HK38290A - Liquid coating composition for producing high quality, high performance fluorine-doped tin oxide coatings - Google Patents
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Claims (10)
1. Flüssige Beschichtungszusammensetzung zum Herstellen von hochqualitativen fluordotierten Zinnoxidbeschichtungen mit niedrigem Flächenwiderstand und hoher sichtbarer Lichtdurchlässigkeit, dadurch gekennzeichnet, daß sie
i) 1 bis 30 Gew.-% einer organischen Fluordotierverbindung, die ausgewählt ist aus Trifluoroessigsäure, Trifluoracetanhydrid, Äthyltrifluoracetoacetat, Trifluoräthanol, Äthyltrifluoracetat oder Pentafluorpropionsäure,
ii) 70 bis 99 Gew.-% einer Organozinnverbindung, die ausgewählt ist aus Alkylzinntrichlorid, Dialkylzinndichlorid, Alkyldichlorzinnacetat, Dialkylchlorzinnacetat, Alkylchlorzinndiacetat, Esterzinntrichlorid oder Zinntetrachlorid, und
iii) gegebenenfalls bis zu 10 Gew.% einer polaren organischen Verbindung umfaßt.
2. Flüssige Beschichtungszusammensetzung nach Anspruch 1, in der das Fluordotiermittel ausgewählt ist aus Trifluoressigsäure, Trifluoracetanhydrid oder Äthyltrifluoracetat und die Organozinnverbindung ausgewählt ist aus Monobutylzinntrichlorid, Zinntetrachlorid, Diisobutylzinndichlorid oder Butyldichlorzinnacetat.
3. Flüssige Beschichtungszusammensetzung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Fluordotiermittel 2 bis 10 Gew.% und die Organozinnverbindung 90 bis 98 Gew.% der Zusammensetzung ausmachen.
4. Flüssige Beschichtungszusammensetzung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß sie 1 bis 10 Gew.% der polaren organischen Verbindung aufweist.
5. Flüssige Beschichtungszusammensetzung nach einem der Ansprüche 1, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Fluordotiermittel ausgewählt ist aus Trifluoracetat oder Trifluoressigsäure und die Organozinnverbindung ausgewählt ist aus Di-tert.butylzinndichlorid und Methylzinntrichlorid.
6. Flüssige Beschichtungszusammensetzung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß sie 2 bis 10 Gew.% Trifluoressigsäure, 80 bis 97 Gew.% Monobutylzinntrichlorid und 1 bis 10 Gew. einer polaren organischen Flüssigkeit umfaßt.
7. Flüssige Besichtungszusammensetzung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die polare organische Verbindung ausgewählt ist aus Methylisobutylketon, Acetanhydrid oder Äthylacetat. 8. Verfahren zum Herstellen einer hochqualitativen fluordotierten Zinnoxidbeschichtung mit niedrigem Flächenwiderstand und hoher sichtbarer Lichtdurchlässigkeit, dadurch gekennzeichnet, daß es umfaßt:
a) das Bilden einer flüssigen Beschichtungszusammensetzung aus
i) 1 bis 30 Gew.% einer organischen Fluordotierverbindung, die ausgewählt ist aus Trifluoressigsäure und Trifluoracetanhydrid,
ii) 70 bis 99 Gew.% einer Organozinnverbindung, die ausgewählt ist aus Alkylzinntrichlorid, Dialkylzinndichlorid, Alkyldichlorozinnacetat, Dialkylchlorzinnacetat, Alkylchlorzinndiacetat, Esterzinntrichlorid oder Zinntetrachlorid, und
iii) gegebenenfalls bis zu 10 Gew.% einer polaren organischen Verbindung,
b) das Verdampfen dieser flüssigen Zusammensetzung bei 100 bis 400°C, und
c) das Inberührungbringen dieses Dampfes in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre mit einem Substrat, das bei einer Temperatur oberhalb 400 und unterhalb 700°C gehalten wird, welche Abscheidung während 45 Sekunden oder weniger durchgeführt wird, wobei eine Beschichtung mit einer Dicke von 160 bis 250 nm, einem Flächenwiderstand von 40 Ohm/Quadrat oder weniger, einem Infrarotreflexionsvermögen von größer als 70% und einer sichtbaren Lichtdurchlässigkeit von mindestens 80% erhalten wird.
9. Verfahren zum Herstellen einer hochqualitativen fluordotierten Zinnoxidbeschichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die sauerstoffhaltige Atmosphäre Luft ist.
10. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat Glas ist.
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