extraíble 104a o 104b es una película de polímero extraíble. Los ejemplos de la película de liberación de polímero (por ejemplo, 104a y/o 104b) incluyen uno cualquiera de: una película de polipropileno, una película de poliimida, una película construida a partir de resinas fluoradas, polieterimidas o una película de sulfuro de polifenileno. Sin embargo, se entiende que pueden usarse otras películas de liberación de polímero conocidas para un experto habitual en la materia.
En una forma de realización alternativa, la capa extraíble 104a y/o 104b puede ser una capa conductora o una lámina de liberación conductora. La capa conductora puede ser una capa metálica conductora o una capa no metálica conductora. Los ejemplos de la capa metálica conductora incluyen cobre o aluminio electrodepositado, que tiene su superficie brillante (o la superficie adyacente al tambor durante la fabricación) presionada sobre el laminado de base 102. La capa conductora (por ejemplo, 104a y/o 104b) puede fabricarse también a partir de cobre laminado o aluminio laminado, con la superficie lisa de cualquier material presionada contra el laminado de base 102. Los ejemplos de las capas conductoras no metálicas incluyen capas compuestas por material semiconductor. El grosor y las propiedades físicas de los laminados de base 102 están controlados por el número y tipo de material usado para fabricar las capas del laminado de base 102_{1} a 102_{n}. Por ejemplo, un laminado de base de 0,01016 cm (0,004 pulgadas) 102 puede comprender 2 pliegues de material de preimpregnación (por ejemplo, 102_{1} y 102_{2}), en el que cada pliegue de capa de preimpregnación (por ejemplo, 102_{1} y 102_{2}) comprende, por ejemplo, resina impregnada en un único pliegue de tela equilibrada que está interpuesto entre dos capas extraíbles o películas de liberación.
La película de liberación 104a y/o 104b cumple dos funciones: 1) proporciona al laminado de base 102 una superficie muy lisa después de la laminación, y 2) proporciona una cubierta protectora para el laminado de base 102 hasta justo antes del uso en la cadena de fabricación de placas de circuitos. En una forma de realización, la rugosidad superficial \mu del laminado de base 102 de la presente invención es no mayor que 6,0 micrómetros (pico-valle, R_{Z}DIN), medida con un perfilómetro de contacto. En una forma de realización más, la rugosidad superficial \mu del laminado de base 102 es 0 micrómetros \bullet \mu \bullet 3 micrómetros (pico-valle, R_{Z}DIN), medida con un perfilómetro de contacto. Debe observarse que el uso de otros tipos de perfilómetros (por ejemplo, un perfilómetro láser) producirá intervalos de rugosidad superficial que son diferentes comparados con los datos del perfilómetro de contacto. Sin embargo, estos otros perfilómetros proporcionarán medidas de rugosidad superficial \mu correspondientes correlacionadas con las medidas proporcionadas por un perfilómetro de contacto. Por ejemplo, según se expone en una sección anterior, la rugosidad superficial \mu de la superficie 8 (Figuras 1A y 1B) de un sustrato convencional es normalmente mayor que 6,0 micrómetros (pico-valle, R_{Z}DIN), según se mide con un perfilómetro de contacto. La rugosidad superficial \mu del laminado de base 102 de la presente invención es no mayor que 6,0 micrómetros (pico-valle, R_{Z}DIN), medida con un perfilómetro de contacto. Se entiende que otros tipos de perfilómetros, a la vez que proporcionan medidas de rugosidad superficial que son diferentes comparadas con la medida por un perfilómetro de contacto, seguirán produciendo medidas de rugosidad superficial correlacionadas con las proporcionadas por el perfilómetro de contacto.
Se ha determinado que el uso de poliimida o polipropileno como capa extraíble 104a y/o 104b proporciona dos características óptimas en el laminado de base 102: superficies de brillo elevado muy lisas con adhesión nula o mínima de la película de liberación 104a y/o 104b a la capa de laminado de base 102_{1} a 102_{n}. Se ha determinado también que las muestras producidas con polímeros polares como nailon, naftalato de polietileno (PEN) y tereftalato de polietileno (PET) se han adherido al laminado acabado y podrían no eliminarse del sustrato.
La película de liberación 104a y/o 104b puede eliminarse de las superficies exteriores del laminado de base 102 antes del taladrado. En una forma de realización, cuando se usa una película de liberación de polímero como láminas de liberación termoplásticas que se funden a la temperatura de prensa, pueden colocarse láminas de protección 106a y/o 106b como chapas de cobre o películas de polímeros no polares entre la película de liberación de polímero (por ejemplo, 104a y/o 104b) y las placas de prensa 110a y 110b, según se muestra en la Figura 5B. El uso de las láminas de protección 106a y/o 106b como cobre electrodepositado, cobre o aluminio laminado, o una película de polímero que no se funde a temperatura de prensa, evita que la película de liberación de polímero (por ejemplo, 104a y/o 104b) se adhiera a los platos de prensa 110a y 110b durante la laminación. Las láminas de protección 106a y/o 106b y la película de liberación de polímero (por ejemplo, 104a y/o 104b) pueden desprenderse posteriormente del laminado de base 102 para proporcionar un laminado de base 102 con una topografía lisa.
La Figura 5C ilustra una tercera forma de realización de un laminado de base recubierto con polímero 100b proporcionado según los principios de la invención. El laminado de base recubierto con polímero 100b comprende un laminado de base 102 en el que se lamina una capa conductora 107a y/o 107b como una chapa de cobre recubierto. La capa conductora 107a y/o 107b comprende una capa de cobre 114a y/o 114b, recubierta con una capa de resina totalmente curada (o de estado c) 112a y/o 112b, sobre la que se recubre una capa adhesiva de resina 108a y/o 108b. La capa adhesiva de resina 108a y/o 108b se une al laminado de base 102 durante el procedimiento de laminación. Un ejemplo de la capa conductora 107a y/o 107b incluye una capa de resina de doble paso como la comercializada por AlliedSignal lnc. con el nombre comercial RCC^{TM}. Durante la laminación, la capa adhesiva 108a y/o 108b se ablanda, fluye y se cura, formando un laminado totalmente curado 100b con una superficie lisa.
En otra forma de realización, según se muestra en la Figura 5D, no se usa la capa de resina 112a y/o 112b según se muestra en la Figura 5C. En su lugar, sólo se une una única capa adhesiva 108a y/o 108b entre el laminado de base 102 y la capa de cobre 114a y/o 114b. Un ejemplo de dicho adhesivo es una resina de paso simple como la proporcionada por Mitsui con el nombre comercial Multifoil^{TM}. Durante la laminación, la capa adhesiva 108a y/o 108b se ablanda, fluye y se cura formando un laminado totalmente curado 100c con una superficie lisa. Después de la laminación, la capa de cobre 114a y/o 114b puede grabarse con el grosor deseado (normalmente, de 5 a 9 micrómetros), o eliminarse completamente. La superficie resultante tendrá la rugosidad superficial de la capa de cobre 114a y/o 114b. Para obtener una superficie lisa, puede usarse una capa de cobre 114a y/o 114b con una estructura de dientes de perfil muy bajo.
La Figura 6 es una vista lateral de una forma de realización de una prensa hidráulica 118 para laminar un libro 120 de laminados de base recubiertos con polímero 100 ó 100a o laminado de base recubiertos con resina 100b o 100c. Aunque se describe esta forma de realización para laminar el laminado de base recubierto con polímero 100 ó 100a o laminado de base recubierto con resina 100b o 100c, se entiende que pueden usarse otros procedimientos de laminación generalmente conocidos en la técnica. Dichos procedimientos de laminación alternativos incluyen: un procedimiento de laminación de rollo continuo y un procedimiento de laminación en autoclave. Según se muestra, cada libro 120 comprende una pluralidad de capas alternas de un laminado de base recubierto con polímero 100 ó 100a o un laminado de base recubierto con resina 100b o 100c, y una placa de prensa 110, con una placa de prensa 110 situada en uno de los extremos del libro 120. El libro 120 se apila entre dos platinas 122a y 122b.
El ciclo de prensa para el laminado de base recubierto con polímero 100 ó 100a depende del tipo de película de liberación 104a y 104b usado. Para películas de liberación de polímero (104a y/o 104b) que no se funden, sino que sólo se ablandan a una temperatura de prensa en el intervalo de entre 176,7°C y 190,6°C (350ºF y 375ºF), o para películas de liberación de metal conductor (por ejemplo, 104a y/o 104b), el libro 120 puede cargarse caliente a 82,2°C (180ºF) en la prensa 118 a una presión de 2.757,9 kPa (400 psi). Se aplica vacío (hasta 73,6 cm/29 pulgadas de mercurio) al libro 120 usando una prensa cerrada de vacío o colocando cada laminado 100 ó 100a en una bolsa sellable herméticamente o usando marcos de vacío, y llevando el vacío al laminado individual 100 ó 100a durante el ciclo de prensa. A continuación se eleva la muestra en rampa a 18°C (10ºF) por minuto hasta 190,6°C (375ºF) y se deja reposar a esta temperatura durante 75 minutos. A continuación se enfría la muestra a 37,8°C (100ºF) durante 20 minutos. Puede implementarse un procedimiento de tostado posterior después de laminación para reducir adicionalmente la tensión en el laminado 100. En una forma de realización, el procedimiento de tostado posterior se produce a una temperatura en un intervalo entre 176,7°C y 190,6°C (350ºF y 375ºF) para un período en el intervalo de 1 a 4 horas. Sin embargo, el procedimiento de tostado posterior puede producirse a temperaturas menores durante un período de tiempo más largo o a una temperatura superior durante un período de tiempo más corto.
Para películas de liberación de polímero (por ejemplo, 104a y 104b) que se funden a una temperatura de prensa en el intervalo de entre 176,7°C y 190,6°C (350ºF y 375ºF), puede implementarse un ciclo de prensa modificado para minimizar el deslizamiento del laminado de base 102 resultante durante la laminación. Para estos materiales, pueden usarse dos ciclos de prensa diferentes. En cada caso, las muestras se cargan a 82,2°C 8180ºF), la presión se incrementa a 2.757,9 kPa (400 psi), se aplica vacío (hasta 73,6 cm/29 pulgadas de mercurio) al libro 120 usando una prensa cerrada de vacío o colocando cada laminado 100 ó 100a en una bolsa sellable herméticamente o usando marcos de vacío, y llevando el vacío al laminado individual 100 ó 100a durante el ciclo de prensa. A continuación se incrementa la temperatura a 18°C/min (10ºF/min) hasta 165,6°C (330ºF), y se mantienen las muestras a 165,6°C (330ºF) durante 75 minutos. A partir de este punto pueden usarse dos opciones diferentes: (1) enfriar el laminado 100 ó 100a a 37,8°C (100ºF) durante 20 minutos, y a continuación implementar un procedimiento de tostado posterior (en la prensa de tostado posterior o en un horno) de 1 a 4 horas a 190,6°C (375ºF) (el procedimiento de tostado posterior puede producirse a temperaturas inferiores durante un período de tiempo más largo o a una temperatura superior durante un período de tiempo más corto); o (2) reducir la presión a 344,7 kPa (50 psi), aumentando la temperatura a 18°C/minuto (10ºF/min) hasta 190,6°C (375ºF), y manteniendo a continuación esta temperatura durante 75 minutos; a continuación, se enfría el laminado 100 ó 100a a 37,8°C (100ºF) durante 20 minutos. Puede añadirse un procedimiento de tostado posterior a la segunda opción para liberar tensión adicionalmente. En una forma de realización, el procedimiento de tostado posterior se produce a una temperatura en un intervalo entre 176,7°C y 190,6°C (350ºF y 375ºF) para un período en el intervalo de 1 a 4 horas. Sin embargo, el procedimiento de tostado posterior puede producirse a temperaturas inferiores durante un período de tiempo más largo o a una temperatura superior durante un período de tiempo más corto.
El ciclo de prensa para el laminado recubierto con resina 100b o 100c se inicia con carga en el libro 120 a 93,3°C (200ºF) y aplicación de una presión de 172,3 kPa. (25 psi) Se aplica vacío al libro 120 usando una prensa cerrada de vacío o colocando cada laminado 100b en una bolsa sellable herméticamente o usando marcos de vacío, y llevando el vacío al laminado individual 100b durante el ciclo de prensa. La presión de 1.551,3 kPa (225 psi) se mantiene durante todo el ciclo de prensa. A continuación se somete la muestra a una rampa de 9 a 27°C (5 a 15ºF) por minuto hasta entre 176,7 y 198,9°C (350ºF a 390ºF) y se deja reposar a esta temperatura durante 45 a 90 minutos. A continuación se enfría la muestra a 37,8°C (100ºF) durante 20 minutos y se elimina la presión.
La Figura 7 ilustra una forma de realización de un procedimiento para fabricar el laminado de base 102 según los principios de la presente invención. El laminado de base 102 puede obtenerse fabricando una pluralidad de capas de laminado de base 102_{1} a 102_{n} o un único pliegue del laminado de base capa (por ejemplo,102_{1}) con un vacío cilíndrico bajo (vacíos cilíndricos en los intersticios de los haces de fibra, como aire o disolvente atrapado en los haces de fibra) y un recuento de vacío de laminado bajo. Esto puede conseguirse seleccionando una tela apropiada, y proporcionando una penetración de resina en la tela buena o fuerte y consistente, de manera que se obtenga un laminado con un contenido de resina muy consistente y un bajo contenido de vacío. Se ha determinado también que el uso de un agente de curado apropiado, que proporciona una resina que muestra baja absorción de humedad, proporcionará una estructura de laminado con una constante dieléctrica baja y un bajo factor de disipación. La tela y la resina se seleccionan también para proporcionar un laminado de base 102 que tiene un coeficiente de expansión térmica (CET) controlado que se corresponde estrechamente con el CET de la capa de enganche (por ejemplo, la segunda capa conductora 56 u 84).
Así, para proporcionar cada capa de laminado de base 102_{1},..,102_{n}, se impregna una tela equilibrada (es decir, una tela que tiene un tejido uniforme) con una resina que tiene una temperatura de transición vítrea (Tg) mayor que 180°C, una constante dieléctrica en el intervalo de 2,9 a 3,1, y que se cura para proporcionar capa de laminado de base 102_{1},..,102_{n}. Se libera la tensión en la capa de laminado de base resultante 102_{1},.., ó 102_{n}; tiene un factor de disipación reducido en el intervalo de 0,008 a 0,015; un contenido de humedad bajo en el intervalo del 0,4 al 0,6% en peso; y una constante dieléctrica baja en el intervalo de 3,2 a 3,7. La capa de laminado de base resultante 102_{1},.., ó 102_{n} tiene también un CET controlado que se corresponde estrechamente con el CET de la segunda capa conductora 56 u 82 (por ejemplo, una capa de enganche de cobre) que posteriormente se une al laminado de base 102.
En particular, para proporcionar el sustrato liso 50 u 80 ó 102 de la presente invención, se selecciona primero una tela 150. En una forma de realización, la tela 150 tiene una construcción de tejido equilibrada que proporciona propiedades isótropas en el plano del tejido. Dicha construcción de tejido equilibrada incluye el uso de haces de hilo que son muy uniformes tanto en las direcciones de la urdimbre como de la trama (X e Y), es decir, en el plano del tejido. Los ejemplos de dicha tela equilibrada incluyen una tela de vidrio y una tela no de vidrio. En una forma de realización, la tela de vidrio de tejido equilibrado tiene entre 19,7 a 27,6 puntas/cm (50 a 70 puntas/pulgada). En una forma de realización adicional, la tela de vidrio del tejido equilibrado tiene 23,6 puntas/cm (60 puntas/pulgada) en las direcciones de urdimbre y de trama. Los estilos típicos de tela de vidrio de tejido fino incluyen los filamentos de tipos D y E. En una forma de realización de la presente invención, los hilos de urdimbre y de trama son del tipo DE (diámetro de filamento de 0,00063 cm/0,00025 pulgadas). En una tela de vidrio típica, los hilos de urdimbre y de trama pueden ser o no del mismo tipo de hilo (es decir, los hilos de urdimbre y de trama pueden estar hechos usando diferentes bujes durante el procedimiento de hilado del hilo). En una forma de realización de la presente invención, los hilos DE se producen en el mismo buje de fabricación y se usan hilos idénticos en las direcciones de la urdimbre y de la trama. Esto proporciona una materia textil muy uniforme y consistente (es decir, una con idéntica área de sección transversal) tanto en las direcciones de la urdimbre como de la trama.
Alternativamente, puede usarse una tela tejida de Kevlar^{TM} o una tela de fibra de cuarzo. Pueden usarse también otros tipos de tela tejida equilibrada conocidos generalmente en la técnica. Los hilos de urdimbre y de trama tienen geometrías diferentes: los hilos de urdimbre tienen una tendencia a ser más cilíndricos y tienen una sección transversal más circular, mientras que los hilos de trama tienen una sección transversal más elíptica. También se ha encontrado que un material de preimpregnación hecho con un hilo con una sección transversal más cilíndrica tiene una tendencia a tener más vacíos cilíndricos y vacíos de laminado. En consecuencia, el uso de un material textil que tiene haces de hilo que son muy uniformes en las direcciones de la urdimbre y de la trama y tienen una sección transversal más elíptica proporcionarían la consistencia deseada para fabricar el laminado 50 u 80 ó 102 de la presente invención.
Se ha determinado también que una tela 150 con un área de sección transversal uniforme en las direcciones de la urdimbre y de la trama facilitaría un taladrado más consistente cuando debe proporcionarse una abertura de paso en el sustrato 26 ó 26a. Si los nudos del hilo son demasiado gruesos o si ocupan un área grande, la broca de taladro tiene una mayor propensión a desviarse de los nudos, lo que da como resultado un orificio no uniforme. Además, el taladro por láser de un tejido más pequeño produciría una velocidad de taladrado más alta y paredes de orificio más uniformes.
Además, la tela 150 que se selecciona tiene también tiene un coeficiente de expansión térmica (CET) controlado que se corresponde estrechamente con el de la segunda capa conductora (por ejemplo, la capa de cobre) 56 (de la Figura 3C) u 84 (de la Figura 4C). El CET para el cobre es de 17 partes por millón (ppm). En una forma de realización, el CET de la tela 150 está en el intervalo de 15 a 20 ppm. Proporcionando un laminado de base 102 que está hecho de una tela 150 que tiene un CET controlado que se corresponde estrechamente con el de la segunda capa conductora (por ejemplo, la capa de cobre) 56 (de la Figura 3C) u 84 (de la Figura 4C), y usando la película de liberación extraíble 104a y/o 104b durante la fabricación del laminado de base 50, 80 ó 102 (evitando así la necesidad de usar las técnicas convencionales para proporcionar sustratos de circuito, que incluyen laminación de chapas de cobre electrodepositado en preimpregnaciones de tela de resina termoestables bajo calor y presión), se alivia la tensión del sustrato de circuito resultante 26 ó 26a. Además, el tostado posterior del laminado 100 ó 100a puede implementarse también para proporcionar alivio adicional de la tensión.
En una forma de realización, la tela 150 puede construirse a partir de un material que es erosionable por láser, de manera que facilite el posterior taladrado por láser de aberturas de paso en el laminado 50, 80 ó 102. Dicha tela 150 puede estar hecha con: (1) una fibra absorbible en el ultravioleta (UV), (2) por recubrimiento de la tela 150 con una sustancia absorbible en el UV, (3) por recubrimiento de la tela 150 con una sustancia de conductividad térmica mejorada o (4) usando un vidrio no tejido en el que (i) el diámetro de la fibra es menor que el orificio que se va a someter a láser o (ii) el material de relleno tiene un diámetro pequeño.
Tras la selección de la tela apropiada 150, se aplica un agente de acoplamiento a la tela 150 para minimizar la formación de sarpullidos y ampollas del laminado 50, 80 ó 102 después de exposición a alta temperatura y humedad. Se requiere la selección del agente de acoplamiento apropiado para minimizar el potencial de formación de Filamentos Anódicos Conductores (FAC). En ausencia de un enlace tenaz entre la resina y la tela, mientras que bajo la aplicación de humedad y sesgo, puede producirse un crecimiento del filamento de cobre a lo largo de los haces de fibra. La elección del agente de acoplamiento óptimo es clave para proporcionar un alto nivel de resistencia a FAC. La baja propensión para la formación de FAC es un parámetro funcional clave para sustratos usados en aplicaciones de envasado. En una forma de realización, se descubrió que el agente de acoplamiento CS309, comercializado por Clark Schwebel Inc., proporcionaba los resultados óptimos durante exposición a temperatura y humedad (por ejemplo, durante la prueba de cocción bajo presión).
Tras la selección y acondicionamiento de la tela 150, la tela 150 se impregna con una solución de resina 152. El término "impregnación" según se usa en el presente documento incluye vaciado, extrusión o hilado de solución de la solución de resina 152 en la tela 150. Según se muestra en la Figura 7, una forma de realización del procedimiento para unir la solución de resina 152 a la tela 150 es pasar la tela 150 a través de un baño de resina 154 que contiene una solución seleccionada de resina 152. En una forma de realización, la solución de resina 152 comprende una resina, un disolvente que reduce la viscosidad de la resina para una mejor penetración de la tela, un catalizador y aditivos, todos los cuales pueden mezclarse previamente en un recipiente 140 y bombearse posteriormente en el baño de resina 154. En una forma de realización, la solución de resina 152 incluye una resina que tiene una resina de alta temperatura de transición vítrea (Tg). En una forma de realización, Tg > 180°C. Un ejemplo de la resina usada en la solución de resina 154 incluye una resina epoxídica. Se entiende que puede usarse cualquier otra resina con las propiedades descritas en el presente documento (es decir, una Tg alta, una constante dieléctrica baja y curada apropiadamente para proporcionar un laminado de base con un bajo contenido en humedad).
En una forma de realización más, la solución de resina 152 se cura con un agente que no contiene diciandiamida (DICY). El uso de un agente de curado sin DICY conduce a una resina curada que muestra una absorción de humedad significativamente menor en comparación con resinas epoxídicas convencionales. Dicha baja absorción de humedad es una característica clave del sustrato 26 ó 26a para proporcionar un laminado de base 102 con rendimiento mejorado durante pruebas de humedad acelerada. Dicho agente de curado sin DICY proporciona una estructura de laminado con un bajo contenido de humedad, una constante dieléctrica reducida y un factor de disipación reducido, en comparación con un laminado de base epoxídica FR4 estándar. En una forma de realización, la resina curada tiene una constante dieléctrica en el intervalo de 2,9 a 3,1.
Durante la impregnación de la tela 150, la solución de resina apropiada 152 humedece fácilmente los haces de la tela 150, y muestra una excelente penetración en los haces de fibra. Dicha buena penetración de la resina durante la impregnación produce una capa de laminado de base 102_{1}, 102_{2}, ... ó 102_{n} con niveles muy bajos de vacíos cilíndricos, que posteriormente da como resultado un laminado de base 102 con contenido de vacío muy bajo. Además, la impregnación consistente de la tela 150 por la solución de resina 152 produce el beneficio añadido de proporcionar un laminado 102 con un contenido en resina muy consistente. La constante dieléctrica del laminado resultante 102 depende de la proporción entre resina y fibra, y un laminado con un contenido en resina muy consistente mostrará una constante dieléctrica estable en el plano del laminado. Esta estabilidad es importante para la integridad de la velocidad de la señal en todo el circuito. Por ejemplo, para producir un laminado muy uniforme de 0,005 cm (0,002 pulgadas) 102, el laminado de base 102 consiste en un único pliegue de tela de vidrio que tiene del 58 al 59% de resina en peso. En una forma de realización, para una lisura de superficie mejorada (para un ligero aumento en el grosor), el contenido en resina de la capa del laminado de base 102_{1}, 102_{2},.., 102_{n} puede aumentar hasta el intervalo del 60 al 64% de resina en peso. Durante el procedimiento de impregnación, se tiene cuidado de controlar muy estrechamente el contenido en resina. Esto se consigue tirando de la tela 150 a través de dos rodillos de medida contrarrotatorios 160a y 160b (Figura 7).
A continuación se seca la tela impregnada con resina 150 en una torre de secado 170 durante 2 a 3 minutos a aproximadamente 350°C. El calor en la torre de secado 170 elimina el disolvente en la solución de resina 152. A continuación se somete la tela 150 a un período adicional de calentamiento a aproximadamente 350°C y durante 1 a 3 minutos, para curar parcialmente la resina impregnada dentro de la tela 150. A continuación puede cortarse la capa de laminado de base resultante (o material de preimpregnación) 102_{1} al tamaño requerido para proporcionar cada pliegue o cada capa de laminado de base 102_{1}.. 102_{n} del laminado de base 102 (Figuras 5A a 5D).
La presente invención proporciona así un aparato y un procedimiento para proporcionar un sustrato liso que tiene defectos de conducción reducidos. El sustrato ha mejorado la consistencia dimensional, permitiendo la formación de líneas finas, y un tamaño reducido de zona terminal. Como consecuencia, puede proporcionarse una placa de circuito impreso de alta densidad con defectos de conducción reducidos.
La presente invención puede realizarse de otras formas específicas sin apartarse de su espíritu o sus características esenciales. Las formas de realización descritas deben considerarse en todos los aspectos únicamente como ilustrativas y no restrictivas. Por tanto, el alcance de la invención se indica en las reivindicaciones adjuntas, y no en la descripción precedente. Todos los cambios que se asocien al significado y el intervalo de equivalencia de las reivindicaciones deben estar comprendidos dentro de su alcance.

Claims (25)

1. Un sustrato eléctrico, que comprende:
una capa dieléctrica que tiene una rugosidad superficial no mayor de 6,0 micrómetros; y
una primera capa conductora unida a dicha capa dieléctrica en el que la capa dieléctrica comprende una tela que tiene un tejido uniforme y una resina que está impregnada consistentemente dentro del tejido uniforme de dicha tela.
2. El sustrato de la reivindicación 1, en el que la rugosidad superficial de dicha capa dieléctrica está en un intervalo entre 0 micrómetros y 3 micrómetros.
3. El sustrato de la reivindicación 1, en el que dicha primera capa conductora es una capa de enganche.
4. El sustrato de la reivindicación 1, que comprende además:
una segunda capa conductora que está unida a dicha primera capa conductora.
5. El sustrato de la reivindicación 4, en el que dicha primera capa conductora es una capa de adhesión.
6. El sustrato de la reivindicación 5, en el que dicha segunda capa conductora es una capa de enganche.
7. El sustrato de la reivindicación 4, que comprende además una capa de materia protectora que está unida a dicha segunda capa conductora.
8. El sustrato de la reivindicación 4, que comprende además un paso que se extiende a través de la capa dieléctrica.
9. El sustrato de la reivindicación 1, en el que dicha tela comprende una pluralidad de fibras de vidrio que proporcionan dicho tejido uniforme en el que una sección transversal de cada una de dichas fibras de vidrio es elíptica.
10. El sustrato de la reivindicación 1, en el que dicha resina tiene una temperatura de transición vítrea mayor que 180°C.
11. El sustrato de la reivindicación 1, en el que dicha resina tiene una constante dieléctrica en el intervalo de 2,9 a 3,1.
12. El sustrato de la reivindicación 1, en el que dicha resina se cura con un agente que no contiene diciandiamida (DICY).
13. El sustrato de la reivindicación 1, en el que dicha capa dieléctrica tiene un coeficiente de expansión térmica (CET) que se corresponde estrechamente con un CET de dicha primera capa conductora.
14. El sustrato de la reivindicación 1, en el que dicha capa dieléctrica tiene: un CET que se corresponde estrechamente con un CET de dicha primera capa conductora; una constante dieléctrica en el intervalo de 3,2 a 3,7; un contenido de humedad en el intervalo del 0,4 al 0,6% en peso; y un factor de disipación en el intervalo de 0,008 a 0,015.
15. El sustrato de la reivindicación 1, en el que dicho sustrato comprende además una capa extraíble que está unida a dicha capa dieléctrica, eliminándose dicha capa extraíble antes de unir dicha primera capa conductora a dicha capa dieléctrica.
16. Un paquete de circuito integrado, que comprende:
un sustrato que comprende:
una capa dieléctrica que tiene una rugosidad superficial de no más de 6,0 micrómetros; y
una primera capa conductora unida a dicha capa dieléctrica; y un circuito integrado que está unido a dicho sustrato en el que la capa dieléctrica comprende una tela que tiene un tejido uniforme y una resina que está impregnada consistentemente dentro del tejido uniforme de dicha tela.
17. El paquete de la reivindicación 16, en el que la rugosidad superficial de dicha capa dieléctrica está en un intervalo entre 0 micrómetros y 3 micrómetros.
18. El paquete de la reivindicación 16, en el que dicho circuito integrado está unido a dicho sustrato por soldadura.
19. Un procedimiento para construir un sustrato eléctrico, que comprende:
unir una primera capa conductora sobre una capa dieléctrica que tiene una rugosidad superficial no mayor de 6,0 micrómetros en el que la capa dieléctrica comprende una tela que tiene un tejido uniforme y una resina que está impregnada consistentemente dentro del tejido uniforme de dicha tela:
dibujar una materia protectora sobre dicha primera capa conductora;
grabar dicha primera capa conductora; y
eliminar dicha materia protectora.
20. El procedimiento de la reivindicación 19, en el que la unión de dicha primera capa conductora comprende simultáneamente la unión de dicha primera capa conductora y al menos una abertura de paso dispuesta en dicha capa dieléctrica.
21. El procedimiento de la reivindicación 20, que comprende además:
unir una segunda capa conductora sobre la capa dieléctrica antes de unir la primera capa conductora.
22. El procedimiento de la reivindicación 21, en el que la unión de dicha segunda capa conductora comprende simultáneamente la unión de dicha segunda capa conductora y al menos una abertura de paso dispuesta en dicha capa dieléctrica.
23. El procedimiento de la reivindicación 20, en el que la unión de dicha primera capa conductora comprende simultáneamente la unión de dicha primera capa conductora en una primera y una segunda superficie de dicha capa dieléctrica.
24. El procedimiento de la reivindicación 20, en el que dicha capa dieléctrica comprende una capa extraíble, comprendiendo además el procedimiento eliminar dicha capa extraíble antes de unir dicha primera capa conductora sobre dicha capa dieléctrica.
25. El procedimiento de la reivindicación 20, en el que dicha capa dieléctrica comprende una primera y una segunda superficie, comprendiendo dicho dieléctrico una primera capa extraíble que está unida a la primera superficie y una segunda capa extraíble que está unida a la segunda superficie; comprendiendo el procedimiento además eliminar dichas capas extraíbles primera y segunda antes de unir dicha primera capa conductora sobre dicha capa dieléctrica.
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