FR2640828A1

FR2640828A1 - Actionneur electromagnetique

Info

Publication number: FR2640828A1
Application number: FR8900589A
Authority: FR
Inventors: Mitsuhiro Horikawa; Hiroshi Ito; Tsugio Ide; Michio Yanagisawa; Tatsuya Shimoda; Koji Akioka
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1988-07-21
Filing date: 1989-01-19
Publication date: 1990-06-22
Also published as: NL8900188A; US5062095A

Abstract

L'invention concerne les actionneurs électromagnétiques produisant à la fois un mouvement de rotation et un mouvement de translation. Un actionneur conforme à l'invention comprend un aimant cylindrique ayant des frontières d'aimantation dans la direction périphérique et dans la direction axiale, dans lequel une aimantation multipolaire est établie dans la direction axiale, et des culasses 6, 7 portant des bobines respectives 9 et comportant des pôles magnétiques situés face aux frontières d'aimantation. Application aux actionneurs d'objectif pour les mémoires à disque optique.

Description

La présente invention concerne un actionneur à deux mouvements, procurant

une rotation (e) autour d'un arbre et

un mouvement rectiligne (z) dans la direction axiale de l'ar-

bre, et on appellera ci-après ce dispositif un actionneur du type à aimant mobile e-z.

La grande majorité des actionneurs e-z de l'art an-

térieur destinés à l'entraînement d'un objectif dans une tête optique, par exemple dans un dispositif d'entraînement pour une mémoire à disque optique, entrent dans la catégorie des actionneurs du type à bobine mobile qui sont décrits dans la publication de brevet du Japon n 210456/1982. D'autre part, un actionneur pour un objectif du type à aimants mobiles est

décrit dans la publication du brevet du Japon n 37830/1988.

Il apparaît cependant des problèmes dans l'art an-

térieur, dans le cas de l'actionneur du type à bobine mobile, et ces problèmes consistent en une déconnexion d'une ligne

d'alimentation dirigée vers la bobine mobile, en une dégrada-

tion de la fixation sous l'effet d'un échauffement excessif

de la bobine, et également en une déformation thermique ré-

sultante de la bobine. La connexion de la ligne d'alimenta-

tion nécessite des opérations complexes et malcommodes. La

ligne d'alimentation elle-même exerce des influences défavo-

rables sur le fonctionnement rapide de l'unité mobile. En outre, une configuration non uniforme des conducteurs de la bobine fait souvent apparaître un déséquilibre de masse de l'unité mobile, ce qui entraîne à son tour l'apparition d'une résonance d'ordre supérieur. Ces facteurs sont des obstacles à un fonctionnement rapide. Lorsque l'actionneur du type à bobine mobile est appliqué par exemple à une tête optique d'un dispositif d'entrainement de mémoire à disque optique, on ne peut pas augmenter la fréquence de rotation d'un disque

optique, ce qui impose une limite à la cadence de transfert.

de données. Une modification des spécifications de la bobine (le nombre de spires, le diamètre du fil, etc.) entraîne des variations de la masse de l'unité mobile, et exige donc de

répéter un processus d'ajustement par approximations succes-

sives, faisant intervenir des modifications de la structure de l'actionneur pour satisfaire des spécifications optiques

de la bobine.

D'autre part, l'actionneur du type à aimants mobiles

présente les problèmes suivants. Un ensemble de circuits ma-

gnétiques et d'aimants sont nécessaires pour obtenir un fonc-

tionnement bidimensionnel. Cette configuration conduit à une structure complexe. Pour cette raison, la masse de l'unité mobile est souvent déséquilibrée. De plus, une augmentation du poids de l'unité mobile exerce une influence défavorable sur la rapidité de réponse. Ce type d'actionneur présente en

outre le défaut d'être coûteux.

Un but essentiel de l'invention, qui élimine les

problèmes précités inhérents à l'art antérieur, est de pro-

curer un actionneur ayant d'excellentes caractéristiques de fonctionnement à vitesse élevée, dont l'unité mobile présente

une masse bien équi ibrée, et qai ait une structure ne néces-

sitant pas de fournir de l'énergie électrique à l'unité mobi-

le. La structure de l'actionneur conforme à l'invention

correspond à deux types qui sont définis dans les revendica-

tions 1 et 2.

Le premier type d'actionneur, correspondant à la re-

vendication 1, présente les caractéristiques suivantes: (1) suppression du risque de déformation thermique d'une bobine et de dégradation de la fixation, et

(2) maîtrise plus aisée des entrefers entre les cir-

cuits magnétiques.

Ces caractéristiques distinguent cet actionneur

vis-à-vis de l'actionneur de la revendication 2.

Le second type d'actionneur, correspondant à la re-

vendication 2, présente les caractéristiques suivantes, dif-

férentes de celles de l'actionneur de la revendication 1: (1) possibilité de minimiser remarquablement la dispersion, aussi bien en ce qui concerne le poids d'une bobine que la valeur de sa résistance, pour augmenter la productivité, et (2) bonne adaptation à un actionneur rapide, du fait que la sensibilité dans la région de fréquence supérieure ne

diminue pas, à cause d'une faible inductance.

On en déduit donc que les actionneurs des revendica-

tions 1 et 2 peuvent coexister, bien qu'ils présentent une

différence de conception.

Il est possible d'obtenir un dispositif d'entraîne-

ment pour une mémoire optique présentant une fiabilité élevée et capable de transférer des données à une cadence élevée, avec une configuration qui permet d'utiliser l'un quelconque

de ces actionneurs en tant qu'actionneur d'objectif.

Pour atteindre le but précité, conformément à un

aspect de l'invention, un actionneur qui est capable de tour-

ner autour d'un arbre de support et de se déplacer de façon rectiligne dans la direction axiale de l'arbre de support, présente le perfectionnement qui est caractérisé par le fait que l'actionneur comprend (a) un aimant cylindrique, dans

lequel une aimantation multipolaire est établie dans la di-

rection radiale, avec des frontières d'aimantation dans les

directions périphérique et axiale, et (b) une culasse compor-

tant des pôles magnétiques qui sont respectivement placés face aux frontières d'aimantation, et avec une bobine pour

chaque pâle.

Selon un autre aspect de l'invention, un actionneur qui peut tourner autour d'un arbre de support et qui peut effectuer un mouvement rectiligne dans la direction axiale

de l'arbre de support, comporte le perfectionnement caracté-

risé en ce que cet actionneur comprend (a) un aimant cylin-

drique, dans lequel une aimantation multipolaire est établie dans la direction radiale, avec des frontières d'aimantation

dans les directions périphérique et axiale, et (b) une cu-

lasse ayant une surface, placée face aux frontières d'aiman-

tation, sur laquelle une bobine est collée en regard de la

surface cylindrique de l'aimant.

Dans l'actionneur conforme à l'invention, on peut considérer que l'aimant cylindrique dans lequel l'aimantation multipolaire est établie, constitue une unité mobile. Le poids

diminue lorsqu'on réduit l'épaisseur. Il est donc très effi-

cace d'employer un aimant du type aggloméré par une résine, pouvant être mis en oeuvre aisément et permettant d'obtenir une productivité élevée, et en particulier un aimant du type aggloméré par une résine et consistant en un système samarium (Sm)-cobalt (Co), ayant d'excellentes performances. On peut cependant obtenir des propriétés magnétiques suffisantes avec un aimant dans lequel Sm est remplacé partiellement par au moins une sorte de métal léger de la série des terres rares, ayant pour principaux éléments le néodyme (Nd), le cérium

(Ce) et le praséodyme (Pr), ou avec un aimant du type agglo-

méré par une résine et consistant en un système métal de la série des terres rares (R) - fer (Fe) - bore (B). Des aimants

de ce type sont avantageux en ce qui concerne la disponibili-

té des matériaux ainsi que le prix.

On peut améliorer les caractéristiques d'entraîne-

ment de l'actionneur en utilisant l'aimant à hautes perfor-

mances qui est constitué par le système R-Fe-B. On peut éga-

lement obtenir des propriétés magnétiques suffisantes même si on utilise un aimant fritté dont la composition fondamentale comprend R, Fe, B et du zirconium (Zr). Ce type d'aimant est également avantageux en ce qui concerne la disponibilité des

matériaux ainsi que le prix.

Lorsqu'on utilise un aimant consistant en une pièce coulée avec le système R-M-X, il est possible d'obtenir un

actionneur de hautes performances ayant un faible coit. Ce-

pendant, M doit consister au moins en un métal de transition

et X doit consister au moins en un élément du groupe IIIB.

L'actionneur conforme à l'invention convient parti-

culièrement bien pour l'actionneur d'objectif qui effectue

des opérations de focalisation et de poursuite dans le dis-

positif d'entraînement de mémoire à disque optique, du fait

qu'il présente d'excellentes caractéristiques de fonctionne-

ment rapide en mode e-z, et qu'on peut aisément le miniaturi-

ser et diminuer son épaisseur. On peut également appliquer l'actionneur de l'invention à un dispositif de positionnement précis utilisé dans la fabrication d'un circuit intégré à semiconducteurs. L'actionneur de l'invention est conçu de façon que l'aimant se déplace de façon rectiligne dans la direction axiale de l'arbre de support, sous l'effet de l'attraction et de la répulsion magnétiques entre l'aimant cylindrique dans

lequel l'aimantation multipolaire est établie dans la direc-

tion radiale, et les pôles magnétiques qui sont formés sur la surface de la culasse, face aux frontières d'aimantation dans la direction périphérique (on appellera ci-après simplement "pôles magnétiques" les positions auxquelles sont formés les pôles magnétiques sur la surface de la culasse qui est placée face aux frontières magnétiques de l'aimant). L'aimant est également mis en rotation autour de l'arbre de support sous l'effet de l'attraction et de la répulsion magnétiques entre

l'aimant et les pôles magnétiques de la culasse qui se trou-

vent face aux frontières d'aimantation dans la direction axiale. On peut ainsi réaliser un entraînement bidimensionnel

(e-z) avec un aimant en une seule pièce.

D'autres caractéristiques et avantages de l'inven-

tion seront mieux compris à la lecture de la description qui

va suivre de modes de réalisation, donnés à titre d'exemples

non limitatifs. La suite de la description se réfère aux

dessins annexés dans lesquels: Les figures 1(a), 1(b) et 1(c) forment un schéma

synoptique qui illustre un mode de réalisation d'un action-

neur d'objectif conforme à l'invention, qui est défini dans la revendication 1; la figure 1(a) est une vue en plan de l'actionneur; la figure 1(b) est une vue en élévation de l'actionneur; et la figure 1(c) est une coupe de l'actionneur; Les figures 2(a), 2(b) et 2(c) forment un schéma synoptique qui illustre un mode de réalisation d'un actionneur

d'objectif conforme à l'invention, qui est défini dans la re-

vendication 2; la figure 2(a) est une vue en plan de l'action- neur; la figure 2(b) est une vue en élévation de l'actionneur; et la figure 2(c) est une vue en coupe de l'actionneur; La figure 3 est un schéma explicatif représentant un palier; La figure 4 est un schéma explicatif représentant une bague de culasse; La figure 5 est un schéma développé qui montre une configuration d'aimantation d'un aimant; La figure 6 est une représentation en perspective

schématique qui illustre un mode de réalisation de l'action-

neur d'objectif ayant une autre structure conforme à l'inven-

tion, qui est définie dans la revendication 1; La figure 7 est une représentation en perspective

schématique qui illustre un mode de réalisation d'un action-

neur d'objectif ayant une autre structure conforme à l'inven-

tion, qui est définie dans la revendication 2;

Les figures 8(a) à 8(c) sont des schémas représen-

tant chacun une configuration d'un circuit magnétique; Les figures 9(a) et 9(b) sont des schémas développés,

représentant chacun une configuration d'aimantation de l'ai-

mant; La figure 10 est un organigramme d'un processus de fabrication d'un aimant du type aggloméré par une résine, consistant en un système Sm-Co; La figure 11 est un organigramme d'un processus de fabrication d'un aimant du type aggloméré par une résine, consistant en un système Nd-Fe-B; La figure 12 est un organigramme d'un processsus de fabrication d'un aimant consistant en un système Nd-Fe-B; La figure 13 est un organigramme d'un processus de

fabrication d'un aimant fritté dont la composition fondamen-

tale comprend R, Fe, B et Zr; La figure 14 est un organigramme d'un processus de

fabrication d'un aimant coulé consistant en un système R-X-

M; La figure 15 est un schéma explicatif représentant un lingot coulé et une capsule; La figure 16 est un schéma facilitant l'explication

d'une opération d'extrusion à chaud du lingot coulé; -

La figure 17 est un schéma explicatif qui représente un dispositif d'application de pression pour l'opération d'extrusion à chaud; La figure 18 est un schéma facilitant l'explication d'un procédé d'aimantation;

Les figures 19(a) et 19(b) sont des schémas explica-

tifs représentant chacun une culasse d'aimantation; La figure 20 est un schéma représentant un mécanisme d'un dispositif d'entraînement de mémoire à disque optique qui utilise une tête optique employant l'actionneur conforme à l'invention; et La figure 21 est un schéma synoptique qui représente

un système optique de la tête optique prévue pour l'utilisa-

tion avec un dispositif d'entraînement de mémoire à disque magnétooptique. Premier mode de réalisation On décrira ci-après un mode de réalisation d'un

actionneur défini dans la revendication 1.

Les figures 1(a) à 1(c) sont des schémas synoptiques

qui représentent en combinaison un cas dans lequel l'action-

neur d'un mode de réalisation de la présente invention est défini comme étant un actionneur d'objectif. La figure 1(a)

est une vue en plan de l'actionneur; la figure 1(b) est une.

vue en élévation de l'actionneur; et la figure 1(c) est une coupe de l'actionneur. Un aimant désigné par la référence 1

présente une configuration cylindrique. On mentionnera ulté-

rieurement les dimensions (diamètre intérieur, diamètre exté-

rieur et hauteur) de l'aimant 1. Une monture d'objectif 2, en matière plastique, est fixée à l'intérieur de l'aimant 1, et la partie centrale de cette monture a une forme prévue pour définir un palier. Il est possible d'utiliser dans ce cas une configuration dans laquelle une douille rapportée 11, en matière plastique, représentée sur la figure 3, remplit la fonction d'un palier. Comme on le voit sur la figure 4, une bague de culasse 12 peut être interposée, à titre de culasse

arrière, entre l'aimant 1 et la monture d'objectif 2. Un ob-

jectif 3 est fixé à une partie de montage d'objectif de la monture d'objectif 2, et cet objectif peut tourner autour d'un arbre de support 5 qui se dresse sur une base 4, et il

peut également se déplacer de façon rectiligne dans la di-

rection axiale de l'axe de support 5, ce qui permet un mouve-

ment bidimensionnel d'un foyer d'un faisceau laser. La figure

4 est un schéma développé de l'aimant, montrant sa configura-

tion d'aimantaticn. On envisagera ultérieurement les détails

du procédé d'aimantation. On établit une aimantation multipo-

laire dans la direction radiale du cylindre. Comme le montre

la figure 5, un pôle N et un pôle S apparaissent sur la sur-

face d' l'aimant. Le rapport des aires de ces pôles est pres-

que le même et dépend de la facilité d'aimantation. Le rap-

port des aires n'est pas limité à ceci, mais les pôles magné-

tiques de la culasse peuvent faire face aux frontières d'ai-

mantation. Sur la figure, les symboles w, x, y et z indiquent respectivement des positions opposées aux pôles magnétiques, correspondant aux symboles qui sont représentés sur la figure

1(a). Les pôles magnétiques w et y correspondent aux extrémi-

tés d'une culasse 6, tandis que les pôles magnétiques x et z

correspondent aux extrémités d'une culasse 7. Des forces ré-

pulsives sont générées si les pôles de même nom de l'aimant 1

sont disposés face à deux pôles magnétiques de la même culas-

se et, par conséquent, la position dans laquelle les pôles magnétiques font face aux frontières d'aimantation est la plus stable. Il en résulte qu'une unité mobile peut être maintenue en position neutre, ce qui élimine la nécessité d'un ressort de maintien en position neutre. Comme le montre la figure 1 (a), les largeurs des pôles magnétiques x et z sont plus faibles que celles des pôles magnétiques w et y. Comme le montrent les figures 1(a) - 1(c), si l'objectif 3 est placé dans une position située face au pôle magnétique w ou y, il peut exister un entrefer suffisant pour laisser

passer le faisceau laser entre les pâles magnétiques de fo-

calisation (w et y) et les pôles magnétiques de poursuite

(x et z). Comme le montrent les figures 1(a) - 1(c), un mi-

roir réfléchissant 8 est monté de façon à procurer une structure mince. Comme le montrent les figures 1(a) - 1(c),

des bobines 9 et 10 sont respectivement bobinées sur les cu-

lasses 6 et 7. On peut voir sur les figures 1(b) et 1(c) que la bobine 9 qui est bobinée sur la culasse 6 est employée

pour la commande de focalisation (la bobine 10 pour la com-

mande de poursuite n'est pas représentée sur la figure 1(b)), tandis que la bobine 10 qui est bobinée sur la culasse 7 est utilisée pour la commande de poursuite (la bobine 9 pour la commande de focalisation n'est pas représentée sur la figure

1(c)). Lorsqu'un courant de commande circule de façon à gé-

nérer les mêmes pôles dans deux structures de pôles magnéti-

ques de la même culasse, l'aimant se déplace très peu au

voisinage de la position neutre.

On note que la structure n'est pas spécialement li-

mitée à la configuration dans laquelle les bobines sont bo-

binées directement sur les culasses, et que, selon une va-

riante, on peut employer un mandrin de bobine. Cependant, dans le cas o les bobines sont directement bobinées sur les

culasses, il est évidemment nécessaire de prévoir une isola-

tion suffisante.

L'actionneur conforme à l'invention ne comprend au-

cune bobine dans les entrefers entre l'aimant et les pôles magnétiques. On peut donc minimiser la taille des entrefers

en augmentant la précision dimensionnelle de l'aimant. L'ac-

tionneur présente de bonnes caractéristiques courant-poussée

(couple), et il a donc une grande efficacité.

Second mode de réalisation

La description concerné ici l'actionneur qui est

spécifié dans la revendication 2. A l'exception de la bobine, la structure est pratiquement la même que celle du premier

mode de réalisation.

Les figures 2(a) à 2(c) sont des schémas synoptiques qui illustrent en combinaison un cas dans lequel l'actionneur d'un mode de réalisation de l'invention est employé en tant qu'actionneur d'objectif. La figure 2(a) est une vue en plan de l'actionneur; la figure 2(b) est une vue en élévation de

l'actionneur; et la figure 2(c) est une coupe de l'actionneur.

Comme le montrent les figures 2(a) - 2(c), les bobines 9 et sont respectivement collées sur les culasses 6 et 7. On peut vcir sur les figures 2(b) et 2(c) que la bobine 9 qui est collée sur la culasse 6 est employée pour la commande de focalisation (la bobine 10 pour la commande de poursuite

n'est pas représentée sur la figure 2(b)), tandis que la bo-

bine 10 qui est collée sur la culasse 7 est utilisée pour la

commande de poursuite (la bobine 9 pour la commande de foca-

lisation n'est pas représentée sur la figure 2(c)). On note

que la bobine comprend une structure dans laquelle son subs-

trat est constitué par un polyamide résistant à la chaleur, la bobine elle-même consiste en cuivre formé par le procédé de dépôt chimique, dans lequel un motif de bobine est formé par photolithographie. Sur la base de ce procédé, il est

possible de réduire à la fois la largeur et le pas d'une bo-

bine, ce qui permet d'obtenir un grand nombre de spires de bobine. On peut aisément réaliser des bobines multicouches, en fonction des particularités de conception. Dans ce mode de réalisation, les bobines sont revêtues de résine époxy

pour leur protection ainsi que pour leur isolation.

La sensibilité de la bobine ainsi obtenue ne peut

pas diminuer, même dans la région correspondant à des fréquen-

ces supérieures, à cause d'une faible inductance. On peut fa-

briquer l'actionneur rapide en utilisant ce type de bobines.

Cet actionneur convient par exemple pour l'utilisation dans une tête optique pour une mémoire à disque optique, capable de fonctionner à une vitesse de rotation élevée. La bobine basée sur le procédé de photolithographie permet d'obtenir une productivité élevée, tout en permettant de minimiser les irrégularités de qualité. Il faut noter qu'en plus du cuivre, le matériau utilisable dans ce cas pour la bobine comprend

l'aluminium et un alliage aluminium-cuivre. Le procédé de fa-

brication n'est pas limité au procédé de dépôt chimique, et on peut également utiliser un procédé par séchage, tel qu'un procédé de pulvérisation. En outre, l'isolation de la bobine

n'est pas limitée au procédé décrit ci-dessus.

En fonction de l'application de l'actionneur, on peut évidermment employer un nombre de spires nécessaire de fil électrique, au lieu d'utiliser la photolithographie. On peut également employer le procédé de définition du motif de

la bobine qui est associé à la technique d'impression.

Les premier et second modes de réalisation procurent

des avantages dans la mesure o l'assemblage peut être facili-

té par l'absence d'utilisation d'un élément de support, tel

qu'un ressort, pour maintenir l'unité mobile en position neu-

tre, et par le fait qu'il est possible d'éviter la résonance d'ordre supérieur de l'élément de support, qui est inhérente à l'actionneur de l'art antérieur. En outre, on peut définir de façon précise la répartition de masse de l'unité mobile

au stade de la conception, ce qui permet d'obtenir une struc-

ture ayant une masse bien équilibrée. On peut donc obtenir un fonctionnement stable à vitesse élevée. Au contraire, dans l'actionneur classique du type à bobine mobile, le défaut d'uniformité dans la configuration de la bobine provoque un

déséquilibre de masse de l'unité mobile. Ceci entraîne en ou-

tre une vibration parasite et un glissement intermittent sur

une surface de glissement du palier. Ces problèmes sont ce-

pendant éliminés dans ce mode de réalisation.

L'actionneur classique du type à aimants mobiles

exige une opération consistant à combiner un ensemble d'ai-

mants, et la structure devient complexe, ce qui entraîne des difficultés d'assemblage. En opposition totale avec ceci, on

peut assembler aisément l'actionneur de ces modes de réali-

sation.

L'aimant qui est employé dans ces modes de réalisa-

tion est de préférence léger et il a d'excellentes performan-

ces. On décrira ci-après de façon complète l'aimant approprié

en association avec son procédé de fabrication.

Troisième mode de réalisation On va maintenant décrire un mode de réalisation d'une autre structure. On peut considérer une grande variété d'exemples de configuration du circuit magnétique, et celles qui sont représentées dans les premier et second modes de

réaiisation ne scnt pas iimitatives. La figure 6 est une re-

présentation en perspective schématique qui illustre une con-

figuration dans laquelle le circuit magnétique est établi in-

dépendamment pour chaque pôle magnétique. On peut apporter diverses modifications à la structure du circuit magnétique,

à savoir: -comme le montre la figure 8(a), les pôles magnéti-

ques peuvent être placés du côté intérieur et du côté exté-

rieur de l'aimant 1, et une culasse 13 peut être formée d'un seul tenant; comre le montre la figure 8(b), la culasse peut être formée en deux pièces au lieu d'être formée d'un seul

tenant; et, cormme le montre la figure 8(c), le pôle magnéti-

que peut être formé seulement du côté extérieur de l'aimant 1. Dans toutes les structures, il existe un ressort et un amortisseur appropriés (non représentés) pour maintenir l'unité mobile en position neutre. Si, comme représenté sur

la figure 8(c), le pôle magnétique de chaque circuit magnéti-

que est placé seulement du côté extérieur de l'aimant, on peut améliorer l'efficacité en fixant la bague de culasse à

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l'intérieur de l'aimant 1, comme représenté sur la figure 4.

Sauf pour l'exemple de la figure 5, la configuration d'aiman-

tation possible de l'aimant peut comprendre celles qui sont

représentées sur les figures 9(a) et 9(b).

Comme décrit ci-dessus, la ligne d'alimentation di- rigée vers l'unité mobile peut être éliminée dans les premier,

second et troisième modes de réalisation. Il n'y a aucun ris-

que de déconnexion. L'assemblage peut également être facilité, du fait qu'aucune opération de connexion relative à la.ligne

d'alimentation n'est nécessaire.

On va maintenant décrire le procédé de fabrication de l'aimant cylindrique dans lequel on établit l'aimantation multipolaire. En ce qui concerne le métal de la série des terres rares (R) qui est utilisé, la pureté du métal R total

est de 99,8% ou plus, et celle du métal R principal est supé-

rieure à 99%.

* En considérant la figure 10, on voit une illustra-

tion des étapes de fabrication d'un aimant du type consistant en un système Sm-Co, aggloméré par une résine. On forme

l'aimant de façon qu'il prenne la forme cylindrique en uti-

lisant un procédé de moulage par compression (a), un procédé de moulage par injection (b) ou un procédé de moulage par extrusion (c). Il est souhaitable que l'aimant cylindrique

qui est défini comme étant un composant de l'invention, pré-

sente une anisotropie radiale, pour produire l'aimantation

multipolaire dans la direction radiale. L'aimant du type con-

sistant en un système Sm-Co aggloméré par une résine est donc remarquablement avantageux, du fait qu'on peut fabriquer avec une productivité élevée l'aimant à anisotropie radiale. Les performances magnétiques élevées permettent de réduire à la fois la taille et le poids de l'unité mobile. De plus, on peut aisément obtenir une précision dimensionnelle élevée, ce qui permet de rétrécir les entrefers entre la surface de l'aimant et les pôles magnétiques. L'opération commence par la fusion du matériau dans un four à induction, de façon que la composition devienne Sm (Co0,672 Cu0,08 FeO,02 ZrO,028)8,35 Le lingot résultant est alors une solution solide qu'on traite dans une atmosphère d'argon (Ar) à des températures de 1120 à 1180 pendant 5 heures, et à laquelle on applique en outre un traitement de maturation à 850 C pendant 4 heures. On réduit en poudre l'alliage Sm2TM17 ainsi obtenu, de façon que le diamètre de particule moyen soit de 20 pm (d'après un

appareil de classification appelé "Fisher Sub-Sieve Seizer").

On note que TM désigne un métal de transition. On ajoute 2%

en poids d'une résine époxy thermodurcissable à deux compo-

sants, et on la mélange avec la poudre correspondant à 98% en poids, pourformer ainsi un composé magnétique. On soumet le composé magnétique à une orientation radiale dans un champ magnétique, au moyen d'un dispositif de pression pour la mise en forme de la poudre en présence d'un champ magnétique,

grâce à quoi le composé prend une configuration cylindrique.

Après cette étape, on applique au composé un traitement de durcissement (aimant A correspondant à la partie (a) de la

figure 10). L'utilisation de ce type d'aimant obtenu par mou-

lage par compression permet de réaliser aisément un action-

neur d'objectif ayant une excellente rapidité de réponse. On pulvérise un alliage Sm2TM17 obtenu par un procédé identique à celui indiqué ci-dessus, de façon à lui donner un diamètre de particules moyen de 20 pm. On mélange 40% en volume de Nylon-12 avec 60% en volume de la poudre, pour produire ainsi

un composé magnétique. On soumet ensuite le composé magnéti-

que à une orientation radiale dans un champ magnétique, au moyen d'une machine de moulage par injection en présence d'un champ nmagnétique, grâce à quoi le composé magnétique prend la

configuration cylindrique. On recuit ensuite l'aimant cylin-

drique (aimant B correspondant à la partie (b) de la figure ). On pulvérise un alliage métallique de Sm2TM17, obtenu d'une manière identique à celle décrite ci-dessus, de façon

à obtenir un diamètre de particules moyen de 20 pm. On com-

bine en un composé magnétique 92% en poids de poudre magné-

tique et 8% en poids de Nylon-12. Après avoir mélangé les

composants du comrposé magnétique à 200 C, on réduit le compo-

sé sous la forme de grains ayant chacun un diamètre extérieur de 3 à 6 mm, et on le soumet à une orientation radiale dans un champ magnétique, au moyen d'un machine de moulage par ex- trusion, de façon à donner une forme cylindrique au composé

(aimant C correspondant à la partie (c) de la figure 10).

L'aimant obtenu par moulage par injection et l'aimant obtenu par moulage par extrusion ont des performances magnétiques

un peu inférieures, mais ils procurent une meilleure produc-

tivité que l'aimant obtenu par moulage par compression. On peut très aisément obtenir une configuration cylindrique mince, en particulier pour l'aimant fabriqué par moulage par extrusion. L'actionneur d'objectif employant les aimants obtenus par moulage par injection et par extrusion présente des propriétés suffisantes pour permettre son application à

un dispositif d'entraînement de mémoire morte à disque opti-

que ou un dispositif d'entraînement de mémoire à disque op-

tique comprenant un disque optique dont la fréquence de ro-

tation est faible.

On forme un aimant consistant en un système Sm-Nd-

Ce-Co aggloméré par une résine, dans lequel le système Sm-Co est partiellement substitué par Nd.Ce, en utilisant le même procédé de moulage par compression que sur la figure 10. On réduit en poudre un alliage R2TM17 ayant la composition SmO,5 NdO,4 CeO,1 (CeO,672 Cu0,08 FeO, 22 ZrO,028) 8,35, de façon à obtenir un diamètre de particules moyen de 80 pm. On mélange 2% en poids d'une résine époxy thermodurcissable à deux composants, avec 98% en poids de poudre. On applique une

orientation radiale, dans un champ magnétique, au composé ma-

gnétique ainsi obtenu, en lui donnant une forme cylindrique.

A la suite de cette étape, on soumet l'aimant cylindrique au

traitement de durcissement (aimant D). L'aimant du type ag-

gloméré par une résine consistant en un système Sm-Co avec substitution partielle par Nd.Ce, présente des performances

magnétiques légèrement inférieures à celles de l'aimant cor-

respondant au système Sm-Co, mais il est plus avantageux en

ce qui concerne la disponibilité des matériaux et le coût.

On peut obtenir des propriétés magnétiques suffisantes dans le cas d'une substitution partielle de Sm par Pr (aimant E).

Ceci est également avantageux du point de vue de la disponi-

bilité des matériaux, ainsi que du coût. On a confirmé l'ob-

tention de vitessesde fonctionnement suffisamment élevéesdans le cas de l'utilisation des aimants D et E. En considérant la figure 11, on voit un organigramme d'un processus de fabrication d'un aimant consistant en un

système Nd-Fe-B aggloméré par une résine. On traite un allia-

ge ayant la composition Nd13 Fe82,7 B4,3 pour former un ruban dans lequel une phase cristalline et une phase amorphe sont mélangées, en utilisant un procédé de fusion/filage; et on mélange avec la résine époxy la poudre magnétique obtenue par pulvérisation de ce ruban. On moule le mélange sous pression pour lui dcnner une forme cylindrique et on le soumet ensuite

au traitement de durcissement (aimant F). Du fait que l'ai-

mant consistant en un système Nd-Fe-B aggloméré par une rési-

ne peut être fabriqué aisément, il est avantageux, en ce qui

concerne la disponibilité des matériaux et le coût, d'utili-

ser cet aimant pour l'actionneur de l'invention.

La figure 12 est un organigramme du processus de

fabrication d'un autre aimant consistant en un système Nd-Fe-

B. En utilisant le procédé de fusion/filage, on traite un alliage ayant la composition Nd13 Fe82,7 B4,3 pour former un ruban dans lequel une phase cristalline et une phase amorphe sont mélangées. On réduit en poudre la matière mélangée pour obtenir une poudre magnétique, et on place la poudre dans une matrice cylindrique, en préparation pour une opération de compression à chaud (aimant G correspondant à la partie (a)

de la figure 12). L'aimant G présente d'excellentes perfor-

mances magnétiques, du fait que la densité d'agglomération de la poudre magnétique est plus élevée que celle de l'aimant

consistant en un système Nd-Fe-B aggloméré par une résine.

Après les opérations de la partie (a) de la figure 12, on ef-

fectue une opération de façonnage à chaud sous pression dans la direction radiale du cylindre pendant qu'on chauffe ce dernier (aimant H correspondant à la partie (b) de la figure 12), pour obtenir ainsi un aimant présentant une anisotropie

radiale. Il est donc possible d'obtenir des propriétés ma-

gnétiques suffisamment élevées qui sont inhérentes à l'aimant constitué par le système Nd-Fe-B. L'utilisation des aimants ainsi obtenus (G et H) consistant en systèmes Nd-Fe-B, permet de fabriquer un actionneur présentant une excellente rapidité

de réponse.

La figure 13 est un organigramme d'un processus de

fabrication d'un aimant fritté dont la composition fondamen-

tale comprend R, Fe, B et Zr. On prépare un matériau pour un aimant consistant en Zr2,5 (Ce0,2 PrO,2 NdO,6) 12,5 Fe69 Coi B7, au moyen d'un four à induction à haute fréquence,

dans une atmosphère d'argon. On tasse dans la matrice cylin-

drique la poudre qui est obtenue par pulvérisation jusqu'à un diamètre de particules moyen de 3 à 5 pm au moyen d'un

bocard et d'un broyeur à billes. Apres cette étape, on com-

munique une orientation radiale à la poudre dans un champ magnétique de 1, 1 x 106 A/m, et on comprime la poudre sous une pression de moulage de 1,5 à 2 MPa. On fritte ensuite le matériau comprimé cru, à une température optimale de 1000 à 1250 C dans l'atmosphère d'argon. Si nécessaire, on effectue une opération de recuit à la température optimale de 400 à

1250 C, pour former ainsi un aimant fritté (aimant I). L'ai-

mant fritté à anisotropie radiale ainsi obtenu présente d'excellentes performances magnétiques et il est également avantageux du point de vue de la disponibilité des matériaux

et du coût. On peut donc réaliser économiquement l'action-

neur d'objectif ayant une vitesse de réponse élevée.

On décrira enfin de façon plus détaillée un procédé de fabrication d'un aimant consistant en une pièce coulée qui est constitué par le système RM-X. La figure 14 montre des

étapes de fabrication de l'aimant coulé constitué par le sys-

tème R-M-X. Un métal de la série des terres rares (R) de la composition prévue pour l'aimant peut comprendre Y, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb et Lu. On peut choisir l'un de ces éléments, ou en combiner deux ou plus pour l'utilisation. Pr présente les meilleures performances magnétiques. A titre d'exemples d'un métal de transition (M), on peut citer Fe, Co, Ni et Cu. On peut choisir l'un de ces

métaux ou en combiner deux ou plus pour l'utilisation. L'élé-

ment du groupe IIIB comprend B, Al et Ga. On peut choisir

l'un de ces éléments ou en combiner deux ou plus pour l'uti-

lisation. Une faible quantité d'éléments additionnels tels qu'un métal lourd de la série des terres rares, comme Dy et Tb, ou Si et Mo, augmente la coercivité. On pèse le matériau pour obtenir la composition Pr17 Fe76 Cu2 B5, après quoi on le fait fondre dans le four à induction, pour obtenir ainsi un lincot cculé cylindrique. A ce moment, on développe une structure colonnaire dans la direction axiale du cylindre, par un procédé unidirectionnel. Ensuite, comme le montre la figure 15, on place un lingot coulé 14 dans une capsule en acier doux 15. Ensuite, on enferme hermétiquement le lingot coulé 14. La capsule 15 a une configuration adaptée à celle du lingot coulé, et elle comporte dans sa partie centrale un trou de mandrin 16. Corme le montre la figure 16, on extrude à chaud, à une température de 850 C, la capsule contenant le

lingot coulé. La référence 17 désigne une enceinte; la réfé-

rence 18 désigne une plaque de poussée; la référence 19 dé-

signe un mandrin; et la référence 20 désigne une filière. On introduit le mandrin 19 dans le trou de mandrin. Corme le

montre la figure 17, le lingot coulé est soumis à une pres-

sion dans la direction radiale, par l'action du mandrin et de la filière au moment de l'extrusion, et il subit alors

l'orientation radiale. Après avoir enlevé la capsule, on ef-

fectue une opération de recuit à 1000 C pendant 24 heures,

et on obtient ainsi un aimant cylindrique (aimant J). On fa-

brique de la même manière un aimant ayant la composition Pr17 Fe75 Ga2 All B5 (aimant K). Les aimants ainsi obtenus (J et K) sont fabriqués par coulée et façonnage à chaud, sans subir le traitement de réduction en poudre. Ces aimants ont donc une concentration en oxygène extrêmement faible, et ils

présentent une excellente résistance aux agents atmosphéri-

ques. En outre, les aimants J et K présentent des performan-

ces magnétiques élevées et ils ont une résistance mécanique élevée. Les coûts de fabrication sont également faibles. Il est donc possible de réaliser un actionneur économique ayant des performances élevées, prévu pour l'application à une grande variété de dispositifs d'entraînement de mémoire à

disque optique.

Le Tableau 1 indique les compositions de divers ai-

mants et les numéros de figures des organigrammes des proces-

sus de fabrication correspondants. Le Tableau 2 indique les

propriétés magnétiques ((BH)max), les coûts (pour les maté-

riaux et la fabrication) et la facilité de réduction d'épais-

seur d'aimants respectifs. Dans les Tableaux, les symboles O et indiquent respectivement des coûts décroissants. Le

symbole dans une rubrique de facilité de réduction d'épais-

seur indique la plus grande possibilité de réduction d'épais-

seur; O indique une possibilité relativement élevée de réduc-

tion d'épaisseur; et A indique que l'épaisseur peut probable-

ment être réduite.

Tableau 1

Aimant Composition Procédé de-

fabrication A Sm(CoO,672 CuO,08 FeOt22 ZrO,028) 8,35 FIG.10(a) B Sm(CoO, 672 CuO,08 FeO,22 ZrO0028) 8>35 FIG.10(b) C Sm(Co0,672 CuO,08 FeO,22 ZrO, 028) 8,35 FIG.10(c) D SmO,5 NdO,4 CeO,1 (CoO,672 CuO,08 FeO,22 ZrO,028) 8, 35 FIG.10(a) E SmO0.5 Ert5(CcO,672 CuG,08 FeO,22 ZrO,028) 8,35 FIG.l0(a) F Ndl3 Fe82,7 B4t3 FIG.11 G Ndl3 Fe82,7 B4,3 FIG.12(a) H Ndl3 Fe82,7 B4,3 FIG.12(b) I Zr2,5(Ce0,2 PrO,2 NdO,6) 12,5 FIG.13 Fe69 Co9 B7 J Pr17 Fe76 Cu2 B5 FIG.14 K Prl7 Fe75 Ga2 All B5 FIG.14

Tableau2

Aimant | (BH)max Coût Facilité de réduction (T.A /m) d'épaisseur A 119 x 103 O B 75,6 x 10 o C 69,2 x 10) 3 D 112 x 10 b3 0 E 117 x 1o0 3O F 66,1 x 10 0 G 104 x 10 / A H 247 x 103 A A I 263 x 103 J 279 x 10 A K 273 x 103

La suite de la description traite de l'aimantation

de l'aimant. En considérant la figure 8, on note que l'aiman-

tation fait appel à l'utilisation d'une culasse d'aimantation cylindrique 21 et d'une alimentation à impulsions 22, du type à charge d'un condensateur. Dans ce cas, l'intensité d'un champ magnétique appliqué est 2,5 à 3 fois supérieure à la' coercivité intrinsèque de l'aimant. Les figures 19(a) et 19 (b) sont des représentations développées montrant chacune l'intérieur de la culasse d'aimantation. Comme le montre la

figure 19(a), une rainure 23 est formée dans la partie inter-

ne. La culasse est en fer pur. Des fils électriques 24, indi-

qués en traits continus et en tirets, sont bobinés dans la rainure 23. Un courant électrique circule de la manière qui est indiquée par une flèche sur la figure. Dans cet exemple, le champ magnétique orienté dans la direction axiale de la

culasse d'aimantation est annulé, ce qui procure une aimanta-

tion bien équilibrée. Chacun des Tableaux 3-1 et 3-2 indique la vitesse de

réponse de l'actionneur dans le cas o on fait varier les di-

mensions (diamètres intérieurs et extérieurs) des aimants A à K indiqués dans le Tableau 2. Dans l'actionneur d'objectif, une plage d'entraînement de +1 mm suffit pour la direction de focalisation (direction axiale), ce qui fait qu'on fixe à 5

mm la hauteur de l'aimant cylindrique, en prenant en considé-

ration cette plage. Si la plage d'entraînement est différente dans d'autres applications, on peut changer la hauteur de façon correspondante. Le symbole O dans les Tableaux indique une vitesse de réponse extrêmement favorable; O indique une bonne vitesse de'réponse, et A indique qu'il est possible

d'envisager un fonctior.nnement rapide. D'autre part, le symbo-

le - indique que la fabrication de l'aimant cylindrique est

difficile.

Les Tableaux 4-1 et 4-2, similaires aux Tableaux

3-1 et 3-2, se rapportent au second mode de réalisation.

Tableau 3-1

Dimension Vitesse de réponse Diamètre Diamètre Aimant intérleurextérieurABCDE FG HI J K (mm) (mm)

,6 - -- -- -

ll,o O0AAOO.OO_-- -

,0O- - - -

,0 12,0 _A AO'_ AOO-OO

14,0 O AA 00 A 0 O

16,0 A A- AAAAAAAA

,6 _ _ A-

16,0 0AAOOAO00-

J 15,0

17,0 AAO@A

19,0 O A OA O

21,0 AA-AAAOOOOO

,6 _ à-

21,0)O _ _ _

,0 22,0 OA @AOOO

24,0 OAAOOAO @

28,0 A -A AAA OOO

Tableau 3-2

Dimension Vitesse de réponse Diamètre Diamètre Aimant intérieuextérieurAB C D E F G H I J K (mm) (mm)

,6 _ à

31,0

,0 32,C - _OOO OOO-

34,0 O IL O O AO OO O O

38,0 A -- A/ AA A A A

,6 - -/...

41,0 - A - - -_ _ _

,0 42,0O O O O O O - _ _

44,0 OOO O A OO O

,0 O O - _/A __ A _

,6 - --

51,0

,0 52,0 OO OO -O

54,0 OO O0 OOOOO

,0 A --A A/A% A

Tableau 4-1

Dimension Vi-tesse de réponse Diamètre Diamètre.Aimant intér ieur extérieur intieurtrieurA B C D E F G H I J K (mm) (mm)

,6 _ _-

11,0 O 0OO OA OO--- -

,0 12,0 AlOO t Q 0_OQ

14,0 O O O@ O @

16,0o A A A A aO O

,6 - - -- _ _.

16,0 OAOA OO1A O -

,0 17,o A A) )

\ 19,0 O A A O OA O OO O0

21,0 A A--A

,6 - -- - _ _

21,0 )OOO)OO A- -

00 OO- --

,0 22,0 A) )/zOOO

24,0 O A A

28,0 A-- AIAA OO OO

Tableau 4-2

Dimension Vitesse de réponse Diamètre Diamètre Aimant intérieur extérieur A B C D E F G H I J K (mm) (mm)

,6 -

31,0 O

,0 32,0 OOOO __

34,0 O A\ 0 1A O A __90

38,0 -A_ _ _ A A

,6 A -à...

41,0 _- A A

,0 42,0 OO O O O- O O

44,0 0b0o1 A o 1b6 O C 9

,0 0 A0-100

,6 - - A

51,0

,0 52,0 OA_ O O__ O-00

54,0 0 \ A AO 0 OOOO

,0 A

On peut donner à l'actionneur des performances éle-

vées, on peut le miniaturiser et on peut le fabriquer de fa-

son économique, en employant l'aimant à base de terres rares

à hautes performances qu'on appelle un aimant mobile (la com-

position du matériau de l'aimant, ses conditions de fabrica- tion et les dimensions de l'aimant qui sont indiquéesdans les

modes de réalisation précédents ne sont cependant pas limita-

tives), en combinaison avec le mécanisme décrit dans ce mode

de réalisation. Ce type d'actionneur faisant fonction d'ac-

tionneur d'objectif peut être appliqué à une variété de dis-

positifs d'entraînement de mémoire à disque optique.

Plus précisément, la configuration du premier mode de réalisation procure les avantages suivants: (1) il n'y a aucun risque de déformation thermique de la bobine et de dégradation de la fixation; et (2) la maîtrise des dimensions des entrefers entre

les circuits magnétiques est facilitée.

La configuration du second mode de réalisation, dans

laquelle les bobines collées sont fabriquées par photolitho-

graphie, procure les avantages suivants: (1) on peut diminuer considérablement la dispersion aussi bien en ce qui concerne le poids de la bobine que la valeur de résistance, ce qui entraîne une augmentation de productivité; (2) il n'y a pas de diminution de la sensibilité dans la région des fréquences élevées, à cause de la faible inductance, ce qui permet l'adaptation à un actionneur rapide; et (3) du fait qu'on peut obtenir une épaisseur très' précise de la bobine, la maîtrise de l'entrefer par rapport

à l'aimant est relativement facilitée.

Quatrième mode de réalisation En considérant la figure 20, on voit un mode de réalisation dans lequel l'actionneur conforme à l'invention est appliqué à une tête optique. Ce type d'actionneur peut

être appliqué à une mémoire morte à disque optique, et égale-

ment à une mémoire à disque optique à réécriture, du type à changement de phase. La tête se déplace d'un seul tenant sous l'effet du mouvement d'un moteur (ncn représenté), en étant supportée par un organe de support 27 de la figure 20. Ce mouvement constitue ce qu'on appelle un accès grossier. La focalisation est basée sur le mouvement longitudinal d'un arbre de support,tandis que la poursuite est basée sur la

rotation autour de l'arbre de support 5. La figure 20 exempli-

fie un cas dans lequel l'entraînement est effectué par un moteur pas à pas. On peut remplacer ce système par un système

à moteur linéaire, permettant ainsi un accès rapide.

Dans le cas de l'application à un disque optique à

réécriture du type magnéto-optique, il est possible de modi-

fier le système optique qui est représenté sur la figure 20,

pour donner par exemple la structure de la figure 21.

Comme indiqué ci-dessus, et conformément à l'inven-

tion, l'aimant cylindrique dans lequel l'aimantation multi-

polaire est établie dans la direction radiale, remplit la fonction d'une unité mobile, et procure donc les avantages suivants: (1) il ne se produit aucune déconnexion de la ligne d'alimentation; (2) aucune opération de connexion de la ligne

d'alimentation n'est nécessaire, ce qui facilite l'assembla-

ge, et

(3) l'unité mobile a une masse bien équilibrée.

Ces raisons font qu'on peut obtenir un actionneur

très fiable et très économique, ayant des performances éle-

vées. En particulier, dans les structures qui sont représen-

tées dans les premier et second modes de réalisation, aucun

ressort de support n'est prévu, ce qui fait qu'il ne se pro-

duit pas de résonance d'ordre supérieur. On peut obtenir un actionneur ayant une excellente vitesse de réponse, et son assemblage est également facilité. Les points précédents sont respectivement caractéristiques des premier et second

modes de réalisation. Les premier et second modes de réali-

sation permettent de comprendre les avantages communs et les

caractéristiques respectives des actionneurs des revendica-

tions 1 et 2. On peut utiliser l'actionneur de l'invention en tant qu'actionneur d'objectif, ce qui permet d'appliquer l'actionneur au dispositif d'entraînement de mémoire à disque optique utilisé pour une mémoire d'ordinateur, un fichier à disque optique et des mémoires à disques des types CD, CD-ROM et LVD. On obtiendra ainsi des effets extrêmement importants concernant l'augmentation des performances du dispositif et la réduction du coût. On peut en outre appliquer l'actionneur de l'invention à un dispositif de positionnement de précision

dans la fabrication d'un circuit intégré à semiconducteurs.

Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent

être apportées aux modes de réalisation décrits et représen-

tés, sans sortir du cadre de l'invention.

Claims

REVENDICATIONS

1. Actionneur pouvant tourner autour d'un arbre de support et se déplacer de fagon rectiligne dans la direction

axiale de cet arbre de support, caractérisé en ce qu'il com-

prend: (a) un aimant cylindrique, dans lequel est établie une aimantation multipolaire dans la direction radiale, ayant

des frontières d'aimantation à la fois dans la direction pé-

riphérique et dans la direction axiale; et (b) une culasse ayant des pôles magnétiques, avec chaque pôle placé face aux

frontières d'aimantation et équipé d'une bobine.

2. Actionneur pouvant tourner autour d'un arbre de support et se déplacer de façon rectiligne dans la direction

axiale de cet arbre de support, caractérisé en ce qu'il com-

prend: (a) un aimant cylindrique, dans lequel est établie une aimantation mutlipolaire dans la direction radiale, ayant

des frontières d'aimantation à la fois dans la direction pé-

riphérique et dans la direction axiale; et (b) une culasse ayant une srrface, s!tuêe face aux frontières d'aimantation,

sur laquelle une bobine est collée face à la surface cylin-

drique de l'aimant.

3. Actionneur selon l'une quelconque des revendica-

tions 1 ou 2, caractérisé en ce que l'aimant est un aimant consistant en un système Sm-Co aggloméré par une résine, qui

est obtenu par les opérations consistant à produire une pou-

dre magnétique en réduisant en poudre un alliage dont la composition fondamentale comprend du samarium (Sm) et du cobalt (Co), à mélanger cette poudre magnétique avec une

résine et à effectuer une opération de moulage par compres-

sion, de moulage par injection ou de moulage par extrusion.

4. Actionneur selon la revendication 3, caractérisé en ce que le Sm est partiellement substitué par au moins une

sorte d'un métal léger de la série des terres rares, compre-

nant fondamentalement le néodyme (Nd), le cérium (Ce) et le

praséodyme (Pr).

5. Actionneur selon l'une quelconque des revendica-

tions 1 ou 2, caractérisé en ce que l'aimant est un aimant consistant en un système R-Fe-B aggloméré par une résine qui est obtenu par les opérations consistant à amener un alliage dans un état mixte cristallinamorphe, par un procédé de fusion-filage, cet alliage comprenant fondamentalement un métal de la série des terres rares (R), du fer (Fe) et du bore (B), à réduire ce mélange en poudre pour former une poudre magnétique, à mélanger la poudre magnétique avec une résine et à lui appliquer un traitement de durcissement après

moulage par compression.

6. Actionneur selon l'une quelconque des revendica-

tions 1 ou 2, caractérisé en ce que l'aimant est un aimant

consistant en un système R-Fe-B qui est obtenu par les opé-

rations consistant à amener un alliage dans un état mixte cristallinamorphe par le procédé de fusion/filage, à réduire ce mélange en poudre pour former une poudre magnétique, à placer la poudre magnétique dans une matrice cylindrique et

à soumettre la poudre à une compression à chaud.

7. Actionneur selon la revendication 6, caractérisé

en ce que l'aimant consistant en un système R-Fe-B est com-

primé à chaud en direction radiale dans une configuration cylindrique.

8. Actionneur selon l'une quelconque des revendica-

tions 1 ou 2, caractérisé en ce que l'aimant est un aimant fritté dont la composition fondamentale comprend R, Fe, B et

du zirconium (Zr).

9. Actionneur selon l'une quelconque des revendica-

tions 1 ou 2, caractérisé en ce que l'aimant permanent est

un aimant coulé consistant en un système R-M-X, dont la com-

position fondamentale comprend R, M (M représentant au moins une sorte de métal de transition) et X (X représentant au moins une sorte d'élément du groupe IIIB), auquel on applique

des opérations de coulée et de façonnage à chaud.