JP2000077683A - 光半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
光半導体装置およびその製造方法Info
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Abstract
し、これを組み込んだモジュールやセットに於いても小
型化を可能とする。 【解決手段】 発光素子、受光素子として半導体チップ
23,24があり、これらを封止する樹脂封止体25
は、光に対して透明となる材料で成る。また光が素子か
ら発光される領域上、光が素子に入射される領域上に
は、溝27が形成され、ここに反射面26を構成する。
その結果光は側面Eを介して、射出・入射が可能とな
る。また光束を絞るため、レンズを側面Eに形成する
が、凸部の最端部OSと金型の接合面とを一致させて、
封止後の離型性を向上させている。
Description
びこれを実装した光半導体モジュールに関するもので、
特に光半導体装置の構造を薄くし、この薄い側面から光
を射出(または入射)させるものであり、これらを用い
た機器の小型化・薄型化を実現するものである。
末、電子スチルカメラ等のマルチメディア機器がめざま
しい発展を遂げている。
され、約8割がIrDA(InfraredData Association)規
格の赤外線方式を採用している。つまり外部機器と本体
との赤外線信号を介した送受信が必要で、そこには、赤
外線を発光する発光素子、赤外線を受光する受光素子が
必要となってくる。
用いられる光学ヘッドは、光学記録媒体へビームを照射
して光学記録媒体からの変調されたビームを検出するこ
とにより、情報の記録や再生を行う。やはりここでも発
光素子、受光素子が必要となってくる。
化が実現されていない。例えば、図15は、特公平7−
28085号公報の技術を説明するもので、半導体レー
ザ1が半導体基板2に直接配置され、断面形状が台形の
プリズム3が半導体基板2に固定されている。なお図番
4は、光学記録媒体である。半導体レーザ1と対向して
いるプリズム3の傾斜面5は半透過反射面で、半導体基
板2と対接しているプリズム面6は、光検出器(受光素
子)7以外の部分が、また面6と対向しているプリズム
面8は、共に反射面となっている。
らプリズム3に入射したビーム9は、反射面6と8で反
射されてから、光検出器7で検出される。
ール11で、赤外線LED、LEDドライバ、PINフ
ォトダイオード、アンプ等が内蔵されている。例えば基
板に前記LED12が実装され、ここから射出される光
は、レンズ13を介して外部へ放出される。また前記基
板に実装されたフォトダイオード14には、レンズ15
を介してモールド11内に入射される。
いて、図15では半導体基板の上方に光学機器が実装さ
れるため、非常に高度な技術が必要となり、価格も高価
となる問題があった。
し入れが必要となり、対向位置にもう一つの光半導体装
置をセットする必要があるため、これらを組み込んだセ
ットは、厚みを有し小型化が実現できない問題があっ
た。
ようとすれば、図17のように光半導体装置11のリー
ド16を90度に折り曲げなければ成らず、リード11
の曲げ方によってはこの光半導体装置11の位置固定、
安定性に問題があった。
鑑みて成され、上面を受光面とする半導体チップと、前
記半導体チップを封止し、少なくとも所定の光に対して
透明な樹脂封止体と、前記受光面の垂線と交差する位置
に設けられ、前記樹脂封止体に設けられて成る反射面
と、前記樹脂封止体の側面に一体成型で形成された凸状
のレンズとを有し、前記レンズの飛び出しに方向に沿っ
た最端部と前記樹脂封止体を封止する上下金型の接合部
を、実質一致させることで解決するものである。
ることができ、しかも金型の接合部にレンズの最端部を
位置させることで、本光半導体装置の離型性を向上させ
ることができる。
と、前記半導体チップを封止し、少なくとも所定の光に
対して透明な樹脂封止体と、前記受光面の垂線と交差
し、前記樹脂封止体に設けられて成る反射面と、前記樹
脂封止体の側面に一体成型で形成された凸状のレンズと
を有し、前記レンズの飛び出しに方向に沿った最端部と
前記樹脂封止体を封止する上下金型の接合部と、実質一
致させることで解決するものである。
し、リードの上面と前記最端部とを同一面に延在させる
ことで解決するものである。
とで光を側面から発射さることができ、しかも金型内で
成型された本光半導体装置の離型性を向上させることが
できる。
ズの焦点で形成される仮想線分を、前記反射面と交差さ
せる事で解決するものである。
を深く形成することで効率の良い反射が実現できる。
て、図1を参照しながら説明する。
もので、左上が光半導体装置の平面図、左下が前記平面
図のA−A線に於ける断面図、右上が前記平面図のB−
B線に於ける断面図である。
レームは、2点鎖線で示すアイランド21とリード22
により構成され、ここではCuより成り、この上に発光
部となる一点鎖線で示す半導体チップ23、受光部とな
る一点鎖線で示す半導体チップ24が半田等の固着手段
を介して固定されている。
D、レーザ等の発光素子であり、駆動回路が一体になっ
ていても良い。赤外線LEDは、チップの上面から上に
出るため図1のようにアイランドに水平に配置される
が、半導体レーザの場合は、チップの側面から光が発射
されるため、図のような溝は必要としない。しかし製造
上図3のように溝を作るよりも図12のように全面に設
けた方が簡便な、この上にも溝を形成しても良い。
あり、PINダイオード等であり、やはりこのPINダ
イオードの駆動回路が一体のものでよし、更にはLED
やレーザの駆動回路が一体で構成されても良い。これら
の半導体チップの周囲には、ボンディングパッドが形成
され、これに対応して、チップの周囲から外部へ複数の
リード22が延在され、この間を金属細線で接続してい
る。ここで封止材としては光に対して透明で有ればよ
く、材料は特に選ばない。またLEDでは、一般的に光
は、赤外線であるので、この赤外線を透過する樹脂であ
ればよい。つまり所定の光に対して少なくとも透過であ
れば良く、リードの先端および半導体チップは、この光
に対して透明な封止体25で封止されている。そしてこ
の封止体25には、反射面26を持つ溝27が設けられ
ている。
この反射面は封止体25に溝を形成することで構成さ
れ、これにより点線矢印で示すように封止体25の側面
Eから光の射出、側面Eへの入射が可能となる。
体チップは、この上に、プリズムやレンズを構成して半
導体装置となるため、これを使用したモジュールやセッ
トは、セット自身の縦方向の厚みが厚くなり、しかもこ
の上や周辺に光学機器が配置されるため、薄型・小型が
難しかった。しかし封止体の溝の一部分である反射面2
6により、封止体の側面Eから光の出し入れが可能とな
るため、プリズムは不要であるし、レンズが必要で有れ
ば、この側面Eに形成できる。つまり図3の様に透明封
止体の側面に凸状のレンズを一体成型することも可能で
あるし、ここに別途レンズを取り付けても良い。従って
装置自身の厚みを薄くすることができる。
は、約0.125mmで、半導体チップの厚みは、例え
ば250〜300μm程度である。また封止体25は、
透明なエポキシ材料で、例えばトランスファーモールド
により成され、全体の厚みは、約1mm〜1.5mmで
ある。当然チップの厚みが薄くなれば、更に薄くできる
事は言うまでもない。また金型にも溝を形成する部分が
設けられており、透明の樹脂封止体で半導体チップをト
ランスファーモールドした際に、溝が同時に形成され
る。
ことなく、反射面が構成されればよく、例えば厚みの半
分程度、ここでは750μm程度の深さを有し、少なく
とも反射面26を構成する部分は45°に成っている。
ここの反射面は、界面の両側の空気と透明樹脂の屈折率
の違いにより、反射面となる。しかし全ての光が反射さ
れないので、反射面に金属被膜を形成しても良い。
される蒸着、スパッタ成膜が考えられ、またその他に
は、メッキが考えられる。ここで注意を要する所は、封
止体25に形成された被膜材料との短絡である。前者の
二つの被膜方法では、マスクを必要とする。また例えば
無電解メッキで、溶液の中に全体をディップする場合
は、導出する部分のリード22、その導出部周囲の封止
体25の部分に樹脂を塗り、その後でメッキし、この樹
脂を取り除けばよい。またディップ以外では、この溶液
を溝の部分のみに滴下してメッキさせても良い。金属材
料としては、金、Al、ニッケル等が考えられる。
るため、また成型品の離型性が考慮されて梨地加工され
るため、反射面に対応する部分を鏡面研磨し、前述した
反射面の被膜の代わりにしても良いし、さらにこの表面
に被膜処理しても良い。また側面Eから入射または発光
されるためこの部分も鏡面処理された方が良い。
射)が行われる側面Eを除いた側面F、G、Hにリード
を配置できる。しかし金属細線やリードによる反射を考
えると、側面Hが好ましい。平面図に於いて、受光部で
ある半導体チップは、実質右側に受光素子領域(第1の
領域)が形成され、左側にこれを駆動する駆動素子領域
(第2の領域)が形成される。つまり第2の半導体領域
は、光の経路とは成らないため、この領域をリードが導
出される領域、金属細線の領域として活用でき、光の反
射等によるノイズが第1の領域に浸入することを防止し
ている。また第1の領域が右側にずれているので、当然
溝27も右側にずれ、溝から左側の領域は、ワイヤを延
在させる領域として確保できる。もし左側や中央に第1
の領域があれば、ワイヤは、溝から露出する可能性があ
る。
ト基板、セラミック基板、絶縁性金属基板、TAB等の
樹脂フィルムに実装する場合、図1の左下断面図の如
く、水平に配置されるので、薄型のモジュールや機器が
形成可能である。
自身の厚みを薄く且つ側辺方向で光信号のやりとりがで
きる。
ように二つで成っているが、一体で構成しても良い。ま
た樹脂封止体25は、二つの半導体チップを一体でモー
ルドしているが、個別でも良い。当然、一つのアイラン
ドに二つの半導体チップを固着し、各々を個別にモール
ドしても良いし、更には、リードフレームを別にしてデ
ィスクリート部品のように個別モールドしても良い。
される、または光が射出される部分を示している。
を垂直にしたものである。この場合図1と比較し溝から
左の領域を確保でき、この部分にワイヤーを延在させる
ことも可能となるし、この近傍まで第2の領域を拡大配
置できる。しかし垂直な面であると金型からの離型性が
悪化するので、若干左側に傾けた方がよい。
面で、中央左が上から見た平面図、中央右が前記平面図
を左側から見た図面、上段は、平面図のA−A線の断面
図でホトIC部分である。また下段は、平面図B−B線
断面図で、発光ダイオードの部分である。また図4は、
リードフレームにホトダイオードとLEDを実装した図
面である。
ンド21の左側辺にのみリード22が延在され、その先
端にはボンディング用の拡張部30が形成されている。
またICチップの左側辺と下側辺にボンディシングパッ
ドが形成され、拡張部30とボンディングパッドとの間
をワイヤーボンディングで電気的に接続している。符号
31は、LEDのアイランドで、光を上方に飛ばすため
に、図3下段のようにカップ状になっている。このカッ
プは、側面が斜めに形成され、上方以外に飛んだ光をこ
の傾斜部分で集光して効率よく上方へ飛ばしている。例
えば携帯用ランプの豆球の周囲に形成されている集光板
の様なものである。受光部24には、PINホトダイオ
ードが形成され、周囲にはこの駆動用のIC回路が作り
込まれている。またLEDから延在されている二本のワ
イヤーの接続部近傍には、LEDの駆動回路が作り込ま
れている。また点線で示す矩形は、樹脂封止領域を示す
部分である。
に、反射面26が形成された溝が二つ形成され、この溝
の間は、間を遮るように壁体32が形成されている。こ
の溝は、図12に示すように、一方の側辺から他方の側
辺まで連続して形成しても良いが、この構造であると外
力が加わった際、溝の底部を中心に割れが発生するおそ
れがある。そのため、ホトICとLEDを囲むように枠
が形成され、前記破壊に対する強度の向上を図ってい
る。また溝の反射面以外は、モールド後の離型(光半導
体装置の抜き特性)を向上させるためにある角度を持た
せている。当然外形形状もこの離型特性向上のため、抜
き方向と平行にならないように角度を持たせている。
設けられている。しかしレンズLは、楕円レンズでも良
い。この光半導体装置は、IrDA様に形成されたもの
で、上の受光素子が形成されている所のレンズLは、外
部からの光信号を効率よく、受光素子の光検出領域に光
が当たるように設計されている。また下のLEDは、発
光された光を、別の光半導体装置の検出領域に到達する
ように設計されている。
採用して後述する。
もので、実質直方体の樹脂封止体(前述の如く離型性が
考えられ、テーパー面が形成されても良い。)に反射面
26を有する手段(以下プリズム体40と呼ぶ。)を固
着したものである。このプリズム体40と樹脂封止体
は、少なくとも点線で示した光路が所定の光に対して透
過性を有する材料である必要がある。また屈折を考える
と図1の様に、両者が一体の構造が好ましい。しかし個
別部品にして固着しても良い。この場合、固着する接着
剤も含めて屈折率が実質同一のものが好ましい。
る。前述したよう例えばプリント基板、セラミック基
板、絶縁性金属基板、TAB等の樹脂フィルムに実装で
きると述べた。
して採用するもので、半導体ベアチップ等の能動素子、
受動素子が半田等により固着され、光半導体装置も含め
て所定の機能が実現されている。またプリント基板で
は、モールドしたチップで構成されている場合もある。
に形成され、この中にエポキシ樹脂等が充填されている
のが一般的であるが、点線から右側の領域は、少なくと
も所定の光に対して透過である材料が好ましい。またこ
の場合、光の光路に該当する部分は、光に対して透過な
材料で構成する必要がある。またフルモールドで形成す
る場合は、全てが光に対して透過な材料で構成する必要
がある。
ルドで封止されている場合が多く、この場合、全てが所
定の光に対して透過な材料が好ましい。更にはプリント
基板等は、一般的モールドされたチップを使用するた
め、点線から右側だけ封止しても良い。しかし一般的に
は、単に図1の光半導体装置を図12のように実装した
方が合理的である。
属で構成されるカンタイプに応用したものであり、図番
43がセラミックパッケージ、44が金属より成るカン
であり、両者ともに光に対して非透過の材料であり、中
が中空構造である。従ってこの場合、蓋となる部分に反
射面を有する光に対して透過なプリズム体45、46が
設けられ、点線のように光は90度曲げられ、水平方向
に射出または入射される。ここの図は、封止体の説明に
用いたため、具体的なリード、電極、金属細線等は省略
した。
たが、このリードフレーム以外にも半導体分野で使用さ
れているリードフレームは全て使用可能である。しかし
モールド時の樹脂圧によるアイランドの安定性を考えた
なら、吊りリードが相対向する側辺にあった方がよい。
またアイランドの四つの角部から延在されているいわゆ
る4方向吊りリードも、アイランドの安定性を向上さ
せ、製品の光の方向性を一定にさせるための重要な構造
である。
えばエレクトロニクス(1997年10月号、74頁〜)
に述べているように、パッケージのリードを基板のスル
ーホールに挿入するタイプ、つまりリード挿入型として
は、インライン型ののSIP、HSIP、ZIP、デュ
アルライン型のDIP、HDIP、SDIP、WDI
P、PGA(ピングリッドアレイ)、また基板の表面に半
田クリーム等を用いて直接半田付けする表面実装型とし
ては、SVP、SOP、SSOP、TSOP、HSO
P、QFP、TQFP、HQFP、QFN、SOJ、Q
FJ、BGA、LGA、DTP、QTP等が考えられ
る。
が採用できるし、最近特に話題を呼んでいるCSP、B
GAでも可能である。
いて説明したものである。これは金属ケース47の中に
回路素子が半田付けされたプリント基板48が入ったも
ので、このケース47からの光の出入り口は、口が開い
ているか、または透過な材料、例えばガラスやプラスチ
ックが設けられている。光半導体装置50は、ここで
は、基板と一緒にモールドしたものが示されているが、
図1のような部品を実装したものでも良い。図10は、
ICカードの概略平面図を示したもので、右側より、光
が発光されて外部に発射され、また外部からの光を取り
入れ、光ICで光信号を電気信号に変えている。この変
換された信号は、例えばフラッシュメモリ、FRAM等
のメモリに記憶される。
たもので、パーソナルコンピュータ48とICカード4
9のIrDAを実現させたものである。ICカードの電
源としては、ICカード内に電池を内蔵させたもの、コ
イルを用いて電磁誘導したもの等が考えられる。また光
は、データー量が多くスピードも早いため、高速の光通
信が可能となる。更には、電気信号のやりとりと違い、
信号のための電気的接続は不要となるため、電気的接続
不良による信頼性低下が全くなくなる。
本光半導体装置52、53を実装したもので、ボード間
の信号のやりとりを実現した構造を示している。また図
1の反射面をハーフミラーとして光信号を上方にも透過
させたものである。ボード54にも光半導体装置55が
実装され、ボード裏面の光半導体装置56と上下方向で
光通信を実現している。従って、水平、上下に配置され
たサーキットボードの信号のやりとりに必要な電気的配
線は、不要となる。
再現したものである。レーザ60から出た光は、本光半
導体装置61のハーフミラーの反射面を介して一端記録
媒体62に飛び、この光が反射してハーフミラーの反射
面を介して光半導体装置の光ICに入り、記録媒体の
1、0の状況を判断する。
レーザ64も一体封止されたものであり、発光面、受光
面および媒体は、直線上に配置されたものである。ま
た、図1の左上の様にレーザと受光素子が取り付けら
れ、紙面に対して上方に媒体が取り付けられたトライア
ングル構造では、反射面の角度の調整が必要となる。
絞るためにレンズLを取り付けた方が良いため、封止体
の側面に図19のようにレンズL2を取り付けた。しか
し以下の問題が有った。つまり中心Pを通るレンズL2
の最端部OS(レンズL2の最大突出点)が、上金型7
1側に有ったため、封止後、封止体が離型できない問題
が発生した。
なかった。つまりレンズの最端部OSに対応する部分
は、上に向いているため離型性については全く考慮する
必要がなかった。
また実装基板を下金型70に当接する等の制約条件から
どうしても上金型71と下金型70にまたがるようにレ
ンズLを形成しなければならない。
部OSと上下金型70、71の接合面72は、一致させ
る必要がある。また反射面26は、レンズL1の下端部
Vと焦点をPを結ぶ線分R2が交差するように深く形成
しなければならない。図では、焦点が半導体チップの表
面に一致するように形成しているが、ある面積を有した
スポット上にするには、焦点Pから若干前後させる必要
があり、その場合も線分R2は反射面と交差するように
形成されなければならない。ここでR1、R2は、球面
L1の半径と成る。
際、下金型70に埋め込まれる。また樹脂バリを考える
と、リード22の表面と接合面は、一致させる必要があ
る。従って、最端部OSの位置とリード22の表面は、
仮想的に同一平面を構成する必要がある。
金型からの離型が容易となる。
けることで光を側面に入射させることができ、しかも金
型の接合部にレンズの最端部を位置させることで、本光
半導体装置の離型性を向上させることができる。
ら発射さることができ、しかも金型内で成型された本光
半導体装置の離型性を向上させることができる。
焦点で形成される仮想線分を、前記反射面と交差させる
事で、効率の良い反射が実現できる。
図である。
図である。
る。
る。
ある。
図である。
導体装置を実装した図である。
用した図である。
用した図である。
図である。
り付けた図である。
る。
説明する図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 上面を受光面とする半導体チップと、前
記半導体チップを封止し、少なくとも所定の光に対して
透明な樹脂封止体と、前記受光面の垂線と交差する位置
に設けられ、前記樹脂封止体に設けられて成る反射面
と、前記樹脂封止体の側面に一体成型で形成された凸状
のレンズとを有し、 前記レンズの飛び出しに方向に沿った最端部と前記樹脂
封止体を封止する上下金型の接合部は、実質一致するこ
とを特徴とした光半導体装置。 - 【請求項2】 上面を発光面とする半導体チップと、前
記半導体チップを封止し、少なくとも所定の光に対して
透明な樹脂封止体と、前記受光面の垂線と交差し、前記
樹脂封止体に設けられて成る反射面と、前記樹脂封止体
の側面に一体成型で形成された凸状のレンズとを有し、 前記レンズの飛び出しに方向に沿った最端部と前記樹脂
封止体を封止する上下金型の接合部は、実質一致するこ
とを特徴とした光半導体装置。 - 【請求項3】 前記樹脂封止体は、リードを有し、実質
リードの上面と前記最端部とは同一面を構成する請求項
1または2記載の光半導体装置。 - 【請求項4】 前記レンズの最下端部と前記レンズの焦
点で形成される仮想線分は、前記反射面と交差する請求
項1、2または3記載の光半導体装置。 - 【請求項5】 受光面(または発光面)を有する半導体
チップが少なくとも固着された実装基板を下金型に配置
し、 下金型と接合する上金型と前記下金型を接合し、 前記上金型と前記下金型とで成る空間に、少なくとも所
定の光に対して透明な樹脂を注入して前記半導体チップ
を封止する光半導体装置の製造方法に於いて、 前記上金型には、受光面(または発光面)の垂線と交差
する位置に設けられ、前記樹脂封止体に設けられる反射
面となる部分が設けられ、 前記樹脂封止体の側面に一体成型で形成されるレンズの
飛び出しに方向に沿った最端部と上金型または下金型の
接合部を実質一致させた状態で封止し、 後に、前記光半導体装置を金型から離型することを特徴
とした光半導体装置の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10245241A JP2000077683A (ja) | 1998-08-31 | 1998-08-31 | 光半導体装置およびその製造方法 |
| US09/291,202 US6252252B1 (en) | 1998-04-16 | 1999-04-14 | Optical semiconductor device and optical semiconductor module equipped with the same |
| KR10-1999-0013419A KR100459347B1 (ko) | 1998-04-16 | 1999-04-15 | 광 반도체 장치 및 이것을 실장한 광 반도체 모듈 |
| CNB991048911A CN1175497C (zh) | 1998-04-16 | 1999-04-16 | 光半导体装置及其装配的光半导体模块 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100714738B1 (ko) * | 2001-10-23 | 2007-05-04 | 덴끼 가가꾸 고교 가부시키가이샤 | 시멘트 혼화재, 시멘트 조성물 및 그것을 사용한 시멘트콘크리트 |
| JP2009014901A (ja) * | 2007-07-03 | 2009-01-22 | Totoku Electric Co Ltd | 液晶表示ユニット |
-
1998
- 1998-08-31 JP JP10245241A patent/JP2000077683A/ja active Pending
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| JP2009014901A (ja) * | 2007-07-03 | 2009-01-22 | Totoku Electric Co Ltd | 液晶表示ユニット |
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