JP2000202260A - 液体の気化装置を含む流体混合装置 - Google Patents
液体の気化装置を含む流体混合装置Info
- Publication number
- JP2000202260A JP2000202260A JP11045290A JP4529099A JP2000202260A JP 2000202260 A JP2000202260 A JP 2000202260A JP 11045290 A JP11045290 A JP 11045290A JP 4529099 A JP4529099 A JP 4529099A JP 2000202260 A JP2000202260 A JP 2000202260A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- flow
- pressure
- container
- mixed gas
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- Pending
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- Mixers Of The Rotary Stirring Type (AREA)
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
- Mixers With Rotating Receptacles And Mixers With Vibration Mechanisms (AREA)
- Accessories For Mixers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】蒸気圧力の小さな液体を気化し、他のガス体と
精度良く効率的に混合し、なおかつ使用量の変動に自動
的に対応可能な混合ガス装置の提供。 【解決手段】気化すべき液体の容器と混合ガス容器の間
に制限オリフィスを設置し、両容器の容量と制限オリフ
イスの大きさを適切に選ぶ事で、気化量の調整を安定さ
せる。気化すべき液体の容器と混合ガス容器の間に流量
を測定する流量計を配置し、その検出値により気化流量
を操作制御する。
精度良く効率的に混合し、なおかつ使用量の変動に自動
的に対応可能な混合ガス装置の提供。 【解決手段】気化すべき液体の容器と混合ガス容器の間
に制限オリフィスを設置し、両容器の容量と制限オリフ
イスの大きさを適切に選ぶ事で、気化量の調整を安定さ
せる。気化すべき液体の容器と混合ガス容器の間に流量
を測定する流量計を配置し、その検出値により気化流量
を操作制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】蒸気圧の低い（気化温度の高い）
液体を気化し、他のガス体と混合する事は通常各々の装
置毎に個別に行われてきた。従来の方法では各々の装置
それぞれさ個別に対応させていたので管理も費用も割高
となつていた。しかし本装置によれば同時にしかも自由
に複数の装置に混合ガスが提供出来るようになり端末で
の使用量の自由な変動に充分対応可能な気液ガス混合装
置として使用出来るため安価でより高精度の広い使用分
野が開ける。
液体を気化し、他のガス体と混合する事は通常各々の装
置毎に個別に行われてきた。従来の方法では各々の装置
それぞれさ個別に対応させていたので管理も費用も割高
となつていた。しかし本装置によれば同時にしかも自由
に複数の装置に混合ガスが提供出来るようになり端末で
の使用量の自由な変動に充分対応可能な気液ガス混合装
置として使用出来るため安価でより高精度の広い使用分
野が開ける。
【０００２】
【従来の技術】半導体等の前工程等のエピタキシャル、
ＣＶＤ、拡散等において、液体を気化させその気化され
た流体を他のガスをキャリャーとして混合後反応装置等
内に送り込んでいた。但し混合ガスの製造は個々の装置
毎に行われており複数に分岐されて使用されていないの
が通常であった。または半導体装置直前で混合ガスを製
作するのではなく事前に混合されたガスを購入し対処し
ているのも実状である。
ＣＶＤ、拡散等において、液体を気化させその気化され
た流体を他のガスをキャリャーとして混合後反応装置等
内に送り込んでいた。但し混合ガスの製造は個々の装置
毎に行われており複数に分岐されて使用されていないの
が通常であった。または半導体装置直前で混合ガスを製
作するのではなく事前に混合されたガスを購入し対処し
ているのも実状である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】混合ガスをシリンダー
単位等で購入している為、消費したガスを補給するには
再々それらシリンダーの取り替えが必要となり、結果的
に危険が生じたり、また取り替え作業中に発生する不純
物の混入による事故や不良製品の発生につながると共に
頻繁に行われるシリンダー交換による費用の発生が無視
できなかった。本発明の装置を使用する事で、これら問
題は解決されると同時に常に同一機種（混合器）でガス
を混合する事で一定な濃度の混合ガスを供給する事を目
的とする。と同時に原液が気化した後、管路での再液化
の防止の為にも使用機器による圧力損失による原因を出
来る限り除去にする。
単位等で購入している為、消費したガスを補給するには
再々それらシリンダーの取り替えが必要となり、結果的
に危険が生じたり、また取り替え作業中に発生する不純
物の混入による事故や不良製品の発生につながると共に
頻繁に行われるシリンダー交換による費用の発生が無視
できなかった。本発明の装置を使用する事で、これら問
題は解決されると同時に常に同一機種（混合器）でガス
を混合する事で一定な濃度の混合ガスを供給する事を目
的とする。と同時に原液が気化した後、管路での再液化
の防止の為にも使用機器による圧力損失による原因を出
来る限り除去にする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明においては上述の
目的を達成するために、従たるのガスを供給する一種類
以上の管路と、その従たるガスに気化後に混合させる液
体の気化供給装置を有し、さらに液体を保温する事によ
り再液化を防ぐ手段を持ち、それらガス体は負荷側より
大きな圧力を保持又は加熱装置を有し流体の移動が可能
な状態において、制限オリフイス以後の圧力により気化
率、気化の時間を促進、制御をすると共に直列に設置さ
れた流量計により他の流路と比率制御を行う事により、
一定濃度の混合ガスを供給する。
目的を達成するために、従たるのガスを供給する一種類
以上の管路と、その従たるガスに気化後に混合させる液
体の気化供給装置を有し、さらに液体を保温する事によ
り再液化を防ぐ手段を持ち、それらガス体は負荷側より
大きな圧力を保持又は加熱装置を有し流体の移動が可能
な状態において、制限オリフイス以後の圧力により気化
率、気化の時間を促進、制御をすると共に直列に設置さ
れた流量計により他の流路と比率制御を行う事により、
一定濃度の混合ガスを供給する。
【０００５】
【作用】上記構成を有する本発明によれば混合ガスをシ
リンダー等で購入する事無く消費した混合ガスを、液体
から連続的に気化し供給する事が可能に成る結果シリン
ダー等の交換による危険や、またその取り替え作業中に
発生する不純物の混入による事故を防止すると共に頻繁
に行われるシリンダー交換による費用の低減をはかる事
が出来る。同時に製造設備が同一機種（混合器）で行わ
れる事により、常に一定な濃度の混合ガスを供給出来
る。原液の液化から混合ガス容器までの間に調節弁等圧
力損失のある部品を削除する事により再液化が防ぐ事が
出来る。請求項３においては更に一種の圧力損失源であ
る制限オリフイスを削除可能な事でよりいっそう再液化
等し難い混合器の製造を可能にした。
リンダー等で購入する事無く消費した混合ガスを、液体
から連続的に気化し供給する事が可能に成る結果シリン
ダー等の交換による危険や、またその取り替え作業中に
発生する不純物の混入による事故を防止すると共に頻繁
に行われるシリンダー交換による費用の低減をはかる事
が出来る。同時に製造設備が同一機種（混合器）で行わ
れる事により、常に一定な濃度の混合ガスを供給出来
る。原液の液化から混合ガス容器までの間に調節弁等圧
力損失のある部品を削除する事により再液化が防ぐ事が
出来る。請求項３においては更に一種の圧力損失源であ
る制限オリフイスを削除可能な事でよりいっそう再液化
等し難い混合器の製造を可能にした。
【０００６】
【実施例】以下、図１に示す一実施例に基づき本発明を
説明する。
説明する。
【０００７】本発明に係わる混合ガス供給装置は、図１
に示す如く気化させて使用する原料液体とそれを運ぶた
めのキャリャーガスとを混合し半導体製造装置等に供給
する構成になっている。
に示す如く気化させて使用する原料液体とそれを運ぶた
めのキャリャーガスとを混合し半導体製造装置等に供給
する構成になっている。
【０００８】図１における如く従たるガス体を圧力制御
弁９の入力側に接続しその後流に遮断弁１４ａ、質量流
量調節計１、遮断弁１４ｂ、ミキサー１０において主流
と合流後、混合ガス容器１３の順に接続する。一方主た
る原料液体（以後低蒸気圧液体と呼ぶ）を調整弁１７を
介して容器１２に供給出来るように接続し、以下制限オ
リフイス１１、遮断弁１４ｃ、質量流量計２、遮断弁１
４ｄ、ミキサー１０において従たるガスと合流後混合ガ
ス容器１３に接続する。
弁９の入力側に接続しその後流に遮断弁１４ａ、質量流
量調節計１、遮断弁１４ｂ、ミキサー１０において主流
と合流後、混合ガス容器１３の順に接続する。一方主た
る原料液体（以後低蒸気圧液体と呼ぶ）を調整弁１７を
介して容器１２に供給出来るように接続し、以下制限オ
リフイス１１、遮断弁１４ｃ、質量流量計２、遮断弁１
４ｄ、ミキサー１０において従たるガスと合流後混合ガ
ス容器１３に接続する。
【０００９】液体容器１２に供給された低蒸気圧液体の
液面の高さの調整又は液体の補給は液面検出器１６の検
出値として調節計１５により目標値と比較し調整弁１７
操作部として自動調整される。
液面の高さの調整又は液体の補給は液面検出器１６の検
出値として調節計１５により目標値と比較し調整弁１７
操作部として自動調整される。
【００１０】この実施例図１においては従たるガス体は
圧力制御弁９により質量流量調節計１に減圧して供給さ
れている。調整弁１７を介して供給された低蒸気圧液体
は周囲を保温又は一定温度に保持可能な、しかも低蒸気
圧液体を気化させる為のエネルギー変換部（発熱部）を
持った液体容器１２に供給されている。
圧力制御弁９により質量流量調節計１に減圧して供給さ
れている。調整弁１７を介して供給された低蒸気圧液体
は周囲を保温又は一定温度に保持可能な、しかも低蒸気
圧液体を気化させる為のエネルギー変換部（発熱部）を
持った液体容器１２に供給されている。
【００１１】一方供給された低蒸気圧液体は混合ガス容
器１３内がカスケード制御設定器６により設定された圧
力になるように混合ガス容器１３に設置された圧力検出
器３の出力と比較されその偏差信号は温度調節計７の設
定信号として働き、その設定信号は温度計４とエネルギ
ー変換部（発熱部）８を操作して低蒸気圧液体を必要量
に応じて圧力が設定値になるように気化させる。混合ガ
ス容器１３の圧力はエネルギー変換部８によって徐々に
設定値に近づくがやがて設定された規定圧力となり、エ
ネルギー変換部８への熱供給はゼロとなり安定する。し
かしこの時当然ながら液体容器以後の部分は大気に接し
ており、エネルギーの損失は発生する訳で外部から加温
しない限り圧力は低下するし、さらに混合ガス容器以後
の管路において混合ガスを消費すれば当然混合容器１３
内の圧力は低下し新しい原料液体およびガスを必要とす
る。この場合の要求される原料液体は当然液体の状態
で、気化しない限り規定の圧力とはならずその為には新
たな要求として、混合ガス容器１３の圧力低下により、
エネルギー変換部に加温という外力が必要となる。
器１３内がカスケード制御設定器６により設定された圧
力になるように混合ガス容器１３に設置された圧力検出
器３の出力と比較されその偏差信号は温度調節計７の設
定信号として働き、その設定信号は温度計４とエネルギ
ー変換部（発熱部）８を操作して低蒸気圧液体を必要量
に応じて圧力が設定値になるように気化させる。混合ガ
ス容器１３の圧力はエネルギー変換部８によって徐々に
設定値に近づくがやがて設定された規定圧力となり、エ
ネルギー変換部８への熱供給はゼロとなり安定する。し
かしこの時当然ながら液体容器以後の部分は大気に接し
ており、エネルギーの損失は発生する訳で外部から加温
しない限り圧力は低下するし、さらに混合ガス容器以後
の管路において混合ガスを消費すれば当然混合容器１３
内の圧力は低下し新しい原料液体およびガスを必要とす
る。この場合の要求される原料液体は当然液体の状態
で、気化しない限り規定の圧力とはならずその為には新
たな要求として、混合ガス容器１３の圧力低下により、
エネルギー変換部に加温という外力が必要となる。
【００１２】次に圧力が定常状態になっており混合ガス
の消費が始まった時の動作に付いて説明する。安定した
圧力において混合ガスの消費が始まると液体容器１２と
混合ガス容器１３との間に挟まれた制限オリフィス１１
の前後に差圧が発生する事となり、その差圧の発生の大
きさ、応答速度は液体容器１２と混合ガス容器１３の容
積の大きさと制限オリフイス１１の抵抗力に依存する。
例えば液体容器１２が混合ガス容器１３よりより大きな
場合は制限オリフイス１１の抵抗力により即座に差圧が
発生する事となり結果、混合ガス容器の圧力検出器３の
値は素早く、より小さくなり制御系はより大きな訂正動
作を行う事になる。一方液体容器１２より混合ガス容器
１３がより大きな場合、混合ガス容器１３の容積が一種
のクッション的な役目を果たし消費流量が変化しても混
合ガス容器１３の圧力は徐々にしか変動しない。その結
果制限オリフィス１１前後における差圧は発生しにく
く、混合ガス容器の圧力検出器３の値もより緩やかで、
その結果制御系の訂正動作は緩やかとなる。本発明にお
いてはこのように制限オリフイス１１を両端の液体容器
１２、混合ガス容器１３で接続する事とその容積容量を
適切に選択する事で、消費流量の変動により、より安定
に液体の気化供給を行おうとするものである。この時低
蒸気圧液体が再液化しない様に液体容器１２以後の回路
は必要に応じて保温されているのは当然な事である。
の消費が始まった時の動作に付いて説明する。安定した
圧力において混合ガスの消費が始まると液体容器１２と
混合ガス容器１３との間に挟まれた制限オリフィス１１
の前後に差圧が発生する事となり、その差圧の発生の大
きさ、応答速度は液体容器１２と混合ガス容器１３の容
積の大きさと制限オリフイス１１の抵抗力に依存する。
例えば液体容器１２が混合ガス容器１３よりより大きな
場合は制限オリフイス１１の抵抗力により即座に差圧が
発生する事となり結果、混合ガス容器の圧力検出器３の
値は素早く、より小さくなり制御系はより大きな訂正動
作を行う事になる。一方液体容器１２より混合ガス容器
１３がより大きな場合、混合ガス容器１３の容積が一種
のクッション的な役目を果たし消費流量が変化しても混
合ガス容器１３の圧力は徐々にしか変動しない。その結
果制限オリフィス１１前後における差圧は発生しにく
く、混合ガス容器の圧力検出器３の値もより緩やかで、
その結果制御系の訂正動作は緩やかとなる。本発明にお
いてはこのように制限オリフイス１１を両端の液体容器
１２、混合ガス容器１３で接続する事とその容積容量を
適切に選択する事で、消費流量の変動により、より安定
に液体の気化供給を行おうとするものである。この時低
蒸気圧液体が再液化しない様に液体容器１２以後の回路
は必要に応じて保温されているのは当然な事である。
【００１３】実施例１ではガス体空間部を有する液体容
器、使用流量に応じて差圧の発生する制限オリフイス、
流量計、圧力変換器を設置した応答を円滑にするための
混合ガス容器のように接続して行ったが、実施例２にお
いてはこの組み合わせを液体容器、流量計、使用流量に
応じて差圧の発生する制限オリフイス、圧力変換器を設
置した応答を円滑にするための混合ガス容器としたが何
ら問題はなかった。
器、使用流量に応じて差圧の発生する制限オリフイス、
流量計、圧力変換器を設置した応答を円滑にするための
混合ガス容器のように接続して行ったが、実施例２にお
いてはこの組み合わせを液体容器、流量計、使用流量に
応じて差圧の発生する制限オリフイス、圧力変換器を設
置した応答を円滑にするための混合ガス容器としたが何
ら問題はなかった。
【００１４】実施例３として、制限オリフィス１を有せ
ず、さらに小さな差圧でも動作可能である事を確かめ
た。先の方法によれば応答速度と消費量変動を各機器お
よび制限オリフイス等の圧力差として求め利用したが、
本実施例３においても混合ガス容器１３に接続された圧
力変換器の出力で液体容器１２の気化量を発生させる主
たる方法には変わりはない。しかし一度原料液体が気化
して発生したガスとなった管路、液体容器１２、混合ガ
ス容器１３において流体の消費が始まると当然、液体容
器１２、混合ガス容器１３に挟まれた流量計は作動しそ
の結果流量信号を出す事になる。言換えるとこの信号を
比率制御信号源として使用する事は当然としてさらに圧
力変換器３の信号に加減算等の演算を加える事で消費流
量に対応した気化を促進する事が可能ととなる。さらに
言換えるとこれら事象は制限オリフィス１１と同等な役
目をするし原液の液化から混合ガス容器までの間から制
限オリフィス１１を削除する事により再液化が防ぐ事が
出来き使用範囲を広くした。
ず、さらに小さな差圧でも動作可能である事を確かめ
た。先の方法によれば応答速度と消費量変動を各機器お
よび制限オリフイス等の圧力差として求め利用したが、
本実施例３においても混合ガス容器１３に接続された圧
力変換器の出力で液体容器１２の気化量を発生させる主
たる方法には変わりはない。しかし一度原料液体が気化
して発生したガスとなった管路、液体容器１２、混合ガ
ス容器１３において流体の消費が始まると当然、液体容
器１２、混合ガス容器１３に挟まれた流量計は作動しそ
の結果流量信号を出す事になる。言換えるとこの信号を
比率制御信号源として使用する事は当然としてさらに圧
力変換器３の信号に加減算等の演算を加える事で消費流
量に対応した気化を促進する事が可能ととなる。さらに
言換えるとこれら事象は制限オリフィス１１と同等な役
目をするし原液の液化から混合ガス容器までの間から制
限オリフィス１１を削除する事により再液化が防ぐ事が
出来き使用範囲を広くした。
【発明の効果】以上の説明から明らかな如く、従来の液
体の気化装置を含む流体混合装置と異なりより安定し
た、混合精度の高いガスを消費量に応じて提供できるよ
うになった。また原液の液化から混合ガス容器までの間
に調節弁等圧力損失のある部品を削除する事により再液
化が防ぐ事が出来る。請求項３においては更に一種の圧
力損失源である制限オリフイスを削除可能な事でよりい
っそう再液化等の少ない混合器の製造を可能にした。
体の気化装置を含む流体混合装置と異なりより安定し
た、混合精度の高いガスを消費量に応じて提供できるよ
うになった。また原液の液化から混合ガス容器までの間
に調節弁等圧力損失のある部品を削除する事により再液
化が防ぐ事が出来る。請求項３においては更に一種の圧
力損失源である制限オリフイスを削除可能な事でよりい
っそう再液化等の少ない混合器の製造を可能にした。
【図１】主たる管路に液体容器、制限オリフィス、質量
流量計、圧力変換器を備えた混合ガス容器を配置した場
合の総合図。
流量計、圧力変換器を備えた混合ガス容器を配置した場
合の総合図。
【図２】全体の管路中の主たる管路における制限オリフ
イス１の取付位置を質量流量計の後部に設置した図。
イス１の取付位置を質量流量計の後部に設置した図。
【図３】全体の管路中の主たる管路における制限オリフ
イス１を取り除き換りに質量流量計により消費量を測定
しその検出値によりエネルギー変換部８にフィードフホ
ワード適に制御動作させる。言換えると制限オリフイス
と液体容器、混合ガス容器を使用した場合の動作を期待
できる。
イス１を取り除き換りに質量流量計により消費量を測定
しその検出値によりエネルギー変換部８にフィードフホ
ワード適に制御動作させる。言換えると制限オリフイス
と液体容器、混合ガス容器を使用した場合の動作を期待
できる。
１ 質量流量調節計 ２ 質量流量計 ３ 圧力検出器 ４ 温度検出器 ５ 比率調節計 ６ カスケード制御設定器 ７ 温度調節計 ８ エネルギー交換部 ９ 圧力制御弁 １０ ミキサー １１ 制限オリフィス １２ 液体容器 １３ 混合ガス容器 １４ａ 遮断弁 １４ｂ 遮断弁 １４ｃ 遮断弁 １４ｄ 遮断弁 １５ 液面調節計 １６ 液面検出器 １７ 調整弁
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/205 Ｈ０１Ｌ 21/205 ５Ｆ０４５ 21/223 21/223 Ｂ
Claims (3)
- 【請求項１】液体の気化装置を含む流体混合装置におい
て、混合比率を保つ為の各流路間の流量制御は液体が気
化される管路に気化されたガス用の流量計を配置した管
路を主流とし、末端を主流に結合させたガス体の他の従
管路に設置された流量調節計との間で比率制御で行う
が、液体を気化させる主流の管路においては液体を気化
させる為のエネルギー変換部を備えたガス体空間部を有
する液体容器、使用流量に応じて差圧の発生する制限オ
リフイス、流量計、圧力変換器を設置した応答を円滑に
するための混合ガス容器、の順序で接続し気化の為のエ
ネルギー変換部の制御動作を圧力検出器の値による追従
制御系を構成する流体混合器。 - 【請求項２】液体の気化装置を含む流体混合装置におい
て、混合比率を保つ為の各流路間流量の制御は液体が気
化される管路に流量計を配置した管路を主流とし、末端
を主流に結合させたガス体の他の従管路に設置された流
量調節計との間で比率制御で行うが、液体を気化させる
主流の管路において、液体を気化させる為のエネルギー
変換部を備えたガス体空間部を有する液体容器、流量
計、使用流量に応じて差圧の発生する制限オリフイス、
圧力変換器を設置した応答を円滑にするための混合ガス
容器、の順序で接続し気化の為のエネルギー変換部の制
御動作を圧力検出器の値による追従制御系を構成する流
体混合器。 - 【請求項３】液体の気化装置を含む流体混合装置におい
て、混合比率を保つ為の各流路間流量の制御は液体が気
化された管路に流量検出器を配置した管路を主流とし、
末端を主流に結合させたガス体の他の従管路に設置され
た流量調節計との間で比率制御で行うが、液体を気化さ
せる主流の管路において、液体を気化させる為の圧力変
換器を設置したエネルギー変換部を備えたガス体空間部
を有する液体容器、流量計、圧力変換器を設置した応答
を円滑にするための混合ガス容器、の順序で接続し気化
の為のエネルギー変換部の制御動作は圧力検出器の値に
よる追従制御で行うが消費量の変動に際しては、圧力検
出値による制御に頼るだけでなく主流に設置された質量
流量計の値を圧力検出値に流量信号値の符号変換を含む
加減算等演算を付加する事でエネルギー変換部の応答を
早めることの可能な流体混合器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11045290A JP2000202260A (ja) | 1999-01-14 | 1999-01-14 | 液体の気化装置を含む流体混合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11045290A JP2000202260A (ja) | 1999-01-14 | 1999-01-14 | 液体の気化装置を含む流体混合装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000202260A true JP2000202260A (ja) | 2000-07-25 |
Family
ID=12715193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11045290A Pending JP2000202260A (ja) | 1999-01-14 | 1999-01-14 | 液体の気化装置を含む流体混合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000202260A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104003763A (zh) * | 2014-06-12 | 2014-08-27 | 崔洁心 | 一种稀土全光谱热能转换陶瓷悬浮液的制备装置和应用装置 |
| CN106338003A (zh) * | 2015-07-10 | 2017-01-18 | 江苏深绿新能源科技有限公司 | 一种新型卧式低温绝热气瓶及其增降压实现方法 |
| CN109237304A (zh) * | 2018-06-04 | 2019-01-18 | 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 | 电气设备混合绝缘气体配制灌充系统 |
-
1999
- 1999-01-14 JP JP11045290A patent/JP2000202260A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104003763A (zh) * | 2014-06-12 | 2014-08-27 | 崔洁心 | 一种稀土全光谱热能转换陶瓷悬浮液的制备装置和应用装置 |
| CN106338003A (zh) * | 2015-07-10 | 2017-01-18 | 江苏深绿新能源科技有限公司 | 一种新型卧式低温绝热气瓶及其增降压实现方法 |
| CN109237304A (zh) * | 2018-06-04 | 2019-01-18 | 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 | 电气设备混合绝缘气体配制灌充系统 |
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