JP2000213659A - 流体継手部材 - Google Patents
流体継手部材Info
- Publication number
- JP2000213659A JP2000213659A JP11019748A JP1974899A JP2000213659A JP 2000213659 A JP2000213659 A JP 2000213659A JP 11019748 A JP11019748 A JP 11019748A JP 1974899 A JP1974899 A JP 1974899A JP 2000213659 A JP2000213659 A JP 2000213659A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- coupling member
- passage
- fluid passage
- gasket
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 57
- 230000008878 coupling Effects 0.000 title claims abstract description 26
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 6
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 abstract description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- YYSFXUWWPNHNAZ-OSDRTFJJSA-N 851536-75-9 Chemical compound C1[C@@H](OC)[C@H](OCCOCC)CC[C@H]1C[C@@H](C)[C@H]1OC(=O)[C@@H]2CCCCN2C(=O)C(=O)[C@](O)(O2)[C@H](C)CCC2C[C@H](OC)/C(C)=C/C=C/C=C/[C@@H](C)C[C@@H](C)C(=O)[C@H](OC)[C@H](O)/C(C)=C/[C@@H](C)C(=O)C1 YYSFXUWWPNHNAZ-OSDRTFJJSA-N 0.000 description 1
- 101000777301 Homo sapiens Uteroglobin Proteins 0.000 description 1
- 102100031083 Uteroglobin Human genes 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Valve Housings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｖ字状通路を有するブロック状継手部材を用
いる利点を確保しつつ、その欠点である流量低下要因を
除去することができる。 【解決手段】 流体継手部材12,31 には、突き合わせ端
面の法線方向に対して傾斜する流体通路12a,31a が形成
され、流体通路12a,31a の開口を囲むようにガスケット
押さえ用環状突起72,73 が設けられている。流体通路12
a,31a の開口に、球面状の流体通路穿孔補助用凹所75が
形成されている。
いる利点を確保しつつ、その欠点である流量低下要因を
除去することができる。 【解決手段】 流体継手部材12,31 には、突き合わせ端
面の法線方向に対して傾斜する流体通路12a,31a が形成
され、流体通路12a,31a の開口を囲むようにガスケット
押さえ用環状突起72,73 が設けられている。流体通路12
a,31a の開口に、球面状の流体通路穿孔補助用凹所75が
形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造装置
等において用いられる流体制御装置において、例えば、
開閉弁の出口とマスフローコントローラの入口とを連通
させるさいなどに使用されるブロック状の流体継手部材
に関する。
等において用いられる流体制御装置において、例えば、
開閉弁の出口とマスフローコントローラの入口とを連通
させるさいなどに使用されるブロック状の流体継手部材
に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は、この発明の流体継手部材が使用
される流体制御装置を示している。これは、本発明者ら
が提案したもので（特願平９−２７８４７３参照）、半
導体製造装置等において用いられる流体制御装置(4)
は、マスフローコントローラ(3)およびこれの左方およ
び右方に設けられた遮断開放器(1)(2)により構成されて
おり、各遮断開放器(1)(2)が、入口および出口が下面に
設けられた複数の弁(6)(7)(8)(9)(10)と、各弁(6)(7)
(8)(9)(10)が上方から着脱自在に一方向に並んで取り付
けられている弁取付基部(28)(29)とよりなり、弁取付基
部(28)(29)が、一端側に配置された弁(6)(8)の入口に通
じる通路を有する流入路形成部材(30)(34)と、隣り合う
弁(6)(7)(8)(9)(10)の入口と出口とを連通する通路を有
する１または複数の連通路形成部材(31)(36)(38)と、他
端側に配置された弁(7)(10) の出口に通じる通路を有す
る流出路形成部材(33)(39)とによって形成されている。
される流体制御装置を示している。これは、本発明者ら
が提案したもので（特願平９−２７８４７３参照）、半
導体製造装置等において用いられる流体制御装置(4)
は、マスフローコントローラ(3)およびこれの左方およ
び右方に設けられた遮断開放器(1)(2)により構成されて
おり、各遮断開放器(1)(2)が、入口および出口が下面に
設けられた複数の弁(6)(7)(8)(9)(10)と、各弁(6)(7)
(8)(9)(10)が上方から着脱自在に一方向に並んで取り付
けられている弁取付基部(28)(29)とよりなり、弁取付基
部(28)(29)が、一端側に配置された弁(6)(8)の入口に通
じる通路を有する流入路形成部材(30)(34)と、隣り合う
弁(6)(7)(8)(9)(10)の入口と出口とを連通する通路を有
する１または複数の連通路形成部材(31)(36)(38)と、他
端側に配置された弁(7)(10) の出口に通じる通路を有す
る流出路形成部材(33)(39)とによって形成されている。
【０００３】同図において、(5)(11) は、継手部(40)(4
1)(60)(61)が設けられた左側弁本体(22)(25)、中央弁本
体(23)(26)および右側弁本体(24)(27)よりなる逆止弁で
あり、(32)(35)(37)は、継手保持部材(47)(51)(53)およ
び継手部(48)(52)(54)からなる副通路形成部材であり、
(49)(50)は、マスフローコントローラ(3) の下端部に設
けられかつ下向きに開口した通路を有する直方体状張出
部である。また、各開閉弁(6)(7)(8)(9)(10)は、それぞ
れ、弁本体(12)(14)(16)(18)(20)およびこれに上方から
取り付けられて弁本体(12)(14)(16)(18)(20)内の流路を
適宜遮断開放するアクチュエータ(13)(15)(17)(19)(21)
よりなり、弁本体(12)(14)(16)(18)(20)の下端部に設け
られた上から見て方形のフランジ部(12a)(14a)(16a)(18
a)(20a)が上方からねじ込まれたねじ（図示略）により
弁取付基部(28)(29)に結合されている。
1)(60)(61)が設けられた左側弁本体(22)(25)、中央弁本
体(23)(26)および右側弁本体(24)(27)よりなる逆止弁で
あり、(32)(35)(37)は、継手保持部材(47)(51)(53)およ
び継手部(48)(52)(54)からなる副通路形成部材であり、
(49)(50)は、マスフローコントローラ(3) の下端部に設
けられかつ下向きに開口した通路を有する直方体状張出
部である。また、各開閉弁(6)(7)(8)(9)(10)は、それぞ
れ、弁本体(12)(14)(16)(18)(20)およびこれに上方から
取り付けられて弁本体(12)(14)(16)(18)(20)内の流路を
適宜遮断開放するアクチュエータ(13)(15)(17)(19)(21)
よりなり、弁本体(12)(14)(16)(18)(20)の下端部に設け
られた上から見て方形のフランジ部(12a)(14a)(16a)(18
a)(20a)が上方からねじ込まれたねじ（図示略）により
弁取付基部(28)(29)に結合されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記の各遮断開放器
(1)(2)において、ブロック状継手部材(31)(33)(34)(36)
(39)は、部品数の低減とヒーターによる加熱の容易さと
いう利点を有しているが、Ｖ字状通路(31a)(33a)(34a)
(36a)(39a) を有するブロック状継手部材(31)(33)(34)
(36)(39)を用いた場合、Ｕ字状通路を有する流路形成部
材と比較すると、その開口部の径が同じでも流路径が小
さくなるため、流量アップという点からは不利になって
いる。
(1)(2)において、ブロック状継手部材(31)(33)(34)(36)
(39)は、部品数の低減とヒーターによる加熱の容易さと
いう利点を有しているが、Ｖ字状通路(31a)(33a)(34a)
(36a)(39a) を有するブロック状継手部材(31)(33)(34)
(36)(39)を用いた場合、Ｕ字状通路を有する流路形成部
材と比較すると、その開口部の径が同じでも流路径が小
さくなるため、流量アップという点からは不利になって
いる。
【０００５】図４（ａ）（ｂ）は、従来の流体継手部材
を拡大して示すもので、（ａ）は、図３に示した第１開
閉弁の弁本体(12)、第２開閉弁の弁本体(14)および連通
路形成部材(31)の突き合わせ部の拡大断面図であり、
（ｂ）は、第１開閉弁の弁本体(12)および連通路形成部
材(31)の突き合わせ部をさらに拡大した断面図である。
従来の流体継手部材(12)(31)は、同図に示すように、各
部材(12)(31)の突き合わせ端面に設けられた凹所に、ガ
スケット押さえ用環状突起(81a)(82a)を先端に有する円
筒状突出部(81)(82)が設けられ、各部材(12)(31)の流体
通路(85)(86)が、円筒状突出部(81)(82)の内周面により
形成され突き合わせ端面に直交している短い開口部通路
(85a)(86a)と、これに傾斜状に連なる本通路(85b)(86b)
とよりなるものである。両部材(12)(31)間には、リテー
ナ(74)に保持された円環状ガスケット(73)が介在させら
れており、リテーナ(74)は、ブロック状継手部材(31)の
円筒状突出部(72)の外周部に取り付けられている。
を拡大して示すもので、（ａ）は、図３に示した第１開
閉弁の弁本体(12)、第２開閉弁の弁本体(14)および連通
路形成部材(31)の突き合わせ部の拡大断面図であり、
（ｂ）は、第１開閉弁の弁本体(12)および連通路形成部
材(31)の突き合わせ部をさらに拡大した断面図である。
従来の流体継手部材(12)(31)は、同図に示すように、各
部材(12)(31)の突き合わせ端面に設けられた凹所に、ガ
スケット押さえ用環状突起(81a)(82a)を先端に有する円
筒状突出部(81)(82)が設けられ、各部材(12)(31)の流体
通路(85)(86)が、円筒状突出部(81)(82)の内周面により
形成され突き合わせ端面に直交している短い開口部通路
(85a)(86a)と、これに傾斜状に連なる本通路(85b)(86b)
とよりなるものである。両部材(12)(31)間には、リテー
ナ(74)に保持された円環状ガスケット(73)が介在させら
れており、リテーナ(74)は、ブロック状継手部材(31)の
円筒状突出部(72)の外周部に取り付けられている。
【０００６】上記のように形成された流体継手部材(12)
(31)では、突き合わせ端面に直交している短い開口部通
路(85a)(86a)の存在により、本通路(85b)(86b)の径が制
約されており、結果として、通路の断面積が確保されな
いという問題があった。
(31)では、突き合わせ端面に直交している短い開口部通
路(85a)(86a)の存在により、本通路(85b)(86b)の径が制
約されており、結果として、通路の断面積が確保されな
いという問題があった。
【０００７】この発明の目的は、Ｖ字状通路を有するブ
ロック状継手部材を用いる利点を確保しつつ、その欠点
である流量低下要因を除去することができる流体継手部
材を提供することにある。
ロック状継手部材を用いる利点を確保しつつ、その欠点
である流量低下要因を除去することができる流体継手部
材を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明による流体継手
部材は、突き合わせ端面の法線方向に対して傾斜する流
体通路が形成され、流体通路の開口を囲むようにガスケ
ット押さえ用環状突起が設けられている流体継手部材に
おいて、流体通路の開口に、球面状の流体通路穿孔補助
用凹所が形成されていることを特徴とするものである。
部材は、突き合わせ端面の法線方向に対して傾斜する流
体通路が形成され、流体通路の開口を囲むようにガスケ
ット押さえ用環状突起が設けられている流体継手部材に
おいて、流体通路の開口に、球面状の流体通路穿孔補助
用凹所が形成されていることを特徴とするものである。
【０００９】ここで、流体継手部材という語は、開閉弁
の出口とマスフローコントローラの入口とを連通させる
さいなどに使用されるブロック状流体継手部材のほか
に、流体通路遮断開放用のアクチュエータが取り付けら
れた弁本体も含むものとする。
の出口とマスフローコントローラの入口とを連通させる
さいなどに使用されるブロック状流体継手部材のほか
に、流体通路遮断開放用のアクチュエータが取り付けら
れた弁本体も含むものとする。
【００１０】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を、以下図
面を参照して説明する。
面を参照して説明する。
【００１１】図１（ａ）（ｂ）は、この発明の流体継手
部材を示すもので、（ａ）は、図３に示した第１開閉弁
の弁本体(12)、第２開閉弁の弁本体(14)および連通路形
成部材(31)の突き合わせ部の拡大断面図であり、（ｂ）
は、第１開閉弁の弁本体(12)および連通路形成部材(31)
の突き合わせ部をさらに拡大した断面図である。同図に
おいて、図４と同じ構成のものには、同じ符号を付して
説明を省略する。
部材を示すもので、（ａ）は、図３に示した第１開閉弁
の弁本体(12)、第２開閉弁の弁本体(14)および連通路形
成部材(31)の突き合わせ部の拡大断面図であり、（ｂ）
は、第１開閉弁の弁本体(12)および連通路形成部材(31)
の突き合わせ部をさらに拡大した断面図である。同図に
おいて、図４と同じ構成のものには、同じ符号を付して
説明を省略する。
【００１２】同図において、各部材(12)(14)(31)は斜め
状の流体通路(12a)(14a)(31a) を有しており、その突き
合わせ端面に、それぞれ断面円形の凹所(69)(70)が設け
られ、この凹所(69)(70)に、ガスケット押さえ用環状突
起(71a)(72a)を先端に有する円筒状突出部(71)(72)が設
けられている。各斜め状の流体通路(12a)(14a)(31a)の
開口端部には、突き合わせ端面に直交している短い開口
部通路(85a)(86a)は開けられておらず、これに代えて、
突き合わせ端面には、球面状の流体通路穿孔補助用凹所
(75)が形成されている。流体通路(12a)(14a)(31a) の開
口の径は、ガスケット(73)の内径と等しくなされてい
る。流体通路(12a)(14a)(31a) の開口における球面状凹
所(75)の径は、ガスケット(73)の内径と等しく、したが
って、ガスケット(73)の内周から若干外側に設けられて
いるガスケット押さえ用環状突起(71a)(72a)の内径より
は小さくなされている。
状の流体通路(12a)(14a)(31a) を有しており、その突き
合わせ端面に、それぞれ断面円形の凹所(69)(70)が設け
られ、この凹所(69)(70)に、ガスケット押さえ用環状突
起(71a)(72a)を先端に有する円筒状突出部(71)(72)が設
けられている。各斜め状の流体通路(12a)(14a)(31a)の
開口端部には、突き合わせ端面に直交している短い開口
部通路(85a)(86a)は開けられておらず、これに代えて、
突き合わせ端面には、球面状の流体通路穿孔補助用凹所
(75)が形成されている。流体通路(12a)(14a)(31a) の開
口の径は、ガスケット(73)の内径と等しくなされてい
る。流体通路(12a)(14a)(31a) の開口における球面状凹
所(75)の径は、ガスケット(73)の内径と等しく、したが
って、ガスケット(73)の内周から若干外側に設けられて
いるガスケット押さえ用環状突起(71a)(72a)の内径より
は小さくなされている。
【００１３】各斜め状流体通路(12a)(14a)(31a) は、流
体通路(12a)(14a)(31a) の開口における球面状凹所(75)
の径にほぼ等しい径で開けられている。すなわち、図２
（ａ）に示すように、まず、突き合わせ端面に最大径が
ガスケット(73)の内径と等しい球面状凹所(75)が形成さ
れ、次いで、この球面状凹所(75)の最大径に相当する大
きさの径を有する斜め状の流体通路(31a) が開けられる
ことにより、各部材(12)(14)(31)の斜め状流体通路(12
a)(14a)(31a) が形成されている。
体通路(12a)(14a)(31a) の開口における球面状凹所(75)
の径にほぼ等しい径で開けられている。すなわち、図２
（ａ）に示すように、まず、突き合わせ端面に最大径が
ガスケット(73)の内径と等しい球面状凹所(75)が形成さ
れ、次いで、この球面状凹所(75)の最大径に相当する大
きさの径を有する斜め状の流体通路(31a) が開けられる
ことにより、各部材(12)(14)(31)の斜め状流体通路(12
a)(14a)(31a) が形成されている。
【００１４】この発明の流体継手部材によると、図４に
示した流体継手部材の本通路(85b)(86b)よりも流体通路
(12a)(14a)(31a) の径が大きくなっており、また、ガス
ケット押さえ用環状突起(71a)(72a)がガスケット(73)の
径方向中央部に接しているので、ガスケット(73)内縁部
への応力集中がなく、したがって、ガスケット(73)のし
わの発生などのデメリットを生じることなく流量アップ
が図られている。
示した流体継手部材の本通路(85b)(86b)よりも流体通路
(12a)(14a)(31a) の径が大きくなっており、また、ガス
ケット押さえ用環状突起(71a)(72a)がガスケット(73)の
径方向中央部に接しているので、ガスケット(73)内縁部
への応力集中がなく、したがって、ガスケット(73)のし
わの発生などのデメリットを生じることなく流量アップ
が図られている。
【００１５】
【発明の効果】この発明の流体継手部材によると、流体
通路が突き合わせ端面に直交する方向に対して傾斜して
いる流体継手部材について、ガスケットのしわの発生な
どのデメリットを生じることなく流量アップができるの
で、Ｖ字状流体通路を有するブロック状継手部材を用い
る利点を確保しつつ、その欠点である流量低下要因を除
去することができる。
通路が突き合わせ端面に直交する方向に対して傾斜して
いる流体継手部材について、ガスケットのしわの発生な
どのデメリットを生じることなく流量アップができるの
で、Ｖ字状流体通路を有するブロック状継手部材を用い
る利点を確保しつつ、その欠点である流量低下要因を除
去することができる。
【図１】この発明による流体継手部材を示す断面図であ
る。
る。
【図２】この発明による流体継手部材の要部および製造
方法を示す部分拡大断面図である。
方法を示す部分拡大断面図である。
【図３】この発明による流体継手部材が使用される流体
制御装置を示す図である。
制御装置を示す図である。
【図４】従来の流体継手部材を示す断面図である。
(12) 第１開閉弁本体 (14) 第２開閉弁本体 (31) 連通路形成部材 (12a)(14a)(31a) 斜め状流体通路 (71a)(72a) ガスケット押さえ用環状突起 (75) 流体通路穿孔補助用凹所
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 深田 収 大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会 社フジキン内 (72)発明者 吉田 忠信 大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会 社フジキン内 (72)発明者 横山 光祐 大阪市西区立売堀２丁目３番２号 株式会 社フジキン内 Ｆターム(参考） 3H051 AA01 AA03 BB10 CC11 CC14 CC15 CC16 EE01 FF09
Claims (1)
- 【請求項１】 突き合わせ端面の法線方向に対して傾斜
する流体通路が形成され、流体通路の開口を囲むように
ガスケット押さえ用環状突起が設けられている流体継手
部材において、流体通路の開口に、球面状の流体通路穿
孔補助用凹所が形成されていることを特徴とする流体継
手部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11019748A JP2000213659A (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 流体継手部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11019748A JP2000213659A (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 流体継手部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000213659A true JP2000213659A (ja) | 2000-08-02 |
Family
ID=12007975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11019748A Pending JP2000213659A (ja) | 1999-01-28 | 1999-01-28 | 流体継手部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000213659A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004036099A1 (ja) * | 2002-10-21 | 2004-04-29 | Ckd Corporation | ガス集積弁 |
| JPWO2008062679A1 (ja) * | 2006-11-22 | 2010-03-04 | 株式会社フジキン | 流体継手 |
| JP2019173811A (ja) * | 2018-03-27 | 2019-10-10 | 日本ピラー工業株式会社 | ガスケット |
-
1999
- 1999-01-28 JP JP11019748A patent/JP2000213659A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004036099A1 (ja) * | 2002-10-21 | 2004-04-29 | Ckd Corporation | ガス集積弁 |
| CN100339629C (zh) * | 2002-10-21 | 2007-09-26 | 喜开理株式会社 | 集成气阀 |
| JPWO2008062679A1 (ja) * | 2006-11-22 | 2010-03-04 | 株式会社フジキン | 流体継手 |
| JP5087555B2 (ja) * | 2006-11-22 | 2012-12-05 | 株式会社フジキン | 流体継手 |
| JP2019173811A (ja) * | 2018-03-27 | 2019-10-10 | 日本ピラー工業株式会社 | ガスケット |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4232939B2 (ja) | 流体制御器 | |
| JPH11118054A (ja) | 流体制御装置 | |
| JPH08326943A (ja) | 流体制御装置 | |
| JP2001260846A (ja) | Ａｂｓアクチュエータ | |
| JP4200245B2 (ja) | 流体継手 | |
| JP2000213659A (ja) | 流体継手部材 | |
| WO2022152179A1 (zh) | 电子膨胀阀 | |
| JP3360133B2 (ja) | 流体制御装置用継手部材およびその製造方法 | |
| EP3892898B1 (en) | Valve device | |
| JPS6388380A (ja) | 空気作動弁 | |
| JP2003097752A (ja) | 流体制御装置用継手部材およびその製造方法 | |
| JPH11159641A (ja) | 逆止機能付定流量弁 | |
| JP3381486B2 (ja) | 分流器 | |
| JP4464489B2 (ja) | 逆止弁 | |
| JPS6323659Y2 (ja) | ||
| KR970028015A (ko) | 유체 및 가스 시스템을 위한 편평한 하부 구성 요소 및 편평한 하부 구조를 이용한 밸브 및 장치 | |
| JPH0220538Y2 (ja) | ||
| JPS60164183U (ja) | 流量制御弁 | |
| CN223344753U (zh) | 水龙头及适用于该水龙头之密封件 | |
| JP2003139258A (ja) | 逆止弁 | |
| CN113090414A (zh) | 姿控发动机 | |
| JPH0616284Y2 (ja) | ダンパーの取付け構造 | |
| JPH102448A (ja) | ダイヤフラム弁 | |
| JP2001004042A (ja) | Ｌ型ガス栓 | |
| JPH05164258A (ja) | チャッキ弁 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060127 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081218 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090106 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090226 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090428 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090625 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091006 |