JP2000210875A - 回転研磨具 - Google Patents

回転研磨具

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JP2000210875A
JP2000210875A JP11012116A JP1211699A JP2000210875A JP 2000210875 A JP2000210875 A JP 2000210875A JP 11012116 A JP11012116 A JP 11012116A JP 1211699 A JP1211699 A JP 1211699A JP 2000210875 A JP2000210875 A JP 2000210875A
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JP
Japan
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polishing
body layer
polishing plate
rotary
plate piece
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Pending
Application number
JP11012116A
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English (en)
Inventor
Seizo Tsuji
精三 辻
Atsushi Uemura
敦 植村
Shigeo Suzuki
成雄 鈴木
Fukuichi Kitani
福一 木谷
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NIYUUREJISUTON KK
Original Assignee
NIYUUREJISUTON KK
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】研磨体層の構成要素として板片状の研磨板片を
用いる回転研磨具に於いて、研磨体層の内,外周部間で
生ずる研磨面の高さ並びに硬度の不均一性を解消するこ
とを目的とする。 【解決手段】回転基板3と、該基板3上の周辺部沿いに
形成された研磨体層2とを備え、該研磨体層2が、上記
基板3上の周辺部を周回するように傾斜積み重ね状態に
敷き詰められた多数枚の矩形状研磨板片1から構成され
た回転研磨具に於いて、上記研磨板片1は矩形を基本形
状とし、下端側に於いて回転基板面に接着固定され、上
端側は内周端側から外周側に向けて切り落とし幅が漸進
的に小さくなるように斜め裁断されていることを特徴と
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は回転研磨具、詳しく
は研磨体層を多数枚の板片状研磨板片の傾斜積み重ねに
より構成する回転研磨具に関する。
【0002】
【従来の技術】回転研磨具に於いて、研磨体層を多数枚
の研磨板片の傾斜積み重により構成することは、例えば
特開昭50−85985号公報から公知である。この公
知の回転研磨具に於いては、矩形状の研磨板片の多数枚
が、回転基板の周辺部を周回するように傾斜積み重ね状
態に敷き詰められ、研磨板片は下端側が回転基板面への
接着固定部を、また上端側が研磨体層の表面に於いて研
磨面を構成している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記構成の回転研磨具
によれば、研磨体層表面の研磨面側では、研磨板片の上
端側が磨滅して行くに従い、その下側の研磨板片部分が
次々と新しい研磨面として現れ出てくるので、長期間に
亘って継続使用できる。
【0004】図5〜7は従来のこの種回転研磨具の一例
を示し、図5は矩形状の研磨板片aの傾斜積み重ね途中
の状況を、図6は上記研磨板片aの傾斜積み重ねにより
構成された研磨体層bの状況を、図7は回転基板cの半
径線l上に於ける研磨体層bの断面形状を示している。
図7から明らかなように、研磨体層bの研磨面b1は内
周側から外周側に向けて下がり勾配に傾斜している。図
8は研磨面b1の傾斜発生の原理説明図であり、図中、
Wは研磨体層bの円周上における一枚の研磨板片aの傾
斜設置に必要な設置幅Wを示し、例えば72枚の研磨板
片aから研磨体層bを構成する場合には、円周の長さL
(便宜的に直線で示してある)は設置幅Wの72倍に相
当し、傾斜設置された研磨板片aは内周端側では相互に
緊密に面接触する。ところが、円周の長さは、研磨体層
bの外周寄りほど漸進的に大きくなるので、研磨板片a
の傾斜設置角度θを内周端から外周端まで一定となるよ
うに傾斜設置した場合には、傾斜積み重ねされた研磨板
片a…の相互間に、外周端ほど大きい隙間が発生し、積
み重ね密度に大きなばらつきが発生し、これでは実用に
供し得ない。従来ではこのような問題を解決するため
に、研磨板片aに外周端側ほど傾斜設置角度θが漸進的
に小さくなるように捻れを強制的に与え、研磨板片a,
a間に生ずる隙間を消去している。このようにすれば、
研磨体層bの内外周間で生ずる重なり密度ひいては硬度
差をある程度なくすることができる。ところが、研磨板
片aの傾斜設置角度θが外周端側ほど小さくなると、研
磨体層bの厚みが外周端側ほど小さくなり、研磨面b1
の傾斜となって現れる。
【0005】また、図9に概略的に示すように、捻りを
与えられた状態で傾斜設置された研磨板片aの傾斜設置
角度θは、内周端側で最大(実線参照)、外周端側で最
小(破線参照)となり、この最大角度θ1と最小角度θ2
との間では、研磨板片aはその保有弾性により最大角度
θ1に向けて復元しようとする傾向となる。この傾斜復
元傾向により、研磨板片aの重なり密度は内周端側では
略々設定通りに保持されるものの外周端側では研磨板片
a,aの相互間に隙間が発生する傾向となり、研磨体層
bの内,外周端間で重なり密度差ひいては硬度差となっ
て現れる。
【0006】研磨体層bの内外周間で生ずる研磨面b1
の高さや硬度の不均一性は、平面研磨の障害になるばか
りでなく、グラインダーを反動で回転方向へ滑らせ人身
事故につながる危険性もあり、好ましくない。
【0007】本発明は、研磨体層の構成要素として板片
状の研磨布紙を用いる回転研磨具に於いて、研磨体層の
内,外周部間で生ずる研磨面の高さ並びに硬度の不均一
性を解消することを目的としてなされたものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、回転基板と、
該基板上の周辺部沿いに形成された研磨体層とを備え、
該研磨体層が、上記基板上の周辺部を周回するように傾
斜積み重ね状態に敷き詰められた多数枚の矩形状研磨板
片から構成された回転研磨具に於いて、上記研磨板片は
矩形を基本形状とし、傾斜状態を基準に、下端側に於い
て回転基板面に接着固定され、上端側は内周端側から外
周側に向けて切り落とし幅が漸進的に小さくなるように
斜め裁断されていることを特徴とする回転研磨具に係
る。
【0009】本発明に於いて、研磨体層を構成している
研磨板片の上端部の斜め裁断部は、回転基板の半径線上
に略々位置させておくことが好ましい。この場合、研磨
板片の上端部の外周端寄りの部分は斜めに切り取ってお
くことが好ましい。
【0010】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の一実施形態を添
付図面に基づき説明する。図1は本発明回転研磨具に於
ける、研磨板片1の傾斜積み重ね途中の状況を、図2は
研磨板片1の傾斜積み重ねにより構成された研磨体層2
の状況を、図3は研磨体層2の回転基板3の半径線上に
於ける概略断面形状を、それぞれ示している。
【0011】本発明に於いて、研磨板片1は、従来品と
同様に、クロス等の基材に砥粒をフェノール樹脂等の合
成樹脂を結合材として付着させてなり、適度の硬度と弾
性を備えている。研磨板片1は、図1に破線で示すよう
に、矩形を基本形状とし、下端側1aに於いて回転基板
3面に傾斜設置状態に接着固定され、上端側に於いて研
磨面21を構成している。また研磨板片aには、内,外
周部間で生ずる重なり密度差ひいては硬度差を解消する
ために、従来品と同様に傾斜設置角度θ(図8参照)は
内周端側から外周端に向けて漸進的に小さくなってい
る。
【0012】本発明に於いて、研磨板片1は矩形を基本
形状とし、この基本形状から、図1に破線で示すよう
に、上端部1aが内周端側から外周側に向けて斜め裁断
線4により切り落とされている。
【0013】従来品と同様に、本発明於いても、研磨板
片1には重なり密度差を解消するために捻りが与えられ
ているので、研磨体層bの表面には傾斜が発生する傾向
となる。
【0014】本発明に於いては、研磨板片1の上端側に
は内周端側から外周端側に向けて斜め裁断が施されてい
るので、この斜め裁断により、研磨体層2の研磨面にみ
られる傾斜発生傾向を抑制乃至補正吸収でき、図3に概
略的に示すように、研磨面21の高さの不均一性を解消
できる。
【0015】また、上記構成により重なり密度ひいては
硬さの不均一性も解消される傾向となることが確認され
ている。その理由は定かでないが、研磨板片1の上端部
1aを斜め裁断により切り落とすことによって、研磨板
片1の上下幅Hが内周端側ほど漸進的に小さくなり、こ
れにより、捻りによる復元傾向(図9の矢符d参照)が
抑制され、これが微妙に影響しているものと推定され
る。
【0016】本発明に於いて、研磨板片1の上端部1a
の切り落し線上に位置する裁断線4の傾斜角度θ3(図
1参照)は広い範囲から選択できるが、90°に近づき
過ぎると高さ並びに硬度の不均一性の解消効果が充分に
得られなくなり、一方90°を基準にこれよりあまり小
さくなりすぎると逆方向の高さの不均一性を発生させる
恐れがあるので、通常は60〜80°、好ましくは72
〜75°程度の範囲内から研磨板片1の設置枚数、傾斜
設置角度、硬度、反発弾性、厚み等を考慮し、適宜選択
決定される。
【0017】本発明に於いて、研磨板片1は、図1,2
に示すように、上端の辺(裁断線4に相当する)が被研
磨面に直角に当たるように回転基板3の半径線5上に略
々位置するように、傾斜積み重ねされていることが好ま
しい。この場合、研磨板片1の上端の辺4の外周側寄り
の部分が被研削面に対し鋭角で当たると、被研削面に対
し深傷を与える恐れがあるので、図1,2に示すよう
に、斜めカット線6により外側の部分を切り落としてお
くことが好ましい。
【0018】以下に本発明と従来品との比較試験結果を
示す。
【0019】市販の研磨布を裁断し、研磨板片1を作製
した。研磨板片1の寸法形状は、図4に示す通りであ
る。 上記研磨板片1の72枚を回転基板3の面に常法
に従い傾斜積み重ねて研磨体層bを構成し、本発明品を
得た。一方本発明品とは、研磨板片が矩形状を有してい
るいる以外は同じ構成の図5,6に示すタイプの従来品
を得た。そして、本発明品及び比較品の回転基板の半径
線上に於ける点内周部p1、中間部p2及び外周部p3
の3点に於ける研磨体層の高さ及び硬度に付き測定し、
その結果を次表(n=10の平均値)に示す。尚、硬度
は加重5kgに於ける変形量(mm)で示した。
【0020】 表 高さ(mm) 変形量(mm) 本発明品 p1 7.68 0.15 〃 p2 7.65 0.36 〃 p3 7.58 0.64 従来品 p1 8.63 0.15 〃 p2 8.09 0.67 〃 p3 7.43 1.63 上表の通り、本発明によれば、研磨体層の内,外周部間
の高さ並びに硬度のばらつきを殆どなくすることができ
る。
【0021】
【発明の効果】本発明によれば、回転研磨具の研磨体層
の内,外周部間に生ずる高さ並びに硬度の不均一性を解
消でき、品質性能を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態を示す研磨板片の傾斜積み
重ね途中の状況を示す平面図である。
【図2】同、研磨板片の傾斜積み重ねにより構成された
研磨体層の平面図である。
【図3】同、回転基板の半径線上に於ける研磨体層の断
面形状を概略的に示す説明図である。
【図4】同、研磨板片の形状、寸法の一例を示す平面図
である。
【図5】従来品の研磨板片の傾斜積み重ね途中の状況を
示す平面図である。
【図6】同、研磨板片の傾斜積み重ねにより構成された
研磨体層の平面図でる。
【図7】同、回転基板の半径線上に於ける研磨体層の断
面形状を概略的示す説明図である。
【図8】同、研磨板片の設置幅Wと設置傾斜角度θとの
関係を示す説明図でる。
【図9】研磨板片の捻り復元傾向を示す説明図である。
【符号の説明】
1 研磨板片 2 研磨体層 3 回転基板 4 斜め裁断線 5 半径線 6 斜めカット線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 成雄 大阪府貝塚市木積2062番地 ニューレジス トン株式会社内 (72)発明者 木谷 福一 大阪府貝塚市木積2062番地 ニューレジス トン株式会社内 Fターム(参考) 3C063 AA06 AB05 BA14 BA25 BA31 BC03 BE04 BE16 BG07 BH17 BH20

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】回転基板と、該基板上の周辺部沿いに形成
    された研磨体層とを備え、該研磨体層が、上記基板上の
    周辺部を周回するように傾斜積み重ね状態に敷き詰めら
    れた多数枚の矩形状研磨板片から構成された回転研磨具
    に於いて、上記研磨板片は矩形を基本形状とし、傾斜状
    態を基準に、下端側に於いて回転基板面に接着固定さ
    れ、上端側は内周端側から外周側に向けて切り落とし幅
    が漸進的に小さくなるように斜め裁断されていることを
    特徴とする回転研磨具。
  2. 【請求項2】研磨体層を構成している研磨板片の上端部
    の斜め裁断部が、回転基板の半径線上に略々位置してい
    ることを特徴とする請求項1又は2記載の回転研磨具。
  3. 【請求項3】研磨板片の上端部の外周端寄りの部分が斜
    めに切り取られていることを特徴とする請求項2記載の
    回転研磨具。
JP11012116A 1999-01-20 1999-01-20 回転研磨具 Pending JP2000210875A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6428406B1 (en) * 2000-08-04 2002-08-06 Kantoseito Co., Ltd. Soft polishing disc with holes and method of manufacturing the same
EP1249310A3 (de) * 2001-04-09 2003-06-11 Jobra Metall GmbH Trägerteller für Lamellenschleifscheiben

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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