JP2000224828A - 可動磁石型リニアモータ - Google Patents
可動磁石型リニアモータInfo
- Publication number
- JP2000224828A JP2000224828A JP11024574A JP2457499A JP2000224828A JP 2000224828 A JP2000224828 A JP 2000224828A JP 11024574 A JP11024574 A JP 11024574A JP 2457499 A JP2457499 A JP 2457499A JP 2000224828 A JP2000224828 A JP 2000224828A
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- Japan
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- magnet
- linear motor
- yoke
- stator core
- stator
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 可動磁石型リニアモータ１０は、磁性鋼板か
らなり、外周ヨーク１２ａ、内周ヨーク１２ｂおよび両
ヨークの一端部を接続一体化する底ヨーク１２ｃで形成
され９０°の間隔で円形状に配置される４個の固定子鉄
心１２と、各外周ヨーク１２ａの内側空間に沿って配置
される励磁コイル２０とにより構成される固定子１４お
よび各固定子鉄心１４の磁気空隙１６に配置され軸方向
に変位可能な永久磁石２８を有する磁石可動子１８とを
備え、さらに各外周ヨーク１２ａの開放側端部を各内周
ヨーク１２ｂの開放側端部より突出せしめて固定子鉄心
１２の開放側に段差２２を設けている。 【効果】 この発明によれば、磁気回路の対称性が高く
なり、また段差により磁石を薄くしても減磁しないか
ら、効率のよい可動磁石型リニアモータを安価に提供で
きる。
らなり、外周ヨーク１２ａ、内周ヨーク１２ｂおよび両
ヨークの一端部を接続一体化する底ヨーク１２ｃで形成
され９０°の間隔で円形状に配置される４個の固定子鉄
心１２と、各外周ヨーク１２ａの内側空間に沿って配置
される励磁コイル２０とにより構成される固定子１４お
よび各固定子鉄心１４の磁気空隙１６に配置され軸方向
に変位可能な永久磁石２８を有する磁石可動子１８とを
備え、さらに各外周ヨーク１２ａの開放側端部を各内周
ヨーク１２ｂの開放側端部より突出せしめて固定子鉄心
１２の開放側に段差２２を設けている。 【効果】 この発明によれば、磁気回路の対称性が高く
なり、また段差により磁石を薄くしても減磁しないか
ら、効率のよい可動磁石型リニアモータを安価に提供で
きる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は可動磁石型リニアモー
タに関し、特にたとえば固定子鉄心の磁気空隙に軸方向
に変位可能な永久磁石を配置した可動磁石型リニアモー
タに関する。
タに関し、特にたとえば固定子鉄心の磁気空隙に軸方向
に変位可能な永久磁石を配置した可動磁石型リニアモー
タに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば片側開放形状の可動磁石（ＭＭ）
型リニアモータ１は、図６に中心線Ｃ−Ｃで片側部分の
み示す様に、磁性鋼板からなる外周ヨーク２、内周ヨー
ク３および底ヨーク４により形成される断面略Ｃ字状の
固定子鉄心５と、この固定子鉄心５の内周ヨーク３の外
側空間に配置される励磁コイル６と、固定子鉄心５の磁
気空隙７に配置され軸方向に変位可能な永久磁石８とで
構成している。すなわち、磁気空隙７を形成する固定子
鉄心５の開放側端部は略面一となっている。
型リニアモータ１は、図６に中心線Ｃ−Ｃで片側部分の
み示す様に、磁性鋼板からなる外周ヨーク２、内周ヨー
ク３および底ヨーク４により形成される断面略Ｃ字状の
固定子鉄心５と、この固定子鉄心５の内周ヨーク３の外
側空間に配置される励磁コイル６と、固定子鉄心５の磁
気空隙７に配置され軸方向に変位可能な永久磁石８とで
構成している。すなわち、磁気空隙７を形成する固定子
鉄心５の開放側端部は略面一となっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述の様に固定子鉄心
５の開放側端部が面一となっているため、磁気回路の非
対称性により中間位置で推力が発生する。また、磁気空
隙７を変位する永久磁石８が固定子鉄心５の開放側端部
より外側に飛び出した場合には、磁気抵抗が大きくな
り、その結果、減磁が生じるという問題がある。
５の開放側端部が面一となっているため、磁気回路の非
対称性により中間位置で推力が発生する。また、磁気空
隙７を変位する永久磁石８が固定子鉄心５の開放側端部
より外側に飛び出した場合には、磁気抵抗が大きくな
り、その結果、減磁が生じるという問題がある。
【０００４】すなわち、永久磁石８が外側に変位する
と、この磁石端部における磁気抵抗の増大に伴うパーミ
アンス係数の低下により減磁が引き起こされる。図８
は、磁石の一般的な減磁曲線（第２象限）を示す図であ
る。図において、ＯＰはパーミアンス直線であり、モー
タの構造により定まる。ＡＣはリコイル線であり、モー
タを第２象限で使用する場合の小ループである。また、
リコイル線ＡＣとヒステリシス曲線（大ループ）との交
点であるＡ点をクニック点という。
と、この磁石端部における磁気抵抗の増大に伴うパーミ
アンス係数の低下により減磁が引き起こされる。図８
は、磁石の一般的な減磁曲線（第２象限）を示す図であ
る。図において、ＯＰはパーミアンス直線であり、モー
タの構造により定まる。ＡＣはリコイル線であり、モー
タを第２象限で使用する場合の小ループである。また、
リコイル線ＡＣとヒステリシス曲線（大ループ）との交
点であるＡ点をクニック点という。
【０００５】永久磁石が飛び出していない場合には、モ
ータの動作点はパーミアンス直線ＯＰとリコイル線ＡＣ
との交点（Ｑ点）で定まる。そして、永久磁石が外側に
変位すると、小ループであるリコイル線上を動作点Ｑが
移動することになるが、永久磁石が大きく外側に飛び出
すと動作点Ｑがクニック点Ａを越えてヒステリシス曲線
の大ループに入りＤ点に達する。その後永久磁石が飛び
出していない状態に戻ると、新しいリコイル線ＤＥ上を
動作点が移動し、パーミアンス直線ＯＰとの交点である
Ｑ′点に落ち着く。その結果、磁束密度が下がって減磁
が起こる。通常、直流モータの場合は、可動子の磁石端
部付近において最も減磁が起こりやすく、減磁が起こる
とモータの出力低下等につながるため、一般的に次の対
策が施されている。
ータの動作点はパーミアンス直線ＯＰとリコイル線ＡＣ
との交点（Ｑ点）で定まる。そして、永久磁石が外側に
変位すると、小ループであるリコイル線上を動作点Ｑが
移動することになるが、永久磁石が大きく外側に飛び出
すと動作点Ｑがクニック点Ａを越えてヒステリシス曲線
の大ループに入りＤ点に達する。その後永久磁石が飛び
出していない状態に戻ると、新しいリコイル線ＤＥ上を
動作点が移動し、パーミアンス直線ＯＰとの交点である
Ｑ′点に落ち着く。その結果、磁束密度が下がって減磁
が起こる。通常、直流モータの場合は、可動子の磁石端
部付近において最も減磁が起こりやすく、減磁が起こる
とモータの出力低下等につながるため、一般的に次の対
策が施されている。
【０００６】すなわち、磁石を厚くしてパーミアンス係
数を大きくすることにより、図８に示したパーミアンス
直線ＯＰの傾斜が急になって、動作点Ｑとクニック点Ａ
との距離が大となるため、クニック点Ａに至らずに減磁
が起こらない。しかしながら、この方式の場合には、磁
石を厚くする関係でモータ自体が大きくなり、それに伴
いコストアップにつながるという問題がある。特に、希
土類磁石を使用する場合は磁石自体が高価であるため、
製品コストの上昇を来すことになる。
数を大きくすることにより、図８に示したパーミアンス
直線ＯＰの傾斜が急になって、動作点Ｑとクニック点Ａ
との距離が大となるため、クニック点Ａに至らずに減磁
が起こらない。しかしながら、この方式の場合には、磁
石を厚くする関係でモータ自体が大きくなり、それに伴
いコストアップにつながるという問題がある。特に、希
土類磁石を使用する場合は磁石自体が高価であるため、
製品コストの上昇を来すことになる。
【０００７】また、励磁コイル６に流れる電流が０Ａで
も推力が発生して中間位置がずれる（図１０参照）。中
間位置を確保するために直流電流を流す必要があり、こ
の場合は損失が大きくなるという新な問題がある。たと
えば、図７に中心線Ｃ−Ｃにより片側部分のみ示す両側
開放形状のＭＭ型リニアモータ１の場合、略コ字状の外
周ヨーク２と、この外周ヨーク２の両端に磁気間隙７、
７を介して内周ヨーク３を設けると共に、外周ヨーク２
の内側に励磁コイル６を配置して固定子鉄心５を形成
し、さらに、この磁気間隙７、７には軸方向に変位可能
な永久磁石８、８を両端に設けた磁石可動子９を配置し
てバランスをとるようにしている。しかし、この場合に
は、モータ全体のサイズが大きくなり、また磁石も２倍
必要となりコスト的にも高くなる。
も推力が発生して中間位置がずれる（図１０参照）。中
間位置を確保するために直流電流を流す必要があり、こ
の場合は損失が大きくなるという新な問題がある。たと
えば、図７に中心線Ｃ−Ｃにより片側部分のみ示す両側
開放形状のＭＭ型リニアモータ１の場合、略コ字状の外
周ヨーク２と、この外周ヨーク２の両端に磁気間隙７、
７を介して内周ヨーク３を設けると共に、外周ヨーク２
の内側に励磁コイル６を配置して固定子鉄心５を形成
し、さらに、この磁気間隙７、７には軸方向に変位可能
な永久磁石８、８を両端に設けた磁石可動子９を配置し
てバランスをとるようにしている。しかし、この場合に
は、モータ全体のサイズが大きくなり、また磁石も２倍
必要となりコスト的にも高くなる。
【０００８】それゆえに、この発明の主たる目的は、構
造が簡単でしかも減磁が少なく効率のよい可動磁石型リ
ニアモータを提供することである。
造が簡単でしかも減磁が少なく効率のよい可動磁石型リ
ニアモータを提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明は、励磁コイル
を有する固定子鉄心の磁気空隙に軸方向に変位可能な永
久磁石を備える可動磁石型リニアモータにおいて、磁気
空隙を形成する固定子鉄心の開放端部に段差を設けたこ
とを特徴とする、可動磁石型リニアモータである。
を有する固定子鉄心の磁気空隙に軸方向に変位可能な永
久磁石を備える可動磁石型リニアモータにおいて、磁気
空隙を形成する固定子鉄心の開放端部に段差を設けたこ
とを特徴とする、可動磁石型リニアモータである。
【００１０】
【作用】磁気空隙を形成する固定子鉄心の開放端部に設
けた段差により、磁気空隙を軸方向に変位する永久磁石
が外側に飛び出したときも磁気抵抗を小さくできる。
けた段差により、磁気空隙を軸方向に変位する永久磁石
が外側に飛び出したときも磁気抵抗を小さくできる。
【００１１】
【発明の効果】この発明によれば、磁気回路の対称性も
高くなり、また、段差により磁石を薄くしても減磁しな
いから、効率のよい可動磁石型リニアモータを安価に提
供できる。この発明の上述の目的，その他の目的，特徴
および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細
な説明により一層明らかとなろう。
高くなり、また、段差により磁石を薄くしても減磁しな
いから、効率のよい可動磁石型リニアモータを安価に提
供できる。この発明の上述の目的，その他の目的，特徴
および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細
な説明により一層明らかとなろう。
【００１２】
【実施例】この発明の実施例を図１〜図４に基づいて説
明する。この発明の一実施例である片側開放形状の可動
磁石（ＭＭ）型リニアモータ１０は、図１に示すよう
に、９０°の間隔で環状に配置される４個の固定子鉄心
１２により構成される固定子１４と、この各固定子鉄心
１２の磁気空隙１６に配置されて軸方向に変位可能な磁
石可動子１８を含む。固定子鉄心１２は、図２より明ら
かなように、磁性鋼板からなり、外周ヨーク１２ａ、こ
の外周ヨーク１２ａの内側に所定間隔を存して配置され
る内周ヨーク１２ｂおよび両ヨーク１２ａ、１２ｂの一
端部を接続一体化する底ヨーク１２ｃとにより断面略Ｃ
字状に構成される。また、外周ヨーク１２ａの内側と内
周ヨーク１２ｂの外側の間には励磁コイル２０を配置す
ると共に、外周ヨーク１２ａの開放側端部を内周ヨーク
１２ｂの開放側端部より突出せしめて段差２２を形成し
ている。
明する。この発明の一実施例である片側開放形状の可動
磁石（ＭＭ）型リニアモータ１０は、図１に示すよう
に、９０°の間隔で環状に配置される４個の固定子鉄心
１２により構成される固定子１４と、この各固定子鉄心
１２の磁気空隙１６に配置されて軸方向に変位可能な磁
石可動子１８を含む。固定子鉄心１２は、図２より明ら
かなように、磁性鋼板からなり、外周ヨーク１２ａ、こ
の外周ヨーク１２ａの内側に所定間隔を存して配置され
る内周ヨーク１２ｂおよび両ヨーク１２ａ、１２ｂの一
端部を接続一体化する底ヨーク１２ｃとにより断面略Ｃ
字状に構成される。また、外周ヨーク１２ａの内側と内
周ヨーク１２ｂの外側の間には励磁コイル２０を配置す
ると共に、外周ヨーク１２ａの開放側端部を内周ヨーク
１２ｂの開放側端部より突出せしめて段差２２を形成し
ている。
【００１３】一方、磁石可動子１８は、有底円筒状の可
動保持体２４とこの中心部を貫通して配置される軸部２
６と可動保持体２４の開口端縁に固定されて各固定子鉄
心１２の磁気空隙１６に夫々位置する４個の磁石２８を
含む。この磁石２８は径方向に逆向きの磁化ベクトルを
有する一対の永久磁石片２８ａおよび２８ｂをいずれも
軸方向に並べて接合して構成している。その結果、磁石
２８に対する固定子１４による磁気回路の対称性が高く
なる。この場合は、図９に示す様に電流０Ａでの推力を
低減できので中間位置を確保するための直流電流が小さ
く損失もほとんどない。
動保持体２４とこの中心部を貫通して配置される軸部２
６と可動保持体２４の開口端縁に固定されて各固定子鉄
心１２の磁気空隙１６に夫々位置する４個の磁石２８を
含む。この磁石２８は径方向に逆向きの磁化ベクトルを
有する一対の永久磁石片２８ａおよび２８ｂをいずれも
軸方向に並べて接合して構成している。その結果、磁石
２８に対する固定子１４による磁気回路の対称性が高く
なる。この場合は、図９に示す様に電流０Ａでの推力を
低減できので中間位置を確保するための直流電流が小さ
く損失もほとんどない。
【００１４】このような構成において、励磁コイル２０
に電流を通電すると、その電流の向きに応じて電流によ
り発生する磁束が隣り合う永久磁石片２８ａを強めて他
の永久磁石片２８ｂを弱めるため、磁束が強められる側
に磁石２８が変位するような力が作用し、右方向または
左方向に磁石可動子１８が移動する。この移動により軸
部２６は往復動を行うので、モータ側の軸部２６の先端
に、例えば圧縮機のシリンダー内に配置されるピストン
を連結することにより、空気や冷媒等の媒体の圧縮作用
を享受できる。なお、固定子１４は、図示されないステ
ンレス等の非磁性体で構成される有底ドーナツ状のケー
スに収納される。
に電流を通電すると、その電流の向きに応じて電流によ
り発生する磁束が隣り合う永久磁石片２８ａを強めて他
の永久磁石片２８ｂを弱めるため、磁束が強められる側
に磁石２８が変位するような力が作用し、右方向または
左方向に磁石可動子１８が移動する。この移動により軸
部２６は往復動を行うので、モータ側の軸部２６の先端
に、例えば圧縮機のシリンダー内に配置されるピストン
を連結することにより、空気や冷媒等の媒体の圧縮作用
を享受できる。なお、固定子１４は、図示されないステ
ンレス等の非磁性体で構成される有底ドーナツ状のケー
スに収納される。
【００１５】次に、この実施例における磁石２８の減磁
曲線を図５に基づいて説明する。同図において、Ａはク
ニック点、ＡＣはリコイル線、ＯＰ0 は永久磁石２８の
端部が飛び出した状態のパーミアンス直線、また、ＯＰ
1 は永久磁石２８が飛び出していない状態のパーミアン
ス直線をそれぞれ示している。永久磁石が飛び出した状
態では、パーミアンス直線ＯＰ0 とリコイル直線ＡＣと
の交点として動作点Ｑ0 が定まっている。また、永久磁
石が飛び出していない状態では、パーミアンス係数も大
きくなっており、この傾斜が急なパーミアンス直線ＯＰ
1 とリコイル線ＡＣとの交点としての動作点Ｑ1 が定ま
っている。
曲線を図５に基づいて説明する。同図において、Ａはク
ニック点、ＡＣはリコイル線、ＯＰ0 は永久磁石２８の
端部が飛び出した状態のパーミアンス直線、また、ＯＰ
1 は永久磁石２８が飛び出していない状態のパーミアン
ス直線をそれぞれ示している。永久磁石が飛び出した状
態では、パーミアンス直線ＯＰ0 とリコイル直線ＡＣと
の交点として動作点Ｑ0 が定まっている。また、永久磁
石が飛び出していない状態では、パーミアンス係数も大
きくなっており、この傾斜が急なパーミアンス直線ＯＰ
1 とリコイル線ＡＣとの交点としての動作点Ｑ1 が定ま
っている。
【００１６】そして、この実施例においては、磁気空隙
１６を形成する固定子鉄心１２の開放端部に段差２２を
設けることにより、磁気空隙１６を軸方向に変位する永
久磁石２８の外側に飛び出した磁石端部の磁気抵抗が小
さくなるためにパーミアンス係数が大きくなり、動作点
が点Ａとの距離が大きくなって永久磁石２８が飛び出し
た状態でも点Ａに至らないので減磁は起きない。
１６を形成する固定子鉄心１２の開放端部に段差２２を
設けることにより、磁気空隙１６を軸方向に変位する永
久磁石２８の外側に飛び出した磁石端部の磁気抵抗が小
さくなるためにパーミアンス係数が大きくなり、動作点
が点Ａとの距離が大きくなって永久磁石２８が飛び出し
た状態でも点Ａに至らないので減磁は起きない。
【００１７】従って、段差を設けることによりパーミア
ンス係数が大となるため、薄型のものを用いても、減磁
が起こりにくくなる。なお、上述の実施例においては、
磁気回路の対称性を高めるために、各固定子鉄心１２を
構成する外周ヨーク１２ａの開放側端部を内周ヨーク１
２ｂの開放側端部より突出せしめて段差２２を形成した
が、他の実施例としては、図３に示すように、これとは
逆に内周ヨーク１２ｂの開放側端部を外周ヨーク１２ａ
の開放側端部より突出せしめて段差２２を形成してもよ
い。この場合には、各固定子鉄心１２の磁気空隙１６を
磁石可動子１８が変位する関係上、励磁コイル２０は内
周ヨーク１２ｂの外側空間に配置される。
ンス係数が大となるため、薄型のものを用いても、減磁
が起こりにくくなる。なお、上述の実施例においては、
磁気回路の対称性を高めるために、各固定子鉄心１２を
構成する外周ヨーク１２ａの開放側端部を内周ヨーク１
２ｂの開放側端部より突出せしめて段差２２を形成した
が、他の実施例としては、図３に示すように、これとは
逆に内周ヨーク１２ｂの開放側端部を外周ヨーク１２ａ
の開放側端部より突出せしめて段差２２を形成してもよ
い。この場合には、各固定子鉄心１２の磁気空隙１６を
磁石可動子１８が変位する関係上、励磁コイル２０は内
周ヨーク１２ｂの外側空間に配置される。
【００１８】また、これまで説明した固定子鉄心１２が
片側開放形状の実施例以外にも、図４に中心線Ｃ−Ｃに
より片側部分のみ示す固定子鉄心１２が両側開放形状の
実施例においても、磁気空隙１６を形成する固定子鉄心
１２の開放端部に段差２２を設けることにより、磁気空
隙１６に配置されて軸方向に変位する永久磁石２８およ
び２８を両側に備える磁石可動子１８の端部が外側に飛
び出した際に、この段差２２により磁気抵抗が小さくな
るためパーミアンス係数が大きくなり、減磁は起こらな
い。
片側開放形状の実施例以外にも、図４に中心線Ｃ−Ｃに
より片側部分のみ示す固定子鉄心１２が両側開放形状の
実施例においても、磁気空隙１６を形成する固定子鉄心
１２の開放端部に段差２２を設けることにより、磁気空
隙１６に配置されて軸方向に変位する永久磁石２８およ
び２８を両側に備える磁石可動子１８の端部が外側に飛
び出した際に、この段差２２により磁気抵抗が小さくな
るためパーミアンス係数が大きくなり、減磁は起こらな
い。
【図１】この発明の一実施例を示す可動磁石型リニアモ
ータの図解図である。
ータの図解図である。
【図２】図１におけるＡ−Ａ線に相当する図解図であ
る。
る。
【図３】図１に相当する他の実施例の図解図である。
【図４】この発明による他の実施例の要部図解図であ
る。
る。
【図５】この実施例における磁石の減磁曲線を示す特性
図である。
図である。
【図６】図１に相当する従来例の要部の概略構成を示す
図解図である。
図解図である。
【図７】図４に相当する他の従来例の要部の概略構成を
示す図解図である。
示す図解図である。
【図８】磁石の一般的な減磁曲線を示す特性図である。
【図９】この発明の実施例における電流をパラメータと
する可動磁石の中間位置と推力の関係を示す特性図であ
る。
する可動磁石の中間位置と推力の関係を示す特性図であ
る。
【図１０】図９に相当する従来例の特性図である。
１０ …可動磁石（ＭＭ）型リニアモータ １２ …固定子鉄心 １２ａ …外周ヨーク １２ｂ …内周ヨーク １２ｃ …底ヨーク １４ …固定子 １６ …磁気空隙 １８ …磁石可動子 ２０ …励磁コイル ２２ …段差 ２８ …永久磁石
Claims (4)
- 【請求項１】励磁コイルを有する固定子鉄心の磁気空隙
に軸方向に変位可能な永久磁石を備える可動磁石型リニ
アモータにおいて、 前記磁気空隙を形成する前記固定子鉄心の開放端部に段
差を設けたことを特徴とする、可動磁石型リニアモー
タ。 - 【請求項２】前記固定子鉄心の前記開放端部のうち内側
端部を外側端部より突出せしめることにより段差を設け
る、請求項１記載の可動磁石型リニアモータ。 - 【請求項３】前記固定子鉄心の前記開放端部のうち外側
端部を内側端部より突出せしめることにより段差を設け
る、請求項１記載の可動磁石型リニアモータ。 - 【請求項４】前記突出の度合いは前記永久磁石の変位範
囲内である、請求項２または３記載の可動磁石型リニア
モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11024574A JP2000224828A (ja) | 1999-02-02 | 1999-02-02 | 可動磁石型リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11024574A JP2000224828A (ja) | 1999-02-02 | 1999-02-02 | 可動磁石型リニアモータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000224828A true JP2000224828A (ja) | 2000-08-11 |
Family
ID=12141948
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11024574A Pending JP2000224828A (ja) | 1999-02-02 | 1999-02-02 | 可動磁石型リニアモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000224828A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020066603A (ko) * | 2001-02-12 | 2002-08-21 | 주명자 | 리니어 모터구조 |
| JP2002310154A (ja) * | 2001-04-18 | 2002-10-23 | Seiko Epson Corp | 永久磁石磁気回路及び超電導軸受装置 |
| KR100408996B1 (ko) * | 2000-11-22 | 2003-12-06 | 엘지전자 주식회사 | 로터리 리니어 모터 |
| US7138734B2 (en) | 2002-02-20 | 2006-11-21 | Hitachi, Ltd. | Linear drive unit reducing stress generated in movable part in horizontal direction |
-
1999
- 1999-02-02 JP JP11024574A patent/JP2000224828A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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