JP2000218614A - インゴットローダー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】インゴットの着脱作業を安全かつ容易に行うこ
とができるインゴットローダーを提供する。 【解決手段】インゴットローダー１０にオペレータ５が
昇降可能な第１踏み台３０と第２踏み台４６を設ける。
これにより、インゴットＩｎの着脱作業位置が高いワイ
ヤソー本体１においてもオペレータ５は容易に着脱作業
を行うことができる。また、インゴットローダー１０
は、インゴットローダー固定用ボルト５８によってワイ
ヤソー本体１に固定することができる。これにより、転
倒のおそれがなくなり安全に作業を行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はインゴットローダー
に係り、特にワイヤソーで切断するインゴットをワイヤ
ソーに搬入するとともに、そのワイヤソーで切断された
スライスドウェーハをワイヤソーから搬出するインゴッ
トローダーに関する。

【０００２】

【従来の技術】ワイヤソーで切断するインゴットは近年
大口径化の一途をたどっており、これに対応すべくワイ
ヤソーも大型化してきている。そして、この結果、ワイ
ヤソーへのインゴット装着時におけるオペレータの作業
位置も従来のワイヤソーに比べ高くなってきている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来よりイ
ンゴットの着脱作業は専用のインゴットローダーを用い
て行っているが、作業位置が高くなっている近年のワイ
ヤソーでは、従来のインゴットローダーをそのまま流用
しただけでは十分な作業高さを得ることができない場合
があった。また、従来のインゴットローダーの高さを単
に高くしただけでは不安定になり、転倒等のおそれがあ
り極めて危険が高かった。

【０００４】本発明は、このような事情に鑑みて成され
たもので、インゴットの着脱作業を安全かつ容易に行う
ことができるインゴットローダーを提供することを目的
とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は前
記目的を達成するために、走行可能なローダー本体と、
該ローダー本体に立設された支柱と、該支柱に昇降自在
に設けられた昇降部材と、該昇降部材に設けられたイン
ゴットが着脱自在に保持される保持部材とから構成さ
れ、前記インゴットをワイヤソーに搬出入するインゴッ
トローダーにおいて、前記インゴットローダーの前記支
柱には、オペレータが昇降可能な踏み台が少なくとも上
下方向に２段設けられていることを特徴とする。

【０００６】本発明によれば、オペレータが昇降可能な
踏み台が少なくとも上下方向に２段設けられているの
で、作業位置が高くなった近年のワイヤソーにおいても
オペレータは容易に着脱作業を行うことができる。ま
た、請求項２に係る発明は前記目的を達成するために、
前記インゴットローダーの前記支柱には、踏み台に乗っ
たオペレータの脱落を防止する脱落防止手段が設けられ
ていることを特徴とする。

【０００７】本発明によれば、脱落防止手段が設けられ
ているので、作業位置が高くなった場合でもオペレータ
は踏み台から落ちる危険性はなくなり、安全にインゴッ
トの着脱作業を行うことができる。また、請求項３に係
る発明は前記目的を達成するために、走行可能なローダ
ー本体と、該ローダー本体に立設された支柱と、該支柱
に昇降自在に設けられた昇降部材と、該昇降部材に設け
られたインゴットが着脱自在に保持される保持部材とか
ら構成され、前記インゴットをワイヤソーに搬出入する
インゴットローダーにおいて、前記ワイヤソーの装置本
体に設けられた位置決め基準面に当接して前記インゴッ
トローダーを所定位置に位置決めする位置決め部材が設
けられていることを特徴とする。

【０００８】本発明によれば、位置決め部材をワイヤソ
ーの装置本体に設けられた位置決め基準面に当接するこ
とにより、インゴットローダーを所定位置に位置決めす
ることができる。これにより、ワイヤソーに対するイン
ゴットローダーの位置決めを簡易かつ迅速に行うことが
できるようになる。また、請求項４に係る発明は前記目
的を達成するために、走行可能なローダー本体と、該ロ
ーダー本体に立設された支柱と、該支柱に昇降自在に設
けられた昇降部材と、該昇降部材に設けられたインゴッ
トが着脱自在に保持される保持部材とから構成され、前
記インゴットをワイヤソーに搬出入するインゴットロー
ダーにおいて、前記インゴットローダーを前記ワイヤソ
ーの装置本体に固定する固定手段が設けられていること
を特徴とする。

【０００９】本発明によれば、固定手段によってインゴ
ットローダーをワイヤソーの装置本体に固定することが
できるので、作業中にインゴットローダーが転倒するの
を防止することができ、安全にインゴットの着脱作業を
行うことができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るインゴットローダーの実施の形態について詳説する。
図１は、本発明に係るインゴットローダーの実施の形態
の概略構成を示す斜視図である。また、図２、図３は、
それぞれ本発明に係るインゴットローダーの実施の形態
の構成を示す側面図、背面図である。

【００１１】同図に示すように、インゴットローダー１
０は、走行部（ローダー本体）１２、昇降部１４及びイ
ンゴット保持部（保持部材）１６から構成されている。
走行部１２は、走行フレーム１８、前輪２０、２０及び
後輪２２、２２を基本構成要素としている。走行フレー
ム１８は、図４に示すようにＵ字状に形成されており、
その両側面部にはガイドローラ２４、２４、…が一定の
間隔をもって配設されている。このガイドローラ２４、
２４、…は、インゴットローダー１０を用いてインゴッ
トＩｎをワイヤソー本体１に搬入する際、ワイヤソー本
体１側に形成されたガイドプレート２、２に当接して、
インゴットローダー１０を所定位置にガイドする。

【００１２】図２に示すように、前輪２０、２０は、走
行フレーム１８の先端部に配設されており、軸受２８、
２８を介して回動自在に支持されている。一方、後輪２
２、２２は、走行フレーム１８に溶接された第１踏み台
３０に配設されており、軸受３２、３２を介して回動自
在に支持されている。この後輪２２、２２を支持する軸
受３２、３２は第１踏み台３０の下面部に水平面内でも
回動自在に支持されており、これにより後輪２２、２２
の方向転換ができるように構成している。また、この後
輪２２、２２には、図示しないロック手段が設けられて
おり、このロック手段を作動させることにより、インゴ
ットローダー１０を所望の位置に固定する。

【００１３】前記昇降部１４は、ガイドフレーム（支
柱）３４、昇降フレーム（昇降部材）３６及び昇降用シ
リンダ３８を基本構成要素としている。ガイドフレーム
３４は前記走行フレーム１８上に垂直に立設されてお
り、このガイドフレーム３４に沿って昇降フレーム３６
が摺動自在に支持されている。昇降用油圧シリンダ３８
は、図３に示すように、前記走行フレーム１８上に垂直
に立設されている。この昇降用油圧シリンダ３８のロッ
ド先端部にはスプロケット４０が回動自在に支持されて
おり、該スプロケット４０にはチェーン４２が巻きかけ
られている。チェーン４２は、一端が走行フレーム１８
に固定されており、他端が昇降フレーム３６に固定され
ている。この昇降用油圧シリンダ３８は油圧レバー３８
Ａを揺動させることによりロッドが伸長し、これによ
り、昇降フレーム３６がガイドフレーム３４に沿って昇
降する。

【００１４】ところで、前記のごとく構成された昇降部
１４のガイドフレーム３４には、図２及び図３に示すよ
うに、把手４４、４４、第２踏み台４６、４６、安全チ
ェーン４８及び位置決め治具５０が取り付けられてい
る。把手４４、４４は、ガイドフレーム３４のほぼ中央
部分に設置されており、オペレータ５は、この把手４
４、４４を把持してインゴットローダー１０を走行させ
る。

【００１５】第２踏み台４６、４６は、前記第１踏み台
３０と把手４４、４４のほぼ中間位置に設置されてお
り、回転軸４６Ａ、４６Ａを中心に揺動自在に支持され
ている。この第２踏み台４６、４６は、図示しないロッ
ク手段によって水平位置と垂直位置で固定することがで
き、必要時のみ水平に倒して使用する。高所でインゴッ
トＩｎの着脱作業をする場合、オペレータ５は、この第
２踏み台４６、４６に乗って作業を行うことができる。

【００１６】安全チェーン４８は、第２踏み台４６、４
６上で作業するオペレータ５が、第２踏み台４６、４６
から落下するのを防止するためのものである。この安全
チェーン４８の一端は、ガイドフレーム３４に設置され
た固定金具５２Ａに連結されており、他端はフック４８
Ａを介して他方側の固定金具５２Ｂに着脱自在に取り付
けられるようになっている。

【００１７】位置決め治具５０、５０は、インゴットロ
ーダー１０をワイヤソー本体１の所定の位置に位置決め
するとともに、その位置決めされたインゴットローダー
１０をワイヤソー本体１に固定するためのものである。
この位置決め治具５０、５０は、位置決め治具本体５
４、５４と、その位置決め治具本体５４、５４に設けら
れたストッパープレート（位置決め部材）５６、５６及
びインゴットローダー固定用ボルト（固定手段）５８、
５８から構成されている。

【００１８】位置決め治具本体５４、５４は、ガイドフ
レーム３４の下端部近傍に配設された回転軸６０、６０
に固着されており、揺動自在に支持されている。ストッ
パープレート５６、５６は、この位置決め治具本体５
４、５４の先端部に固着されている。このストッパープ
レート５６、５６は、図５に示すようにワイヤソー本体
１に形成された位置決め基準面３、３に当接してインゴ
ットローダー１０を所定位置に位置決めする。インゴッ
トローダー固定用ボルト５８、５８は、位置決め治具本
体５４、５４とストッパープレート５６、５６に形成さ
れたボルト穴に螺合されており、図５に示すようにワイ
ヤソー本体１の位置決め基準面３、３に形成されたイン
ゴットローダー固定用ボルト穴４、４に螺合してインゴ
ットローダー１０をワイヤソー本体１に固定する。

【００１９】なお、位置決め治具本体５４、５４は、図
示しないロック手段を有しており、このロック手段によ
って水平位置（図５の位置）と垂直位置（図４の位置）
とでロックされる。インゴット保持部１６は、支持アー
ム６２、スライドテーブル６４及びロックレバー６６を
基本構成要素としている。

【００２０】支持アーム６２は、前記昇降部１４の昇降
フレーム３６に設けられており、水平方向（図３におい
てＸ−Ｘ方向）にスライド自在に支持されている。ここ
で、前記昇降フレーム３６には、水平方向に沿ってネジ
棒６８が回動自在に支持されており、このネジ棒６８に
支持アーム６２に設けられた図示しないナット部材が螺
合されている。ネジ棒６８の一方端にはハンドル７０が
連結されており、このハンドル７０を回すことにより、
支持アーム６２が水平方向に移動する。

【００２１】支持アーム６２は、図２に示すように垂直
部６２Ａと水平部６２Ｂとから構成されており、水平部
６２Ｂは上面から見るとＵ字状に形成されている。この
水平部６２Ｂには、レール７２、７２が敷設されてお
り、該レール７２、７２上をリニアガイド７４、７４を
介してスライドテーブル６４がスライド自在に支持され
ている。

【００２２】スライドテーブル６４は、上面から見ると
Ｕ字状に形成されており、その先端部分に所定幅の凹部
６４Ａ、６４Ａが形成されている。一方、インゴットＩ
ｎが接着されたワークプレートには、この凹部６４Ａ、
６４Ａに嵌合する凸部６が形成されており、この凹部６
４Ａ、６４Ａに凸部６が嵌合するようにワークプレート
をスライドテーブル６４上に載置することにより、ワー
クプレートがスライドテーブル６４上の所定の位置に位
置決めされた状態で保持される。

【００２３】ロックレバー６６は、前記スライドテーブ
ル６４上にセットされたワークプレートを固定するもの
であり、スライドテーブル６４上に設けられたブッシュ
７６を介して摺動自在に支持されている。ここで、前記
ワークプレートの外周面には嵌入穴７が形成されてお
り、この嵌入穴７にロックレバー６６の先端部分を嵌入
することにより、前記スライドテーブル６４上にセット
されたワークプレートが固定される。

【００２４】なお、図中符号７８はスライド用レバーで
あり、スライドテーブル６４に連結されている。オペレ
ータ５は、スライドテーブル６４をスライドさせる場
合、このスライドレバー７８を把持して操作する。前記
のごとく構成された本発明に係るインゴットローダーの
実施の形態の作用は次の通りである。

【００２５】まず、オペレータ５はワイヤソー本体１の
装置外でインゴットＩｎをインゴットローダー１０に搭
載する（インゴットＩｎが格納されている倉庫等で実施
する。）。すなわち、インゴットＩｎが接着されている
ワークプレートＷをインゴット保持部１６のスライドテ
ーブル６４に載置し、ロックレバー６６でロックする。
次に、オペレータ５は、インゴットローダー１０を手で
押し、図６に示すように、ワイヤソー本体１まで移動さ
せる。この際、オペレータ５は、ガイドフレーム３４に
設けられている把手４４、４４を把持してインゴットロ
ーダー１０を移動させる。また、インゴットローダー１
０の転倒を防止するため、インゴットＩｎは低めの位置
に位置させスライドテーブル６４を支持アーム６２の根
元へ後退させた状態で搬送する。

【００２６】インゴットローダー１０をワイヤソー本体
１まで移動させたオペレータ５は、油圧シリンダ３８を
作動させて、スライドテーブル６４に保持されているイ
ンゴットＩｎの高さ調整を行う。すなわち、ワイヤソー
本体１に形成されているインゴット搬入口の高さに合う
ように、インゴットＩｎの高さ調整を行う。次に、オペ
レータ５は位置決め治具本体５４、５４を水平状態にセ
ットし、ストッパープレート５６、５６をガイドフレー
ム３４の前面から突出させる。次に、オペレータ５は、
走行フレーム１８の先端部分をワイヤソー本体１に形成
されている一対のガイドプレート２、２の間に嵌め込
む。ここで、図４に示すように、ガイドプレート２、２
の開口部分はテーパ状に拡径されているため、正確に位
置決めしていなくても容易に走行フレーム１８の先端部
分をガイドプレート２、２の間に嵌め込むことができ
る。

【００２７】次に、オペレータ５はインゴットローダー
１０をワイヤソー本体１に向けて押し込む。押し込まれ
たインゴットローダー１０は、走行フレーム１８に配設
されたガイドローラ２４、２４、…がガイドプレート
２、２に当接し、この結果、横方向（図４においてＸ−
Ｘ方向）の移動が規制され、直進するようにガイドされ
る。そして、所定位置まで押し込まれると、ストッパー
プレート５６、５６がワイヤソー本体１に形成された位
置決め基準面３、３に当接し、インゴットローダー１０
の移動が停止する。オペレータ５は、この位置で後輪２
２、２２をロックし、インゴットローダー１０の移動を
停止させる。

【００２８】停止したインゴットローダー１０は前記ガ
イドローラ２４、２４、…がガイドプレート２、２に当
接することにより横方向の移動が規制され、ストッパー
プレート５６、５６が位置決め基準面３、３に当接する
ことにより前方向（図４においてＹ−Ｙ方向）の移動が
規制される。そして、この結果、インゴットローダー１
０が所定の作業位置（インゴットＩｎの着脱作業を行う
位置）に位置決めされる。この状態において、位置決め
治具５０、５０のインゴットローダー固定用ボルト５
８、５８は、位置決め基準面３、３に形成されているイ
ンゴットローダー固定用ボルト穴４、４の同軸上に位置
している。オペレータ５は、このインゴットローダー固
定用ボルト５８、５８の軸端部に固着されているハンド
ル５８Ａ、５８Ａを回すことにより、インゴットローダ
ー固定用ボルト５８、５８をインゴットローダー固定用
ボルト穴４、４に螺合させて、インゴットローダー１０
をワイヤソー本体１に固定する。これにより、インゴッ
トローダー１０の転倒が防止される。

【００２９】次に、オペレータ５は、第２踏み台４６、
４６を倒し、その第２踏み台４６、４６の上に乗る。そ
して、図５に示すように、安全チェーン４８を体に巻
き、自由端側を固定金具５２Ｂに固定する。これによ
り、オペレータ５が第２踏み台４６から落下するのを防
止することができる。次に、オペレータ５は、油圧シリ
ンダ３８を作動させてインゴットＩｎの上下方向の位置
調整を行う。また、これと同時にハンドル７０を回転さ
せて、インゴットＩｎの横方向の位置調整を行う。そし
て、位置合わせが完了したところで、スライドテーブル
６４を前進させ、ワイヤソー本体１のワーク保持部にイ
ンゴットＩｎを受け渡す。なお、この際、インゴットＩ
ｎの取付作業位置が高所の場合であっても、オペレータ
５は第２踏み台４６、４６に乗って作業ができるため、
きわめて容易に作業を実施することができる。

【００３０】ワイヤソー本体１へのインゴットＩｎの取
り付けを終了したオペレータ５は、まずスライドテーブ
ル６４を後退させ、安全チェーン４８を外し、体を開放
する。次に、第２踏み台４６、４６から下り、第２踏み
台４６、４６を折り畳む。次に、インゴットローダー１
０をワイヤソー本体１に固定しているインゴットローダ
ー固定用ボルト５８、５８を緩め、インゴットローダー
固定用ボルト穴４、４から抜き取る。これにより、イン
ゴットローダー１０の固定が解除される。次に、後輪２
２、２２のロックを解除する。そして、把手４０、４０
を把持してインゴットローダー１０をワイヤソー本体１
から引き抜いた後、油圧シリンダ３８を作動させて支持
アーム６２を下降端まで下げる。

【００３１】このように、本実施の形態のインゴットロ
ーダー１０によれば、オペレータ５が昇降可能な踏み台
を２段備えているので、インゴット着脱作業位置が高い
ワイヤソーであっても、容易に着脱作業を実施すること
ができる。また、第２踏み台４６、４６に乗って作業す
る場合であっても、オペレータ５は安全チェーン４８で
体を拘束された状態で作業することができるので、安全
に作業を実施することができる。

【００３２】また、位置決め機構（ガイドローラ２４及
びストッパープレート５６）を備えているので、正確な
位置決めを容易に行うことができる。さらに、インゴッ
トローダー１０をワイヤソー本体１に固定することがで
きるので、作業中にインゴットローダー１０が転倒する
おそれがなく、安全に作業を実施することができる。

【００３３】なお、本実施の形態では、踏み台を２段設
けているが、この数に限られるものではなく、使用する
ワイヤソーのインゴット着脱作業位置等を考慮して更に
数を増やしてもよい。また、本実施の形態では、第２踏
み台４６、４６に乗ったオペレータ５の脱落を防止する
手段としてチェーンを使用しているが、この他ベルトや
ロープ等を使用してもよい。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るイン
ゴットローダーによれば、インゴットの着脱作業を安全
かつ容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】インゴットローダーの概略構成を示す斜視図

【図２】インゴットローダーの構成を示す側面図

【図３】インゴットローダーの構成を示す背面図

【図４】図２の３−３断面図

【図５】インゴットローダーの構成を示す側面図（イン
ゴット着脱作業時）

【図６】インゴットローダーの使用状態を示す斜視図

【符号の説明】

１…ワイヤソー本体 ３…位置決め基準面 １０…インゴットローダー １２…走行部 １４…昇降部 １６…インゴット保持部 ３０…第１踏み台 ４６…第２踏み台 ４８…安全チェーン ５０…位置決め治具 ５６…ストッパープレート（位置決め部材） Ｉｎ…インゴット Ｗ…ワークプレート

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 走行可能なローダー本体と、該ローダー
   本体に立設された支柱と、該支柱に昇降自在に設けられ
   た昇降部材と、該昇降部材に設けられたインゴットが着
   脱自在に保持される保持部材とから構成され、前記イン
   ゴットをワイヤソーに搬出入するインゴットローダーに
   おいて、 前記支柱にはオペレータが昇降可能な踏み台が少なくと
   も上下方向に２段設けられていることを特徴とするイン
   ゴットローダー。
2. 【請求項２】 前記支柱には前記踏み台に乗ったオペレ
   ータの脱落を防止する脱落防止手段が設けられているこ
   とを特徴とする請求項１記載のインゴットローダー。
3. 【請求項３】 走行可能なローダー本体と、該ローダー
   本体に立設された支柱と、該支柱に昇降自在に設けられ
   た昇降部材と、該昇降部材に設けられたインゴットが着
   脱自在に保持される保持部材とから構成され、前記イン
   ゴットをワイヤソーに搬出入するインゴットローダーに
   おいて、 前記ワイヤソーの装置本体に設けられた位置決め基準面
   に当接して前記インゴットローダーを所定位置に位置決
   めする位置決め部材が設けられていることを特徴とする
   インゴットローダー。
4. 【請求項４】 走行可能なローダー本体と、該ローダー
   本体に立設された支柱と、該支柱に昇降自在に設けられ
   た昇降部材と、該昇降部材に設けられたインゴットが着
   脱自在に保持される保持部材とから構成され、前記イン
   ゴットをワイヤソーに搬出入するインゴットローダーに
   おいて、 前記インゴットローダーを前記ワイヤソーの装置本体に
   固定する固定手段が設けられていることを特徴とするイ
   ンゴットローダー。