ES2648165T3 - Sensor de flujo térmico con un diseño asimétrico - Google Patents

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ES2648165T3
ES2648165T3 ES07075520.2T ES07075520T ES2648165T3 ES 2648165 T3 ES2648165 T3 ES 2648165T3 ES 07075520 T ES07075520 T ES 07075520T ES 2648165 T3 ES2648165 T3 ES 2648165T3
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thermal flow
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Beat Neuenschwander
Hansueli Schwarzenback
Juergen Burger
Frank Zumkehr
Rocco Crivelli
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6845—Micromachined devices

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

Un sensor de flujo térmico que comprende: un primer sustrato (12) que tiene un primer lado y un segundo lado opuesto; un segundo sustrato (14) que tiene un primer lado y un segundo lado opuesto, estando conectado dicho primer sustrato (12) a dicho segundo sustrato (14) de tal manera que dicho segundo lado de dicho primer sustrato (12) colinda con dicho primer lado de dicho segundo sustrato (14). un tercer sustrato (16) que tiene un primer lado y un segundo lado opuesto, estando conectado dicho tercer sustrato (16) a dicho segundo sustrato (14) de tal manera que dicho segundo lado de dicho segundo sustrato (14) colinda con dicho primer lado de dicho tercer sustrato (16); donde dicho segundo sustrato (14) que tiene una ranura (30) formada en el mismo para formar un conducto (32) está unido por dicho segundo sustrato (14) y dicho segundo lado de dicho primer sustrato (12) y dicho primer lado de dicho tercer sustrato (16), teniendo dicho conducto (32) una dirección de flujo de fluido; donde dicho primer y tercer sustrato (12, 16) están hechos de vidrio de borosilicato; un calentador (34) dispuesto sobre dicho primer lado de dicho primer sustrato (12) opuesto a dicho conducto (32); un primer sensor de temperatura (36) dispuesto sobre dicho primer lado de dicho primer sustrato (12) opuesto a dicho conducto (32) y a una primera distancia predeterminada desde dicho calentador (34) en una dirección opuesta a dicha dirección de flujo de fluido; y un segundo sensor de temperatura (38) dispuesto sobre dicho primer lado de dicho primer sustrato (12) opuesto a dicho conducto (32) y a una segunda distancia predeterminada desde dicho calentador (34) en una dirección opuesta a dicha dirección de flujo de fluido, donde dicha segunda distancia predeterminada es mayor que dicha primera distancia predeterminada.

Description

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