JPH08332307A - 脱気装置 - Google Patents
脱気装置Info
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- JPH08332307A JPH08332307A JP14276895A JP14276895A JPH08332307A JP H08332307 A JPH08332307 A JP H08332307A JP 14276895 A JP14276895 A JP 14276895A JP 14276895 A JP14276895 A JP 14276895A JP H08332307 A JPH08332307 A JP H08332307A
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Abstract
装置を提供することにある。 【構成】 真空ポンプ１０で減圧コントロールされる複
数の真空チャンバー１，２内に各々一組の透過膜チュー
ブ３，４を設け、この透過膜チューブ３，４内に液体を
流し、チューブ壁を通して気体を透過脱気する装置にお
いて、上記複数の真空チャンバー１，２を共通の真空ポ
ンプ１０で減圧コントロールするとともに上記複数の真
空チャンバー１，２と真空ポンプ１０との間に上記複数
の真空チャンバー１，２に連通する圧力調整室７を設
け、上記各真空チャンバー１，２と圧力調整室７とを連
結する管路５，６に、各真空チャンバー１，２内の圧力
が圧力調整室７の圧力よりも高いときに開放する逆止弁
８，９を設けたことにある。
Description
実験装置等、少量の液体を扱うオンライン脱気装置に関
し、複数の液体を同時に脱気する場合の各ラインの相互
干渉を防止した脱気装置に関する。
空チャンバー内に透過膜チューブを設け、この透過膜チ
ューブ内に脱気したい液体を流し、チューブ壁を通して
気体を透過脱気する方法は分析装置、医療装置等で公知
である。
体を同時に脱気する場合、図２または図３に示す方法が
採られていた。図２に示す方法は、真空チャンバー１０
０内に複数組の透過膜チューブ２００を設け、真空チャ
ンバー１００に接続された１台の真空ポンプ３００で真
空チャンバー１００内を減圧するとともにし、この真空
チャンバー１００内の気圧を真空センサ４００によって
検出し、この検出量に基づいてコントローラ５００によ
って真空ポンプ３００を作動し、真空チャンバー１００
内の気圧を減圧コントロールするものである。
ューブ２０１（２０２）を収めた１つの真空チャンバー
１０１（１０２）を１台の真空ポンプ３０１（３０２）
で減圧し、この真空チャンバー１０１（１０２）内の気
圧を真空センサ４０１（４０２）によって検出するとと
もにコントローラ５０１（５０２）によって真空ポンプ
３０１（３０２）を作動し、真空チャンバー１０１（１
０２）内の気圧を減圧コントロールする装置を複数台用
いて複数の液体の脱気を行うものである。
チューブは気体のみを透過するのが理想であるが、少量
の液体も透過するので、図２に示したものは、透過膜チ
ューブ２００を透過した液体のガスが別の系の透過膜チ
ューブ２００を再透過して流入し、相互干渉を起こすこ
とがある。また、図３に示したものは、真空チャンバー
１０１，１０２が別なので、相互干渉は発生しないが、
各系ごとに真空ポンプ３０１，３０２やコントローラ５
０１，５０２を持っているので、装置が大型となり、か
つ、高価となる。
く小型で安価な脱気装置を提供することを目的とする。
するため、真空ポンプで減圧コントロールされる複数の
真空チャンバー内に各々一組の透過膜チューブを設け、
この透過膜チューブ内に液体を流し、チューブ壁を通し
て気体を透過脱気する装置において、上記複数の真空チ
ャンバーを共通の真空ポンプで減圧コントロールすると
ともに上記複数の真空チャンバーと真空ポンプとの間に
上記複数の真空チャンバーに連通する圧力調整室を設
け、上記各真空チャンバーと圧力調整室とを連結する管
路に、各真空チャンバー内の圧力が圧力調整室の圧力よ
りも高いときに開放する逆止弁を設けたことにある。
透過膜チューブ内を通過する間に、液体中に含まれる気
体は、透過膜チューブ壁面を透過して真空チャンバー内
に脱気されて除去される。このとき、圧力調整室よりも
真空チャンバー内の圧力が高い場合、逆止弁が開いて真
空チャンバー内の圧力を圧力調整室側に抜く。そして、
液体から排出された気体は真空ポンプを通して大気中に
排気される。逆止弁は圧力調整室内の圧力よりも高い真
空チャンバーに接続された弁のみ開くので、圧力の高い
真空チャンバー内のガスが圧力の低い真空チャンバーに
流入して相互干渉を起こすことがない。
明の一実施例を図面を参照しながら詳細に説明する。
３，４はこれら真空チャンバー１，２内にそれぞれ設け
られた透過膜チューブであり、これら透過膜チューブ
３，４は液体入り口３ａ，４ａから液体を導入し、液体
出口３ｂ，４ｂから液体を排出する間に液体中の気体を
壁面を通して透過し除去するものである。
を連結され、他端を圧力調整室７に連結された管路であ
り、この管路５，６の途中には、それぞれ逆止弁８，９
が設けられている。この逆止弁８，９は真空チャンバー
１，２の圧力が圧力調整室７より高いときに弁を開放し
て、真空チャンバー１，２内の圧力を開放するものであ
る。一方、圧力調整室７の圧力が真空チャンバー１，２
より高いときは弁は閉じた状態を保持するものである。
１，２内の圧力を設定値に保持するもので、真空ポンプ
１０によって減圧される。この圧力調整室７の圧力は真
空センサ１１によって検出され、コントローラ１２によ
って一定圧力になるように真空ポンプ１０が制御される
ものである。
作動によって真空ポンプ１０がオンすると圧力調整室７
は減圧される。圧力調整室７の圧力は真空センサ１１に
よって検出され、その検出信号がコントローラ１２に入
力される。コントローラ１２では、たとえば真空センサ
１１から入力された検出信号と予め設定された設定値と
を比較し、その補正値に基づき真空ポンプ１０を作動す
る。これによって、圧力調整室７は常時設定された真空
度になるように制御される。
チューブ３，４には液体入り口３ａ，４ａから液体が導
入され、液体出口３ｂ，４ｂから液体が排出される。こ
の液体入り口３ａ，４ａから導入されて、液体出口３
ｂ，４ｂに達する間に、液体中に含まれる気体は透過膜
チューブ３，４壁面を透過して真空チャンバー１，２内
に脱気されて除去される。透過膜チューブ３，４は内圧
と外圧の差によって、液体中の気体を真空チャンバー
１，２内に透過する。このとき、圧力調整室７よりも真
空チャンバー１，２内の圧力が高い場合、逆止弁８、９
が開いて真空チャンバー１，２内の圧力を圧力調整室７
側に抜く。そして、液体から脱気された気体は真空ポン
プ１０を通して排気される。
も高い真空チャンバー１，２に接続された弁のみ開くの
で、圧力の高い真空チャンバー１，２内のガスが圧力の
低い真空チャンバー１，２に流入して相互干渉を起こす
ことがない。たとえば、真空チャンバー１の圧力が圧力
調整室７よりも高くて、真空チャンバー２の圧力が圧力
調整室７よりも低い場合、逆止弁８は開放して、逆止弁
９は閉じている。こうして、真空チャンバー１の圧力は
圧力調整室７側に作用するが、圧力調整室７の圧力が真
空チャンバー２側に作用することはない。
調整室７内の圧力よりも高い真空チャンバー１，２に接
続された弁のみ開くので、圧力の高い真空チャンバー
１，２内のガスが圧力の低い真空チャンバー１，２に流
入して相互干渉を起こすことがない。また、複数の真空
チャンバー１，２に各々１台の真空ポンプ１０、真空セ
ンサ１１、およびコントローラ１２を共用できるので、
装置の小型化および低廉化を図ることができる。なお、
上記実施例では、２台の真空チャンバー１，２を用いた
場合について説明したが３台以上の真空チャンバーに対
しても適用できることは言うまでもない。
置によれば、以下のような効果を奏する。
トロールされる複数の真空チャンバー内に各々一組の透
過膜チューブを設け、この透過膜チューブ内に液体を流
し、チューブ壁を通して気体を透過脱気する装置におい
て、上記複数の真空チャンバーを共通の真空ポンプで減
圧コントロールするとともに上記複数の真空チャンバー
と真空ポンプとの間に上記複数の真空チャンバーに連通
する圧力調整室を設け、上記各真空チャンバーと圧力調
整室とを連結する管路に、各真空チャンバー内の圧力が
圧力調整室の圧力よりも高いときに開放する逆止弁を設
けたので、圧力の高い真空チャンバー内のガスが圧力の
低い真空チャンバーに流入して相互干渉を起こすことが
ない。また、複数の真空チャンバーに各々１台の真空ポ
ンプ、真空センサ、およびコントローラを共用できるの
で、装置の小型化および低廉化を図ることができる。
である。
Claims (1)
- 【請求項１】 真空ポンプで減圧コントロールされる複
数の真空チャンバー内に各々一組の透過膜チューブを設
け、この透過膜チューブ内に液体を流し、チューブ壁を
通して気体を透過脱気する装置において、上記複数の真
空チャンバーを共通の真空ポンプで減圧コントロールす
るとともに上記複数の真空チャンバーと真空ポンプとの
間に上記複数の真空チャンバーに連通する圧力調整室を
設け、上記各真空チャンバーと圧力調整室とを連結する
管路に、各真空チャンバー内の圧力が圧力調整室の圧力
よりも高いときに開放する逆止弁を設けたことを特徴と
する脱気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14276895A JP3602887B2 (ja) | 1995-06-09 | 1995-06-09 | 脱気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14276895A JP3602887B2 (ja) | 1995-06-09 | 1995-06-09 | 脱気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08332307A true JPH08332307A (ja) | 1996-12-17 |
| JP3602887B2 JP3602887B2 (ja) | 2004-12-15 |
Family
ID=15323141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14276895A Expired - Fee Related JP3602887B2 (ja) | 1995-06-09 | 1995-06-09 | 脱気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3602887B2 (ja) |
Cited By (10)
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-
1995
- 1995-06-09 JP JP14276895A patent/JP3602887B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JP3602887B2 (ja) | 2004-12-15 |
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