JP2000003030A - 微細形状部品及びその製造方法 - Google Patents
微細形状部品及びその製造方法Info
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- JP2000003030A JP2000003030A JP10167948A JP16794898A JP2000003030A JP 2000003030 A JP2000003030 A JP 2000003030A JP 10167948 A JP10167948 A JP 10167948A JP 16794898 A JP16794898 A JP 16794898A JP 2000003030 A JP2000003030 A JP 2000003030A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高密度で非常に微細な傾斜形状を有する微細
形状部品と生産性が良好なその製造方法を提供する。 【解決手段】 パターン化された不透明膜が形成された
透明基板上に感光性材料を塗被し、前記感光性材料を透
明基板側から斜めに露光を行い、その後現像を行う。
形状部品と生産性が良好なその製造方法を提供する。 【解決手段】 パターン化された不透明膜が形成された
透明基板上に感光性材料を塗被し、前記感光性材料を透
明基板側から斜めに露光を行い、その後現像を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は小型機器、精密機器
などに用いられる微細形状を有した部品の製造方法に関
する。
などに用いられる微細形状を有した部品の製造方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】近年の小型機器や精密機器を構成する部
品には、多様な種類の微細形状部品が使われている。そ
れらの多くの微細形状部品の中で、斜めに傾斜した壁を
有する微細形状部品が必要とされる場合も多々ある。近
年、プレーナー技術（フォトリソグラフィー、成膜、エ
ッチングなどを用いて形状化する技術）と呼ばれる平面
的に形状を形成していく加工法が多くの部品製造に用い
られているが、この手法は微細な平面形状を形成するに
は有効であるが、上記のような、ある傾斜角をもった形
状を形成する場合には利用できないという欠点があっ
た。
品には、多様な種類の微細形状部品が使われている。そ
れらの多くの微細形状部品の中で、斜めに傾斜した壁を
有する微細形状部品が必要とされる場合も多々ある。近
年、プレーナー技術（フォトリソグラフィー、成膜、エ
ッチングなどを用いて形状化する技術）と呼ばれる平面
的に形状を形成していく加工法が多くの部品製造に用い
られているが、この手法は微細な平面形状を形成するに
は有効であるが、上記のような、ある傾斜角をもった形
状を形成する場合には利用できないという欠点があっ
た。
【０００３】そのため、従来このような傾斜角を有する
微細形状部品の製造は、切削加工によって行われてい
た。図５は従来の切削加工による傾斜壁を有する微細形
状部品の製造方法を示した図である。従来は図５（ａ）
に示すように部材３０００の加工面に対して切削工具２
０００を所定の角度だけ傾けて切削加工を行い、最終的
に図５（ｂ）に示すような微細形状部品１０００を製造
していた。この製造方法の場合、高い加工精度を得るに
は長い加工時間が必要とされた。またこの製造場合、加
工可能な微細寸法は切削工具２０００の大きさで決ま
り、そのため微細で精密な形状を形成するには、微細で
寸法精度の高い切削工具２０００が必要とされた。この
微細で寸法精度の高い切削工具２０００をつくるのにも
多大な労力と時間が費やされていた。
微細形状部品の製造は、切削加工によって行われてい
た。図５は従来の切削加工による傾斜壁を有する微細形
状部品の製造方法を示した図である。従来は図５（ａ）
に示すように部材３０００の加工面に対して切削工具２
０００を所定の角度だけ傾けて切削加工を行い、最終的
に図５（ｂ）に示すような微細形状部品１０００を製造
していた。この製造方法の場合、高い加工精度を得るに
は長い加工時間が必要とされた。またこの製造場合、加
工可能な微細寸法は切削工具２０００の大きさで決ま
り、そのため微細で精密な形状を形成するには、微細で
寸法精度の高い切削工具２０００が必要とされた。この
微細で寸法精度の高い切削工具２０００をつくるのにも
多大な労力と時間が費やされていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述の通り、従来、傾
斜角を有する微細形状部品の製造には切削加工法が用い
られていたが、加工時間が非常にかかり、生産性が非常
に悪かった。また、加工可能な寸法は切削工具の大きさ
で決定され、５０μｍ以下の加工はできず、微細形状の
加工には不適であった。
斜角を有する微細形状部品の製造には切削加工法が用い
られていたが、加工時間が非常にかかり、生産性が非常
に悪かった。また、加工可能な寸法は切削工具の大きさ
で決定され、５０μｍ以下の加工はできず、微細形状の
加工には不適であった。
【０００５】本発明は、高精度で微細な傾斜壁を有する
微細形状部品を提供し、且つ加工時間が短く生産性の高
い微細形状部品の製造方法を提供することを目的とす
る。
微細形状部品を提供し、且つ加工時間が短く生産性の高
い微細形状部品の製造方法を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の微細形状部品の製造方法では、透明基板上に
不透明膜を所望の形状でパターン化し、透明基板の不透
明膜の形成された一方の面上に感光性材料を塗被する工
程と、透明基板の不透明膜の形成されていない他方の面
側から、透明基板の平面に対して所定の傾斜角度で感光
性材料を露光する工程と、露光された感光性材料を現像
しパターン化する工程とを有することを特徴とする。
に本発明の微細形状部品の製造方法では、透明基板上に
不透明膜を所望の形状でパターン化し、透明基板の不透
明膜の形成された一方の面上に感光性材料を塗被する工
程と、透明基板の不透明膜の形成されていない他方の面
側から、透明基板の平面に対して所定の傾斜角度で感光
性材料を露光する工程と、露光された感光性材料を現像
しパターン化する工程とを有することを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】（第１の実施の形態）図１は本発
明の傾斜壁を有する微細形状部品の製造方法を示した図
である。図１（ａ）では紫外光を透過する透明基板１０
上に紫外光を遮光する不透明膜２０が所望の形状でパタ
ーン化して形成されている。そのパターン化されている
不透明膜２０上には感光性材料であるレジスト３０ａが
透明基板１０、不透明膜２０を覆うようにして所定の厚
みで塗被されている。
明の傾斜壁を有する微細形状部品の製造方法を示した図
である。図１（ａ）では紫外光を透過する透明基板１０
上に紫外光を遮光する不透明膜２０が所望の形状でパタ
ーン化して形成されている。そのパターン化されている
不透明膜２０上には感光性材料であるレジスト３０ａが
透明基板１０、不透明膜２０を覆うようにして所定の厚
みで塗被されている。
【０００８】本実施の形態では、透明基板１０として
０．４ｍｍ厚のガラス基板を使用し、不透明膜２０には
０．１μｍ厚のクロム（Ｃｒ）膜を使用した。Ｃｒ膜は
スパッタリング法により成膜した後、フォトリソグラフ
ィー法とウェットエッチング法によりパターン化した。
また、レジスト３０ａには感光不溶性材料であるＪＳＲ
社製厚膜ネガ型レジスト（商品名：ＴＨＢ−１３０Ｎ）
を用い、スピンコート法で１０００ｒｐｍの回転数で１
０秒間コーティングする工程を２回行い、最終的に１０
０μｍの厚みで透明基板１０上に塗布した。
０．４ｍｍ厚のガラス基板を使用し、不透明膜２０には
０．１μｍ厚のクロム（Ｃｒ）膜を使用した。Ｃｒ膜は
スパッタリング法により成膜した後、フォトリソグラフ
ィー法とウェットエッチング法によりパターン化した。
また、レジスト３０ａには感光不溶性材料であるＪＳＲ
社製厚膜ネガ型レジスト（商品名：ＴＨＢ−１３０Ｎ）
を用い、スピンコート法で１０００ｒｐｍの回転数で１
０秒間コーティングする工程を２回行い、最終的に１０
０μｍの厚みで透明基板１０上に塗布した。
【０００９】次に図１（ｂ）に示すようにレジスト３０
ａを透明基板１０側から紫外光により露光する。この
時、不透明膜２０は露光マスクの役目をし、レジスト３
０ａには露光部と未露光部が生じることになる。このよ
うな露光方法を一般にバック露光法と呼んでいる。本発
明で特徴とするところは、透明基板１０の平面に垂直な
面（図１（ｂ）中では一点破線で描かれている。）対し
て所定の傾斜角θだけ傾けた方向から紫外光を照射する
ところにある。以降この傾斜角θを露光角度と呼ぶこと
にする。本実施の形態では露光角度θを３０度に設定
し、６００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光を行った。
ａを透明基板１０側から紫外光により露光する。この
時、不透明膜２０は露光マスクの役目をし、レジスト３
０ａには露光部と未露光部が生じることになる。このよ
うな露光方法を一般にバック露光法と呼んでいる。本発
明で特徴とするところは、透明基板１０の平面に垂直な
面（図１（ｂ）中では一点破線で描かれている。）対し
て所定の傾斜角θだけ傾けた方向から紫外光を照射する
ところにある。以降この傾斜角θを露光角度と呼ぶこと
にする。本実施の形態では露光角度θを３０度に設定
し、６００ｍＪ／ｃｍ２の露光量で露光を行った。
【００１０】最後に現像を行い、レジスト３０ｂをパタ
ーン化して形成する（図１（ｃ））。本実施の形態で
は、ＴＨＢ−１３０Ｎ専用現像液を使用して、４０℃の
温度で５分間現像を行った。このようにして形成された
レジスト３０ｂは透明基板１０の平面に対して斜めに傾
斜した壁としてパターン化される事となる。本実施の形
態では傾斜した壁と壁の間の間隔を４０μｍにすること
ができた。これは従来の切削加工法による加工限界を超
えた微細な寸法である。このようにして本実施の形態で
は、ガラス基板上に基板垂直方向に対して約３０度の角
度の傾斜壁を有する微細形状部品を形成することができ
た。
ーン化して形成する（図１（ｃ））。本実施の形態で
は、ＴＨＢ−１３０Ｎ専用現像液を使用して、４０℃の
温度で５分間現像を行った。このようにして形成された
レジスト３０ｂは透明基板１０の平面に対して斜めに傾
斜した壁としてパターン化される事となる。本実施の形
態では傾斜した壁と壁の間の間隔を４０μｍにすること
ができた。これは従来の切削加工法による加工限界を超
えた微細な寸法である。このようにして本実施の形態で
は、ガラス基板上に基板垂直方向に対して約３０度の角
度の傾斜壁を有する微細形状部品を形成することができ
た。
【００１１】本発明において、露光角度θは、５度〜４
５度の間、及び−５度〜−４５度の間で選ばれるのが好
ましい。なぜなら、４５度から９０度或いは、−４５度
から−９０度の角度では、透明基板１０上で全反射が生
じてしまう可能性があり、一方、−５度以上で５度下の
範囲では、レジスト３０ａの感度限界の理由から本発明
の傾斜効果がそれほど得られないからである。ただし、
以上に示した範囲は透明基板１０及びレジスト３０ａと
して選ばれる材質によって多少変わると考えられる。
５度の間、及び−５度〜−４５度の間で選ばれるのが好
ましい。なぜなら、４５度から９０度或いは、−４５度
から−９０度の角度では、透明基板１０上で全反射が生
じてしまう可能性があり、一方、−５度以上で５度下の
範囲では、レジスト３０ａの感度限界の理由から本発明
の傾斜効果がそれほど得られないからである。ただし、
以上に示した範囲は透明基板１０及びレジスト３０ａと
して選ばれる材質によって多少変わると考えられる。
【００１２】またこの製造方法によれば、透明基板１０
上に一括して傾斜壁形状のレジスト３０ｂを形成するこ
とができ、一度に大量の微細形状部品を形成することが
できる。この点が従来の研削加工と大きく異なる特徴で
ある。
上に一括して傾斜壁形状のレジスト３０ｂを形成するこ
とができ、一度に大量の微細形状部品を形成することが
できる。この点が従来の研削加工と大きく異なる特徴で
ある。
【００１３】（第２の実施の形態）第２の実施の形態で
はインクジェットヘッド部品に本発明の製造方法を用い
た場合を例に挙げる。図３は本発明によって製造された
インクジェットヘッド部品を用いたインクジェットヘッ
ドの構成図である。基台１００が本発明によって製造さ
れた部品であり、基台１００には、傾斜壁形状のレジス
ト３０ｂと発熱素子１１０が配設されている。液室部品
３００にはインクを溜めておくマニホールド３２０（図
中では破線で表されている。）とインクの加圧を行う液
室３１０とが構成されており、基台１００と位置合わせ
がなされて接合される。この接合の結果、液室３１０内
には発熱素子１１０が、マニホールド３２０内には傾斜
壁形状のレジスト３０ｂが配置されることになる。ま
た、液室３１０の端部を覆うようにしてインク吐出口４
１０が穴あけされたノズル板４００は接合される。
はインクジェットヘッド部品に本発明の製造方法を用い
た場合を例に挙げる。図３は本発明によって製造された
インクジェットヘッド部品を用いたインクジェットヘッ
ドの構成図である。基台１００が本発明によって製造さ
れた部品であり、基台１００には、傾斜壁形状のレジス
ト３０ｂと発熱素子１１０が配設されている。液室部品
３００にはインクを溜めておくマニホールド３２０（図
中では破線で表されている。）とインクの加圧を行う液
室３１０とが構成されており、基台１００と位置合わせ
がなされて接合される。この接合の結果、液室３１０内
には発熱素子１１０が、マニホールド３２０内には傾斜
壁形状のレジスト３０ｂが配置されることになる。ま
た、液室３１０の端部を覆うようにしてインク吐出口４
１０が穴あけされたノズル板４００は接合される。
【００１４】以上の構成のインクジェットヘッドでは、
マニホールド３２０からインクを液室３１０に供給し、
液室３１０内部で発熱素子１１０によりインクを加圧す
ることによって、インクをインク吐出口４１０から吐出
させる。このようなインクの吐出動作において、液室内
で加圧されたインクがマニホールド３２０内に逆流して
しまうと吐出力が著しく低下し、インク吐出口４１０か
らインクを勢い良く吐出させることができない。一方、
インクが吐出した後には無くなった分のインク量を素早
くマニホールド３２０から液室３１０に供給する必要が
ある。
マニホールド３２０からインクを液室３１０に供給し、
液室３１０内部で発熱素子１１０によりインクを加圧す
ることによって、インクをインク吐出口４１０から吐出
させる。このようなインクの吐出動作において、液室内
で加圧されたインクがマニホールド３２０内に逆流して
しまうと吐出力が著しく低下し、インク吐出口４１０か
らインクを勢い良く吐出させることができない。一方、
インクが吐出した後には無くなった分のインク量を素早
くマニホールド３２０から液室３１０に供給する必要が
ある。
【００１５】これらの理由から、インクがマニホールド
３２０から液室３１０にスムーズに流れ、液室３１０か
らマニホールド３２０には流れ難くするような構造が必
要となる。図３のインクジェットヘッドでは傾斜壁形状
をしたレジスト３０ｂがその役目をしている。レジスト
３０ｂは液室３１０側に傾斜して倒れており、液室３１
０からのインクの逆流防止をしている。
３２０から液室３１０にスムーズに流れ、液室３１０か
らマニホールド３２０には流れ難くするような構造が必
要となる。図３のインクジェットヘッドでは傾斜壁形状
をしたレジスト３０ｂがその役目をしている。レジスト
３０ｂは液室３１０側に傾斜して倒れており、液室３１
０からのインクの逆流防止をしている。
【００１６】本実施の形態で基台１００は第１の実施の
形態で説明した製造方法および材質を用いて製造されて
いる。ただし、本実施の形態では透明基板上にパターン
化された不透明膜上に発熱素子１１０を予め形成した後
に、レジストのコーティングを行っている。この点が唯
一第１の実施の形態と異なる点である。
形態で説明した製造方法および材質を用いて製造されて
いる。ただし、本実施の形態では透明基板上にパターン
化された不透明膜上に発熱素子１１０を予め形成した後
に、レジストのコーティングを行っている。この点が唯
一第１の実施の形態と異なる点である。
【００１７】（第３の実施の形態）図４は本発明によっ
て製造された一方向のみ透光性を示す微細形状部品とそ
れを用いた液晶表示機構を示した図である。図４では液
晶表示板５００の表示面側に本発明で製造された一方向
透光性部品２００が配置されている。一方向透光性部品
２００には透明基板１０と遮光部４０が構成されてい
る。本実施の形態では、遮光部４０は透明基板１０の垂
直方向に対して約４０度の角度で傾いた壁形状をしてお
り、その幅４０μｍで形成された多数の遮光部４０は透
明基板１０上に１００μｍの間隔で整然と形成されてい
る。
て製造された一方向のみ透光性を示す微細形状部品とそ
れを用いた液晶表示機構を示した図である。図４では液
晶表示板５００の表示面側に本発明で製造された一方向
透光性部品２００が配置されている。一方向透光性部品
２００には透明基板１０と遮光部４０が構成されてい
る。本実施の形態では、遮光部４０は透明基板１０の垂
直方向に対して約４０度の角度で傾いた壁形状をしてお
り、その幅４０μｍで形成された多数の遮光部４０は透
明基板１０上に１００μｍの間隔で整然と形成されてい
る。
【００１８】図４のような液晶表示板５００と一方向透
光性部品２００の配置において、矢視Ａ方向からは液晶
表示板５００の表示を見ることができるが、矢視Ｂおよ
び矢視Ｃ方向からは遮光部４０で遮られ液晶表示板５０
０の表示を見ることはできない。
光性部品２００の配置において、矢視Ａ方向からは液晶
表示板５００の表示を見ることができるが、矢視Ｂおよ
び矢視Ｃ方向からは遮光部４０で遮られ液晶表示板５０
０の表示を見ることはできない。
【００１９】この構造は、例えば時計の表示板に利用で
き、遮光部４０に装飾性をもたせることで、時計として
の時間表示の機能と装飾品としての装飾機能とを両立す
ることができる。
き、遮光部４０に装飾性をもたせることで、時計として
の時間表示の機能と装飾品としての装飾機能とを両立す
ることができる。
【００２０】次に、一方向透光性部品２００の製造方法
を説明する。まず第１の実施の形態と同様に、図１に示
される方法によって透明基板１０上にレジスト３０ｂを
形成した。本実施形態では、不透明膜２０をニッケル
（Ｎｉ）で形成した。また、図１（ｂ）において露光角
度θを４０度に設定した。各々のレジスト３０ｂの間の
幅は第１の実施の形態と同様に４０μｍに設定した。ま
たそれ以外の材質及び製造条件に関しても第１の実施の
形態と同じである。
を説明する。まず第１の実施の形態と同様に、図１に示
される方法によって透明基板１０上にレジスト３０ｂを
形成した。本実施形態では、不透明膜２０をニッケル
（Ｎｉ）で形成した。また、図１（ｂ）において露光角
度θを４０度に設定した。各々のレジスト３０ｂの間の
幅は第１の実施の形態と同様に４０μｍに設定した。ま
たそれ以外の材質及び製造条件に関しても第１の実施の
形態と同じである。
【００２１】図２は本実施の形態の図１（ｃ）の後の製
造方法を示した図である。図１（ｃ）の状態の後、本実
施の形態では図２（ａ）に示すように不透明膜２０上に
電解Ｎｉメッキを施し、Ｎｉからなる遮光部４０を形成
した。上述の設定により遮光部４０の幅は４０μｍに形
成された。本実施の形態で使用したＮｉメッキ浴は以下
に示す組成からなり、１Ａ／ｄｃｍ２の電流密度で１０
時間メッキすることによって１００μｍの厚みで形成す
ることができた。 純水 ５Ｌ スルファミン酸ニッケル １６５０ｇ 塩化ニッケル １５０ｇ 硼酸 ２２５ｇ ラウリル硫酸ナトリウム ５ｇ
造方法を示した図である。図１（ｃ）の状態の後、本実
施の形態では図２（ａ）に示すように不透明膜２０上に
電解Ｎｉメッキを施し、Ｎｉからなる遮光部４０を形成
した。上述の設定により遮光部４０の幅は４０μｍに形
成された。本実施の形態で使用したＮｉメッキ浴は以下
に示す組成からなり、１Ａ／ｄｃｍ２の電流密度で１０
時間メッキすることによって１００μｍの厚みで形成す
ることができた。 純水 ５Ｌ スルファミン酸ニッケル １６５０ｇ 塩化ニッケル １５０ｇ 硼酸 ２２５ｇ ラウリル硫酸ナトリウム ５ｇ
【００２２】最後に、レジスト３０ｂを専用の剥離液を
用いて溶解し、図２（ｂ）に示すような透明基板１０上
にＮｉからなる遮光部４０が形成されている一方向透光
性部品２００が形成される。
用いて溶解し、図２（ｂ）に示すような透明基板１０上
にＮｉからなる遮光部４０が形成されている一方向透光
性部品２００が形成される。
【００２３】このようにして製造された一方向透光性部
品２００は図４において、矢視Ｂ、矢視Ｃ方向から見る
と、Ｎｉからなる遮光部４０により、白銀色に輝き、装
飾性としての機能を十分に果たす。
品２００は図４において、矢視Ｂ、矢視Ｃ方向から見る
と、Ｎｉからなる遮光部４０により、白銀色に輝き、装
飾性としての機能を十分に果たす。
【００２４】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によると、従
来よりも微細で高精度の傾斜壁を有する微細形状部品を
製造することができる。また、その工程も容易で、且つ
一度に多くの部品を製造できるため、従来に比べて生産
性が著しく向上した。
来よりも微細で高精度の傾斜壁を有する微細形状部品を
製造することができる。また、その工程も容易で、且つ
一度に多くの部品を製造できるため、従来に比べて生産
性が著しく向上した。
【００２５】また、本発明によれば、インクジェットヘ
ッド用部品や時計用部品など、小型機器、精密機器に用
いられる微細形状部品を製造可能であり、広い分野で適
用可能である。
ッド用部品や時計用部品など、小型機器、精密機器に用
いられる微細形状部品を製造可能であり、広い分野で適
用可能である。
【図１】本発明の第１の実施の形態における微細形状部
品の製造方法を示した図である。
品の製造方法を示した図である。
【図２】本発明の第３の実施の形態における微細形状部
品の製造方法の一部を示した図である。
品の製造方法の一部を示した図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態における微細形状部
品を用いたインクジェットヘッドの構成図である。
品を用いたインクジェットヘッドの構成図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態における微細形状部
品を用いた液晶表示機構の構成図である。
品を用いた液晶表示機構の構成図である。
【図５】従来の傾斜形状を有する微細形状部品の製造方
法を示した図である。
法を示した図である。
１０ 透明基板 ２０ 不透明膜 ３０ａ、３０ｂ レジスト ４０ 遮光部 １００ 基台 １１０ 発熱素子 ２００ 一方向透光性部品 ３００ 液室部品 ３１０ 液室 ３２０ マニホールド ４００ ノズル板 ４１０ インク吐出口 ５００ 液晶表示板 １０００ 微細形状部品 ２０００ 切削工具 ３０００ 部材
Claims (2)
- 【請求項１】 基板上に所定の角度で傾斜した微細な壁
が形成された微細形状部品であって、 透明基板上に不透明膜を所望の形状でパターン化し、前
記透明基板の前記不透明膜の形成された一方の面上に感
光性材料を塗被する工程と、 前記透明基板の前記不透明膜の形成されていない他方の
面側から、且つ前記透明基板の平面に垂直な面に対して
所定の傾斜角度で光を照射し前記感光性材料を露光する
工程と、 露光された前記感光性材料を現像しパターン化する工程
とを有する製造方法によって形成され、且つ前記透明基
板の平面に垂直な面に対して所定の角度で傾斜した壁を
有することを特徴とする微細形状部品。 - 【請求項２】 基台上に所定の角度で傾斜した微細な壁
が形成された微細形状部品の製造方法であって、 透明基板上に不透明膜を所望の形状でパターン化し、前
記透明基板の前記不透明膜の形成された一方の面上に感
光性材料を塗被する工程と、 前記透明基板の前記不透明膜の形成されていない他方の
面側から、且つ前記透明基板の平面に垂直な面に対して
所定の傾斜角度で光を照射し前記感光性材料を露光する
工程と、 露光された前記感光性材料を現像しパターン化する工程
とを有することを特徴とする微細形状部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16794898A JP4303331B2 (ja) | 1998-06-16 | 1998-06-16 | 微細形状部品及び微細形状部品を用いたインクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16794898A JP4303331B2 (ja) | 1998-06-16 | 1998-06-16 | 微細形状部品及び微細形状部品を用いたインクジェットヘッド |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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