ES2325136T3 - Dispositivo para separar dos elementos en forma de disco, dispuestos uno encima de otro, durante su extraccion. - Google Patents

Abstract

Dispositivo para separar dos elementos (33, 34) en forma de disco, dispuestos uno encima de otro, durante la extracción de los elementos (33, 34) en forma de disco de un elemento de soporte (2), con al menos un dispositivo de elevación (15.i) para levantar un primer elemento superior (33) de dos elementos en forma de disco, dispuestos uno encima de otro, y con un dispositivo de sujeción (17.i) para sujetar el segundo elemento (36) en forma de disco, inferior, pudiendo generarse por el dispositivo de elevación (15.i) una primera fuerza de depresión (F 1) sobre una primera superficie (35) del primer elemento (33) en forma de disco, y pudiendo generarse por el dispositivo de sujeción (17.i) una segunda fuerza de depresión (F2) sobre una segunda superficie (36) del segundo elemento (34) en forma de disco, opuesta a la primera superficie (35) del primer elemento (33) en forma de disco, y estando configurados el dispositivo de elevación (15.i) y el dispositivo de sujeción (17.i) de tal forma que la distribución de fuerza generada por la primera fuerza de depresión (F 1) en la primera superficie (35) del primer elemento (33) en forma de disco se diferencia, en cuanto a su geometría, de la distribución de fuerza generada por la segunda fuerza de depresión (F2) en la segunda superficie (36) del segundo elemento (34) en forma de disco.

Description

Dispositivo para separar dos elementos en forma de disco, dispuestos uno encima de otro, durante su extracción.

La presente invención se refiere a un dispositivo para separar dos elementos en forma de disco, dispuestos uno encima de otro, durante la extracción de los elementos en forma de disco de un elemento de soporte.

Durante el tratamiento de elementos en forma de disco como, por ejemplo, discos semiconductores, frecuentemente es necesario extraer elementos en forma de disco de un dispositivo de transporte, por ejemplo una caja, y suministrarlos a un procesamiento. Para ello, los elementos suministrados dentro de una caja se depositan en un elemento de soporte. Después, mediante el transporte del elemento de soporte, los elementos depositados en el elemento de soporte se suministran al procesamiento en sí.

Por el documento DE10007389A1 se conoce un dispositivo para la extracción de discos semiconductores de un elemento de soporte de este tipo. El elemento de soporte está configurado de tal forma que puede realizarse un tratamiento bilateral de las superficies de los discos semiconductores. Aunque por dicho documento ya se conoce el tratamiento de un elemento en forma de disco, dispuesto dentro de un elemento de soporte, tanto por su cara superior como por su cara inferior, con el dispositivo presentado allí no es posible tratar una superficie de dos elementos en forma de disco diferentes. El elemento de soporte conocido por el documento DE10007389A1 permitiría el tratamiento de una superficie, respectivamente, en el caso de dos discos semiconductores superpuestos. Sin embargo, con el dispositivo conocido por el documento DE10007389A1 no es posible extraer los discos semiconductores. En particular, la extracción del disco semiconductor superior con una ventosa podría conducir eventualmente a la extracción de ambos discos semiconductores, ya que éstos están adheridos uno al otro debido al vacío formado entre ellos.

Por lo tanto, la invención tiene el objetivo de proporcionar un dispositivo para separar dos elementos en forma de disco, dispuestos uno encima de otro, durante la extracción de los elementos en forma de disco del elemento de soporte.

El objetivo se consigue mediante el dispositivo según la invención con las características de la reivindicación 1.

El dispositivo según la invención para la separación de dos elementos en forma de disco, dispuestos uno encima de otro, durante la extracción de los elementos en forma de disco de un elemento de soporte, presenta al menos un dispositivo de elevación para levantar un primer elemento en forma de disco, superior, así como un dispositivo de sujeción para sujetar un segundo elemento en forma de disco, inferior. El dispositivo de elevación está configurado de tal forma que genera una primera fuerza de depresión en una primera superficie del primer elemento en forma de disco. De manera correspondiente, el dispositivo de sujeción está realizado de tal forma que genera una segunda fuerza de depresión en una segunda superficie del segundo elemento en forma de disco. Los dos elementos en forma de disco están dispuestos dentro del elemento de soporte de tal forma que la primera superficie del primer elemento en forma de disco y la segunda superficie del segundo elemento en forma de disco están orientadas en sentidos opuestos. El dispositivo de elevación y el dispositivo de sujeción están realizados de tal forma que la primera fuerza de depresión ataca con una primera distribución de fuerza y que la segunda fuerza de depresión ataca con una segunda distribución de fuerza en la primera superficie del primer elemento en forma de disco y la segunda superficie del segundo elemento en forma de disco, respectivamente, siendo distintas la primera y la segunda distribución de fuerza.

Con una distribución de fuerza tan distinta de la primera fuerza de depresión y la segunda fuerza de depresión se garantiza que, al contrario de una distribución de fuerza igual en las superficies del primer elemento en forma de disco y del segundo elemento en forma de disco, se evita o al menos se reduce en fuerte medida la formación de un vacío entre los dos elementos en forma de disco. Gracias a esta fuerte reducción del vacío entre los dos elementos en forma de disco, se pueden reducir en fuerte medida las fuerzas necesarias para levantar el primer elemento en forma de disco del segundo elemento en forma de disco. Como consecuencia, disminuye la cuota de daños de los elementos en forma de disco. Otra reducción del desecho producido se consigue además si tanto el primer elemento en forma de disco como el segundo en forma de disco se levantan y se sujetan respectivamente mediante una primera y una segunda fuerza de depresión. Por consiguiente, no es necesario agarrar o sujetar los elementos en forma de disco por su borde circunferencial exterior.

Especialmente cuando en los elementos en forma de disco se trata de llamadas obleas, resulta ventajosa la generación de las fuerzas de sujeción o de elevación mediante una depresión, ya que las obleas de silicio frágiles que en la actualidad se fabrican con grosores de hasta 50 \mum, son relativamente frágiles.

En las reivindicaciones subordinadas se indican variantes ventajosas del dispositivo según la invención.

Resulta especialmente ventajoso que el dispositivo de elevación y el dispositivo de sujeción comprenden distintos números de elementos de succión. En contexto con la presente invención, por el término "elemento de succión" se entiende cualquier elemento capaz de generar una fuerza de depresión en una superficie. Una fuerza de depresión de este tipo puede producirse también si del elemento de succión emana un fluido como es el caso, por ejemplo, en los llamados elementos de succión de Bernoulli. Al menos un elemento de succión Bernoulli se emplea, preferentemente, para el dispositivo de elevación.

Según otra forma de realización preferible, el dispositivo de sujeción presenta al menos un elemento de vacío. El uso de un elemento de vacío en el dispositivo de sujeción tiene la ventaja de que, al contrario del uso de elementos de succión de Bernoulli, para generar la fuerza se requiere tan sólo una zona muy pequeña de la superficie del elemento en forma de disco. Por lo tanto, incluso para elementos en forma de disco, en los que, debido al dimensionamiento del elemento de succión de Bernoulli, se dispone sólo de una pequeña parte de la superficie opuesta para posicionar el dispositivo de sujeción, se consigue una retención segura del segundo elemento en forma de disco.

Según otra forma de realización preferible, el dispositivo de elevación está configurado de tal forma que la primera fuerza de depresión se genera en una zona interior del primer elemento en forma de disco, y el dispositivo de sujeción está configurado de tal forma que la segunda fuerza de depresión se genera en una zona exterior del segundo elemento en forma de disco. Según otra forma de realización preferible, al contrario, el dispositivo de elevación está configurado de tal forma que la primera fuerza de depresión se genera en una zona exterior del primer elemento en forma de disco, y el dispositivo de sujeción está configurado de tal forma que la segunda fuerza de depresión se genera en una zona interior del segundo elemento en forma de disco. Mediante estas dos formas de realización preferibles se garantiza que respectivamente uno de los dos elementos en forma de disco experimenta una fuerza de depresión aproximadamente en la zona del centro de la superficie. Respectivamente el otro elemento en forma de disco, en cambio, se somete a una fuerza de depresión más cerca de su borde. De esta forma, se evita que los dos elementos en forma de disco se pongan en contacto mutuo por su zona exterior cercana a su contorno exterior, de tal forma que una fuerza que levanta los dos elementos uno de otro conduzca a la formación de un vacío entre los dos elementos. Por ejemplo, en caso de emplear elementos de succión sencillos por vacío o elementos de succión de Bernoulli, que generan una fuerza de depresión respectivamente en el centro de las superficies opuestas de los elementos en forma de disco, los dos elementos en forma de disco se levantarían uno de otro en la zona del centro de la superficie. De este modo, entre los dos elementos en forma de disco se produce un vacío que evita la separación de los dos elementos en forma de disco o al menos hace necesarias fuerzas considerables para separarlos. Para realizar una separación segura, sería necesario entonces aumentar las fuerzas de depresión que actúan sobre las superficies, lo cual puede provocar daños a los elementos en forma de disco. Según la invención, esto se evita de tal forma que sobre el primer elemento en forma de disco actúa una primera fuerza de depresión con una primera distribución de fuerza y sobre el segundo elemento en forma de disco actúa una segunda fuerza de depresión con una segunda distribución de fuerza. La primera distribución de fuerza y la segunda distribución de fuerza son diferentes, contrarrestando la producción de un vacío entre los dos elementos en forma de disco.

Un ejemplo de realización preferible del dispositivo según la invención está representado en el dibujo y se describe en detalle en la siguiente descripción. Muestran:

La figura 1 una representación esquemática de un dispositivo según la invención, en una vista en planta desde arriba; y

la figura 2 una segunda representación esquemática de un detalle del dispositivo según la invención a lo largo de la línea II-II.

En la figura 1 está representado un dispositivo 1 para separar respectivamente dos elementos en forma de disco, dispuestos uno encima de otro, durante la extracción de los elementos en forma de disco de un elemento de soporte 2. Por el dispositivo 1, elementos en forma de disco, preferentemente obleas en la fabricación de semiconductores o en la fabricación de instalaciones fotovoltaicas, se depositan en un elemento de soporte 2 (carrier). Para ello, el elemento de soporte 2 presenta varias filas de cavidades 3. En el ejemplo de realización representado, el elemento de soporte 2 presenta 6x6 cavidades 3. Para aumentar el rendimiento de una instalación de procesamiento, resulta ventajoso insertar en las cavidades 3 respectivamente dos elementos en forma de disco. De esta manera, los dos elementos en forma de disco del mismo tamaño, dispuestos respectivamente en una cavidad 3, están accesibles por su cara opuesta una a la otra. De esta forma, es posible tratar al mismo tiempo dos elementos en forma de disco, por una cara respectivamente.

En la figura 1 está representada una vista en planta desde arriba del dispositivo según la invención. Durante la dotación del elemento de soporte 2, en cada una de las cavidades 3 configuradas como orificio de paso, se inserta en primer lugar un elemento en forma de disco. La geometría exterior de las cavidades 3 corresponde aproximadamente a la geometría exterior de un elemento en forma de disco. En la cavidad 3, en el contorno exterior, están previstos elementos de sujeción no representados en la figura 1, sobre los que se deposita el elemento en forma de disco, inferior. A continuación, sobre un elemento en forma de disco, inferior, depositado en la cavidad 3, se deposita otro elemento en forma de disco.

Una vez dotado completamente, el elemento de soporte 2 se saca del dispositivo 1 representado en la figura 1. Para este fin, están previstos elementos transportadores 4.1 y 4.2, con los que el elemento de soporte 2 puede transportarse a la instalación de procesamiento.

Los elementos transportadores 4.1 y 4.2 están dispuestos en un cuerpo base 5 del dispositivo 1 según la invención. El cuerpo base 5 presenta además una escotadura 5'. La escotadura 5' está dimensionada de tal forma que a ambos lados longitudinales del cuerpo base 5 queda formado un brazo de apoyo 6.1 ó 6.2, respectivamente. El ancho de la escotadura 5' es algo más estrecho que el elemento de soporte 2, de modo que el elemento de soporte 2 puede posicionarse sobre los brazos de apoyo 6.1 y 6.2 de tal forma que todos los elementos en forma de disco dispuestos en las cavidades 3 estén accesibles también desde la cara inferior.

Para conseguir durante la dotación del elemento de soporte 2 y durante la extracción de los elementos en forma de disco de las cavidades 3 del elemento de soporte 2, un posicionamiento exacto del elemento de soporte 2, en los extremos libres de los brazos de apoyo 6.1 y 6.2 están dispuestos topes de longitud 7.1 y 7.2. Cuando el elemento de soporte 2 es transportado sobre el cuerpo base 5, con la ayuda de los elementos de transporte 4.1 y 4.2, en la dirección de los topes de longitud 7.1 a 7.2, los topes de longitud 7.1 y 7.2 definen una posición final del elemento de soporte 2. Para la alineación lateral del elemento de soporte 2 están previstos un primer par de correderas de posicionamiento 8.1 y 8.2 y un segundo par de correderas de posicionamiento 9.1 y 9.2. Las correderas de posicionamiento 8.1 y 8.2 ó 9.1 y 9.2 pueden moverse en el plano del elemento de soporte 2, perpendicularmente con respecto al sentido de transporte definido por los elementos de transporte 4.1 y 4.2. Cuando el elemento de soporte 2 ha llegado a su posición final, a la que se ha transportado contra los topes de longitud 7.1 y 7.2, las correderas de posicionamiento 8.1 y 8.2 ó 9.1 y 9.2 se mueven una hacia la otra. De esta forma se alinea el elemento de soporte 2. Las correderas de posicionamiento 8.1, 8.2 y 9.1 y 9.2 están dispuestas preferentemente en la zona de las esquinas del elemento de soporte 2 rectangular.

Para colocar los elementos en forma de disco en las cavidades 3 del elemento de soporte 2 y volver a extraerlos de las cavidades del elemento de soporte 2, está prevista una barra de transporte 10. La barra de transporte 10 está prevista para transportar los elementos en forma de disco de un dispositivo transportador 11 al elemento de soporte 2 o del elemento de soporte 2 al dispositivo transportador 11. El dispositivo transportador 11 sirve tanto para alimentar los elementos en forma de disco como para evacuar los elementos en forma de disco que retornan del proceso de tratamiento, de una manera que se describe más adelante.

La barra de transporte 10 se extiende desde un primer riel de desplazamiento 12.1 hasta un segundo riel de desplazamiento 12.2. La barra de transporte 10 puede moverse en el sentido longitudinal de los rieles de desplazamiento 12.1 y 12.2. En el ejemplo de realización representado, en el que están dispuestas respectivamente seis cavidades 3 en una fila en el elemento de soporte 3, los rieles de desplazamiento 12.1 y 12.2 están dispuestos perpendicularmente con respecto a las cavidades 3 adyacentes de una fila de este tipo. Al moverse la barra transportadora 10 en los rieles de desplazamiento 12.1 y 12.2, la barra de transporte 10 puede posicionarse respectivamente encima de una de estas filas de cavidades 3. Por lo tanto, en el ejemplo de realización representado es posible, o bien, insertar seis elementos en forma de disco a la vez en las cavidades 3, o bien extraerlos de las cavidades 3 y transportarlos de vuelta al dispositivo transportador 11.

La longitud de los rieles de desplazamiento 12.1 y 12.2 está dimensionada de tal forma que la barra de transporte 10 puede moverse hasta el dispositivo transportador 11 o hasta la fila de cavidades 3 inferior, representada en la
figura 1.

A la barra de transporte 10 va fijada una barra de elevación 13, estando dispuesta la barra de elevación 13 entre la barra de transporte 10 y el elemento de soporte 2, como se indica por la representación de la barra de elevación 13 en líneas discontinuas en la figura 1. La distancia entre la barra de elevación 13 y la barra de transporte 10 es variable. Para ello, están previstos un primer y un segundo dispositivo de elevación 14.1 y 14.2. Con la ayuda del dispositivo de elevación 14.1 y 14.2 se puede variar la distancia entre la barra de elevación 13 y la barra de transporte 10. En la barra de elevación 13 están dispuestos elementos de elevación por succión 15.1 a 15.6.

Mientras con la ayuda de la barra de transporte 10 se determina la posición a lo largo de una fila de cavidades 3 del elemento de soporte 2, la barra de elevación 13 se puede descender mediante los dispositivos de elevación 14.1 y 14.2, descendiendo de esta manera el elemento de elevación por succión 15.i, asignado a una cavidad 3 correspondiente, en dirección hacia el elemento en forma de disco o la cavidad 3 correspondiente.

Durante la elevación del superior de dos elementos en forma de disco, dispuestos uno encima de otro, desde una cavidad 3 del elemento de soporte 2, es preciso sujetar el elemento en forma de disco, inferior, que yace sobre un elemento de sujeción únicamente por la fuerza de gravedad. De esta manera, se evita que por la elevación del elemento en forma de disco, superior por el elemento de elevación por succión 15.i, se levante también el elemento en forma de disco, inferior por las fuerzas entre los dos elementos en forma de disco. Mientras la barra de transporte 10, junto con la barra de elevación 13, está dispuesta por encima del elemento de soporte 2, para la sujeción de los elementos en forma de disco, inferiores, está previsto un cuerpo de dispositivo de sujeción 16, dispuesto por debajo del elemento de soporte 2. El cuerpo de dispositivo de sujeción 16 se extiende aproximadamente desde el primer brazo de apoyo 6.1 hasta el segundo brazo de apoyo 6.2 y también puede posicionarse con respecto al elemento de soporte 2.

De este modo, es posible la sujeción simultánea de seis elementos en forma de disco, inferiores, dispuestos en una fila, en las cavidades 3 del elemento de soporte 2. Para este fin, en el cuerpo de dispositivo de sujeción 16 están dispuestos elementos de sujeción por succión 17.1 a 17.6. En el ejemplo de realización preferible, representado, cada elemento de sujeción por succión 17.i se compone de cuatro elementos de vacío. Los cuatro elementos de vacío están posicionados respectivamente sobre el cuerpo de dispositivo de sujeción 16 de tal forma que, cuando el cuerpo de dispositivo de sujeción 16 está posicionado debajo de una fila de cavidades 3, estén dispuestos en la zona próxima a las esquinas de las cavidades 3. El ejemplo de realización representado muestra cavidades 3 cuadradas, previstas para elementos en forma de disco cuadrados. Sin embargo, la invención no se limita a esta geometría. Más bien, pueden usarse, por ejemplo, también elementos en forma de disco redondos, rectangulares o con otras formas poligonales. La geometría de las cavidades 3 en el elemento de soporte 2 corresponde respectivamente a la geometría de los elementos en forma de disco empleados. La disposición de los distintos elementos de vacío de un elemento de sujeción por succión 17i está adaptada a la geometría de los elementos en forma de disco. En particular, los elementos de vacío se disponen de tal forma que el correspondiente elemento en forma de disco inferior quede sujeto por su zona exterior. Esto se describe con más detalle a continuación, con relación a la figura 2.

La alimentación y la evacuación de los elementos en forma de disco se realizan mediante el dispositivo de transporte 11. El dispositivo de transporte 11 comprende un elemento transportador 18 central que en el ejemplo de realización representado está configurado como accionamiento por cordones. El accionamiento por cordones comprende dos cordones dispuestos paralelamente entre sí y es al menos tan largo que sobre el elemento transportador 18 central puedan estar dispuestos seis elementos en forma de disco al mismo tiempo. Estos seis elementos en forma de disco se reciben entonces con la ayuda de la barra de transporte 10 y los elementos de elevación por succión 15.i unidos con ésta, y en un solo paso se depositan en la cavidad 3 de una fila del elemento de soporte 2. En el elemento de soporte 2 inicialmente vacío se depositan, por tanto, en primer lugar en una fila elementos en forma de disco inferiores. Sobre estos elementos en forma de disco inferiores se deposita entonces un segundo elemento en forma de disco con la ayuda de la barra de transporte 10.

Antes de que los elementos en forma de disco se depositen sucesivamente sobre el elemento transportador 18 central, se extraen de una caja 20 por un elemento transportador 19 de entrada. Una multitud de elementos en forma de disco están dispuestos individualmente en superficies de soporte dispuestos en el borde dentro de la caja 20. La caja 20 presenta una escotadura en la zona del elemento transportador de entrada 19. Mediante un descenso gradual de la caja 20, se deposita siempre el elemento en forma de disco inferior sobre el elemento transportador de entrada 19. El elemento transportador de entrada 19 asimismo es un accionamiento por cordones y transporta el elemento en forma de disco depositado sobre él en dirección hacia el elemento transportador central 18. Para extraer el siguiente elemento en forma de disco, se vuelve a descender la caja 20 hasta que el siguiente elemento en forma de disco se sitúe sobre el elemento transportador de entrada 19.

En caso de que en todos los elementos en forma de disco situados en la caja 20, la superficie que ha de ser tratada tenga la misma orientación, es preciso dar la vuelta a los elementos en forma de disco que han de depositarse abajo o arriba en las cavidades 3 del elemento transportador 2. De esta forma, se garantiza que la segunda superficie a tratar del elemento en forma de disco inferior mire hacia abajo y que la primera superficie a tratar del elemento en forma de disco superior mire hacia arriba. Para dar la vuelta a los elementos en forma de disco está previsto un dispositivo de inversión. El dispositivo de inversión comprende una primera y una segunda rueda de inversión 22.1 y 22.2.Las ruedas de inversión 22.1 y 22.2 están dispuestas paralelamente entre sí y fijadas a un primer árbol de inversión 23 común. En las ruedas de inversión 22.1 y 22.2 están dispuestas ranuras que se extienden en el sentido radial desde una zona próxima al punto central de las ruedas de inversión 22.1 y 22.2 hasta el borde circunferencial exterior. El ancho de las ranuras es algo mayor que el grosor de los elementos en forma de disco. Las ranuras dispuestas en la rueda de inversión 22.1 y la rueda de inversión 22.2 están dispuestas de tal forma que corresponden unas a otras en lo que se refiere a su posición angular. De esta manera, un elemento en forma de disco extraído de la caja de entrada 20 por el elemento transportador de entrada 19, puede insertarse en un par de ranuras correspondientes de las dos ruedas de inversión 22.1 y 22.2. Para levantar el elemento en forma de disco del elemento transportador de entrada 19, el árbol 23 se hace girar 180º con la ayuda de un motor de accionamiento. De esta forma, se da la vuelta al elemento en forma de disco y éste se sitúa sobre el elemento transportador central 18. Debido al ancho de las ranuras, que es ligeramente mayor que el grosor del elemento en forma de disco, el elemento en forma de disco se sitúa ahora libremente sobre el elemento transportador central 18. La cara superior de los accionamientos por cordones del elemento transportador de entrada 19 y del elemento transportador central 18 se encuentran al mismo nivel que el primer árbol de inversión 23.

Para posibilitar también la alimentación de elementos en forma de disco a los que no se ha dado la vuelta, en las ruedas de inversión 22.1 y 22.2 está prevista al menos una ranura que se extiende a lo largo del diámetro de las ruedas de inversión. En la zona entre las ruedas de inversión 22.1 y 22.2 está ranurado también el primer árbol de inversión 23. De esta forma, el elemento transportador de entrada 19 puede transportar un elemento en forma de disco directamente en dirección hacia el elemento transportador central 18.

Para elementos en forma de disco que retornan del proceso está previsto un dispositivo correspondiente en el otro extremo del elemento transportador central 18. Este dispositivo comprende un elemento transportador de salida 25, con cuya ayuda los elementos en forma de disco tratados se transportan a una caja de salida 26. Con la ayuda del elemento transportador de salida 25, los elementos en forma de disco se transportan al interior de la caja de salida 26 y, mediante la elevación de la caja de salida, se depositan sobre las superficies de soporte realizadas en la caja de salida.

Para volver a orientar homogéneamente todos los elementos en forma de disco que retornan del proceso, está previsto un segundo dispositivo de inversión, cuya estructura corresponde al primer dispositivo de inversión. Por lo tanto, el segundo dispositivo de inversión comprende una tercera y una cuarta rueda de inversión 27.1 y 27.2 dispuestas en un segundo árbol de inversión 28 común. Las ruedas de inversión 27.1 y 27.2 se mueven por un segundo motor de accionamiento 29.

También las ruedas de inversión 27.1 y 27.2 presentan al menos una ranura continua. Igualmente, está ranurado el segundo árbol de inversión 28 con una posición angular correspondiente, de modo que también en el lado de salida del dispositivo transportador 11 es posible depositar los elementos en forma de disco en la caja de salida 26 sin tener que dar la vuelta a los elementos en forma de disco.

Para accionar los elementos transportadores 18, 19 y 21, están previstos árboles de accionamiento 21, 30 y 31, así como discos de accionamiento no representados.

La figura 2 muestra una vista de detalle ampliada a lo largo de la sección II-II para explicar la separación de los elementos en forma de disco superpuestos, durante la extracción de los elementos en forma de disco de una cavidad 3 de un elemento de soporte 2.

En una representación de la figura 2, la barra de transporte 10 está posicionada encima de una fila de seis cavidades 3 del elemento de soporte 2.

Como ya se ha explicado, la barra de transporte 10 está unida con la barra de elevación 13, a través de un dispositivo de elevación 14.1. En la barra de elevación 13 está dispuesto un elemento de elevación por succión 15.4. Por una modificación de longitud del dispositivo de elevación 14.1 que, por ejemplo, es un cilindro elevador con accionamiento neumático, es posible variar la distancia entre la barra de transporte 10 y la barra de elevación 13 y, por tanto, descender el elemento de elevación por succión 15.4 en dirección hacia el elemento de soporte 2. Lo expuesto en relación con la figura 2 se refiere a una cavidad 3 individual y los dos elementos 33 y 34 en forma de disco dispuestos en ésta. Sin embargo, lo expuesto se refiere de forma idéntica a todos los elementos en forma de disco dispuestos en las
cavidades 3.

Como ya se ha explicado, en una cavidad 3 se depositan uno encima de otro dos elementos 33 y 34 en forma de disco. En primer lugar, se deposita en la cavidad 3 el elemento 34 inferior en forma de disco. Para mantener el elemento 34 inferior en forma de disco en la cavidad 3, están previstos elementos de sujeción 32.1 y 32.2 en el borde de la cavidad 3. Los elementos de sujeción 32.1 y 32.3 pueden ser, por ejemplo, pequeños estribos de alambre dispuestos respectivamente en la zona próxima a las esquinas en el elemento de soporte 2 dentro de la cavidad, sobresaliendo en dirección hacia el centro de las cavidades 3. Entonces, sobre el elemento 34 inferior en forma de disco se coloca un elemento 33 superior en forma de disco. Las superficies que han de tratarse son una primera superficie 35 del elemento 33 superior en forma de disco y una segunda superficie 36 del segundo elemento 34 en forma de disco. Una segunda superficie 37 del elemento 33 superior en forma de disco, en cambio, yace de forma plana sobre una primera superficie 38 de un elemento 34 inferior en forma de disco.

Para levantar el elemento 33 superior en forma de disco, el elemento de elevación por succión 15.4 se baja en dirección hacia la primera superficie 35 del primer elemento 33 en forma de disco, superior. En el ejemplo de realización representado, el elemento de elevación por succión 15.4 es un llamado elemento de succión de Bernoulli. Si el elemento de elevación por succión 15.4 está dispuesto cerca de la superficie 35 del elemento 33 en forma de disco, superior, se genera una primera fuerza de depresión en la primera superficie 35 del elemento 33 en forma de disco, superior. De esta forma, el primer elemento 33 en forma de disco se mantiene en contacto, por ejemplo, con tres elementos de contacto 43.1 a 43.3 dispuestos de forma repartida por un círculo periférico en el lado inferior del elemento de succión de Bernoulli. Dicha fuerza de depresión es generada por la corriente del fluido que sale del elemento de succión de Bernoulli. La cantidad de aire necesaria es generada por una bomba y se alimenta al elemento de succión de Bernoulli a través de un sistema de conducción que, para mayor claridad, no está representado. Para generar la primera fuerza de depresión a la primera superficie 35 del elemento 33 en forma de disco, superior, se prevé preferentemente, un solo elemento de succión de Bernoulli como elemento de elevación por succión 15.4. Éste se posiciona centralmente encima de la primera superficie 35 del elemento 33 en forma de disco, superior. Por consiguiente, la fuerza ataca en una zona interior de la primera superficie 35, actuando en dirección hacia el elemento de elevación por succión 15.4.

Para evitar que accidentalmente se levante también el elemento 34 en forma de disco, inferior, adherido al elemento 33 en forma de disco, superior, por debajo del elemento de soporte 2 está previsto un dispositivo de sujeción. En el ejemplo de realización representado en la figura 2, el dispositivo de sujeción comprende un elemento de elevación por succión 17.4. El elemento de elevación por succión 17.4 se compone, preferentemente, de una pluralidad de elementos de vacío 39.1 y 39.2. En caso de usar elementos en forma de disco, cuadrados o rectangulares, los elementos de vacío 39.1 y 39.2 están dispuestos, preferentemente, en la zona de las esquinas de los elementos en forma de disco. Los elementos de vacío 39.1 y 39.2, así como los otros dos elementos de vacío que no se ven en la figura 2, están unidos con un tubo flexible de depresión 40 y pueden moverse juntos a través de un dispositivo de elevación 41. De este modo, los elementos de vacío 39.1 y 39.2 pueden acercarse a la segunda superficie 36 del elemento 34 en forma de disco, inferior.

Mientras por el elemento de elevación por succión 15.4 en el ejemplo representado, en la zona interior de la primera superficie 35 del elemento 33 en forma de disco se genera una primera fuerza de depresión F_{1} para levantar el elemento 33 en forma de disco, superior, mediante el elemento de elevación por succión 17.4, en la segunda superficie 36 se genera una segunda fuerza de depresión F_{2} como fuerza de sujeción en la zona exterior de la segunda superficie 36. Por tanto, es distinta la distribución de fuerza en la primera superficie 35 del elemento en forma de disco, superior, y la segunda superficie 36 del elemento 34 en forma de disco, inferior. En la figura 2, esto está representado, de forma muy simplificada, mediante las flechas de fuerza F_{1} y F_{2}. Como consecuencia, no se formará o se formará sólo un reducido vacío entre la segunda superficie 37 del elemento 33 en forma de disco, superior, y la primera superficie 38 del elemento 34 en forma de disco, inferior.

El uso de un elemento de succión de Bernoulli como elemento de elevación por succión 15.4 y de los cuatro elementos de vacío, de los que en la figura 2 pueden verse sólo dos elementos de vacío 39.1 y 39.2., como elemento de elevación por succión 17.4, ha de entenderse solamente como ejemplo. En el sentido de la invención, es especialmente importante que la distribución de fuerza, con la que en la primera superficie 35 del elemento 33 en forma de disco, superior se genera una primera fuerza de depresión F_{1} necesaria para levantar el elemento 33 en forma de disco, superior, es distinta a la distribución de fuerza generada como segunda fuerza de depresión F_{2} por el dispositivo de sujeción. De esta forma, se evita una deformación diametralmente opuesta del elemento 33 en forma de disco, superior y del elemento 34 en forma de disco, inferior. La fuerza de elevación sobre el elemento 33 en forma de disco, superior y la fuerza de sujeción sobre el elemento 34 en forma de disco, inferior son generadas respectivamente por una primera fuerza de depresión F_{1} sobre la primera superficie 35 del elemento 33 en forma de disco, superior y por una segunda fuerza de depresión F_{2} sobre la segunda superficie 36 del segundo elemento 34 en forma de disco, inferior. A diferencia del ejemplo de realización representado en las figuras 1 y 2, tanto la primera fuerza de depresión F_{1} como la segunda fuerza de depresión F_{2} pueden generarse respectivamente también por elementos de succión de Bernoulli o por elementos de vacío correspondientes. Preferentemente, sin embargo, al menos para el dispositivo de elevación, se emplea un elemento de succión de Bernoulli para evitar que se succionen partículas de suciedad.

Para posicionar el dispositivo de sujeción correctamente debajo de una fila de cavidades 3 del elemento de soporte 2, el cuerpo de dispositivo de sujeción 16 coopera de forma deslizante con un segundo sistema de rieles 42. El deslizamiento de la barra de transporte 10 sobre los rieles de desplazamiento 12.1 y 12.2, así como de la barra de elevación 16 sobre el segundo sistema de rieles 42, puede realizarse independientemente una de otra. La generación de un vacío para los elementos de vacío 39.1 y 39.2 se realiza preferentemente de forma sincronizada, al igual que la circulación por los elementos de succión de Bernoulli. De este modo, únicamente se genera una depresión en los elementos de vacío 39.1 y 39.2 cuando mediante el dispositivo de elevación, por medio del elemento de elevación por succión 15.4, el elemento 33 en forma de disco, superior, se levanta del elemento 34 en forma de disco, inferior. La sincronización del elemento de succión por elevación 15.4 se determina por la recepción de un elemento o la deposición del elemento sujeto en una cavidad o sobre el elemento transportador central 18.

En el ejemplo de realización preferible, representado, en el que el dispositivo de elevación presenta un elemento de succión Bernoulli para cada elemento en forma de disco que ha de levantarse, una primera fuerza de depresión F_{1} genera en una zona interior de la primera superficie 35 del elemento 33 en forma de disco, superior, una fuerza para levantar y sujetar el elemento 33 ó 34 en forma de disco. En la segunda superficie 36 del segundo elemento 34 en forma de disco, en cambio, en una zona exterior, es decir, cerca del borde del elemento 34 en forma de disco, inferior se genera una segunda fuerza de depresión F_{2}. Sin embargo, igualmente es posible generar la primera fuerza de depresión F_{1} para levantar el elemento 33 en forma de disco, superior en la zona del borde del elemento 33 en forma de disco, superior. En este caso, la fuerza de sujeción se genera, viceversa, en una zona interior de la segunda superficie 36 del segundo elemento 34 en forma de disco. Igualmente es posible elegir de manera distinta sólo la distribución de fuerza de la primera fuerza de depresión F_{1} y de la segunda fuerza de depresión F_{2}, en cuyo caso, sin embargo, para generar las respectivas fuerzas de depresión F_{1}, F_{2}, tanto para el dispositivo de sujeción como para el dispositivo de elevación, se emplearán elementos de succión de Bernoulli. Entonces, sin embargo, para generar las diferentes distribuciones de fuerzas, se usará un número de elementos de succión distinto para el dispositivo de elevación y el dispositivo se sujeción. Esto puede realizarse usando elementos de vacío tanto para el dispositivo de elevación como para el dispositivo de sujeción.

La invención no se limita al ejemplo de realización descrito anteriormente. En particular, son posibles adaptaciones del dispositivo de elevación y del dispositivo de sujeción a diferentes sistemas de soporte empleados. En particular, la invención no se limita a la extracción de una sola fila de elementos de las cavidades del elemento de soporte 2. Más bien, también es posible extraer de varias filas de cavidades los elementos 33 en forma de disco, superiores, antes de que éstos sean transportados al dispositivo transportador 11. Además, los distintos elementos de succión por elevación 15.i, al igual que los distintos elementos de sujeción por succión 17.i pueden moverse, por medio de dispositivos de elevación individuales, en cuanto a su distancia respecto a los elementos en forma de disco.

Claims (6)

1. Dispositivo para separar dos elementos (33, 34) en forma de disco, dispuestos uno encima de otro, durante la extracción de los elementos (33, 34) en forma de disco de un elemento de soporte (2), con al menos un dispositivo de elevación (15.i) para levantar un primer elemento superior (33) de dos elementos en forma de disco, dispuestos uno encima de otro, y con un dispositivo de sujeción (17.i) para sujetar el segundo elemento (36) en forma de disco, inferior, pudiendo generarse por el dispositivo de elevación (15.i) una primera fuerza de depresión (F_{1}) sobre una primera superficie (35) del primer elemento (33) en forma de disco, y pudiendo generarse por el dispositivo de sujeción (17.i) una segunda fuerza de depresión (F_{2}) sobre una segunda superficie (36) del segundo elemento (34) en forma de disco, opuesta a la primera superficie (35) del primer elemento (33) en forma de disco, y estando configurados el dispositivo de elevación (15.i) y el dispositivo de sujeción (17.i) de tal forma que la distribución de fuerza generada por la primera fuerza de depresión (F_{1}) en la primera superficie (35) del primer elemento (33) en forma de disco se diferencia, en cuanto a su geometría, de la distribución de fuerza generada por la segunda fuerza de depresión (F_{2}) en la segunda superficie (36) del segundo elemento (34) en forma de disco.

2. Dispositivo según la reivindicación 1, caracterizado porque el dispositivo de elevación (15.i) comprende un número de elementos de succión, distinto al del dispositivo de sujeción (17.i).

3. Dispositivo según la reivindicación 1 ó 2, caracterizado porque al menos el dispositivo de elevación (15.i) presenta al menos un elemento de succión de Bernoulli.

4. Dispositivo según una de las reivindicaciones 1 a 3, caracterizado porque el dispositivo de sujeción (17.i) presenta al menos un elemento de succión por vacío.

5. Dispositivo según una de las reivindicaciones 1 a 4, caracterizado porque el dispositivo de elevación (15.i) está configurado de tal forma que la primera fuerza de depresión (F_{1}) se genera en una zona interior del primer elemento (33) en forma de disco, y porque el dispositivo de sujeción (17.i) está configurado de tal forma que la segunda fuerza de depresión (F_{2}) se genera en una zona exterior del segundo elemento en forma de disco (34).

6. Dispositivo según una de las reivindicaciones 1 a 4, caracterizado porque el dispositivo de elevación (15.i) está configurado de tal forma que la primera fuerza de depresión (F_{1}) se genera en una zona exterior del primer elemento (33) en forma de disco, y porque el dispositivo de sujeción (17.i) está preparado de tal forma que la segunda fuerza de depresión (F_{2}) se genera en una zona interior del segundo elemento (34) en forma de disco.