JPS6141089Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はフオトエツチングに使用する露光用マ
スクに関するものである。

集積回路用のリードフレームあるいはフレキシ
ブルシートなどをフオトエツチングする場合に使
用する露光用マスクとしては、写真乾板あるいは
フイルムを用いたエマルジヨンマスクと、金属膜
あるいは金属板を用いたメタルマスクとが知られ
ている。

ところで、エマルジヨンマスクは膜面にキズが
付き易く、特に有機フイルムを使用したものは周
囲の環境によつて膨脹膨潤することが大きな欠点
である。一方、ガラス基板の表面に金属膜を被覆
し、この金属膜をエツチングしてパターンを形成
したメタルマスクが高精度のマスクとして汎用さ
れているが、この場合にはセツテイング用のパー
フオレーシヨンすなわちガイド穴を設けることが
できないので、連続作業に不向きである。そのた
め金属膜のかわりに金属板を使用し、ガラスなど
の透明支持板を用いず金属板だけで構成した金属
板マスクが知られている。この場合にはパターン
と同時にセツテイング用の穴が用けられるので、
位置合せが精度良く連続的に行なわれるが、支持
体が無いためパターンの細部における強度が不足
し、使用中に変形し易いことが大きな欠点となつ
ている。

また、透明支持体がないため、「島」と呼ばれ
る不連続的なパターンを設けることができないと
いう制約を受けることも欠点である。

そこで本考案の目的は、従来のマスクにおける
これらの欠点を排除し、耐久性のある高精度の金
属板マスクを提供することである。

上記目的のため本考案においては、あらかじめ
パターン部の透明高分子フイルムが裏打ちされて
いる金属板をフオトエツチング加工し、パターン
とセツテイング用の穴とを同時に形成するように
した。

以下実施例につき図面を参照して説明する。

厚さ0.05mm、巾50mmのステンレス鋼薄板の片面
中央部に透明高分子フイルムとして巾約20mmのポ
リエステルフイルムを熱圧着した。

第１図において１はステンレス鋼薄板、２はそ
の中央部に熱圧着したポリエステルフイルムを示
す。次にこの金属板においてポリエステルフイル
ムの裏打ちされている中央部に露光用パターン
を、また裏打ちされていない周辺部にセツテイン
グ用の穴をエツチング加工により同時に形成して
第２図に示すような金属板マスクを得た。

第２図はこの金属板マスクを表から見た図であ
り、ポリエステルフイルム２は金属板１の上面に
裏打ちされており、このフイルム２を透してパタ
ーン３が見える。４は金属板に設けられたセツテ
イング用の穴である。

本考案による上記の金属板マスクにおいてはパ
ターン中の細い部分５もポリエステルフイルム２
によつて補強されており、マスク使用中における
変形が防止される。

また、島と呼ばれる不連続パターン６を設ける
ことも可能である。

また、マスク材料として金属板を用いているの
で耐久性があり、さらに、セツテイング用の穴４
をパターン３と同時に成型できるのでマスク合せ
の精度を高め、連続作業に適している。

本考案による金属板マスクは上記のように構成
されているので、耐久性のある高精度のマスクと
してフオトエツチング技術における実用上の価値
が高い。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案における金属板マスクの素材を
説明するための平面図、第２図は実施例における
金属板マスクの平面図である。 １……金属板、２……透明高分子フイルム、３
……パターン、４……セツテイング用ピン穴。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 露光用パターンがステツプ状にくり返し形成さ
   れている帯状の金属板と、この金属板の前記パタ
   ーンが形成されている中央部に裏打ちされている
   透明高分子フイルムとから成り、前記金属板の周
   縁部にはセツテイング用のピン穴が設けられてい
   ることを特徴とするフオトエツチング用金属板マ
   スク。