FR2607593A1 - Sonde d'appareil a ultrasons a barrette d'elements piezo-electriques - Google Patents

Sonde d'appareil a ultrasons a barrette d'elements piezo-electriques Download PDF

Info

Publication number
FR2607593A1
FR2607593A1 FR8616663A FR8616663A FR2607593A1 FR 2607593 A1 FR2607593 A1 FR 2607593A1 FR 8616663 A FR8616663 A FR 8616663A FR 8616663 A FR8616663 A FR 8616663A FR 2607593 A1 FR2607593 A1 FR 2607593A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
support
blade
probe according
metallization
probe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR8616663A
Other languages
English (en)
Other versions
FR2607593B1 (fr
Inventor
Patrick Dubut
Jean-Francois Gelly
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
General Electric CGR SA
Original Assignee
Thomson CGR
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Thomson CGR filed Critical Thomson CGR
Priority to FR8616663A priority Critical patent/FR2607593B1/fr
Priority to EP87907783A priority patent/EP0333738A1/fr
Priority to JP63500069A priority patent/JPH02501611A/ja
Priority to EP87402637A priority patent/EP0270448A1/fr
Priority to US07/368,364 priority patent/US5044370A/en
Priority to PCT/FR1987/000465 priority patent/WO1988004092A1/fr
Priority to CA000552751A priority patent/CA1298395C/fr
Publication of FR2607593A1 publication Critical patent/FR2607593A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR2607593B1 publication Critical patent/FR2607593B1/fr
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0607Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
    • B06B1/0622Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/42Piezoelectric device making

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
  • Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Abstract

LA LIAISON ELECTRIQUE ENTRE LES CIRCUITS 13, 14 DE COMMANDE D'UNE SONDE ET LES FACES METALLISEES 5, 6 DES ELEMENTS 2 PIEZO-ELECTRIQUES DE CETTE SONDE EST ASSUREE PAR DES METALLISATIONS 7, 8 REALISEES SUR DES PIECES, SUPPORT 1 OU LAME 4 AU CONTACT DE CES FACES METALLISEES. LA LIAISON MECANIQUE ET ELECTRIQUE ENTRE CES METALLISATIONS PEUT ETRE ASSUREE PAR UNE MINCE COUCHE DE COLLE 19, 20 NON CONDUCTRICE.

Description

L
SONDE D'APPAREIL A ULTRASONS A BARRETTE
D'ELEMENTS PIEZO-ELECTRIQUES.
La présente invention a pour objet une sonde d'appareil à ultrasons à barrette crd'éléments piézo-électriques. Elle trouve plus particulièrement son application dans le domaine médical o des
appareils à ultrasons échographes sont utilisés à des fins de diag-
nostic pour présenter des images de structures internes tissulaires de corps humains étudiés. Elle peut néanmoins être-mise en oeuvre dans d'autres domaines dès qu'un problème de connexion électrique doit être réglé entre un élément piézo-électrique et les circuits de
commande d'une sonde à laquelle il appartient.
Un échographe comporte schématiquement un générateur de signaux électriques et une sonde transductrice pour appliquer une vibration mécanique correspondant à ces signaux dans un milieu à étudier. Pendant des arrêts de l'émission, la sonde peut être utilisée d'une manière réversible pour recevoir des signaux acoustiques rétrodiffusés par le milieu, et pour transformer ces signaux en-des
signaux électriques ultérieurement appliqués à des moyens de ré-
ception et de traitement. Pour diverses raisons, notamment pour des questions de résolution de l'image restituée par un échographe, la fréquence du signal électrique - acoustique est élevée. Pour ces mêmes raisons la sonde est constituée d'une pluralité d'éléments transducteurs alignés les uns à coté des autres. Chaque élément piézo-électrique transducteur comporte deux métallisations, situées sur des faces opposées de cet élément, et qui doivent être reliés aux circuits d'émissionreception de l'échographe. Les dimensions de ces éléments sont faibles et entrainent des difficultés de réalisation du
système de connexion du signal électrique à ces éléments.
Il est connu, notamment dans une demande de brevet Européen n0 84 308 373. 4, déposée le 03 DECEMBRE 1984, d'appliquer ou de
prélever le signal électrique aux bornes de chaque élément trans-
ducteur en soudant des pistes de liaison électrique, supportées par un circuit imprimé souple, directement sur les métallisations des éléments. Ultérieurement, les circuits imprimés souples sont repliés vers l'arrière de la sonde et, par des dispositons diverses, la sonde
est de plus courbée pour correspondre à une utilisation parti-
culièrement recherchée d'exploration du milieu étudié: par balayage sectoriel. Cette solution présente de nombreux inconvénients. Par exemple les liaisons électriques se répartissent en points chauds d'un côté de la barrette et points froids de l'autre côté: ceci augmente les problèmes de diaphonie entre éléments dans cette barrette. En outre les éléments sont métallisés sur trois de leurs surfaces contigUes, et- deux métallisations électriquement indépendantes, affectées aux deux faces de l'élément, doivent être ménagées en exécutant un trait de scie dans le cristal piézoélectrique ainsi préparé. Ce trait de scie est délicat. Il a été imaginé de résoudre ces inconvénients en adjoignant de part et d'autre de chaque élément transducteur, un bloc relais métallisé continuement sur au moins deux de ses faces adjacentes. Le bloc relais peut alors être relié électriquement par une de ses faces à une des faces de l'élément transducteur et par son autre face à un circuit de connexion de type circuit imprimé. Pour ce circuit imprimé, les problèmes de courbure de la barrette n'interviennent plus puisque
ses connexions peuvent être faites après courbure de cette barrette.
Un exemple d'une telle réalisation est montré sur la figure 1. Il a ensuite été envisagé de relier par des fils de liaisons les faces correspondantes des blocs relais et des éléments. Cette opération de micro-connexion est cependant délicate à entreprendre. Dans la présente invention il a été mis à profit le fait que les éléments piézoélectriques sont recouverts d'une lame de transition. Cette
lame permet l'adaption du signal acoustique au milieu à étudier.
Cette lame a la particularité ici d'être métallisée sur sa face en regard de l'élément piézo-électrique qu'elle couvre. Cette lame déborde par ailleurs de l'élément piézo-électrique et vient recouvrir également le bloc relais qui sert pour la liaison électrique. Les
signaux électriques sont alors conduits simplement du circuit im-
primé, au bloc relais, à la métallisation de la lame, puis enfin à la
métallisation de l'élément piézo-électrique.
Dans un perfectionnement de l'invention on utilise une couche
-de colle non conductrice pour assurer la continuité mécanique-
électrique entre le support, l'élément, et la lame. Contrairement à ce à quoi on pouvait s'attendre, la couche de colle non conductrice ne constitue pas un écran isolant pour la liaison électrique. En effet les colles non conductrices présentent la particularité d'être très fluides. Elles peuvent donc être mises en oeuvre en très fine épaisseur. En utilisant alors des défauts d'aspect des métallisations, qui confèrent à ces métallisations un aspect granulé, on peut en exerçant une pression suffisante lors du collage des pièces par leur
partie métallisée obtenir un écrouissage, une interpénétration molé-
culaire entre ces couches de métallisation. De cette façon la liaison entre ces couches peut être considérée comme une dispersion d'une
multitude de ponts électriques entre des liaisons mécaniques provo-
quées par la présence de la colle. Dans tous les cas le collage des métallisations, par colle conductrice ou non, présente l'avantage sur les soudures de ne pas provoquer de risque supplémentaire de
décollement de ces métallisations.
L'invention concerne donc une sonde d'appareil à ultrasons du type à barrette d'éléments piézo-électriques, chaque élément étant inséré entre un support et une lame de transition acoustique, et étant métallisé sur ses faces en regard du support et de sa lame, caractérisée en ce que la lame et/ou le support comportent une métallisation en regard destiné à être connectée à la métallisation
correspondante de l'élément.
L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description
qui suit et à l'examen des figures qui l'accompagnent. Elles ne sont données qu'à titre indicatif et nullement limitatif de l'invention. Les figures montrent: - figure 1: une vue en perspective cPd'une sonde cPd'appareil à ultrasons conforme à l'invention; - figure 2: une coupe d'un détail d'une partie de la figure 1 montrant
schématiquement la continuité électrique.
La figure I représente en partie une sonde d'appareil à
ultrasons à barrette d'éléments piézo-électriques conforme à l'in-
vention. Cette sonde comporte un support I commun à une pluralité d'éléments transducteurs tels que 2. Les éléments transducteurs sont séparés les uns des autres par des séparations telles que 3. Chaque élément est recouvert par une lame 4 dite de transition acoustique et possède sur ses faces en regard du support et de la lame une métallisation respectivement 5 et 6. Dans l'invention le support et la lame comportent également des métallisations respectivement 7 et
8. Ces métallisations sont destinées à être connectées aux métal-
lisations des éléments. Dans un exemple préféré de réalisation, le dispositif de liaison électrique des éléments comporte de part et d'autre de chaque élément un bloc relais parallélépipèdique tel que 9 ou 10. Les blocs sont réalisés en matériau isolant, par exemple en
une céramique. Ils sont métallisés sur leur surface par deux métal-
lisations électriquement indépendantes respectivement 1 1 et 12 à chaque fois. Les diverses métallisations sont obtenues simplement, par exemple par évaporation-projection sous vide, par électrolyse ou autres. Les signaux électriques sont conduits entre les circuits
électroniques de la sonde (non représentés) et les éléments piézo-
électriques, par des circuits imprimés tels que 13 et 14, dont les pistes 15 ou 16 sont reliées par des liaisons 17, 18 aux faces latérales métallisées électriquement indépendantes des blocs 9 et
10. La connexion des liaisons est obtenues par exemple par thermo-
compression des extrémités des fils I7 et 18. Cette thermo-
compression ne peut pas provoquer de dégat dans les métallisations du support, de l'élément ou de sa lame, puisque ces pièces ne sont
que collées les unes aux autres.
A titre de perfectionnement à l'invention on note la présence, pour conduire les signaux électriques entre les métallisations 6 et 8 d'une part, et/ou entre les métallisations 5 et 7 d'autre part, de couches respectivement 19 et 20 de colle non conductrice. La figure 2 est un agrandissement d'une partie P de la liaison entre la face supérieure d'un élément piézo-électrique et la face inférieure de la
lame de transition qui le recouvre. Elle montre que les métal-
lisations 6 et 8 respectivement de ces deux pièces ne sont pas parfaitement lisses. Elles présentent par contre des aspérités microscopiques. On répand alors une couche de colle non conductrice 19 avant l'assemblage de ces pièces. On exerce ensuite une pression suffisante, par exemple de l'ordre de 50 kgf par cm2, et la colle très fluide s'échappe sur les cotés du collage. Elle ne laisse en place que des minuscules liaisons mécaniques 21 parmis lesquelles est dispersé une multitude de ponts électriques 22. Dans ces conditions la liaison
électrique est bonne entre la métallisation 8 et entre la métal-
lisation 6 et le couplage acoustique entre l'élément 2 et sa lame 4
est direct. On peut opérer de même pour le support.
Une barrette d'éléments piézo-électriques est fabriquée de la manière suivante: sur un support 1 alongé en forme de T inversé, et préalablement métallisé sur sa face supérieure, on place, d'une manière préférée avec une couche de colle non conductrice, un
barreau d'un matériau piézo-électrique métallisé sur ses deux faces.
Puis on place sur les deux ailes 23 et 24 du support des réglettes comportant deux métallisations électriquement indépendantes: là aussi de préférence en utilisant une couche de colle non conductrice interposée. Enfin on colle, avec une colle non conductrice, une lame,
d'une même longueur que le support, que le barreau piézo-élec-
trique, et que les réglettes, au dessus du tout. On soumet l'ensemble à une pression suffisante et on laisse prendre la colle. Lorsque la prise est terminée on exécute les découpes 3, par exemple à la scie, pour séparer la barrette en de multiples éléments indépendants. Les découpes ne sont pas totales, le support reste commun à tous les éléments. Pour constituer une barrette courbe il suffit ensuite de courber le support 1 dans la forme voulue. D'une manière préférée le support est en un matériau thermo-déformable et la courbure est
obtenue au cours d'un cycle d'échauffement-refroidissement.
L'invention apporte de plus un avantage inattendu. L'usage de colle non conductrice permet d'éliminer tout risque de court-circuit entre les différentes métallisations. Ces court-circuits peuvent être
dûs, dans l'état de la technique citée, à l'usage de colles con-
ductrices qui se répandent partout. Il en résulte que le rendement de
fabrication des sondes peut être ici considérablement augmenté.
D'une manière préférée la colle non conductrice est une colle structurale, donc à très haut pouvoir d'adhésion, et elle est en plus une colle dite haute température, c'est-à-dire très stable à basse température ou à température ambiante mais très fluide à sa (haute) température de mise en oeuvre. Il n'est cependant pas nécessaire d'exécuter toutes les liaisons électriques des éléments de la barrette avec de la colle non conductrice. En particulier les liaisons entre la métallisation 5 d'un élément et la métallisation 7 du support ne doit pas nécessairement être réalisée avec une couche de colle non conductrice. A cet endroit, en effet, des réflexions parasites de vibration acoustiques sont moins à craindre car elles se produisent dans une direction non utile: vers l'arrière de la barrette. Elles sont
donc moins gênantes.

Claims (7)

    REVENDICATIONS I - Sonde pour appareil à ultrasons du type à barrette d'éléments (2) transducteurs piézo-électriques, chaque élément étant inséré entre un support (1), et une lame (4) de transition acoustique, et étant métallisé (5,6) sur ses faces en regard du support et de sa lame, caractérisée en ce que la lame et/ou le support comportent une métallisation (8,7) en regard destinée à être connectée à la métallisation correspondante de l'élément.
  1. 2 - Sonde selon la revendication 1 caractérisée en ce que le
    support est commun à tous les éléments.
  2. 3 - Sonde selon la revendication I ou la revendication 2 caractérisée en ce que la connexion des métallisations est obtenue
    par collage (19,20).
  3. 4 - Sonde selon l'une quelconque des revendications 1 à 3
    caractérisée en ce que la lame et le support débordent latéralement (23, 24) des éléments et enserrent, à l'endroit de chaque élément, au
    moins un relais (9,10) de liaison électrique.
    - Sonde selon la revendication 4 caractérisée en ce que le
    relais comporte un parallélépipède muni cPd'au moins une métal-
    lisation (11,12) continue réalisée sur au moins deux de ses faces contigges pour entrer en contact avec la métallisation de la lame ou
    du support.
  4. 6 - Sonde selon la revendication 5, caractérisée en ce que le parallélépipède est collé par sa métallisation avec une colle à la
    métallisation du support ou de la lame.
  5. 7 - Sonde selon l'une quelconque des revendications 2 à 6,
    caractérisée en ce que le support est thermo-déformable et thermo-
    déformé pour constituer une barrette courbe.
  6. 8 - Sonde selon l'une quelconque des revendications 1 à 7
    caractérisée en ce qu'une mince couche de colle non conductrice est interposée entre les métallisations correspondantes du support, de
    l'élément, et de la lame pour assurer une continuité électrique.
  7. 9 - Sonde selon la revendication 8, caractérisée en ce que les métallisations correspondantes à coller comportent un aspect de
    surface favorable à leur écrouissage les unes dans les autres.
FR8616663A 1986-11-28 1986-11-28 Sonde d'appareil a ultrasons a barrette d'elements piezo-electriques Expired FR2607593B1 (fr)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8616663A FR2607593B1 (fr) 1986-11-28 1986-11-28 Sonde d'appareil a ultrasons a barrette d'elements piezo-electriques
EP87907783A EP0333738A1 (fr) 1986-11-28 1987-11-24 Sonde d'appareil a ultrasons a barrette d'elements piezo-electriques
JP63500069A JPH02501611A (ja) 1986-11-28 1987-11-24 複数の圧電素子からなる棒状体を備える超音波装置用プローブ
EP87402637A EP0270448A1 (fr) 1986-11-28 1987-11-24 Sonde d'appareil à ultrasons à barrette d'éléments piézoélectriques
US07/368,364 US5044370A (en) 1986-11-28 1987-11-24 Probe with bar of piezoelectric elements for ultrasound apparatus
PCT/FR1987/000465 WO1988004092A1 (fr) 1986-11-28 1987-11-24 Sonde d'appareil a ultrasons a barrette d'elements piezo-electriques
CA000552751A CA1298395C (fr) 1986-11-28 1987-11-25 Sonde d'appareil a ultrasons a barrette d'elements piezo-electriques

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8616663A FR2607593B1 (fr) 1986-11-28 1986-11-28 Sonde d'appareil a ultrasons a barrette d'elements piezo-electriques

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2607593A1 true FR2607593A1 (fr) 1988-06-03
FR2607593B1 FR2607593B1 (fr) 1989-07-21

Family

ID=9341356

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR8616663A Expired FR2607593B1 (fr) 1986-11-28 1986-11-28 Sonde d'appareil a ultrasons a barrette d'elements piezo-electriques

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5044370A (fr)
EP (2) EP0270448A1 (fr)
JP (1) JPH02501611A (fr)
CA (1) CA1298395C (fr)
FR (1) FR2607593B1 (fr)
WO (1) WO1988004092A1 (fr)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5106627A (en) * 1987-11-17 1992-04-21 Brown University Research Foundation Neurological therapy devices
US5156844A (en) * 1987-11-17 1992-10-20 Brown University Research Foundation Neurological therapy system
JP3487981B2 (ja) * 1994-10-20 2004-01-19 オリンパス株式会社 超音波プローブ
FR2815723B1 (fr) * 2000-10-24 2004-04-30 Thomson Csf Procede systeme et sonde pour l'obtention d'images par l'intermediaire d'ondes emises par une antenne apres reflexion de ces ondes au niveau d'un ensemble servant de cible
US6490228B2 (en) * 2001-02-16 2002-12-03 Koninklijke Philips Electronics N.V. Apparatus and method of forming electrical connections to an acoustic transducer
JP5024989B2 (ja) * 2007-01-23 2012-09-12 株式会社東芝 2次元アレイ超音波プローブ及び超音波診断システム
US8450910B2 (en) 2011-01-14 2013-05-28 General Electric Company Ultrasound transducer element and method for providing an ultrasound transducer element

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0005265A2 (fr) * 1978-05-10 1979-11-14 Siemens Aktiengesellschaft Procédé de réalisation d'un contact sur le côté adhésif d'une électrode d'un dispositif électrique
US4276491A (en) * 1979-10-02 1981-06-30 Ausonics Pty. Limited Focusing piezoelectric ultrasonic medical diagnostic system
JPS57181299A (en) * 1981-04-30 1982-11-08 Yokogawa Hokushin Electric Corp Conformal array transducer and its manufacture
EP0140363A2 (fr) * 1983-10-31 1985-05-08 Advanced Technology Laboratories, Inc. Construction d'un groupement de transducteurs

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4217684A (en) * 1979-04-16 1980-08-19 General Electric Company Fabrication of front surface matched ultrasonic transducer array
US4684971A (en) * 1981-03-13 1987-08-04 American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories Ion implanted CMOS devices
JPS60140153A (ja) * 1983-12-28 1985-07-25 Toshiba Corp 超音波探触子の製造方法
JPS6197859A (ja) * 1984-10-18 1986-05-16 Matsushita Electronics Corp 相補型mos集積回路の製造方法
JPS63207300A (ja) * 1987-02-24 1988-08-26 Toshiba Corp 超音波プロ−ブ

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0005265A2 (fr) * 1978-05-10 1979-11-14 Siemens Aktiengesellschaft Procédé de réalisation d'un contact sur le côté adhésif d'une électrode d'un dispositif électrique
US4276491A (en) * 1979-10-02 1981-06-30 Ausonics Pty. Limited Focusing piezoelectric ultrasonic medical diagnostic system
JPS57181299A (en) * 1981-04-30 1982-11-08 Yokogawa Hokushin Electric Corp Conformal array transducer and its manufacture
EP0140363A2 (fr) * 1983-10-31 1985-05-08 Advanced Technology Laboratories, Inc. Construction d'un groupement de transducteurs

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, vol. 7, no. 27 (E-156)[1172], 3 février 1983; & JP-A-57 181 299 (YOKOGAWA DENKI SEISAKUSHO K.K.) 08-11-1982 *

Also Published As

Publication number Publication date
FR2607593B1 (fr) 1989-07-21
EP0270448A1 (fr) 1988-06-08
WO1988004092A1 (fr) 1988-06-02
US5044370A (en) 1991-09-03
CA1298395C (fr) 1992-03-31
EP0333738A1 (fr) 1989-09-27
JPH02501611A (ja) 1990-05-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0354117B1 (fr) Transducteur piézoélectrique pour générer des ondes de volume
FR2607631A1 (fr) Sonde pour appareil a ultrasons munie d'un arrangement concave d'elements piezo-electriques
JP3450430B2 (ja) 超音波トランスジューサ
EP0040559B1 (fr) Dispositif convoluteur piézoélectrique à ondes élastiques
FR2607593A1 (fr) Sonde d'appareil a ultrasons a barrette d'elements piezo-electriques
FR2485857A1 (fr) Sonde ultrasonore multi-elements et son procede de fabrication
EP0217471B1 (fr) Dispositif semi-conducteur de puissance pour montage en surface
FR2779575A1 (fr) Sonde acoustique multielements comprenant un film composite conducteur et procede de fabrication
US4544859A (en) Non-bonded piezoelectric ultrasonic transducer
EP0335878B1 (fr) Sonde d'echographe avec circuit de connexion perfectionne
EP0128799A1 (fr) Procédé de réalisation d'un circuit hybride, et circuit hybride obtenu par ce procédé
CA1294700C (fr) Sonde d'echographe a arrangement d'elements piezo-electriques
FR2818170A1 (fr) Procede de fabrication d'une sonde acoustique multielements utilisant un film polymere metallise et ablate comme plan de masse
EP1274518B1 (fr) Sonde acoustique unidirectionnelle et procede de fabrication
FR2638894A1 (fr) Dispositif et procede de connexion et de fixation de composants
JPH04152938A (ja) 高分子超音波振動子の製造方法
JPS5990498A (ja) 超音波探触子
JPH0511042A (ja) 超音波探触子
JPH04167709A (ja) 表面波素子のワイヤボンデイング方法
JPH0759768A (ja) 超音波探触子
JPS6139715A (ja) 超音波遅延線
CA2243291A1 (fr) Sonde acoustique multielements comprenant une electrode de masse commune

Legal Events

Date Code Title Description
ST Notification of lapse