ATE504809T1 - Thermischer durchflusssensor mit einer asymetrichen ausführung - Google Patents

Thermischer durchflusssensor mit einer asymetrichen ausführung

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ATE504809T1
ATE504809T1 AT05254057T AT05254057T ATE504809T1 AT E504809 T1 ATE504809 T1 AT E504809T1 AT 05254057 T AT05254057 T AT 05254057T AT 05254057 T AT05254057 T AT 05254057T AT E504809 T1 ATE504809 T1 AT E504809T1
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AT
Austria
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substrate
conduit
asymetric
design
flow sensor
Prior art date
Application number
AT05254057T
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Beat Neuenschwander
Hansueli Schwarzenback
Juergen Burger
Frank Zumkehr
Rocco Crivelli
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Codman & Shurtleff
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6845—Micromachined devices

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