JP2000102702A - 真空脱気装置 - Google Patents
真空脱気装置Info
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- JP2000102702A JP2000102702A JP10273309A JP27330998A JP2000102702A JP 2000102702 A JP2000102702 A JP 2000102702A JP 10273309 A JP10273309 A JP 10273309A JP 27330998 A JP27330998 A JP 27330998A JP 2000102702 A JP2000102702 A JP 2000102702A
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- vacuum
- vacuum vessel
- liquid
- permeable membrane
- vessel
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- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空容器の内部を減圧するための動作と真
空容器内部で発生した結露を真空容器の外に排出させる
ための動作を１台の真空ポンプだけで同時に或いは別々
に行なうことが可能な真空脱気装置を提供すること。 【解決手段】 気体のみを通し液体の透過を阻止する透
過膜５を真空容器１内に設け、該真空容器内を真空ポン
プ２で減圧することにより上記透過膜を通して被脱気液
体から溶存気体を脱気する真空脱気装置において、前記
真空容器１に排気用口３と排水用口４を設けると共に、
複数のヘッド21ａ，21ｂを備えた真空ポンプ２を用い、
該真空ポンプの一方のヘッド21ａを上記排気用口３側に
接続せしめ他方のヘッド21ｂを上記排水用口４側に接続
せしめた。
空容器内部で発生した結露を真空容器の外に排出させる
ための動作を１台の真空ポンプだけで同時に或いは別々
に行なうことが可能な真空脱気装置を提供すること。 【解決手段】 気体のみを通し液体の透過を阻止する透
過膜５を真空容器１内に設け、該真空容器内を真空ポン
プ２で減圧することにより上記透過膜を通して被脱気液
体から溶存気体を脱気する真空脱気装置において、前記
真空容器１に排気用口３と排水用口４を設けると共に、
複数のヘッド21ａ，21ｂを備えた真空ポンプ２を用い、
該真空ポンプの一方のヘッド21ａを上記排気用口３側に
接続せしめ他方のヘッド21ｂを上記排水用口４側に接続
せしめた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空容器の内部に
気体のみを通し液体の透過を阻止する透過膜を設け、真
空容器内を真空ポンプで減圧することにより上記透過膜
を通して被脱気液体から溶存気体を脱気するようにした
真空脱気装置に関するものである。
気体のみを通し液体の透過を阻止する透過膜を設け、真
空容器内を真空ポンプで減圧することにより上記透過膜
を通して被脱気液体から溶存気体を脱気するようにした
真空脱気装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種の真空脱気装置では、真空容器内
を真空ポンプで減圧すると、被脱気液体に溶け込んでい
た溶存気体やガス化した被脱気液体が透過膜を通して真
空容器内に放出され、それらの気体が圧力や温度の変化
等によって凝集して結露が発生し液体となって真空容器
内に溜まることがある。真空容器内に結露が発生する
と、真空容器内部における真空度の低下を来たすだけで
なく、結露が進んで透過膜が結露した液体に覆われると
脱気装置としての脱気効率が大幅に低下してしまう不具
合を生じる。更に、真空容器内に結露が発生すると、結
露した液体が真空ポンプ内に浸入しやすくなり、その結
果真空ポンプの寿命が短くなってしまうなどの不具合を
生じる。
を真空ポンプで減圧すると、被脱気液体に溶け込んでい
た溶存気体やガス化した被脱気液体が透過膜を通して真
空容器内に放出され、それらの気体が圧力や温度の変化
等によって凝集して結露が発生し液体となって真空容器
内に溜まることがある。真空容器内に結露が発生する
と、真空容器内部における真空度の低下を来たすだけで
なく、結露が進んで透過膜が結露した液体に覆われると
脱気装置としての脱気効率が大幅に低下してしまう不具
合を生じる。更に、真空容器内に結露が発生すると、結
露した液体が真空ポンプ内に浸入しやすくなり、その結
果真空ポンプの寿命が短くなってしまうなどの不具合を
生じる。
【０００３】そこで係る不具合を解消するべく、真空容
器に、真空容器の内部を減圧するための真空ポンプとは
別に、発生した結露を真空容器の外に排出させるための
排水用ポンプを接続させることが考えられるが、真空容
器内に溜まった液体を真空容器の外に排出するために
は、真空ポンプと同程度以上の吸引能力を備えたポンプ
を必要とするので、真空装置としてコスト高になると同
時に大型化してしまい、製品価値の低いものとなってし
まう。
器に、真空容器の内部を減圧するための真空ポンプとは
別に、発生した結露を真空容器の外に排出させるための
排水用ポンプを接続させることが考えられるが、真空容
器内に溜まった液体を真空容器の外に排出するために
は、真空ポンプと同程度以上の吸引能力を備えたポンプ
を必要とするので、真空装置としてコスト高になると同
時に大型化してしまい、製品価値の低いものとなってし
まう。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような従
来の不具合に鑑みてなされたものであり、真空容器の内
部を減圧するための動作と真空容器内部で発生した結露
を真空容器の外に排出させるための動作を１台の真空ポ
ンプだけで同時に或いは別々に行なうことが可能な真空
脱気装置を提供せんとするものである。
来の不具合に鑑みてなされたものであり、真空容器の内
部を減圧するための動作と真空容器内部で発生した結露
を真空容器の外に排出させるための動作を１台の真空ポ
ンプだけで同時に或いは別々に行なうことが可能な真空
脱気装置を提供せんとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】斯かる目的を達成する本
発明の真空脱気装置は、気体のみを通し液体の透過を阻
止する透過膜を真空容器内に設け、該真空容器内を真空
ポンプで減圧することにより上記透過膜を通して被脱気
液体から溶存気体を脱気する真空脱気装置において、前
記透過膜を備えた真空容器に排気用口と排水用口を設け
ると共に、複数のヘッドを備えた真空ポンプを用い、該
真空ポンプの一方のヘッドを上記排気用口側に接続せし
め他方のヘッドを上記排水用口側に接続せしめてなる事
を特徴としたものである。
発明の真空脱気装置は、気体のみを通し液体の透過を阻
止する透過膜を真空容器内に設け、該真空容器内を真空
ポンプで減圧することにより上記透過膜を通して被脱気
液体から溶存気体を脱気する真空脱気装置において、前
記透過膜を備えた真空容器に排気用口と排水用口を設け
ると共に、複数のヘッドを備えた真空ポンプを用い、該
真空ポンプの一方のヘッドを上記排気用口側に接続せし
め他方のヘッドを上記排水用口側に接続せしめてなる事
を特徴としたものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施例を
図面に基づいて詳細に説明する。図中、符号１は真空容
器を示し、２は真空容器１の内部を減圧したり真空容器
１内部で発生した結露（液体）を真空容器１の外に排出
させるための真空ポンプを示す。
図面に基づいて詳細に説明する。図中、符号１は真空容
器を示し、２は真空容器１の内部を減圧したり真空容器
１内部で発生した結露（液体）を真空容器１の外に排出
させるための真空ポンプを示す。
【０００７】真空容器１には、真空容器１内部の気体を
真空容器１の外に排出させるための排気用口３と、真空
容器１内部で発生した結露（液体）を真空容器１の外に
排出させるための排水用口４を設けると共に、その内部
には、サンプル液や溶媒，緩衝液などの被脱気液体と接
触する部分に、気体のみを通し液体の透過を阻止する透
過膜５を設ける。尚、排気用口３及び排水用口４を具体
的に真空容器１のどこに設けるか格別な制約はないが、
排気用口３は真空容器１の上部に設け排水用口４は真空
容器１の下部（底部）に設けることが好ましい。
真空容器１の外に排出させるための排気用口３と、真空
容器１内部で発生した結露（液体）を真空容器１の外に
排出させるための排水用口４を設けると共に、その内部
には、サンプル液や溶媒，緩衝液などの被脱気液体と接
触する部分に、気体のみを通し液体の透過を阻止する透
過膜５を設ける。尚、排気用口３及び排水用口４を具体
的に真空容器１のどこに設けるか格別な制約はないが、
排気用口３は真空容器１の上部に設け排水用口４は真空
容器１の下部（底部）に設けることが好ましい。
【０００８】また、透過膜５は、例えばフッ素系樹脂重
合体などからなる公知の材料を用いて、チューブ状又は
膜状或いはフィルム状に形成され、真空容器１の内部に
設置される。ちなみに、図示実施例の場合、所要の長さ
を有するチューブ状に形成された透過膜５を用い、その
１本ないし複数本を真空容器１の内部に設置すると共
に、その一端側の液入口５１と他端側の液出口５２を真
空容器１の外部に臨ませ、真空容器１の内部を真空ポン
プ２でもって減圧コントロールしながら被脱気液体を液
入口５１からチューブ状透過膜５内に流通させ、液出口
５１から出てくる間に当該各被脱気液体から溶存気体を
脱気する仕組みになっている。
合体などからなる公知の材料を用いて、チューブ状又は
膜状或いはフィルム状に形成され、真空容器１の内部に
設置される。ちなみに、図示実施例の場合、所要の長さ
を有するチューブ状に形成された透過膜５を用い、その
１本ないし複数本を真空容器１の内部に設置すると共
に、その一端側の液入口５１と他端側の液出口５２を真
空容器１の外部に臨ませ、真空容器１の内部を真空ポン
プ２でもって減圧コントロールしながら被脱気液体を液
入口５１からチューブ状透過膜５内に流通させ、液出口
５１から出てくる間に当該各被脱気液体から溶存気体を
脱気する仕組みになっている。
【０００９】更に、真空容器１には、管路８ａ，８ｂを
介して１台の真空ポンプ２を連通接続させるが、この真
空ポンプ２には複数のヘッド（本実施例にあっては、２
つのヘッド）21ａ，21ｂを具備せしめ、一方のヘッド21
ａを真空容器１の排気用口３側に管路８ａを介して接続
し、他方のヘッド21ｂを真空容器１の排水用口４側に管
路８ｂを介して接続せしめる。この際、使用する真空ポ
ンプ２としては、ダイアフラム式やベーン式，ギヤ式な
どのヘッドを備えた真空ポンプであれば、どのような型
式の真空ポンプでも本発明に適用し得るものである。
尚、真空ポンプ２のヘッド数は、図示実施例のように２
個に限定されるものではなく、一台の真空ポンプ２に例
えば４つのヘッドを具備せしめ、これら一部のヘッド同
士を直列に接続したり或いは並列に接続せしめて用いて
も良い。
介して１台の真空ポンプ２を連通接続させるが、この真
空ポンプ２には複数のヘッド（本実施例にあっては、２
つのヘッド）21ａ，21ｂを具備せしめ、一方のヘッド21
ａを真空容器１の排気用口３側に管路８ａを介して接続
し、他方のヘッド21ｂを真空容器１の排水用口４側に管
路８ｂを介して接続せしめる。この際、使用する真空ポ
ンプ２としては、ダイアフラム式やベーン式，ギヤ式な
どのヘッドを備えた真空ポンプであれば、どのような型
式の真空ポンプでも本発明に適用し得るものである。
尚、真空ポンプ２のヘッド数は、図示実施例のように２
個に限定されるものではなく、一台の真空ポンプ２に例
えば４つのヘッドを具備せしめ、これら一部のヘッド同
士を直列に接続したり或いは並列に接続せしめて用いて
も良い。
【００１０】また、図中の符号６は圧力センサーを示
し、７ａ，７ｂは一定圧力で動作する逆止弁をそれぞれ
示すが、必ずしもなくとも良く、これらの圧力センサー
６や逆止弁７ａ，７ｂを設置すれば、真空容器１ａ，１
ｂ内部の圧力を精度良く適確にコントロールすることが
容易となる。
し、７ａ，７ｂは一定圧力で動作する逆止弁をそれぞれ
示すが、必ずしもなくとも良く、これらの圧力センサー
６や逆止弁７ａ，７ｂを設置すれば、真空容器１ａ，１
ｂ内部の圧力を精度良く適確にコントロールすることが
容易となる。
【００１１】而して、使用に際して真空ポンプ２を動作
させると、真空容器１の内部が所定の真空度に達してい
ない初期時にあっては、両方のヘッド21ａ，21ｂのはた
らきにより真空容器１の排気用口３及び排水用口４を通
して真空容器１の内部が減圧され、真空容器１の内部が
所定の真空度に達した後、その状態で真空容器１の液入
口５１から被脱気液体をチューブ状透過膜５内に流通さ
せると、被脱気液体が液出口５２から出てくる間にチュ
ーブ状透過膜５を通して被脱気液体から溶存気体が脱気
され真空容器１ａ，１ｂ内に放出される。そうして、使
用に伴い真空容器内に放出された溶存気体やガス化した
被脱気液体が圧力や温度の変化等によって凝集して結露
が発生し液体となって真空容器内に溜まりだすと、真空
ポンプ２の一方のヘッド21ａ側に接続せしめた真空容器
１の排気用口３を通して真空容器１内部の真空排気が行
われると同時に、同じ真空ポンプ２の他方のヘッド21ｂ
側に接続せしめた真空容器１の排水用口４を通して、真
空容器１に溜まった液体が真空容器１の外に排出され
る。
させると、真空容器１の内部が所定の真空度に達してい
ない初期時にあっては、両方のヘッド21ａ，21ｂのはた
らきにより真空容器１の排気用口３及び排水用口４を通
して真空容器１の内部が減圧され、真空容器１の内部が
所定の真空度に達した後、その状態で真空容器１の液入
口５１から被脱気液体をチューブ状透過膜５内に流通さ
せると、被脱気液体が液出口５２から出てくる間にチュ
ーブ状透過膜５を通して被脱気液体から溶存気体が脱気
され真空容器１ａ，１ｂ内に放出される。そうして、使
用に伴い真空容器内に放出された溶存気体やガス化した
被脱気液体が圧力や温度の変化等によって凝集して結露
が発生し液体となって真空容器内に溜まりだすと、真空
ポンプ２の一方のヘッド21ａ側に接続せしめた真空容器
１の排気用口３を通して真空容器１内部の真空排気が行
われると同時に、同じ真空ポンプ２の他方のヘッド21ｂ
側に接続せしめた真空容器１の排水用口４を通して、真
空容器１に溜まった液体が真空容器１の外に排出され
る。
【００１２】
【発明の効果】本発明に係る真空脱気装置は斯様に、透
過膜を備えた真空容器に排気用口と排水用口を設けると
共に、複数のヘッドを備えた真空ポンプを用い、該真空
ポンプの一方のヘッドを上記排気用口側に接続せしめ他
方のヘッドを上記排水用口側に接続せしめてなるので、
真空容器の内部を減圧するための動作と真空容器内部で
発生した結露を真空容器の外に排出させるための動作と
を、１台の真空ポンプだけで同時に或いは別々に行なう
ことが可能となる。従って、真空容器の内部が所定の真
空度に達していない初期時等には、真空容器の排気用口
側に接続せしめたヘッドと排水用口側に接続せしめたヘ
ッドが共に真空容器内部の真空度を増すためにはたら
き、その結果、真空容器の真空度を所定の設定圧にする
までの時間を大幅に短縮させることが出来ると共に、真
空容器内に溜まりはじめた液を真空容器の外に速やかに
排出させることが出来る。
過膜を備えた真空容器に排気用口と排水用口を設けると
共に、複数のヘッドを備えた真空ポンプを用い、該真空
ポンプの一方のヘッドを上記排気用口側に接続せしめ他
方のヘッドを上記排水用口側に接続せしめてなるので、
真空容器の内部を減圧するための動作と真空容器内部で
発生した結露を真空容器の外に排出させるための動作と
を、１台の真空ポンプだけで同時に或いは別々に行なう
ことが可能となる。従って、真空容器の内部が所定の真
空度に達していない初期時等には、真空容器の排気用口
側に接続せしめたヘッドと排水用口側に接続せしめたヘ
ッドが共に真空容器内部の真空度を増すためにはたら
き、その結果、真空容器の真空度を所定の設定圧にする
までの時間を大幅に短縮させることが出来ると共に、真
空容器内に溜まりはじめた液を真空容器の外に速やかに
排出させることが出来る。
【００１３】しかも、使用する真空ポンプとしては１台
で済むので、真空容器の内部を減圧するためのコントロ
ールと真空容器内部で発生した結露を真空容器の外に排
出させるためのコントロールとを１つの制御機構で行な
うことが出来、真空脱気装置としてその構造が簡単且つ
コンパクトなものとなり安価に製造することが可能とな
る。
で済むので、真空容器の内部を減圧するためのコントロ
ールと真空容器内部で発生した結露を真空容器の外に排
出させるためのコントロールとを１つの制御機構で行な
うことが出来、真空脱気装置としてその構造が簡単且つ
コンパクトなものとなり安価に製造することが可能とな
る。
【図１】 本発明の第１実施例を示す模式図。
１：真空容器 ２：真空ポンプ 21ａ，21ｂ：ヘッド ５：透過膜（チューブ状透過膜） ４：排気用口 ５：排水用口 ６：圧力センサー ７ａ，７ｂ：逆止弁 ８ａ，８ｂ：管路
Claims (1)
- 【請求項１】 気体のみを通し液体の透過を阻止する
透過膜を真空容器内に設け、該真空容器内を真空ポンプ
で減圧することにより上記透過膜を通して被脱気液体か
ら溶存気体を脱気する真空脱気装置において、前記透過
膜を備えた真空容器に排気用口と排水用口を設けると共
に、複数のヘッドを備えた真空ポンプを用い、該真空ポ
ンプの一方のヘッドを上記排気用口側に接続せしめ他方
のヘッドを上記排水用口側に接続せしめてなる事を特徴
とした真空脱気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10273309A JP2000102702A (ja) | 1998-09-28 | 1998-09-28 | 真空脱気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10273309A JP2000102702A (ja) | 1998-09-28 | 1998-09-28 | 真空脱気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000102702A true JP2000102702A (ja) | 2000-04-11 |
Family
ID=17526085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10273309A Pending JP2000102702A (ja) | 1998-09-28 | 1998-09-28 | 真空脱気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000102702A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009500172A (ja) * | 2005-07-11 | 2009-01-08 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル．ピー． | 泡からの液体及び気体の分離 |
| US7686590B2 (en) | 2003-10-10 | 2010-03-30 | Erc, Inc. | Vacuum control system |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03169302A (ja) * | 1989-11-27 | 1991-07-23 | Nitto Denko Corp | 脱気膜分離装置における真空ポンプの運転方法 |
| JPH05228305A (ja) * | 1992-01-29 | 1993-09-07 | Nippon Rensui Kk | 水中の溶存酸素の真空脱気法 |
| JPH0634785U (ja) * | 1992-10-22 | 1994-05-10 | オルガノ株式会社 | 膜脱気装置における結露水除去装置 |
| JPH08224406A (ja) * | 1995-02-22 | 1996-09-03 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 液中の溶存ガスの除去方法 |
| JPH11333205A (ja) * | 1998-05-25 | 1999-12-07 | Erc:Kk | 真空脱気装置 |
-
1998
- 1998-09-28 JP JP10273309A patent/JP2000102702A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03169302A (ja) * | 1989-11-27 | 1991-07-23 | Nitto Denko Corp | 脱気膜分離装置における真空ポンプの運転方法 |
| JPH05228305A (ja) * | 1992-01-29 | 1993-09-07 | Nippon Rensui Kk | 水中の溶存酸素の真空脱気法 |
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| JPH08224406A (ja) * | 1995-02-22 | 1996-09-03 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 液中の溶存ガスの除去方法 |
| JPH11333205A (ja) * | 1998-05-25 | 1999-12-07 | Erc:Kk | 真空脱気装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7686590B2 (en) | 2003-10-10 | 2010-03-30 | Erc, Inc. | Vacuum control system |
| JP2009500172A (ja) * | 2005-07-11 | 2009-01-08 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル．ピー． | 泡からの液体及び気体の分離 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050927 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060222 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070713 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070724 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20071225 |