JP2000225331A - エアロック - Google Patents

エアロック

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JP2000225331A
JP2000225331A JP11375998A JP37599899A JP2000225331A JP 2000225331 A JP2000225331 A JP 2000225331A JP 11375998 A JP11375998 A JP 11375998A JP 37599899 A JP37599899 A JP 37599899A JP 2000225331 A JP2000225331 A JP 2000225331A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明の目的の１つは、最小のサイズを達成
すると同時に、基材のストリップの連続的な通過に対し
て最高の空気の気密性を可能にするエアロックを提供す
ることにある。 【解決手段】 基材のストリップを真空チャンバーの中
に導入し、その中を連続的に通過させるエアロックが、
ストリップの移動の方向に連続した少なくとも３つのロ
ーラーを含む包囲体を有し、該ローラーの間に前記スト
リップ用の通路が作られ、第１及び第３のローラーがこ
の通路の一方の側に配置され、第２のローラーがこの通
路の反対側に配置され、更に、本質的に気密の領域が、
ストリップと、第１及び第３のローラーとの間に形成さ
れ、かつ真空ポンプに連結され、ストリップをローラー
に当たる圧力を調整するための手段を備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、金属シートのよう
な基材のストリップを、移動の方向に従って真空チャン
バーの中に導入し、且つそれを真空チャンバーの中に連
続的に通すためのエアロックに関し、該エアロックは、
平行軸線を中心に回転することができるローラーを取付
けた包囲体を有し、前記ストリップはローラーの間を移
動することができる。
【０００２】
【従来の技術】US 3,868,106は、全てのローラーが互い
に整合したエアロックを開示する。その密封は、ストリ
ップとほとんど接触している僅かな隙間をもってシュー
を配置することによって達成される。ストリップは、１
８０゜の角度に亘ってローラーの各々と接触して配置さ
れる。この装置は、多くの空間を取る欠点をもつ。加え
て、チャンバー間の気密性を保証するためにローラーの
各々の両側にシューが存在することにより、装置を比較
的複雑にする。大きな接触角により、ローラー間の通路
に新しいストリップを付与するのが難しい。
【０００３】US 2,972,330は、ストリップが１８０゜の
角度に亘ってローラーの各々と接触していエアロックを
開示する。領域間の気密性はシューの存在によって再び
保証される。従って、この装置も又、US 3,868,106の欠
点をもつ。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的の１つ
は、最小のサイズと、基材のストリップの連続的な通過
に対して最大の気密性を同時に達成することを可能にす
るエアロックを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このために、本発明によ
れば、前記包囲体は、ストリップの移動方向に延び、か
つ、間にストリップ用の通路がある少なくとも３つの連
続したローラーを含み、第１及び第３のローラーはこの
通路の一方の側に配置され、第２のローラーは前記２つ
のローラーに対して、この通路の反対側に配置され、更
に、前記通路を移動するストリップと第１及び第３のロ
ーラーとの間に本質的に気密の領域を形成させる手段を
含み、この領域は真空ポンプに連結され、ストリップが
これらローラーに当たる圧力を調整するための他の手段
が設けられる。
【０００６】本発明の他の詳細及び特別な特徴は、添付
図面を参照して、限定的でない例示の仕方によって、以
下の本発明によるエアロックの２つの特定の実施形態の
説明から明らかになるだろう。
【０００７】
【発明の実施の形態】種々の図では、同じ参照番号は同
じ要素又は同様な要素を参照する。
【０００８】一般的に、本発明は、基材のストリップ、
特に、鋼シートが連続的に通過する真空チャンバーの入
口の上流及び出口の下流に配置されるようにしたエアロ
ックに関する。
【０００９】２つのエアロックは、前記のチャンバー内
に維持されなければならない真空の強さに従って、等し
くても良いし、異なっていても良い。
【００１０】ストリップの移動方向に対して横方向に、
かつ互いに平行に延びる軸線を中心に自由に回転するこ
とができるローラーが、これらのエアロックの各々に取
付けられる。
【００１１】これらのエアロックは、ローラーがストリ
ップの移動方向に互いにずらされていることによって特
徴づけられる。
【００１２】有利には、エアロックの包囲体はストリッ
プの移動方向にずらされた少なくとも３つの連続したロ
ーラーを含み、その間にストリップ用の通路がある。
【００１３】第１及び第３のローラーはこの通路の一方
の側に、即ちローラーを通って移動するストリップの一
方の側に配置され、第２のローラーはこの通路の反対側
に、即ち前記２つのローラーに対してストリップの反対
側に配置され、これにより、このストリップと、第１及
び第３のローラーとの間に本質的に気密な領域を形成す
る。
【００１４】この領域に低圧を維持するために、この領
域は真空ポンプに連結され、この領域とその周囲との間
の圧力差に応じて、ストリップがローラーに当たる圧力
を調整するための手段を設ける。
【００１５】図１乃至３は、本発明によるエアロックの
第１の特定の実施形態を概略的に示す。
【００１６】このエアロックは包囲体を構成する平行六
面体ボックス１を有し、その中に水平かつ平行な軸線を
水平方向のずれをもって配置した３つのローラー２ａ、
２ｂ及び２ｃが、連続シート３を案内する通路９を２つ
の連続したローラーの間に形成するように配置される。
【００１７】ローラー２ａ及び２ｃはこの通路９の上に
配置され、一方、中間のローラー２ｂは２つのローラー
２ａ及び２ｃの間で、この通路の下に配置される。かく
してこれら３つのローラーは、連続したローラー、即
ち、矢印１６で指示されたストリップ３の移動方向にず
らされたローラーを形成する。ローラー２ａ及び２ｃは
第１ローラー列に属し、一方、ローラー２ｂは第２ロー
ラー列に属する。かくして、領域６がこれらローラー
と、ボックス１の側壁１１及び１２と、ストリップ３と
の間に形成される。この領域の気密は、ボックス１の側
壁１１及び１２と、ローラー２ａ、２ｂ及び２ｃとの間
の隙間を最小にすることによって、又ローラーの円筒壁
と、ボックス１の上壁１３及び下壁１４との間の密封部
材４によって確保される。密封部材は、特に、テフロン
製であるが、例えば、金属製であっても良い。少なくと
も０．２ｍｍの隙間がローラーと密封部材との間に設け
られる。シート３は、これらローラーの円筒面の一部に
所定の圧力を付与して走行することによって、２つの連
続したローラー間に主な気密性をもたらす。
【００１８】唯一比較的重大な漏れが、ストリップ３の
側壁とボックスの側壁１１及び１２との間に残るスロッ
ト８で起る。
【００１９】ローラー２ａ、２ｂ、２ｃの２つの平らな
端面１５と、ボックス１の側壁１１及び１２との間の漏
れを最小に維持するために、これらローラーは、これら
ローラー２の両端の内部に配置された軸受７を中心に回
転できるように取付けられる。
【００２０】避けられないこれらの漏れを補償するため
に、この領域６は、ボックス１の頂壁１３に作られた開
口５によって真空ポンプ（図示せず）に連結される。
【００２１】有利には、図１乃至３に示した特定の実施
形態では、ローラー２ｂの軸受７は、側壁１１及び１２
内で僅かに鉛直移動することができるように取付けられ
る。このローラー２ｂの円筒面と共同し、かつ矢印１０
によって示すように、ボックス１の下壁１４の中で鉛直
方向に摺動できるように取付けられた密封部材４にも、
同様のことが当てはまる。摺動する密封部材４'が、気
密性を保証するために、ボックス１の下壁１４とほぼ接
触していることに注目すべきである。かくして、金属シ
ート３の厚さに依存して、２つの連続するローラーの間
の距離を、従って、これらローラーの間の通路９の断面
を容易に調整することができる。
【００２２】一般的には全て３つのローラーについて等
しい、ローラー２ａ、２ｂ及び２ｃの直径は、金属シー
ト３の塑性変形を引起こさない位大きい。有利には、厚
さ１ｍｍの金属シートに対して、この直径は少なくとも
６００ｍｍである。
【００２３】その上、領域６の気密を確保するために、
この領域の気密性を確保するのに役立つ金属シートとロ
ーラーとの間の接触圧力が、少なくとも、この領域内で
得られる圧力とその周囲の圧力との間の圧力差を釣り合
わせなければならないことが重要である。従って、５０
０ｍｂａｒの圧力差、６００ｍｍの直径のローラー、１
ｍ幅のストリップに対して、矢印１６で指示した移動方
向に金属ストリップに及ぼすべき張力は、有利には、少
なくとも３０００ｋｇであり、これは厚さ１ｍｍの金属
シートに対して３ｋｇ／ｍｍ2の張力に相当する。そう
すると、同じ幅で厚さ０．５ｍｍの金属シートに対して
は、張力は、６ｋｇ／ｍｍ2になる。最大張力が、例え
ば６ｋｇ／ｍｍ2に制限されるならば、厚さ０．２５ｍ
ｍの金属シートは最大圧力差２５０ｍｂａｒまでの気密
性を提供するだろう。
【００２４】一般的に、次の式が使用される。
【００２５】Ｆ≧Δｐ×Ｄ×ｗ ここで、 Ｆ ：付与すべき張力（ｋｇ） Δｐ：２つの連続した領域の間の最大圧力差（ｂａｒ） Ｄ ：ローラーの直径（ｃｍ） ｗ ：ストリップの幅（ｃｍ） である。
【００２６】第１の例では、上式は、 Ｆ≧０．５ｂａｒ×６０ｃｍ×１００ｃｍ＝３０００ｋ
ｇ となる。
【００２７】図４は本発明によるエアロックの第２の実
施形態に関し、それは、ボックス１が、その中にストリ
ップ３の一方の側と他方の側に交互に配置された５つの
連続したローラーを設けることによって得られる連続し
た３つの本質的な気密領域６ａ、６ｂ及び６ｃを含む点
で前記の実施形態と異なる。ローラー２ａ、２ｃ及び２
ｅは第１ローラー列に属し、一方、２ｂ、２ｄは第２ロ
ーラー列に属する。
【００２８】従って、前記の第１の実施形態について記
載したように、最大張力が、例えば、６ｋｇ／ｍｍ2に
制限されたならば、厚さ０．２５ｍｍの金属シートは、
この第２の実施形態の連続する２つの領域の間の、２５
０ｍｂａｒに制限された最大圧力差までだけで、所望の
気密性を提供する。これはボックス内に２つの追加の領
域があるためであり、そして、これはストリップの一方
の側及び他方の側で交互に延びる連続したローラーの数
を増やすことによって得られものであることを指示す
る。
【００２９】本発明は上記の説明及び添付図面に示され
たエアロックの実施形態に限定されないことが明確に理
解される。特に、ローラーの数、ローラーの相対的配置
及び２つの連続するローラーの間の距離を調整するため
に設けられる任意の手段、及びボックスの壁とローラー
との間の気密性を確保するために設ける手段について、
他の変更を考えることができる。
【００３０】更に、処理すべき金属シートの厚さが、そ
の幅に比べて比較的大きいとき、金属シートの横縁の両
側の、２つの連続するローラーの間のスロット８に配置
される追加の密封手段を設けることが、ある場合、有益
であろう。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明によるエアロックの第１の実施形
態の長手方向断面の略図である。
【図２】図２は図１の線II-II上の断面である。
【図３】図３は図１の平面図である。
【図４】図４は本発明によるエアロックの第２の実施形
態の、図１と類似の断面図である。
【符号の説明】
１ ボックス ２ａ、２ｂ、２ｃ ローラー ３ ストリップ ４ 密封部材 ５ 開口 ６ 領域 ７ 軸受 ８ スロット ９ 通路 １１、１２ 側壁 １３ 上壁 １４ 下壁

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 金属シートのような基材のストリップ
    を、移動の方向に従って真空チャンバーの中に導入し、
    且つそれを真空チャンバーの中に連続的に通すためのエ
    アロックにおいて、 ａ）壁を有する包囲体と、 ｂ）包囲体内に取付けられた少なくとも２つのローラー
    からなる第１ローラー列と、を有し、該第１ローラー列
    のローラーは、平行軸線を中心に回転することができ、
    かつストリップはローラーの間を移動することができ、 ｃ）第１ローラー列からずれて包囲体内に取付けられた
    第２ローラー列を有し、該第２ローラー列のローラーは
    平行軸線を中心に回転することができ、かつストリップ
    はローラーの間を移動することができ、前記第２ローラ
    ー列の各ローラーは第１ローラー列の２つのローラーに
    隣接して配置され、 ｄ）ローラーの間にストリップ用の通路が設けられ、ス
    トリップは、ローラーの軸線に対して１８０゜よりも小
    さい角度に亘ってローラーの各々と接触しており、 ｅ）ストリップと、前記第１ローラー列及び第２ローラ
    ー列の隣接した２つのローラーとの間に、各々真空ポン
    プに連結された一連の本質的に気密な領域が形成され、 ｆ）ストリップに付与される張力を調整することによっ
    て、ストリップがローラーに当たる圧力を調整するため
    の手段を設けたことを特徴とする、エアロック。
  2. 【請求項２】 少なくとも２つの隣接したローラーの間
    の距離を調整するための手段を更に有することを特徴と
    する、請求項１に記載のエアロック。
  3. 【請求項３】 少なくとも２つの隣接したローラーの間
    の距離を調整するための手段が、ストリップの移動方向
    に本質的に直交する方向に調整するように設けられるこ
    とを特徴とする、請求項２に記載のエアロック。
  4. 【請求項４】 包囲体の壁とローラーとの間に設けられ
    た密封部材を更に有することを特徴とする、請求項１に
    記載のエアロック。
  5. 【請求項５】 ストリップが、２つの連続する領域の間
    の圧力差を吸収することができるように所定の張力下に
    置かれることを特徴とする、金属シートのような基材の
    ストリップを、移動の方向に従って真空チャンバーの中
    に導入し、且つそれを真空チャンバーの中に連続的に通
    すためのエアロックを操作する方法。
  6. 【請求項６】 所定の張力が、少なくとも、 Ｆ≧Δｐ×Ｄ×ｗ ここで、 Ｆ ：付与すべき張力（ｋｇ） Δｐ：２つの連続する領域の間の最大圧力差（ｂａｒ） Ｄ ：ローラーの直径（ｃｍ） ｗ ：ストリップの幅（ｃｍ） に等しいことを特徴とする、請求項５に記載のエアロッ
    クを操作する方法。
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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7269982B2 (en) * 2000-11-14 2007-09-18 Invista North America S.Ar.L Steam seal for textile production
US6878207B2 (en) * 2003-02-19 2005-04-12 Energy Conversion Devices, Inc. Gas gate for isolating regions of differing gaseous pressure
EP1479789A1 (fr) * 2003-05-23 2004-11-24 Recherche Et Developpement Du Groupe Cockerill Sambre Sas d'étanchéité pour ligne de dépôt sous vide sur produit plat
KR101014776B1 (ko) * 2005-12-05 2011-02-14 가부시키가이샤 알박 진공장치용 구분 밸브
DE102006025751B4 (de) * 2006-05-31 2010-12-23 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Verfahren zur Abdichtung einer Vakuumkammer und Schleuseneinrichtung für eine Vakuumkammer
DE602007002782D1 (de) * 2007-02-28 2009-11-26 Applied Materials Inc Zugangsversperrsystem, Netzverarbeitungsanlage und Anwendungsverfahren dafür
DE102009052873B4 (de) 2009-11-13 2017-08-17 THEVA DüNNSCHICHTTECHNIK GMBH Vorrichtung zum kontinuierlichen bewegten Einschleusen eines Bandsubstrats ins Hochvakuum
US20120178037A1 (en) * 2011-01-07 2012-07-12 Tangteck Equipment Inc. Roller sealing device and gas-sealing method thereof
SE536952C2 (sv) * 2012-06-25 2014-11-11 Impact Coatings Ab Kontinuerlig rulle-till-rulle-anordning
DE102018215101A1 (de) 2018-05-28 2019-11-28 Sms Group Gmbh Vakuumbeschichtungsanlage, und Verfahren zum Beschichten eines bandförmigen Materials
DE102018215102A1 (de) 2018-05-28 2019-11-28 Sms Group Gmbh Vakuumbeschichtungsanlage, und Verfahren zum Beschichten eines bandförmigen Materials
DE102018215100A1 (de) 2018-05-28 2019-11-28 Sms Group Gmbh Vakuumbeschichtungsanlage, und Verfahren zum Beschichten eines bandförmigen Materials
CN111593315B (zh) * 2020-03-30 2025-01-21 扬州中欣高分子材料有限公司 一种医用高分子材料制备用可抽真空装置
WO2024052712A1 (en) * 2022-09-05 2024-03-14 Arcelormittal Sealing airlock for deposition chamber
DE102024208547A1 (de) 2024-09-09 2026-03-12 Sms Group Gmbh Ein- und Ausschleusen eines Metallbands in eine und aus einer Behandlungskammer

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2972330A (en) * 1956-02-15 1961-02-21 Nat Steel Corp Vacuum seal for coating apparatus
US3158507A (en) * 1960-01-11 1964-11-24 Continental Can Co Floating roller seal
GB1126700A (en) * 1965-01-08 1968-09-11 United States Steel Corp Roll seal for vacuum strip-treating chamber
US3367667A (en) * 1965-07-16 1968-02-06 United States Steel Corp Roll seal for vacuum strip-treating chamber
BE792701A (ja) * 1971-12-14 1973-03-30 Arbed
KR910005158B1 (ko) † 1987-06-05 1991-07-23 가부시기가이샤 히다찌세이사꾸쇼 진공연속 처리장치
KR920003591B1 (ko) † 1988-04-11 1992-05-04 미쯔비시주우고오교오 가부시기가이샤 연속진공증착장치
JP2691007B2 (ja) † 1989-03-20 1997-12-17 株式会社日立製作所 真空連続処理装置
DD289297B5 (de) † 1989-11-28 1993-12-16 Ardenne Anlagentech Gmbh Bandschleuse fuer vakuumbeschichtungsanlagen
US5314539A (en) † 1990-05-10 1994-05-24 Eastman Kodak Company Apparatus for plasma treatment of continuous material
GB9323034D0 (en) * 1993-11-09 1994-01-05 Gen Vacuum Equip Ltd Vacuum web coating
JP3315238B2 (ja) † 1994-02-10 2002-08-19 富士写真フイルム株式会社 感光材料用支持体の真空処理用シール方法及び装置

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